CN111376133A - 一种制造超厚电解铜箔的偏心摇摆抛磨机 - Google Patents

Abstract

本发明涉及铜箔制造领域，具体是涉及一种制造超厚电解铜箔的偏心摇摆抛磨机，包括阴极辊、阳极槽、输液管道、出液机构、剥离辊、抛磨箱和抛磨机构，所述阴极辊的底部设有所述阳极槽，阴极辊的顶部设有所述输液管道，输液管道的侧部设有所述出液机构，输液管道用于投放硫酸铜溶液，出液机构用于控制输液管道进行出液，阴极辊浸泡在硫酸铜溶液泡部分的表面形成铜箔，阴极辊的侧部设有所述剥离辊，从阴极辊上揭下来的铜箔经剥离辊进入所述抛磨机构处，抛磨机构的底部设有用于盛放抛磨杂质的所述抛磨箱，本发明偏心摇摆驱动模组的驱动下，偏心摇摆体做偏心摇摆运动时，将铜箔毛面不规则铜粒子的尖峰磨掉，使铜箔毛面的粗糙度满足要求。

Description

一种制造超厚电解铜箔的偏心摇摆抛磨机

技术领域

本发明涉及铜箔制造领域，具体是涉及一种制造超厚电解铜箔的偏心摇摆抛磨机。

背景技术

铜箔是印制电路板中关键的导电材料，要求其与电路板绝缘层接触面必须具有足够的粘接强度，以保证印制电路板在后续的刻蚀、电镀等工艺中不产生脱落，因此需要对铜箔表面进行粗化处理，来增强铜箔的抗剥离强度。铜箔是一种阴质性电解材料，电解铜箔是由电解液中的铜离子在阴极滚筒（或者电板）上沉积而成的，铜箔紧贴阴极滚筒面的面称为光面，而另一面称为毛面。现有的粗化处理工艺对毛面的微蚀量不足、瘤化晶粒粗化度不足，这样会导致铜箔贴合在印制电路板之后刻蚀线路时出现线路浮离的现象，无法满足产品要求，影响到了印制电路板的生产效率和成片品质量。因此，有必要铜箔的毛面进行针对性处理，来满足高频高速电路的印制需求。常规手段是在铜箔的生产工艺中加入添加剂，以控制铜箔毛面的粗糙度，但是当铜箔厚度≥210μm时用加入添加剂的方法控铜箔毛面的粗糙度已不可能，同时由于超厚铜箔毛面粗糙度难以控制使得铜箔在从阴极辊表面剥离后通过剥离辊时，毛面铜颗粒与剥离辊的挤压使铜箔产生大面积针孔，严重影响到产品质量，甚至产品无法成型。

中国专利CN200920035908.0公开了一种旋转摇摆式阴极挂镀机，采用二个相互偏心的轮体，组合为一个多面摇摆旋转体，在旋转体的周边安装多个待镀件，与电源阴极接通，通过一组传动齿轮，带动多面体在电镀槽中作卧式旋转的同时上下摆动，使待镀件的位置时刻发生变化，每个表面上的深孔、窄缝内的溶液交换彻底、清洗彻底、镀层均匀，能满足现代通信产品的需要，并能节省水资源，可作自动生产线配套使用。

但是该装置是将镀件放置在多面体上，这样对于对面提和电镀槽的要求较高，生产成本变大。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种制造超厚电解铜箔的偏心摇摆抛磨机，该技术方案解决了超厚铜箔毛面粗糙度无法控制的问题，该偏心摇摆抛磨机在偏心摇摆驱动模组的驱动下，偏心摇摆体做偏心摇摆运动时，将铜箔毛面不规则铜粒子的尖峰磨掉，使铜箔毛面的粗糙度满足要求。

为解决上述技术问题，本发明提供以下技术方案：

提供一种制造超厚电解铜箔的偏心摇摆抛磨机，包括阴极辊、阳极槽、输液管道、出液机构、剥离辊、抛磨箱和抛磨机构，所述阴极辊的底部设有所述阳极槽，阴极辊的顶部设有所述输液管道，输液管道的侧部设有所述出液机构，输液管道用于投放硫酸铜溶液，出液机构用于控制输液管道进行出液，阴极辊浸泡在硫酸铜溶液泡部分的表面形成铜箔，阴极辊的侧部设有所述剥离辊，从阴极辊上揭下来的铜箔经剥离辊进入所述抛磨机构处，抛磨机构的底部设有用于盛放抛磨杂质的所述抛磨箱。

作为制造超厚电解铜箔的偏心摇摆抛磨机的一种优选方案，所述阳极槽的侧部设有溢流槽，所述溢流槽的边缘处设有溢流挡板，所述溢流挡板高出阳极槽的边缘设置。

作为制造超厚电解铜箔的偏心摇摆抛磨机的一种优选方案，所述输液管道包括进液口、出液口和滚动腔体，所述滚动腔体的顶端和底端分别设有所述进液口和所述出液口，所述出液机构包括出液控制箱和马尔蒂间歇运动组件，所述出液控制箱内设有所述马尔蒂间歇运动组件，马尔蒂间歇运动组件的输出端连接有流水转盘，所述流水转盘在滚动腔体内转动，流水转盘的外壁与滚动腔体的内壁相接触，流水转盘上圆周分布有个溶液槽体。

作为制造超厚电解铜箔的偏心摇摆抛磨机的一种优选方案，马尔蒂间歇运动组件包括出液驱动电机、出液减速机、出液主动齿轮、出液从动齿轮、第一连接轴、从动轮、缺口轮、销柱、马尔蒂十字架和第二连接轴，出液控制箱内设有所述出液驱动电机，出液驱动电机的输出轴传动连接有所述出液减速机，出液减速机的输出轴传动连接有所述出液主动齿轮，出液主动齿轮啮合有所述出液从动齿轮，出液从动齿轮套设在所述第一连接轴上，第一连接轴通过设置在出液控制箱内的转动安装座与出液控制箱内壁转动连接，第一连接轴上套设有所述从动轮，从动轮上设有缺口轮，缺口轮具有一缺口，缺口轮上偏心设有所述销柱，销柱位于所述缺口的外侧，缺口轮的侧部设有所述马尔蒂十字架，马尔蒂十字架上圆周分布有个弧形凹陷，弧形凹陷与溶液槽体的位置相对应，且弧形凹陷与缺口轮滑动接触，相邻的两个弧形凹陷之间设有滑槽，销柱在滑槽内滑动，马尔蒂十字架固定在所述第二连接轴上，第二连接轴远离马尔蒂十字架的一端端部设有流水转盘。

作为制造超厚电解铜箔的偏心摇摆抛磨机的一种优选方案，所述剥离辊的外部套设有橡胶套。

作为制造超厚电解铜箔的偏心摇摆抛磨机的一种优选方案，所述抛磨机构包括导向辊、偏心摇摆驱动模组和偏心摇摆体，铜箔铺设在所述导向辊的顶端，导向辊的顶部设有所述偏心摇摆体，偏心摇摆体的侧部设有所述偏心摇摆驱动模组，偏心摇摆驱动模组驱动偏心摇摆体在导向辊的顶部做偏心摇摆运动。

作为制造超厚电解铜箔的偏心摇摆抛磨机的一种优选方案，偏心摇摆驱动模组包括支撑架、抛磨驱动电机、抛磨减速机、主动轮、第一传送皮带、从动轮、过渡齿轮、传动轴和偏心轴套，所述支撑架上设有所述抛磨驱动电机，抛磨驱动电机的输出端传动连接有所述抛磨减速机，抛磨减速机的输出端传动连接有所述主动轮，主动轮通过所述第一传送皮带传动连接有所述从动轮，从动轮同轴连接有所述过渡齿轮，过渡齿轮啮合有所述传动齿轮，传动齿轮套设在所述传动轴上，传动轴上套设有所述偏心轴套，偏心轴套的偏心部分套设有偏心摇摆体。

作为制造超厚电解铜箔的偏心摇摆抛磨机的一种优选方案，偏心摇摆体包括旋转盘、连接架、安装板和抛磨板，所述连接架的两端分别连接有一个所述旋转盘，旋转盘设置为正多边形，所述连接架的每一个侧面上均设有一个安装板，所述安装板上设有所述抛磨板。

作为制造超厚电解铜箔的偏心摇摆抛磨机的一种优选方案，安装板内设有两条滑轨，每条所述滑轨上滑动连接有滑动座，所述滑动座上设有活动槽，所述活动槽内滑动连接有，抛磨板的侧边上设有供所述滚轮滑动的滑槽，抛磨板的顶端延伸出旋转盘外部，抛磨板的底端设有转动轴，安装板的底端设有翻转驱动电机，所述翻转驱动电机的输出轴传动连接有翻转主动轮，所述翻转主动轮传动连接有第二传送皮带，第二传送皮带还传动连接有翻转从动轮，所述翻转从动轮上套设在所述转动轴外部，安装板上设有转动支撑座，转动轴与所述转动支撑座转动连接。

作为制造超厚电解铜箔的偏心摇摆抛磨机的一种优选方案，导向辊的两侧均设有一对纠偏辊。

本发明与现有技术相比具有的有益效果是：

从进液口处流下的硫酸铜溶液会进入到滚动腔体中，并顺着进液口进入到与进液口处于连通状态的流水转盘上的溶液槽体内，如果两个溶液槽体之间的区域与进液口接触，那么该部分就会堵住进液口，由于每个溶液槽体的大小即容积是相等的，且在马尔蒂间隙运动组件的驱动下，做匀速的单次90°的旋转运动，因此进入到各个溶液槽体内的硫酸铜溶液的量大致是相等的，同时在流水转盘转动时，带动各个溶液槽体进行转动，溶液槽体的位置进行变换，盛放有硫酸铜溶液被转动至下一个位置，之后硫酸铜溶液进入到另一个空置的，且被转动至与进液口连通的溶液槽体内，当盛放有硫酸铜溶液的溶液槽体转动至与出液口连通状态时，硫酸铜溶液便能顺着出液口流入至阳极槽处，同理，如果两个溶液槽体之间的区域与出液口接触，那么该部分就会堵住出液口，因此只有当溶液槽体被转动至于出液口连通状态下，硫酸铜溶液才能从出液口处流出。在出液机构的驱动下，输液管道进行连续等量的出液。阴极辊浸泡在硫酸铜溶液泡部分的表面形成铜箔，阴极辊的侧部设有剥离辊，从阴极辊上揭下来的铜箔经剥离辊进入抛磨机构处，由于剥离辊上包有一层橡胶套，当铜箔的毛面接触到橡胶套时，铜箔毛面含有尖峰的不规则铜粒子压进橡胶套中，避免了这些不规则铜粒子与剥离辊的反作用力造成的铜箔表面形成针孔，影响到铜箔的质量。偏心摇摆体在偏心摇摆驱动模组的驱动下，做偏心摇摆运动时，位于导向辊上方且与导向辊距离最近的抛磨板会与铜箔表面接触，抛磨板将铜箔毛面不规则铜粒子的尖峰磨掉，使铜箔毛面的粗糙度达到≤20μm。

该偏心摇摆抛磨机通过在剥离辊包覆了一层橡胶套解决了毛面铜颗粒与剥离辊的挤压而使铜箔产生大面积针孔，而影响到产品质量的问题。解决了超 铜箔的制造过程中因极化时间过长，导致无法采用单一添加剂工艺的电解法来遏制铜离子还原过程中所产生的不规则且粗糙的铜瘤的问题，偏心摇摆体在偏心摇摆驱动模组的驱动下，做偏心摇摆运动时，抛磨板将铜箔毛面不规则铜粒子的尖峰磨掉，使铜箔毛面的粗糙度达到≤20μm。

附图说明

图1和图2为本发明两种不同视角下的结构示意图；

图3为本发明中阳阴极辊和阳极槽处的结构示意图；

图4为本发明中输液官大处的立体剖面图；

图5为本发明中出液控制箱内部的结构示意图；

图6为本发明中抛磨机构处的结构示意图；

图7为图6中A处的放大示意图；

图8为本发明中偏心轴套处的结构示意图；

图9和图10为本发明中偏心摇摆体处两种不同视角下结构示意图；

图11为本发明中抛磨板处的结构示意图一；

图12为图11中B处的放大示意图；

图13为本发明中抛磨板处的结构示意图二；

图14为图13中C处的放大示意图。

图中标号为：

1-阴极辊；

2-阳极槽；

3-溢流槽；3a-溢流挡板；

4-输液管道；4a-进液口；4b-出液口；4c-滚动腔体；4d-流水转盘；4d1-溶液槽体；

5-出液机构；5a-出液控制箱；5a1-转动安装座；5a2-轴承转动座；5b-出液驱动电机；5c-出液减速机；5d-出液主动齿轮；5e-出液从动齿轮；5f-第一连接轴；5g-从动轮；5h-缺口轮；5i-销柱；5j-马尔蒂十字架；5j1-弧形凹陷；5j2-滑槽；5k-第二连接轴；

6-剥离辊；6a-橡胶套；

7-抛磨箱；

8-抛磨机构；8a-导向辊；8b-支撑架；8c-抛磨驱动电机；8d-抛磨减速机；8e-主动轮；8f-第一传送皮带；8g-从动轮；8h-过渡齿轮；8i-传动齿轮；8j-传动轴；8k-偏心轴套；8l-旋转盘；8m-连接架；8n-安装板；8n1-滑轨；8o-抛磨板；8o1-滑槽；8o2-滑动座；8o3-滚轮；8p-翻转驱动电机；8q-翻转主动轮；8r-第二传送皮带；8s-翻转从动轮；8t-转动支撑座；8u-转动轴；

9-纠偏辊。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

请参阅图1和图2，该偏心摇摆抛磨机包括阴极辊1、阳极槽2、输液管道4、出液机构5、剥离辊6、抛磨箱7和抛磨机构8，阴极辊1的底部设有阳极槽2，阴极辊1的顶部设有输液管道4，输液管道4的侧部设有出液机构5，输液管道4用于投放硫酸铜溶液，出液机构5用于控制输液管道4进行出液，阴极辊1浸泡在硫酸铜溶液泡部分的表面形成铜箔，阴极辊1的侧部设有剥离辊6，从阴极辊1上揭下来的铜箔经剥离辊6进入抛磨机构8处，抛磨机构8的底部设有用于盛放抛磨杂质的抛磨箱7。从输液管道4处流出的硫酸铜溶液为含铜量在50-10g/L、含酸量在60-100g/L、温度在35-65℃的硫酸铜混合溶液，阳极槽2用来容纳硫酸铜溶液，阴极辊1为负极，阳极槽2为阳极，在阴极辊1和阳极槽2之间通入电流，根据电镀原理，在阴极辊1的浸泡在硫酸铜溶液部分的表面就会镀上一层铜离子，从而形成铜箔。之后，将铜箔从阴极辊1上揭下，顺着剥离辊6进入抛磨机构8，进行表面抛磨工艺。

请参阅图3，阳极槽2的侧部设有溢流槽3，溢流槽3的边缘处设有溢流挡板3a，溢流挡板3a高出阳极槽2的边缘设置，溢流槽3用来回收溢流的硫酸铜溶液，溢流槽3具有溢流出液口，将进液口4a和溢流出液口之间连通有循环装置，以进行硫酸铜溶液的回收利用。溢流挡板3a的设置用于将阳极槽2上溢流而出的硫酸铜溶液成功引入溢流槽3内。

请参阅图4，输液管道4包括进液口4a、出液口4b和滚动腔体4c，滚动腔体4c的顶端和底端分别设有进液口4a和出液口4b。请参阅图3和图5，出液机构5包括出液控制箱5a和马尔蒂间歇运动组件，出液控制箱5a内设有马尔蒂间歇运动组件，马尔蒂间歇运动组件的输出端连接有流水转盘4d，流水转盘4d在滚动腔体4c内转动，流水转盘4d的外壁与滚动腔体4c的内壁相接触，流水转盘4d上圆周分布有4个溶液槽体4d1。马尔蒂间歇运动组件包括出液驱动电机5b、出液减速机5c、出液主动齿轮5d、出液从动齿轮5e、第一连接轴5f、从动轮5g、缺口轮5h、销柱5i、马尔蒂十字架5j和第二连接轴5k，出液控制箱5a内设有出液驱动电机5b，出液驱动电机5b的输出轴传动连接有出液减速机5c，出液减速机5c的输出轴传动连接有出液主动齿轮5d，出液主动齿轮5d啮合有出液从动齿轮5e，出液从动齿轮5e套设在第一连接轴5f上，第一连接轴5f通过设置在出液控制箱5a内的转动安装座5a1与出液控制箱5a内壁转动连接，第一连接轴5f上套设有从动轮5g，从动轮5g上设有缺口轮5h，缺口轮5h具有一缺口，缺口轮5h上偏心设有销柱5i，销柱5i位于缺口的外侧，缺口轮5h的侧部设有马尔蒂十字架5j，马尔蒂十字架5j上圆周分布有4个弧形凹陷5j1，弧形凹陷5j1与溶液槽体4d1的位置相对应，且弧形凹陷5j1与缺口轮5h滑动接触，相邻的两个弧形凹陷5j1之间设有滑槽5j2，销柱5i在滑槽5j2内滑动，马尔蒂十字架5j固定在第二连接轴5k上，第二连接轴5k远离马尔蒂十字架5j的一端端部设有流水转盘4d。出液控制箱5a内的马尔蒂间歇运动组件工作时，驱动流水转盘4d以单次旋转90°的进行间歇旋转。从进液口4a处流下的硫酸铜溶液会进入到滚动腔体4c中，并顺着进液口4a进入到与进液口4a处于连通状态的流水转盘4d上的溶液槽体4d1内，如果两个溶液槽体4d1之间的区域与进液口4a接触，那么该部分就会堵住进液口4a，由于每个溶液槽体4d1的大小即容积是相等的，且在马尔蒂间隙运动组件的驱动下，做匀速的单次90°的旋转运动，因此进入到各个溶液槽体4d1内的硫酸铜溶液的量大致是相等的，同时在流水转盘4d转动时，带动各个溶液槽体4d1进行转动，溶液槽体4d1的位置进行变换，盛放有硫酸铜溶液被转动至下一个位置，之后硫酸铜溶液进入到另一个空置的，且被转动至与进液口4a连通的溶液槽体4d1内，当盛放有硫酸铜溶液的溶液槽体4d1转动至与出液口4b连通状态时，硫酸铜溶液便能顺着出液口4b流入至阳极槽2处，同理，如果两个溶液槽体4d1之间的区域与出液口4b接触，那么该部分就会堵住出液口4b，因此只有当溶液槽体4d1被转动至于出液口4b连通状态下，硫酸铜溶液才能从出液口4b处流出。在出液机构5的驱动下，输液管道4进行连续等量的出液，可以简单有效地控制用于电生成铜箔所需的硫酸铜溶液量，避免造成原料上的浪费。

请参阅图3，剥离辊6的外部套设有橡胶套6a，由于剥离辊6上包有一层橡胶套6a，当铜箔的毛面接触到橡胶套6a时，铜箔毛面含有尖峰的不规则铜粒子压进橡胶套6a中，避免了这些不规则铜粒子与剥离辊6的反作用力造成的铜箔表面形成针孔，影响到铜箔的质量。

请参阅图6，抛磨机构8包括导向辊8a、偏心摇摆驱动模组和偏心摇摆体，铜箔铺设在导向辊8a的顶端，导向辊8a的顶部设有偏心摇摆体，偏心摇摆体的侧部设有偏心摇摆驱动模组，偏心摇摆驱动模组驱动偏心摇摆体在导向辊8a的顶部做偏心摇摆运动。

具体的，请参阅图7和图8，偏心摇摆驱动模组包括支撑架8b、抛磨驱动电机8c、抛磨减速机8d、主动轮8e、第一传送皮带8f、从动轮8g、过渡齿轮8h、传动轴8j和偏心轴套8k，支撑架8b上设有抛磨驱动电机8c，抛磨驱动电机8c的输出端传动连接有抛磨减速机8d，抛磨减速机8d的输出端传动连接有主动轮8e，主动轮8e通过第一传送皮带8f传动连接有从动轮8g，从动轮8g同轴连接有过渡齿轮8h，过渡齿轮8h啮合有传动齿轮8i，传动齿轮8i套设在传动轴8j上，传动轴8j上套设有偏心轴套8k，偏心轴套8k的偏心部分套设有偏心摇摆体。当抛磨驱动电机8c工作时，通过抛磨减速机8d驱动主动轮8e转动，挡环主动轮8e转动时，通过第一传送皮带8f带动从动轮8g转动，从动轮8g同轴传动连接有过渡齿轮8h，因此过渡齿轮8h也会同步进行转动，过渡齿轮8h转动时，会带动传动齿轮8i转动，传动齿轮8i套设在传动轴8j上，传动轴8j上套设有偏心轴套8k，因此偏心轴套8k的偏心部分便会绕着传动轴8j会进行偏心旋转，带动偏心摇摆体进行转动的同时，上下摆动，即进行偏心摇摆运动。

请参阅图9和图10，偏心摇摆体包括旋转盘8l、连接架8m、安装板8n和抛磨板8o，连接架8m的两端分别连接有一个旋转盘8l，旋转盘8l设置为正多边形，连接架8m的每一个侧面上均设有一个安装板8n，安装板8n上设有抛磨板8o。抛磨板8o可以在安装板8n上进行位置的变化，当铜箔顺着导向辊8a和偏心摇摆体之间穿过时，偏心摇摆体在偏心摇摆驱动模组的驱动下，做偏心摇摆运动时，位于导向辊8a上方且与导向辊8a距离最近的抛磨板8o会与铜箔表面接触，抛磨板8o将铜箔毛面不规则铜粒子的尖峰磨掉，使铜箔毛面的粗糙度达到≤20μm。偏心摇摆驱动模组通过控制抛磨驱动电机8c的转动速率，控制对应的抛磨板8o对铜箔的抛磨力度。在本实施例中，旋转盘8l设置为正多边形，根据工艺要求可以选择设置旋转盘8l所安装的安装板8n的数量，以交替进行多段抛磨，使铜箔的毛面的粗糙度达到≤20μm。

请参阅图2，在本实施例中，导向辊8a的两侧均设有一对纠偏辊9，纠偏辊9的设置使得同步可以顺利进入到抛磨机构8处，进行表面粗糙度的抛磨工序，同时抛磨完成之后，引导铜箔进入下一道工序处。

请参阅图11、图12、图13和图14，安装板8n内设有两条滑轨8n1，每条滑轨8n1上滑动连接有滑动座8o2，滑动座8o2上设有活动槽，活动槽内滑动连接有滚轮8o3，抛磨板8o的侧边上设有供滚轮8o3滑动的滑槽8o1，抛磨板8o的顶端延伸出旋转盘8l外部，抛磨板8o的底端设有转动轴8u，安装板8n的底端设有翻转驱动电机8p，翻转驱动电机8p的输出轴传动连接有翻转主动轮8q，翻转主动轮8q传动连接有第二传送皮带8r，第二传送皮带8r还传动连接有翻转从动轮8s，翻转从动轮8s上套设在转动轴8u外部，安装板8n上设有转动支撑座8t，转动轴8u与转动支撑座8t转动连接。当翻转驱动电机8p工作时，打动翻转主动轮8q转动，翻转主动轮8q转动时通过第二传送皮带8r带动翻转从动轮8s同步转动，当翻转从动轮8s转动时带动转动轴8u转动，即带动抛磨板8o绕着与转动支撑座8t的铰接点进行翻转，在抛磨板8o翻转时，滚轮8o3在滑槽8o1内滑动，同时滚轮8o3在滑动座8o2的活动槽内滑动。滑动座8o2在滑轨8n1内滑动，通过以上组件的设置，使得抛磨板8o翻转的角度可控。当抛磨板8o做翻转运动时，对铜箔毛面上的尖锋、窄缝进行彻底的抛磨，保证了抛磨的效果。

本发明的工作原理为：从进液口4a处流下的硫酸铜溶液会进入到滚动腔体4c中，并顺着进液口4a进入到与进液口4a处于连通状态的流水转盘4d上的溶液槽体4d1内，如果两个溶液槽体4d1之间的区域与进液口4a接触，那么该部分就会堵住进液口4a，由于每个溶液槽体4d1的大小即容积是相等的，且在马尔蒂间隙运动组件的驱动下，做匀速的单次90°的旋转运动，因此进入到各个溶液槽体4d1内的硫酸铜溶液的量大致是相等的，同时在流水转盘4d转动时，带动各个溶液槽体4d1进行转动，溶液槽体4d1的位置进行变换，盛放有硫酸铜溶液被转动至下一个位置，之后硫酸铜溶液进入到另一个空置的，且被转动至与进液口4a连通的溶液槽体4d1内，当盛放有硫酸铜溶液的溶液槽体4d1转动至与出液口4b连通状态时，硫酸铜溶液便能顺着出液口4b流入至阳极槽2处，同理，如果两个溶液槽体4d1之间的区域与出液口4b接触，那么该部分就会堵住出液口4b，因此只有当溶液槽体4d1被转动至于出液口4b连通状态下，硫酸铜溶液才能从出液口4b处流出。在出液机构5的驱动下，输液管道4进行连续等量的出液。阴极辊1浸泡在硫酸铜溶液泡部分的表面形成铜箔，阴极辊1的侧部设有剥离辊6，从阴极辊1上揭下来的铜箔经剥离辊6进入抛磨机构8处，由于剥离辊6上包有一层橡胶套6a，当铜箔的毛面接触到橡胶套6a时，铜箔毛面含有尖峰的不规则铜粒子压进橡胶套6a中，避免了这些不规则铜粒子与剥离辊6的反作用力造成的铜箔表面形成针孔，影响到铜箔的质量。偏心摇摆体在偏心摇摆驱动模组的驱动下，做偏心摇摆运动时，位于导向辊8a上方且与导向辊8a距离最近的抛磨板8o会与铜箔表面接触，抛磨板8o将铜箔毛面不规则铜粒子的尖峰磨掉，使铜箔毛面的粗糙度达到≤20μm。

该偏心摇摆抛磨机通过在剥离辊6包覆了一层橡胶套6a解决了毛面铜颗粒与剥离辊的挤压而使铜箔产生大面积针孔，而影响到产品质量的问题。解决了超 铜箔的制造过程中因极化时间过长，导致无法采用单一添加剂工艺的电解法来遏制铜离子还原过程中所产生的不规则且粗糙的铜瘤的问题，偏心摇摆体在偏心摇摆驱动模组的驱动下，做偏心摇摆运动时，抛磨板8o将铜箔毛面不规则铜粒子的尖峰磨掉，使铜箔毛面的粗糙度达到≤20μm。

Claims (10)

1.一种制造超厚电解铜箔的偏心摇摆抛磨机，其特征在于，包括阴极辊（1）、阳极槽（2）、输液管道（4）、出液机构（5）、剥离辊（6）、抛磨箱（7）和抛磨机构（8），所述阴极辊（1）的底部设有所述阳极槽（2），阴极辊（1）的顶部设有所述输液管道（4），输液管道（4）的侧部设有所述出液机构（5），输液管道（4）用于投放硫酸铜溶液，出液机构（5）用于控制输液管道（4）进行出液，阴极辊（1）浸泡在硫酸铜溶液泡部分的表面形成铜箔，阴极辊（1）的侧部设有所述剥离辊（6），从阴极辊（1）上揭下来的铜箔经剥离辊（6）进入所述抛磨机构（8）处，抛磨机构（8）的底部设有用于盛放抛磨杂质的所述抛磨箱（7）。

2.根据权利要求1所述的一种制造超厚电解铜箔的偏心摇摆抛磨机，其特征在于，所述阳极槽（2）的侧部设有溢流槽（3），所述溢流槽（3）的边缘处设有溢流挡板（3a），所述溢流挡板（3a）高出阳极槽（2）的边缘设置。

3.根据权利要求2所述的一种制造超厚电解铜箔的偏心摇摆抛磨机，其特征在于，所述输液管道（4）包括进液口（4a）、出液口（4b）和滚动腔体（4c），所述滚动腔体（4c）的顶端和底端分别设有所述进液口（4a）和所述出液口（4b），所述出液机构（5）包括出液控制箱（5a）和马尔蒂间歇运动组件，所述出液控制箱（5a）内设有所述马尔蒂间歇运动组件，马尔蒂间歇运动组件的输出端连接有流水转盘（4d），所述流水转盘（4d）在滚动腔体（4c）内转动，流水转盘（4d）的外壁与滚动腔体（4c）的内壁相接触，流水转盘（4d）上圆周分布有4个溶液槽体（4d1）。

4.根据权利要求3所述的一种制造超厚电解铜箔的偏心摇摆抛磨机，其特征在于，马尔蒂间歇运动组件包括出液驱动电机（5b）、出液减速机（5c）、出液主动齿轮（5d）、出液从动齿轮（5e）、第一连接轴（5f）、从动轮（5g）、缺口轮（5h）、销柱（5i）、马尔蒂十字架（5j）和第二连接轴（5k），出液控制箱（5a）内设有所述出液驱动电机（5b），出液驱动电机（5b）的输出轴传动连接有所述出液减速机（5c），出液减速机（5c）的输出轴传动连接有所述出液主动齿轮（5d），出液主动齿轮（5d）啮合有所述出液从动齿轮（5e），出液从动齿轮（5e）套设在所述第一连接轴（5f）上，第一连接轴（5f）通过设置在出液控制箱（5a）内的转动安装座（5a1）与出液控制箱（5a）内壁转动连接，第一连接轴（5f）上套设有所述从动轮（5g），从动轮（5g）上设有缺口轮（5h），缺口轮（5h）具有一缺口，缺口轮（5h）上偏心设有所述销柱（5i），销柱（5i）位于所述缺口的外侧，缺口轮（5h）的侧部设有所述马尔蒂十字架（5j），马尔蒂十字架（5j）上圆周分布有4个弧形凹陷（5j1），弧形凹陷（5j1）与溶液槽体（4d1）的位置相对应，且弧形凹陷（5j1）与缺口轮（5h）滑动接触，相邻的两个弧形凹陷（5j1）之间设有滑槽（5j2），销柱（5i）在滑槽（5j2）内滑动，马尔蒂十字架（5j）固定在所述第二连接轴（5k）上，第二连接轴（5k）远离马尔蒂十字架（5j）的一端端部设有流水转盘（4d）。

5.根据权利要求4所述的一种制造超厚电解铜箔的偏心摇摆抛磨机，其特征在于，所述剥离辊（6）的外部套设有橡胶套（6a）。

6.根据权利要求5所述的一种制造超厚电解铜箔的偏心摇摆抛磨机，其特征在于，所述抛磨机构（8）包括导向辊（8a）、偏心摇摆驱动模组和偏心摇摆体，铜箔铺设在所述导向辊（8a）的顶端，导向辊（8a）的顶部设有所述偏心摇摆体，偏心摇摆体的侧部设有所述偏心摇摆驱动模组，偏心摇摆驱动模组驱动偏心摇摆体在导向辊（8a）的顶部做偏心摇摆运动。

7.根据权利要求6所述的一种制造超厚电解铜箔的偏心摇摆抛磨机，其特征在于，偏心摇摆驱动模组包括支撑架（8b）、抛磨驱动电机（8c）、抛磨减速机（8d）、主动轮（8e）、第一传送皮带（8f）、从动轮（8g）、过渡齿轮（8h）、传动轴（8j）和偏心轴套（8k），所述支撑架（8b）上设有所述抛磨驱动电机（8c），抛磨驱动电机（8c）的输出端传动连接有所述抛磨减速机（8d），抛磨减速机（8d）的输出端传动连接有所述主动轮（8e），主动轮（8e）通过所述第一传送皮带（8f）传动连接有所述从动轮（8g），从动轮（8g）同轴连接有所述过渡齿轮（8h），过渡齿轮（8h）啮合有所述传动齿轮（8i），传动齿轮（8i）套设在所述传动轴（8j）上，传动轴（8j）上套设有所述偏心轴套（8k），偏心轴套（8k）的偏心部分套设有偏心摇摆体。

8.根据权利要求7所述的一种制造超厚电解铜箔的偏心摇摆抛磨机，其特征在于，偏心摇摆体包括旋转盘（8l）、连接架（8m）、安装板（8n）和抛磨板（8o），所述连接架（8m）的两端分别连接有一个所述旋转盘（8l），旋转盘（8l）设置为正多边形，所述连接架（8m）的每一个侧面上均设有一个安装板（8n），所述安装板（8n）上设有所述抛磨板（8o）。

9.根据权利要求8所述的一种制造超厚电解铜箔的偏心摇摆抛磨机，其特征在于，安装板（8n）内设有两条滑轨（8n1），每条所述滑轨（8n1）上滑动连接有滑动座（8o2），所述滑动座（8o2）上设有活动槽，所述活动槽内滑动连接有滚轮（8o3），抛磨板（8o）的侧边上设有供所述滚轮（8o3）滑动的滑槽（8o1），抛磨板（8o）的顶端延伸出旋转盘（8l）外部，抛磨板（8o）的底端设有转动轴（8u），安装板（8n）的底端设有翻转驱动电机（8p），所述翻转驱动电机（8p）的输出轴传动连接有翻转主动轮（8q），所述翻转主动轮（8q）传动连接有第二传送皮带（8r），第二传送皮带（8r）还传动连接有翻转从动轮（8s），所述翻转从动轮（8s）上套设在所述转动轴（8u）外部，安装板（8n）上设有转动支撑座（8t），转动轴（8u）与所述转动支撑座（8t）转动连接。

10.根据权利要求9所述的一种制造超厚电解铜箔的偏心摇摆抛磨机，其特征在于，导向辊（8a）的两侧均设有一对纠偏辊（9）。

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