CN111378936A - 靶材组件的制作方法 - Google Patents

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姚力军
潘杰
王学泽
丁向前
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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target

Abstract

本发明提供一种靶材组件的制作方法，包括：提供靶材组件，所述靶材组件包括靶材与背板，所述靶材与所述背板连接；将所述靶材放入套具内；对所述背板进行喷砂处理。本发明有效地实现对靶材的遮蔽，同时遮蔽使用的套具能够重复使用，节约资源，节省成本。

Description

靶材组件的制作方法
技术领域
本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种靶材组件的制作方法。
背景技术
在半导体工业中，靶材组件是由符合溅射性能的靶材和与所述靶材结合、具有一定强度的背板构成。背板可以在所述靶材组件装配至溅射基台中起到支撑作用，并具有传导热量的功效。
对背板进行喷砂是靶材组件加工过程的一个重要工艺，喷砂是利用高速砂流冲击背板表面，使背板表面具有一定的粗糙度，用于吸附反溅射物。如果粗糙度过小，吸附作用不强，反溅射物剥落，掉落在对面的液晶面板用玻璃上，影响良率；如果过大，容易产生微弧(micro-arc)，造成机台报警。
由于喷砂的作用力比较大，需要对靶材进行一定的遮蔽，以免砂粒冲击对靶材造成损伤，影响产品的质量。
所以如何有效地实现对靶材的遮蔽是目前急需解决的问题。
发明内容
本发明解决的问题是提供一种靶材组件的制作方法，有效地实现对靶材的遮蔽。
为解决上述问题，本发明提供一种靶材组件的制作方法，包括：提供靶材组件，所述靶材组件包括靶材与背板，所述靶材与所述背板连接；将所述靶材放入套具内；对所述背板进行喷砂处理。
可选的，所述套具采用的材料密度小于所述靶材的密度。
可选的，所述套具为一体成型或者分步成型。
可选的，当所述套具为一体成型时，所述套具外表面上设置有把手。
可选的，当所述套具为分步成型时，所述套具的侧面至少设置成两层。
可选的，所述两层通过合页连接。
可选的，所述两层之间采用魔术贴粘接在一起。
可选的，所述套具具有开口，在所述开口内边缘设有魔术贴。
可选的，在所述靶材与所述背板接合处设有魔术贴，与所述开口处的魔术贴贴合。
可选的，所述套具内表面上粘接有防护层。
与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：
本发明技术方案中将靶材放入套具中，靶材表面被套具包裹住，这样在喷砂的过程中，套具将入射到靶材表面上的砂粒完全阻隔在靶材表面外，这样砂粒就不能对靶材表面造成损伤，从而有效地实现了对靶材的遮蔽。
进一步，在所述靶材与所述背板接合处设有魔术贴，与所述开口处的魔术贴贴合。一方面，利用开口处的魔术贴与在所述靶材与所述背板接合处设有的魔术贴之间的贴合而形成的阻隔带对砂粒进行阻隔，这样所述靶材与所述背板接合处也不会进砂粒，从而实现整个靶材的遮蔽；另一方面，利用魔术贴的方便贴合与拆卸，方便套具与靶材之间的贴合以及套具从靶材表面取下来，从而实现了套具的重复使用。
附图说明
图1至图3是本发明靶材组件的制作方法第一实施例中各步骤对应的结构示意图；
图4是本发明靶材组件的制作方法第二实施例中套具的结构示意图。
具体实施方式
目前靶材组件的制作工艺中，进行喷砂之前，通常事先用胶带一层一层地将靶材的侧面贴覆起来，这样实现对靶材侧面的遮蔽。在靶材的溅射面上放置一些吸收冲击力的布料材料或者是软性的有机材料盖板，并利用胶带固定，从而实现对靶材溅射面的遮蔽。
发明人经过分析发现，在靶材组件的制作过程中采用该方法对靶材进行遮蔽，所耗费的时间太长，影响生产效率；同时该遮蔽方法使用的套具不能够重复使用，这就造成资源的浪费，污染环境。
发明人通过研究发现直接利用套具，将靶材放入到套具内，这样可以很好的实现对靶材的遮蔽。
发明人还研究发现，利用靶材与背板接合的地方设置魔术贴与套具开口处的魔术贴进行贴合，利用魔术贴方便贴合与拆卸的性能，实现套具与靶材之间的快速贴合与拆卸，从而实现套具的重复使用，节约资源。
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细地说明。
第一实施例
图1至图3是本发明靶材组件的制作方法第一实施例中各步骤对应的结构示意图。
首先参考图1，提供靶材组件100，所述靶材组件100包括靶材1和背板2，所述靶材1与所述背板2连接。
本实施例中，所述靶材1的形状采用的是长方体。其他实施例中，所述靶材1的形状可以是圆柱体、椭圆形柱体或者其他形状。
本实施例中，在所述靶材1与所述背板2接合处设有魔术贴110。
其他实施例中，所述靶材1与所述背板2接合处还可设有双面胶布等。
本实施例中，利用胶带实现所述魔术贴110与所述靶材1的粘结在一起。其他实施例中，可以采用胶水等方式将所述魔术贴110与所述靶材1的粘结在一起。
参考图2，提供套具3，所述套具3外表面上设置把手302。
本实施例中，所述套具3具有开口301，所述套具3呈长方体，这是由图1中靶材1的形状所决定的。
其他实施例中，所述套具3的形状可以为圆柱体、圆形柱体或者其他形状，根据靶材1的形状而设置。
本实施例中，所述套具3采用的材料密度小于所述靶材1的密度。
本实施例中，所述套具3的材料采用树脂材料。其他实施例中，所述套具3的材料可以为橡胶、或者铝等。
本实施例中，所述套具3的内表面上粘接有防护层(图中未画出)，所述防护层采用胶带，目的是将套具3的内表面变得光滑，防止所述靶材1放入到所述套具3中的时候，由于套具3表面的毛刺将所述靶材1的表面划伤，影响所述靶材1的质量。
其他实施例中，所述防护层还可以是塑料薄膜等。
本实施例中，所述开口301内边缘设有魔术贴310。其他实施例中，所述开口301内边缘还可以设有双面胶等。
本实施例中，所述套具3为一次成型。
本实施例中，所述套具3上两个相对的外表面上设置把手302。
其他实施例中，所述把手302可以设置在与开口301(图2)相对的面上，或者是任意所述套具3的外表面上。所述把手302的数量根据实际操作的需要设定。
本实施例中，所述把手302的作用是便于所述套具3从所述靶材1上取下来。
参考图3，将所述靶材1放入到所述套具3内。
本实施例中，对所述背板2进行喷砂处理之前，将所述靶材1放入到所述套具3内，利用所述套具3的外表面对所述靶材1表面起到的遮蔽作用，保证了在喷砂过程中，砂粒不会对所述靶材1的表面产生损伤。
本实施例中，所述魔术贴310(图2)与所述魔术贴110(图1)贴合，利用所述魔术贴之间的贴合形成的隔离带，保证了在喷砂过程中，砂粒不会从所述靶材1与所述背板2的接合处射到靶材上，保证了靶材1表面的质量。
本实施例中，完成对所述背板2喷砂处理之后，解开所述魔术贴310与所述魔术贴110(图1)之间的贴合，利用所述把手302，将所述套具3从所述靶材1的表面取下来，方便套具3的再次使用，从而实现了套具3的重复使用，节约资源。
第二实施例
图4是本发明靶材组件的制作方法第二实施例中套具的结构示意图。
第二实施例与第一实施例的区别仅仅在于，第一实施例中所述套具为一体成型，第二实施例中所述套具为分步成型。
首先参考图4，提供内套4，所述内套4的侧面设置成两层。
本实施例中，所述内套4具有开口401，所述内套4也呈长方体，这是由图1中靶材1的形状所决定的。
以所述内套4的一个侧面为例，介绍所述侧面的两层结构以及两层之间连接。
本实施例中，所述侧面包括第一侧面410以及第二侧面420。
本实施例中，所述第一侧面410与所述第二侧面420通过合页连接(未画出)，目的是使所述第一侧面410与所述第二侧面420的两个对立面能够贴合，同时所述第二侧面420能够沿着边缘相对所述第一侧面410进行转动。
其他实施例中，所述第一侧面410与所述第二侧面420之间还可以通过铰链连接，只要能够保证所述第二侧面420能够相对于所述第一侧面410能转动就可以。
本实施例中，在所述第一侧面410与所述第二侧面420之间铺满魔术贴430，将所述第一侧面410与所述第二侧面420之间粘接在一起，形成套具400。
本实施例中，对所述背板2进行喷砂处理之前，将所述靶材1放入到所述套具400内，将所述套具400的两层侧面之间用所述魔术贴430粘接好。
本实施例中，完成对所述背板2喷砂处理之后，解开所述两层面之间的魔术贴430，此时远离所述靶材1的侧面(比如图4中的第二侧面420)起到把手的作用，方便将所述套具400从所述靶材1的表面取下来，套具400实现再次使用，从而节约资源。
本实施例中，所述套具400的四个侧面都做成两层结构，这样设置的目的一方面是可以增强所述套具400的厚度，这样可以缓冲砂粒的力也就越多，达到所述靶材1表面的力就很小或者几乎没有，保证了靶材1的质量；另一方面，在所述背板进行喷砂处理结束之后，解开所述两层面之间的魔术贴430，其中远离所述靶材1的侧面可以相对于紧邻所述靶材1的侧面进行转动，这样远离所述靶材1的侧面起到把手的作用，便于套具400从靶材1上取下来。
其他实施例中，所述套具400的四个侧面可以选择将一个侧面做成两层结构或两个侧面做成两层结构或三个侧面做成两层结构，根据实际的操作需要即可。
虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (10)

1.一种靶材组件的制作方法，其特征在于，包括步骤：
提供靶材组件，所述靶材组件包括靶材与背板，所述靶材与所述背板连接；将所述靶材放入套具内；
对所述背板进行喷砂处理。
2.如权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述套具采用的材料的密度小于所述靶材的密度。
3.如权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述套具为一体成型或者分步成型。
4.如权利要求3所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，当所述套具为一体成型时，所述套具外表面上设置有把手。
5.如权利要求3所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，当所述套具为分步成型时，所述套具的侧面至少设置成两层。
6.如权利要求5所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述两层通过合页连接。
7.如权利要求5所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述两层之间采用魔术贴粘接在一起。
8.如权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述套具具有开口，在所述开口内边缘设有魔术贴。
9.如权利要求8所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，在所述靶材与所述背板接合处设有魔术贴，与所述开口处的魔术贴贴合。
10.如权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述套具内表面上粘接有防护层。
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