CN111361967B - 一种卡夹校正装置和卡夹校正设备 - Google Patents

一种卡夹校正装置和卡夹校正设备 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种卡夹校正装置,其中,包括:校正机构和检测机构;所述检测机构包括检测触片和检测传感器;所述校正机构和所述检测传感器均设置在一承载台上,所述校正机构包括驱动部和与所述驱动部连接的推动部;所述推动部用于在所述驱动部的驱动下推动所述承载台上的卡夹,以校正所述卡夹的位置;所述检测触片可拆卸地设置在所述推动部上,用于在所述卡夹的位置被校正后触发所述检测传感器,所述检测传感器用于在被所述检测触片触发后输出校正完成信号。本发明还提供一种卡夹校正设备。本发明可以使检测机构在卡夹具有较大尺寸误差时依然可以输出校正完成信号,提高校正检测的正确率。

Description

一种卡夹校正装置和卡夹校正设备
技术领域
本发明涉及显示产品的生产技术领域,具体涉及一种卡夹校正装置和卡夹校正设备。
背景技术
在显示面板生产工艺段中,其中有一个工艺步骤为将用于承载显示基板的卡夹校正定位,图1和图2为现有技术中卡夹校正装置的两个状态的示意图,如图1和图2所示,卡夹校正装置包括驱动气缸01和推动部02,推动部02在驱动气缸01的活塞杆011的驱动下沿直线运动,从而使推动部02的导向轮021推动卡夹,以校正卡夹的位置。图1为推动部02未被驱动时的示意图,图2为推动部02被驱动后的示意图,如图1和图2所示,卡夹校正装置还包括检测模块,用于检测卡夹是否校正完成。检测模块包括磁感应开关03和磁环04,其中,磁感应开关03设置在驱动气缸01上的T型槽A中,磁环04位于驱动气缸01内部,并固定设置在驱动气缸01的活塞杆011上。驱动气缸01驱动推动部02运动时,磁环04与推动部02的相对位置保持不变,而磁环04与磁感应开关03之间的位置发生变化,当磁环04超出磁感应开关03的感应范围内时,磁感应开关03输出校正完成信号。
但是,在目前的生产工艺过程中,卡夹的实际尺寸与设计尺寸存在误差,由于磁感应开关03的感应范围固定,且磁环04固定设置在驱动部内,因此,对于尺寸误差较大的卡夹而言,在检测卡夹是否校正到位时,会发生因卡夹较小而导致推动部提前停止的情况,此时,磁环04未超出磁感应开关03的感应范围的情况,致使磁感应开关7没有输出校正完成信号,出现检测错误。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一,提出了一种卡夹校正装置和卡夹校正设备。
为了实现上述目的,本发明提供一种卡夹校正装置,其中,包括:校正机构和检测机构;所述检测机构包括检测触片和检测传感器;
所述校正机构和所述检测传感器均设置在一承载台上,所述校正机构包括驱动部和与所述驱动部连接的推动部;所述推动部用于在所述驱动部的驱动下推动所述承载台上的卡夹,以校正所述卡夹的位置;
所述检测触片可拆卸地设置在所述推动部上,用于在所述卡夹的位置被校正后触发所述检测传感器,所述检测传感器用于在被所述检测触片触发后输出校正完成信号。
可选地,所述检测传感器为光电传感器。
可选地,所述检测传感器包括:相对设置的光发射件和光接收件,所述检测触片能够移动至所述光发射件和所述光接收件之间;
所述光接收件用于在接收不到所述光发射件发射的光线时,输出所述校正完成信号。
可选地,所述光发射件和所述光接收件上设置有用于标记光线发射路径的标记线。
可选地,所述检测机构还包括:调整板,所述检测传感器设置在所述调整板上;
所述调整板上设置有第一条形限位孔,所述第一条形限位孔沿所述推动部的运动方向延伸,所述第一条形限位孔与第一紧固件配合以将所述调整板固定在所述承载台上。
可选地,所述推动部包括推板和支撑板,所述推板与所述驱动部相连;所述支撑板设置在所述推板远离所述承载台的一端;
所述检测触片设置在所述支撑板的侧壁上。
可选地,所述推动部还包括支撑杆和设置在所述支撑杆上的导向轮,所述支撑杆的一端与所述支撑板相连,所述支撑杆的另一端与所述导向轮的转轴相连;
所述推动部通过所述导向轮推动所述卡夹运动。
可选地,所述检测触片上设置有第二条形限位孔,所述第二条形限位孔沿所述支撑板的侧壁的长度方向延伸;
所述第二条形限位孔与第二紧固件配合以将所述检测触片固定于所述支撑板的侧壁上。
本发明还提供一种卡夹校正设备,其中,包括:承载台和设置在所述承载台上的第一卡夹校正装置和浮动平台,所述浮动平台用于支撑所述卡夹,所述第一卡夹校正装置为上述的卡夹校正装置。
可选地,所述卡夹校正设备还包括:第二卡夹校正装置;
所述第二卡夹校正装置用于依次沿第一方向、第二方向推动所述卡夹,以校正所述卡夹的放置方向;所述第一卡夹校正装置用于在所述第二卡夹校正装置校正了所述卡夹的放置方向后,推动所述卡夹,以校正所述卡夹的位置。
本发明具有以下有益效果:
采用本发明的卡夹校正装置,其将检测触片可拆卸地设置在推动部上,检测触片用于在卡夹的位置被校正后,触发检测传感器输出校正完成信号,因此,本发明可以通过设置较大尺寸的检测触片,以使检测机构在推动部提前或滞后停止时依然可以被触发,从而在卡夹具有较大尺寸误差时可以正确输出校正完成信号,提高校正检测的正确率。
附图说明
附图是用来提供对本发明的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与下面的具体实施方式一起用于解释本发明,但并不构成对本发明的限制。在附图中:
图1和图2为现有技术中卡夹校正装置的两个状态的示意图;
图3为本发明实施例提供的卡夹校正装置的示意图;
图4为本发明实施例提供的检测传感器和调整板的结构示意图;
图5为本发明实施例提供的卡夹校正装置设置在承载台上的示意图;
图6为本发明实施例中推动部的侧视图;
图7a为本发明实施例提供的卡夹校正前的示意图;
图7b为本发明实施例提供的卡夹校正后的示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是,此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明,并不用于限制本发明。
本发明实施例提供一种卡夹校正装置,图3为本发明实施例提供的卡夹校正装置的示意图,图4为本发明实施例提供的检测传感器和调整板的结构示意图,图5为本发明实施例提供的卡夹校正装置设置在承载台上的示意图,如图3至图5所示,卡夹校正装置包括:校正机构10和检测机构20。检测机构20包括检测触片21和检测传感器22。校正机构10和检测传感器22均设置在一承载台4上,校正机构10包括驱动部12和与该驱动部12连接的推动部11。推动部11用于在驱动部12的驱动下推动承载台4上的卡夹,以校正卡夹的位置。检测触片21可拆卸地设置在推动部11上,用于在卡夹的位置被校正后触发检测传感器22,检测传感器22用于在被检测触片21触发后输出校正完成信号。
在本发明实施例中,卡夹可以是用于承载显示基板的卡夹,驱动部12可以为气缸,推动部11可以包括与卡夹接触的推动件(如导向轮),推动部11可以通过推动件推动卡夹沿图3中箭头所指的方向运动。检测触片21可以通过螺丝和螺孔可拆卸的设置在推动部11上,检测传感器22可以是声波传感器也可以是光电传感器。
推动部11设置在驱动部12的一侧,推动部11可以在驱动部12的驱动下,沿图3中的左右方向移动,由于检测触片21设置在推动部11上,因此检测触片21可以沿推动部11的移动方向移动。检测传感器22可以设置在检测触片21的移动轨迹上,检测传感器22可以朝向检测触片21的移动区域发射检测信号,且发射的检测信号与检测触片21的移动轨迹交叉,以使检测触片21在移动时可以遮挡检测传感器22发射的检测信号,当检测信号被检测触片21遮挡时,检测传感器22被触发,进而输出校正完成信号。
采用本发明实施例的卡夹校正装置,其将检测触片21可拆卸地设置在推动部11上,检测触片21在卡夹的位置被校正后,触发检测传感器22输出校正完成信号,因此,本发明实施例可以通过设置较大尺寸的检测触片21,使检测机构20在推动部11提前停止时依然可以被触发,从而提高校正检测的正确率。
下面结合图3至图6对本发明实施例的卡夹校正装置进行详细介绍,具体地,检测传感器22为光电传感器,检测信号为光信号。如图4所示,检测传感器22包括:本体22c以及设置在本体22c上的光发射件22a和光接收件22b,光发射件22a和光接收件22b相对设置。检测触片21能够移动至光发射件22a和光接收件22b之间。光接收件22b用于在接收不到光发射件22a发射的光线时,输出校正完成信号。
在一些具体实施例中,光发射件22a和光接收件22b上设置有用于标记光线发射路径的标记线L。检测触片21经过标记线L时,光接收件22b输出校正完成信号。具体地,标记线L可以分为两段,两段标记线L分别刻在光发射件22a和光接收件22b的壳体上,用于标记光线的发射路径。这样,当检测触片21移动至标记线L的位置时,检测触片21就可以遮挡住光发射件22a发出的光线,使光接收件22b无法接收到光发射件22a发射的光线,从而使光接收件22b输出校正完成信号。标记线L可以标识出检测传感器22的触发位置,从而有利于安装人员调试安装。
如图4所示,检测机构20还包括:调整板24,检测传感器22设置在调整板24上。调整板24上设置有第一条形限位孔B,第一条形限位孔B沿推动部11的运动方向延伸,第一条形限位孔B与第一紧固件配合以将调整板24固定在承载台4上。
具体地,第一紧固件可以包括螺丝和设置在承载台4上的螺孔,螺丝可以在穿过第一条形限位孔B后,通过外螺纹与螺孔的内螺纹相配合,将第一条形限位孔B固定在承载台4上。第一条形限位孔B可以为长圆形孔,且第一条形限位孔B沿推动部11的运动方向延伸,因此,调整板24的位置可以沿第一条形限位孔B的延伸方向(图4中的左右方向)进行调整移动。同时,还可以通过调整第一条形限位孔B的宽度,使调整板24还可以沿图4中的上下方向做微量移动。其中,第一条形限位孔B的宽度是指第一条形限位孔B沿图4中的上下方向的尺寸。
图6为本发明实施例中推动部的侧视图,结合图5和图6所示,推动部11包括推板11a和支撑板11b,推板11a与驱动部12相连。支撑板11b设置在推板11a远离承载台4的一端。检测触片21设置在支撑板11b的侧壁上。
在本发明实施例中,驱动部12可以为驱动气缸,驱动气缸通过活塞杆驱动推板11a沿图5中的箭头所示的方向移动,另外,推板11a还可以与导向杆121连接,导向杆121设置在驱动气缸的壳体上,用于对推板11a进行导向。检测触片21包括用于安装的部分和用于遮挡检测信号的部分,检测触片21用于安装的部分设置在支撑板11b的侧壁上,检测触片21用于遮挡检测信号的部分可以延伸至推动部11的外侧,并悬空设置,从而避免推动部11上的其他部件对检测触片21的遮挡效果造成干扰。检测触片21用于遮挡检测信号的部分包括两个相对的遮挡面,遮挡面可以阻挡声波或光线穿过,且其中一个遮挡面朝向推动部11。在本发明实施例中,可以通过选取适当尺寸的检测触片21,以满足各种误差范围的校正检测,从而降低校正检测的误报率,具体地,检测触片21的尺寸D可以设置在10mm到15mm之间。
在一些具体实施例中,推动部11还包括支撑杆11c和设置在支撑杆上11c的导向轮11d,支撑杆11c的一端与支撑板11b相连,支撑杆11c的另一端与导向轮11d的转轴相连。推动部11通过导向轮11d推动卡夹运动。由于导向轮11d可以转动,因此在导向轮11d和卡夹接触时,可以减少因硬接触导致的卡夹磨损问题。
在一些具体实施例中,检测触片21上设置有第二条形限位孔C,第二条形限位孔C沿推板11a的移动方向延伸。例如,第二条形限位孔C可以为长圆形孔。第二条形限位孔C与第二紧固件17配合,以将检测触片21固定于支撑板11b的侧壁上。具体地,第二紧固件17可以包括螺丝,螺丝可以在穿过第二条形限位孔C后,与设置在支撑板11b上的螺孔相配合,从而将检测触片21固定在支撑板11b上。此时,检测触片21的位置可以沿图5中的左右方向进行调整移动。
本发明实施例还提供一种卡夹校正设备,图7a为本发明实施例提供的卡夹校正前的示意图,图7b为本发明实施例提供的卡夹校正后的示意图,如图3至图7b所示,卡夹校正设备包括:承载台4和设置在承载台4上的第一卡夹校正装置2和浮动平台1,浮动平台1用于支撑卡夹5,第一卡夹校正装置2为上述的卡夹校正装置。
具体地,卡夹5可以用于承载显示基板,第一卡夹校正装置2包括用于与卡夹5接触的导向轮11d,第一卡夹校正装置2通过导向轮11d推动卡夹5运动。第一卡夹校正装置2包括推动部11和驱动部12。推动部11设置在驱动部12的一侧,推动部11可以在驱动部12的驱动下,沿图3中的左右方向移动,由于检测触片21设置在推动部11上,因此检测触片21可以沿推动部11的移动方向移动。检测传感器22可以设置在检测触片21的移动轨迹上,检测传感器22可以朝向检测触片21的移动区域发射检测信号,且发射的检测信号与检测触片21的移动轨迹交叉,以使检测触片21在移动时可以遮挡检测传感器22发射的检测信号,当检测信号被检测触片21遮挡时,检测传感器22触发,进而输出校正完成信号。
采用本发明实施例的卡夹校正设备,其中的第一卡夹校正装置2在卡夹5具有较大尺寸误差时依然可以输出校正完成信号,提高了校正检测的正确率。
在一些具体实施例中,卡夹校正设备还包括:第二卡夹校正装置6。第二卡夹校正装置6用于依次沿第一方向、第二方向推动卡夹5。第一卡夹校正装置2用于在第二卡夹校正装置6校正了卡夹5的放置方向后,推动卡夹5,以校正卡夹5的位置。第一卡夹校正装置2和第二卡夹校正装置5的推动方向均朝向卡夹5的外部。
其中,第一方向和第二方向可以分别与承载台4的两个相邻侧边平行且指向承载台外部。例如,第一方向和第二方向可以如图7b中所标识的方向;当然,第一方向和第二方向也可以为其他方向,例如,将图7b中所标识的第一方向和第二方向进行互换。
在实际应用中,卡夹5的横截面可以为矩形结构。第一卡夹校正装置2和第二卡夹装置6分别对应于卡夹5对角线上的两个角部。第二卡夹校正装置6可以根据预设校正参数,依次沿第一方向和第二方向,将卡夹5的两个侧壁推动至目标位置,第一卡夹校正装置2在第二卡夹校正装置6推动完成后,沿图7b中的斜向箭头所指的第三方向推动卡夹5,使卡夹5被第一卡夹校正装置2和第二卡夹校正装置6卡紧固定。其中,卡夹校正设备可以包括一个第一卡夹校正装置2和两个第二卡夹校正装置6,两个第二卡夹校正装置6均包括一个导向轮11d,每个第二卡夹校正装置6通过各自的导向轮11d推动与其相邻的其中一个卡夹侧壁。第一卡夹校正装置2包括两个导向轮,第一卡夹校正装置2通过两个导向轮同时推动与其相邻的两个卡夹侧壁。
可以理解的是,以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式,然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言,在不脱离本发明的精神和实质的情况下,可以做出各种变型和改进,这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (9)

1.一种卡夹校正装置,其特征在于,包括:校正机构和检测机构;所述检测机构包括检测触片和检测传感器;
所述校正机构和所述检测传感器均设置在一承载台上,所述校正机构包括驱动部和与所述驱动部连接的推动部;所述推动部用于在所述驱动部的驱动下推动所述承载台上的卡夹,以校正所述卡夹的位置;
所述检测触片可拆卸地设置在所述推动部上,用于在所述卡夹的位置被校正后触发所述检测传感器,所述检测传感器用于在被所述检测触片触发后输出校正完成信号;所述检测触片的尺寸被设置为使所述检测传感器可以在所述推动部提前停止时被触发;
所述检测机构还包括:调整板,所述检测传感器设置在所述调整板上;
所述调整板上设置有第一条形限位孔,所述第一条形限位孔沿所述推动部的运动方向延伸,所述第一条形限位孔与第一紧固件配合以将所述调整板固定在所述承载台上。
2.根据权利要求1所述的卡夹校正装置,其特征在于,所述检测传感器为光电传感器。
3.根据权利要求2所述的卡夹校正装置,其特征在于,所述检测传感器包括:相对设置的光发射件和光接收件,所述检测触片能够移动至所述光发射件和所述光接收件之间;
所述光接收件用于在接收不到所述光发射件发射的光线时,输出所述校正完成信号。
4.根据权利要求3所述的卡夹校正装置,其特征在于,所述光发射件和所述光接收件上设置有用于标记光线发射路径的标记线。
5.根据权利要求1所述的卡夹校正装置,其特征在于,所述推动部包括推板和支撑板,所述推板与所述驱动部相连;所述支撑板设置在所述推板远离所述承载台的一端;所述检测触片设置在所述支撑板的侧壁上。
6.根据权利要求5所述的卡夹校正装置,其特征在于,所述推动部还包括支撑杆和设置在所述支撑杆上的导向轮,所述支撑杆的一端与所述支撑板相连,所述支撑杆的另一端与所述导向轮的转轴相连;
所述推动部通过所述导向轮推动所述卡夹运动。
7.根据权利要求5所述的卡夹校正装置,其特征在于,所述检测触片上设置有第二条形限位孔,所述第二条形限位孔沿所述支撑板的侧壁的长度方向延伸;
所述第二条形限位孔与第二紧固件配合以将所述检测触片固定于所述支撑板的侧壁上。
8.一种卡夹校正设备,其特征在于,包括:承载台和设置在所述承载台上的第一卡夹校正装置和浮动平台,所述浮动平台用于支撑所述卡夹,所述第一卡夹校正装置为权利要求1至7中任意一项所述的卡夹校正装置。
9.根据权利要求8所述的卡夹校正设备,其特征在于,所述卡夹校正设备还包括:第二卡夹校正装置;
所述第二卡夹校正装置用于依次沿第一方向、第二方向推动所述卡夹,以校正所述卡夹的放置方向;所述第一卡夹校正装置用于在所述第二卡夹校正装置校正了所述卡夹的放置方向后,推动所述卡夹,以校正所述卡夹的位置。
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2723077A1 (fr) * 1994-07-29 1996-02-02 Sgs Thomson Microelectronics Appareil de chargement de plaquettes de semi-conducteur
JPH08255822A (ja) * 1995-03-16 1996-10-01 Metsukusu:Kk シリコンウェハー搬送装置
CN101907577A (zh) * 2010-07-13 2010-12-08 友达光电股份有限公司 卡匣校正系统及其方法
CN202058714U (zh) * 2011-04-06 2011-11-30 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 一种卡匣规正系统
CN205397502U (zh) * 2016-03-07 2016-07-27 盐城华星光电技术有限公司 Lcd液晶玻璃校正装置
CN207158315U (zh) * 2017-05-15 2018-03-30 苏州锦浩翔自动化有限公司 一种可调式定位机构

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2723077A1 (fr) * 1994-07-29 1996-02-02 Sgs Thomson Microelectronics Appareil de chargement de plaquettes de semi-conducteur
JPH08255822A (ja) * 1995-03-16 1996-10-01 Metsukusu:Kk シリコンウェハー搬送装置
CN101907577A (zh) * 2010-07-13 2010-12-08 友达光电股份有限公司 卡匣校正系统及其方法
CN202058714U (zh) * 2011-04-06 2011-11-30 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 一种卡匣规正系统
CN205397502U (zh) * 2016-03-07 2016-07-27 盐城华星光电技术有限公司 Lcd液晶玻璃校正装置
CN207158315U (zh) * 2017-05-15 2018-03-30 苏州锦浩翔自动化有限公司 一种可调式定位机构

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