CN111352231B - 一种透过率调整装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种透过率调整装置,包括:旋转中心区域,以及围绕旋转中心区域设置的环形结构;环形结构包括透过率调整区和完全透光区;透过率调整区垂直于旋转中心区域轴向的第一侧边与完全透光区垂直于旋转中心区域轴向的第三侧边连接;透过率调整区垂直于旋转中心区域轴向的第二侧边与完全透光区垂直于旋转中心区域轴向的第四侧边连接;透过率调整区设置有阵列排布的透光孔,透过率调整区的透光面积在沿围绕旋转中心区域的顺时针或逆时针方向上逐渐增大。本发明提供了一种透过率调整装置,以解决现有的机械式透过率调整装置的透过率调整上限受到限制,并且不能实现透过率的连续调整的问题。

Description

一种透过率调整装置
技术领域
本发明涉及光照技术领域,尤其涉及一种透过率调整装置。
背景技术
对于双光源或者多光源形式的照明系统,不同的光源在在同一功率下的光功率存在一定差异。例如,若光源为汞灯,对于多个汞灯的照明系统而言,不同汞灯在同一功率下的光功率存在2%左右的差异。当光功率存在偏差时,需要通过调整光源功率的方式使各光源光功率一致。但是本方式成本高昂,操作复杂,且时间较久。因此现常在照明系统中增设透过率调整装置,对照明系统发出的光线进行调整,获取更加均匀的光照条件。
透过率调整装置可采用光学式补偿器或机械式叶片。光学式补偿器沿光轴方向上占用空间较大,结构复杂,且成本较高;机械式叶片通过旋转的方式对照明面积进行遮挡调整,从而实现对照明系统的均光调整,现通常采用机械式叶片形成透过率调整装置,称为机械式透过率调整装置。
但是,现有的机械式透过率调整装置的透过率调整上限受到限制,并且不能够实现透过率的连续调整,不能够有效解决照明系统中各光源的光功率偏差问题。
发明内容
本发明实施例提供了一种透过率调整装置,以解决现有的机械式透过率调整装置的透过率调整上限受到限制,并且不能实现透过率的连续调整的问题。
本发明实施例提供了一种有机发光显示面板,包括:
旋转中心区域,以及围绕所述旋转中心区域设置的环形结构;所述环形结构包括透过率调整区和完全透光区;所述透过率调整区垂直于旋转中心区域轴向的第一侧边与所述完全透光区垂直于旋转中心区域轴向的第三侧边连接;所述透过率调整区垂直于旋转中心区域轴向的第二侧边与所述完全透光区垂直于旋转中心区域轴向的第四侧边连接;
所述透过率调整区设置有阵列排布的透光孔,所述透过率调整区的透光面积在沿围绕所述旋转中心区域的顺时针或逆时针方向上逐渐增大。
可选的,在沿围绕所述旋转中心区域的顺时针或逆时针方向上,所述透过率调整区的所述透光孔的孔密度相同,所述透光孔的尺寸逐渐增大。
可选的,在沿围绕所述旋转中心区域的顺时针或逆时针方向上,所述透过率调整区的所述透光孔的尺寸相同,所述透光孔的孔密度逐渐增大。
可选的,所述透过率调整区包括沿围绕所述旋转中心区域的顺时针或逆时针方向上依次设置的多个子调整区;各个所述子调整区的所述透光孔的孔密度相同;在沿围绕所述旋转中心区域的顺时针或逆时针方向上,不同所述子调整区的所述透光孔的尺寸逐渐增大。
可选的,所述透过率调整区包括沿围绕所述旋转中心区域的顺时针或逆时针方向上依次设置的多个子调整区;所述多个子调整区的设置的透光孔的尺寸相同;在沿围绕所述旋转中心区域的顺时针或逆时针方向上,不同所述子调整区的所述透光孔的孔密度逐渐增大。
可选的,所述多个子调整区的尺寸相同。
可选的,所述完全透光区的面积为所述子调整区的k倍;其中,k为正整数。
可选的,所述透过率调整区和完全透光区均为扇环形。
可选的,所述透过率调整区包括沿围绕所述旋转中心区域的顺时针或逆时针方向上依次设置的多个子调整区;各所述子调整区的透过率在沿围绕所述旋转中心区域的顺时针或逆时针方向上呈指数递增;其中,所述子调整区的透过率为该子调整区的透光面积与该子调整区的面积之比。
可选的,所述透过率调整区包括沿围绕所述旋转中心区域的顺时针或逆时针方向上依次设置的N个子调整区;其中,第X个子调整区的透过率为A%×(100/A)[(X-1)/X];A%为首个子调整区的透过率;N为正整数;X为大于等于1,且小于等于N的正整数。
可选的,所述透过率调整区包括沿围绕所述旋转中心区域的顺时针或逆时针方向上依次设置的M个子调整区;首个子调整区内未设置所述透光孔;其中,第Y个子调整区的透过率为B%×(100/A)[(Y-2)/Y-1];B%为第二个子调整区的透过率;M为正整数,Y为大于等于2,且小于等于M的正整数。
可选的,所述透光孔的形状为多边形。
可选的,所述多边形为正多边形。
可选的,所述透过率调整装置为不锈钢或者铝材料。
可选的,所述透过率调整装置通过3D打印工艺制成。
可选的,所述旋转中心区域设置有至少一个旋转轴接口,用于与外部旋转装置连接安装。
本发明中,透过率调整装置包括旋转中心区域以及围绕旋转中心区域设置的环形结构,环形结构包括透过率调整区和完全透光区,并且透过率调整区的垂直于旋转中心区域轴向的第一侧边与完全透光区垂直于旋转中心区域轴向的第三侧边拼接,透过率调整区的垂直于旋转中心区域轴向的第二侧边与完全透光区垂直于旋转中心区域轴向的第四侧边拼接,则透过率调整区和完全透光区相互拼接形成整个环形结构。透过率调整区设置有阵列排布的透光孔,使透过率调整区的透光面积在沿围绕所述旋转中心区域的顺时针或逆时针方向上逐渐增大,当以旋转中心区域为中心旋转透过率调整装置时,能够通过透过率调整区上逐渐变化的透光孔对光源发出的光线实现透过率的连续调整,并且因为完全透光区的存在,可实现光源100%的透过率,提高现有透过率调整装置的透过率上限。此外,可通过对透过率调整区上的透光面积大小的设置实现光源完全透光和不完全透光之间的平缓过渡,有利于保持透出光线的均匀性。
附图说明
图1是现有技术中的一种透过率调整装置的结构示意图;
图2是现有技术中另一种透过率调整装置的结构示意图;
图3是现有技术中又一种透过率调整装置的结构示意图;
图4是现有技术中又一种透过率调整装置的结构示意图;
图5是本发明实施例提供的一种透过率调整装置的结构示意图;
图6是本发明实施例提供的另一种透过率调整装置的结构示意图;
图7是本发明实施例提供的一种光瞳形貌图;
图8是本发明实施例提供的又一种透过率调整装置的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明,而非对本发明的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。
透过率调整装置作为光学系统的一部分,在实现透过率调整的同时还需要保持光学系统的静态均匀性、积分均匀性以及光瞳均匀性。静态均匀性是指透过率调整装置转动一定角度后实现光源的透过率均匀变化,积分均匀性是指透过率调整装置转动一定角度后实现透过率增加或减少的倍数速率均匀变化,而光瞳均匀性则是指透过率调整装置透过光源的光照面积的对称性分布。示例性的,对于以汞灯为光源的照明系统,在经过均光调整之前,其能量呈高斯分布,有很好的光瞳均匀性。
现有技术中有多种机械式透过率调整装置,示例性的,参考图1,图1是现有技术中的一种透过率调整装置的结构示意图,该透过率调整装置包括几个档位区域C1、C2以及C3,每个档位区域通过圆形孔实现透光,相邻圆形孔之间的区域为挡光区域,将光源放置在档位区域C1、C2以及C3分别能够实现光源的25%、50%以及75%的透过率,其透过率上限为75%,且该透过率调整装置每实现一次透过率调整需要转动一个档位区域,不能够实现透过率的连续调整。
参考图2,图2是现有技术中另一种透过率调整装置的结构示意图,该透过率调整装置在图1所示的结构基础上,通过在档位区域边缘开孔或者设置挡光区域来改变光源的透过率,档位区域C1实现了光源的20%~30%的透过率范围调整,档位区域C2实现了光源的45%~55%的透过率范围调整,档位区域C3实现了光源的70%~80%的透过率范围调整,但是档位区域边缘设置的挡光区域影响透过光线的光斑的对称性,即上述光瞳均匀性,并且透过率连续调整的范围依然较小。图2所示透过率调整装置的光学仿真结果如表1所示。在档位区域C1时,当光源的透过率为20%时,透过透过率调整装置的光斑的中心位置光瞳均匀性为6.57%,远高于光源透过率为25%时的中心位置光瞳均匀性1.60%。类似的,在档位区域C2时,当光源的透过率为45%时,中心位置光瞳均匀性为4.63%,远高于光源透过率为50%时的中心位置光瞳均匀性1.45%。
表1:图2所示透过率调整装置的光学仿真表
Figure BDA0001918348330000061
图3是现有技术中又一种透过率调整装置的结构示意图,图3示出的透过率调整装置通过针状孔实现透光,但由于材料强度和加工工艺限制,这些针状孔之间的挡光区域厚度受限。在低透过率时,例如,透过率小于50%时,光斑的光瞳均匀性会因针状孔之间相对较厚的挡光区域而严重恶化,参考表2,表2是图3所示的透过率调整装置的光学仿真表。通过表2可知,当光源的透过率为20%时,透过透过率调整装置的光斑的中心位置光瞳均匀性为6.8%,当光源的透过率为25%时,透过透过率调整装置的光斑的中心位置光瞳均匀性为5.95%,其光斑的中心位置光瞳均匀性较差,从而导致光源的均光效果较差,光照效果不佳。
表2:图3所示透过率调整装置的光学仿真表
透过率 中心位置光瞳均匀性
20% 6.8%
25% 5.95%
50% 3.5%
75% 1.7%
参考图4,图4是现有技术中又一种透过率调整装置的结构示意图,该透过率调整装置的透光孔为环形针状,通过改变环形针状的透光孔的宽窄来实现透过率的改变,该透过率调整装置的光源透过率范围为23%~33%,46%~60%以及64.5%~75%。参考表3,表3为图4所示透过率调整装置的光学仿真表,相对于图2所示的透过率调整装置,图4所示透过率调整装置的光瞳均匀性并未超过可接受范围。但是静态均匀性达到了1.04%,相对于原始静态均匀性0.83%,静态均匀性变差0.22%;积分均匀性达到了0.71%,相对于原始积分均匀性0.46%,积分均匀性变差0.25%。
表3:图4所示透过率调整装置的光学仿真表
Figure BDA0001918348330000071
Figure BDA0001918348330000081
综上,在现有技术提供的透过率调整装置中,暂无同时满足静态均匀性在2%以内、积分均匀性在1.5%以内和光瞳均匀性在5%以内,且真正实现透过率全档位连续调整的装置。此外,上述透过率调整装置的透过率调整上限大多为75%,对于光衰严重的光源而言,较低的透过率调整上限限制了其使用效率和使用年限。
本发明实施例提供了一种透过率调整装置,参考图5,图5是本发明实施例提供的一种透过率调整装置的结构示意图,包括:
旋转中心区域11,以及围绕旋转中心区域11设置的环形结构12;环形结构12包括透过率调整区121和完全透光区122;透过率调整区121垂直于旋转中心区域11轴向的第一侧边L1与完全透光区122垂直于旋转中心区域11轴向的第三侧边L3连接;透过率调整区121垂直于旋转中心区域11轴向的第二侧边L2与完全透光区122垂直于旋转中心区域11轴向的第四侧边L4连接;
透过率调整区121设置有阵列排布的透光孔13,透过率调整区121的透光面积在沿围绕旋转中心区域11的顺时针或逆时针方向上逐渐增大。
旋转中心区域11作为透过率调整装置的旋转中心,可使整个透过率调整装置以旋转中心区域11为中心进行顺时针或者逆时针的旋转运动。可选的,旋转中心区域11设置有至少一个旋转轴接口111,用于与外部旋转装置连接安装。将外部旋转设备的旋转轴穿过旋转轴接口111,旋转轴垂直于透过率调整装置所在平面,带动透过率调整装置转动。
环形结构12可围绕旋转中心区域11旋转,环形结构12包括透过率调整区121和完全透光区122,透过率调整区121垂直于旋转中心区域11轴向,即垂直于旋转轴的第一侧边L1,与完全透光区122同样垂直于旋转中心区域11轴向的第三侧边L3连接,即第一侧边L1和第三侧边L3互相重合。同样的,透过率调整区121垂于旋转中心区域11轴向的第二侧边L2与完全透光区122同样垂直于旋转中心区域11轴向的第四侧边L4连接,即第二侧边L2和第四侧边L4相互重合,透过率调整区121和完全透光区122相拼接形成环形结构12。
在环形结构12围绕旋转中心区域11旋转过程中,需要均光的光源可透过环形结构12出射光线,透过率调整区121上设置有阵列排布的透光孔13,并且阵列排布的透光孔13的透光面积在沿围绕旋转中心区域11的顺时针或者逆时针方向上逐渐增大,使得需要均光的光源的透过率在环形结构12旋转过程中逐渐增大或减小。示例性的,参考图5,当环形结构12围绕旋转中心区域11沿顺时针方向r1旋转时,正对光源的透过率调整区121的透光面积逐渐减小,则光源的透过率逐渐减小,直至完全透光区122经至光源,使得光源的透过率为100%,若继续沿顺时针方向r1旋转环形结构12,则光源的透过率再次逐渐减小。
若对透过率调整区121沿围绕旋转中心区域11的方向上设置范围更大的透光面积的上限和下限,则光源的透过率具有更大的调整范围,例如,可将透过率的调整范围设置在20%~100%,甚至将透过率的调整范围设置在0~100%,实现透过率的全档位连续调整,降低对光源的要求,例如,当光源为汞灯时,上述透过率调整装置能够解决多个汞灯因发光功率差异发出的光线不够均匀的情况。并且对于光衰严重的光源,可实现较高上限的透过率调整,得到较高亮度的光照效果,满足用户的光照需求。此外,上述透过率调整装置结构简单,透过率调整便捷,成本较低。
可选的,继续参考图5,环形结构12的大半径和小半径的差值ΔR大于光源照射的光斑15的直径,使得光源发出的光线均能照射至透过率调整区121和完全透光区122,从而进行均光处理。
本实施例提供的透过率调整装置,包括旋转中心区域以及围绕旋转中心区域设置的环形结构,环形结构包括透过率调整区和完全透光区,并且透过率调整区的垂直于旋转中心区域轴向的第一侧边与完全透光区垂直于旋转中心区域轴向的第三侧边拼接,透过率调整区的垂直于旋转中心区域轴向的第二侧边与完全透光区垂直于旋转中心区域轴向的第四侧边拼接,则透过率调整区和完全透光区相互拼接形成整个环形结构。透过率调整区设置有阵列排布的透光孔,使透过率调整区的透光面积在沿围绕所述旋转中心区域的顺时针或逆时针方向上逐渐增大,当以旋转中心区域为中心旋转透过率调整装置时,能够通过透过率调整区上逐渐变化的透光孔对光源发出的光线实现透过率的连续调整,并且因为完全透光区的存在,可实现光源100%的透过率,提高现有透过率调整装置的透过率上限。此外,可通过对透过率调整区上的透光面积大小的设置实现光源完全透光和不完全透光之间的平缓过渡,有利于保持透出光线的均匀性。
为了使透过率调整区121的透光面积在沿围绕旋转中心区域11的顺时针或逆时针方向上逐渐增大,可对透光孔13的孔密度进行调整,或者对透光孔13的尺寸进行调整,可选的,在沿围绕旋转中心区域11的顺时针或逆时针方向上,透过率调整区121的透光孔13孔密度相同,透光孔13的尺寸逐渐增大,如图5所示。或者,在沿围绕旋转中心区域11的顺时针或逆时针方向上,透过率调整区121的透光孔13尺寸相同,透光孔13的孔密度逐渐增大。
可选的,参考图6,图6是本发明实施例提供的另一种透过率调整装置的结构示意图,透过率调整区121包括沿围绕旋转中心区域11的顺时针或逆时针方向上依次设置的多个子调整区14;各个子调整区14的透光孔13的孔密度相同;在沿围绕旋转中心区域11的顺时针或逆时针方向上,不同子调整区14的透光孔14的尺寸逐渐增大。
图6所示的透过率调整装置通过调节透光孔13的尺寸来调整每个子调整区14的透光面积,虽然各个子调整区14的透光孔13的孔密度相同,但是因为在沿围绕旋转中心区域11的顺时针或逆时针方向上,各子调整区14的透光孔13的尺寸逐步增大,从而实现各子调整区14的透光面积的逐步增大。
可选的,当透过率调整区121包括沿围绕旋转中心区域11的顺时针或逆时针方向上依次设置的多个子调整区14时,多个子调整区14的设置的透光孔13的尺寸可以相同;在沿围绕旋转中心区域11的顺时针或逆时针方向上,不同子调整区14的透光孔13的孔密度逐渐增大。通过将依次设置的子调整区14的透光孔13的孔密度逐步增大,同样可以实现沿围绕旋转中心区域11的顺时针或逆时针方向上,依次设置的子调整区14的透光面积的逐步增大。
可选的,继续参考图6,多个子调整区14的尺寸可以相同,便于根据各个子调整区14的透过率快速定位需要设置的透过率的档位。示例性的,若相邻两个子调整区14对应的光源透过率分别为20%和25%,当根据用户需要,将光源的透过率设置为23%时,可首先快速将上述相邻两个子调整区14旋转至光源的光斑处,并在该相邻两个子调整区14之间进行位置的微调整,找到光源的透过率为23%时的位置,从而简化透过率调整过程。
可选的,完全透光区122的面积可以为子调整区14的k倍;其中,k为正整数。完全透光区122需要能够容纳待均光的光源的光斑面积,完全透光区122可以与子调整区14面积相同,也可以为子调整区14的正整数倍,示例性的,参考图6,完全透光区122的面积可以为子调整区14的3倍。
可选的,参考图5和图6,透过率调整区121和完全透光区122可均为扇环形,在此基础上,透过率调整区121包括的多个子调整区14也可为扇环形。此外,透过率调整区121、完全透光区122以及子调整区14还可以为其他规则或者不规则形状,例如,透过率调整区121、完全透光区122以及子调整区14均为等腰梯形等。
由上述可知,透过率调整区121包括沿围绕旋转中心区域11的顺时针或逆时针方向上依次设置的多个子调整区14,可选的,各子调整区14的透过率可在沿围绕旋转中心区域11的顺时针或逆时针方向上呈指数递增;其中,子调整区14的透过率为该子调整区14的透光面积与该子调整区14的面积之比。
当相邻子调整区14的透过率呈指数递增时,需要均光的光源依次经过相邻子调整区14时,从透过率调整装置出射的光线具有较高的均匀性,即具有更佳的静态均匀性、积分均匀性以及光瞳均匀性。
可选的,透过率调整区121包括沿围绕旋转中心区域11的顺时针或逆时针方向上依次设置的N个子调整区;其中,第X个子调整区的透过率为A%×(100/A)[(X-1)/X];A%为首个子调整区的透过率;N为正整数;X为大于等于1,且小于等于N的正整数。
继续参考图6,可选的,A%可取值为20%,则沿围绕旋转中心区域11的顺时针或逆时针方向上依次设置的N个子调整区14中的首个子调整区14的透过率为20%,则第X个子调整区14的透过率为20%×5[(X-1)/X],则第2个子调整区14的透过率为20%×51/2,第3个子调整区14的透过率为20%×52/3,依次类推,第N个子调整区14的透过率为20%×5[(N-1)/N]
当N的取值越大,则透过率调整区121的档位调整越精细,并且越便于对光源的具体透过率进行快速设置。透过率调整区121在顺时针或者逆时针旋转的过程中,因为N的数值较大,保证了光瞳透过率在等距的两点,相对偏差一致,最大偏差最小,如图7所示,图7是本发明实施例提供的一种光瞳形貌图。示例性的,相对于光瞳中心(0,0),位置点(-0.5,0)和位置点(0.5,0)亮度偏差相同。并且对于光瞳边缘(-2.5,0)和光瞳边缘(2.5,0),相对两个光瞳边缘的亮度偏差较小,保证了光瞳均匀性。
本实施例中各个子调整区14对应的透过率调整档位,均满足静态均匀性在2%以内、积分均匀性在1.5%以内和光瞳均匀性在5%以内的三个技术指标。参考表4,表4是图6所示透过率调整装置的光学性能仿真表,表4中随机从不同的透过率档位进行仿真测试,例如,选取100%透过率档位、46%透过率档位以及20%透过率档位进行均匀性测试,可测得本实施例提供的透过率调整装置在满足上述三个技术指标的前提下,实现光源的透过率在20%~100%范围内的连续可调。
表4:图6所示透过率调整装置的光学性能仿真表
Figure BDA0001918348330000141
若对光源透过透过率调整装置的光线的均匀性做出一定牺牲,可实现透过率在0~100%范围内的调整,可选的,参考图8,图8是本发明实施例提供的又一种透过率调整装置的结构示意图,透过率调整区121包括沿围绕旋转中心区域11的顺时针或逆时针方向上依次设置的M个子调整区14;首个子调整区141内未设置透光孔13;其中,第Y个子调整区14的透过率为B%×(100/A)[(Y-2)/Y-1];B%为第二个子调整区14的透过率;M为正整数,Y为大于等于2,且小于等于M的正整数。
因为子调整区141未设置透光孔13,则其透过率为0,若B%取值为10%,则第二个子调整区14的透过率为10%,通过将第一个子调整区141和第二个子调整区14在光源处转动调整,可获取光源的透过率为0~10%的档位调整。第Y个子调整区14的透过率为10%×10[(Y-2)/(Y-1)],第三个子调整区14的透过率为10%×101/2,第四个子调整区14的透过率为10%×102/3,依次类推,第M个子调整区14的透过率为10%×10[(M-1)/M]。同理,当M的取值越大,透过率调整区121的档位调整越精细,并且越便于对光源的具体透过率进行快速设置。
可选的,参考图5、图6和图8,透光孔13的形状为多边形。相对于圆形孔,多边形的形状能够有效降低透光孔13之间的遮光区域的面积,从而达到更高的透过率调整上限。进一步的,为了在透过率渐变过程中保持更佳的光瞳均匀性指标,上述多边形可以为正多边形。示例性的,上述正多边形可以为正三角形、正四边形、正六边形等等。
本实施例提供的透过率调整装置能够有效的获取出射均匀的光照条件,均匀的光照可应用于光刻、曝光等工艺中,透过率调整装置的存在能够降低对曝光光源的要求,并且曝光光源透过透过率调整装置出射的光线能够保持较佳的静态均匀性、积分均匀性以及光瞳均匀性。
在上述实施例的基础上,透过率调整装置可以为不锈钢或者铝材料。可选的,透过率调整装置通过3D打印工艺制成,现有的机械式透过率调整装置通常采用机加工方式获取,通过3D打印工艺形成透过率调整装置,可大幅降低机加工透光孔的费用和时间。可选的,本实施例中的透过率调整装置的厚度可以为1mm左右,占用空间较小,便于与待均光光源集成到光照设备或者曝光设备中。
注意,上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解,本发明不限于这里所述的特定实施例,对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此,虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明,但是本发明不仅仅限于以上实施例,在不脱离本发明构思的情况下,还可以包括更多其他等效实施例,而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (12)

1.一种透过率调整装置,其特征在于,包括:
旋转中心区域,以及围绕所述旋转中心区域设置的环形结构;所述环形结构包括透过率调整区和完全透光区;所述透过率调整区垂直于旋转中心区域轴向的第一侧边与所述完全透光区垂直于旋转中心区域轴向的第三侧边连接;所述透过率调整区垂直于旋转中心区域轴向的第二侧边与所述完全透光区垂直于旋转中心区域轴向的第四侧边连接;
所述透过率调整区设置有阵列排布的透光孔,所述透过率调整区的透光面积在沿围绕所述旋转中心区域的顺时针或逆时针方向上逐渐增大;其中,所述透光孔的形状为多边形;所述透过率调整区包括沿围绕所述旋转中心区域的顺时针或逆时针方向上依次设置的多个子调整区;
各个所述子调整区的所述透光孔的孔密度相同;在沿围绕所述旋转中心区域的顺时针或逆时针方向上,不同所述子调整区的所述透光孔的尺寸逐渐增大,
或,
所述多个子调整区的设置的透光孔的尺寸相同;在沿围绕所述旋转中心区域的顺时针或逆时针方向上,不同所述子调整区的所述透光孔的孔密度逐渐增大;
其中,各所述子调整区的透过率在沿围绕所述旋转中心区域的顺时针或逆时针方向上呈指数递增;其中,所述子调整区的透过率为该子调整区的透光面积与该子调整区的面积之比。
2.根据权利要求1所述的透过率调整装置,其特征在于:
在沿围绕所述旋转中心区域的顺时针或逆时针方向上,所述透过率调整区的所述透光孔的孔密度相同,所述透光孔的尺寸逐渐增大。
3.根据权利要求1所述的透过率调整装置,其特征在于:
在沿围绕所述旋转中心区域的顺时针或逆时针方向上,所述透过率调整区的所述透光孔的尺寸相同,所述透光孔的孔密度逐渐增大。
4.根据权利要求1所述的透过率调整装置,其特征在于:
所述多个子调整区的尺寸相同。
5.根据权利要求4所述的透过率调整装置,其特征在于:
所述完全透光区的面积为所述子调整区的k倍;其中,k为正整数。
6.根据权利要求1所述的透过率调整装置,其特征在于:
所述透过率调整区和完全透光区均为扇环形。
7.根据权利要求1所述的透过率调整装置,其特征在于:
所述透过率调整区包括沿围绕所述旋转中心区域的顺时针或逆时针方向上依次设置的N个子调整区;
其中,第X个子调整区的透过率为A%×(100/A)[(X-1)/X];A%为首个子调整区的透过率;N为正整数;X为大于等于1,且小于等于N的正整数。
8.根据权利要求1所述的透过率调整装置,其特征在于:
所述透过率调整区包括沿围绕所述旋转中心区域的顺时针或逆时针方向上依次设置的M个子调整区;首个子调整区内未设置所述透光孔;
其中,第Y个子调整区的透过率为B%×(100/A)[(Y-2)/Y-1];B%为第二个子调整区的透过率;M为正整数,Y为大于等于2,且小于等于M的正整数。
9.根据权利要求8所述的透过率调整装置,其特征在于:
所述多边形为正多边形。
10.根据权利要求1所述的透过率调整装置,其特征在于:
所述透过率调整装置为不锈钢或者铝材料。
11.根据权利要求1所述的透过率调整装置,其特征在于:
所述透过率调整装置通过3D打印工艺制成。
12.根据权利要求1所述的透过率调整装置,其特征在于:所述旋转中心区域设置有至少一个旋转轴接口,用于与外部旋转装置连接安装。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114326316B (zh) * 2020-09-30 2023-09-29 上海微电子装备(集团)股份有限公司 一种光束透过率调节装置和光学照明系统

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH681394A5 (zh) * 1990-12-18 1993-03-15 Volpi Ag
JPH07311353A (ja) * 1993-11-30 1995-11-28 Texas Instr Inc <Ti> 2値回析光学素子を使用した赤外線チョッパ
CN207320564U (zh) * 2017-11-08 2018-05-04 西安科技大学 一种圆盘激光能量衰减器

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI224462B (en) * 2003-07-04 2004-11-21 Primax Electronics Ltd Exposure adjusting device and method
WO2010061674A1 (ja) * 2008-11-28 2010-06-03 株式会社ニコン 補正ユニット、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH681394A5 (zh) * 1990-12-18 1993-03-15 Volpi Ag
JPH07311353A (ja) * 1993-11-30 1995-11-28 Texas Instr Inc <Ti> 2値回析光学素子を使用した赤外線チョッパ
CN207320564U (zh) * 2017-11-08 2018-05-04 西安科技大学 一种圆盘激光能量衰减器

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