CN207320564U - 一种圆盘激光能量衰减器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及激光器技术领域,尤其涉及一种圆盘激光能量衰减器,包括首尾依次相接的若干个单级圆盘衰减系统,单级圆盘衰减系统包括:套筒、若干镜片、镜片安装座、以及连接管,套筒的一端设置有与若干镜片数量相匹配的透光孔,透光孔环形布置;若干镜片分别设置有不同的透过率,并可拆卸的安装在镜片安装座上;镜片安装座设置于连接管内;连接管的一端可拆卸连接本级套筒,另一端可拆卸连接下一级套筒,用于实现若干单级圆盘衰减系统的依次首尾连接。本实用新型的圆盘激光能量衰减器,实现了大能量激光定量的、大程度的衰减,另外可以随时调换不同透过率的镜片,实用性较强。
Description
技术领域
本实用新型涉及激光器技术领域,尤其涉及一种圆盘激光能量衰减器。
背景技术
目前而言,各类探测器在激光测量、分析、或响应速度等方面,均存在一些不足,例如:热释电探测器响应速度较慢,但是适用于对大能量激光能量与功率的测量,却无法实现对大能量激光束高重复频率特性与时间特性的分析;硅基探测器虽然具有响应速度快的优点,但是只能实现对小功率激光能量、功率、频率特性、时间特性等参量的测量。
由此可见,硅基探测器在响应速度、激光测量、分析等方面均优于热释电探测器,但硅基探测器只适于小功率激光测量、分析,因此急需提供一种激光能量衰减器,能够对大能量激光进行定量的衰减,从而实现与硅基探测器配合,实现对大能量激光能量、功率、时间特性、频率特性、光束质量等参量快速、定量与全面的测量。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种圆盘激光能量衰减器,通过调节单级圆盘衰减系统各镜片的透过率以及若干个单级圆盘衰减系统相互配合,从而实现大能量激光定量的、大程度的衰减,继而可以与硅基探测器配合,实现对大能量激光能量、功率、时间特性、频率特性、光束质量等参量快速、定量与全面的测量。
为了实现上述目的,本实用新型提供了一种圆盘激光能量衰减器,包括首尾依次相接的若干个单级圆盘衰减系统,单级圆盘衰减系统包括:套筒、若干镜片、镜片安装座、以及连接管,其中:
套筒的一端设置有与若干镜片数量相匹配的透光孔,透光孔环形布置;
若干镜片分别设置有不同的透过率,并可拆卸的安装在镜片安装座上;
镜片安装座设置于连接管内;
连接管的一端可拆卸连接本级套筒,另一端可拆卸连接下一级套筒,用于实现若干单级圆盘衰减系统的依次首尾连接。
进一步的,连接管与本级套筒以及下一级套筒通过螺纹连接。
进一步的,连接管的两端分别设置有内螺纹,套筒的两端分别设置有与连接管的内螺纹相匹配的外螺纹。
进一步的,连接管的内壁设置有用于镜片安装座定位的第一凸台;当连接管与套筒连接后,镜片安装座与第一凸台卡接且套筒的端部抵靠在镜片安装座上。
进一步的,若干镜片通过固定环卡设在镜片安装座上。
进一步的,固定环与镜片安装座螺纹连接,镜片安装座上设置有用于镜片定位的第二凸台;当固定环与镜片安装座螺纹连接后,镜片的一侧抵靠第二凸台,另一侧抵靠固定环。
进一步的,固定环的端部设置有用于固定环旋转安装的狭缝。
进一步的,连接管的外侧壁对应若干镜片均匀地设置有用于粘贴指示标签的凹陷区域。
进一步的,连接管的外侧壁还设置有用于调节相邻单级圆盘衰减系统中激光路线的光路对直指示线,光路对直指示线沿连接管的轴线方向延伸。
进一步的,若干镜片的数量为六个,六个镜片的透过率分别为15%、30%、45%、60%、75%、90%。
本实用新型的一种圆盘激光能量衰减器,具有以下有益效果:
1、本实用新型的圆盘激光能量衰减器,包括首尾依次相接的多个单级圆盘衰减系统,且每个单级圆盘衰减系统包括多个透过率不同的镜片,从而实现了对大能量激光的定量的、大程度的衰减,继而可以与硅基探测器配合,实现对大能量激光能量、功率、时间特性、频率特性、光束质量等参量快速、定量与全面的测量;镜片可拆卸的安装在镜片安装座上,更换或者调换更加方便,实用性更强。
2、本实用新型的每个单级圆盘衰减系统均包括多个不同透过率的镜片,连接管与下一级套筒连接的螺纹副的旋转则可以实现对不同透过率的镜片的调节选择,从而实现了大能量激光的定量衰减。
3、本实用新型的连接管外侧壁设置的凹陷区域用于不同镜片的透过率的标签粘贴,从而圆盘激光能量衰减器的使用及调节更加便捷。
4、本实用新型的连接管的外侧壁还设置有用于调节相邻单级圆盘衰减系统中激光路线的光路对直指示线,从而实现了各单级圆盘衰减系统的多个镜片均对齐,即实现了多级圆盘衰减系统的调节对直。
5、本实用新型的圆盘激光能量衰减器实现了对大能量激光的定量的、大程度的衰减,结构简单,且镜片调换方便,实用性较强。
附图说明
为了更清楚的说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍,显而易见的,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其它附图。
图1为本实用新型的圆盘激光能量衰减器的结构示意图;
图中:1-套筒、11-本级套筒、12-下一级套筒、2-镜片、3-镜片安装座、31-第二凸台、4-连接管、41-第一凸台、5-凹陷区域、6-光路对直指示线、7-固定环
具体实施方式
下面将结合本实用新型中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通的技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例,都属于本实用新型的保护范围。
如图1所示,本实用新型实施例的一种圆盘激光能量衰减器,包括首尾依次相接的若干个单级圆盘衰减系统,单级圆盘衰减系统包括:套筒1、若干镜片2、镜片安装座3、以及连接管4,其中:套筒1的一端设置有与若干镜片2数量相匹配的透光孔,透光孔环形布置;若干镜片2分别设置有不同的透过率,并可拆卸的安装在镜片安装座3上;镜片安装座3设置于连接管4内;连接管4的一端可拆卸连接本级套筒11,另一端可拆卸连接下一级套筒12,用于实现若干单级圆盘衰减系统的依次首尾连接。
本实施例的一种可选的实施方式,如图1所示,每个单级圆盘衰减系统的套筒1、若干镜片2、镜片安装座3、以及连接管4依次布置,套筒1为空心筒状结构,其一端设置有用于激光穿过的透光孔,透光孔的位置与镜片2安装后的位置相互对应;镜片2首先固定安装在镜片安装座3上,而后将镜片安装座3固定安装在连接管4内,从而实现了镜片2在连接管4内的固定安装;连接管4同样为空心筒状结构,套筒1可伸入连接管4与连接管4连接。具体的,本级套筒11的一端由连接管4的一端伸入并抵靠在连接管4内安装的镜片安装座3上,连接管4的另一端连接下一级套筒12,从而实现了多个单级圆盘衰减系统的依次首尾连接。
优选的,每个单级圆盘衰减系统的镜片2的数量为六个,六个镜片2的透过率分别为15%、30%、45%、60%、75%、90%。当然,其他实施方式中,镜片2也可以选择设置其他数量的镜片2,从而使得透过率的选择性更多,更能满足实际的应用要求。另外,镜片2可通过双面镀膜、化学腐蚀、光刻、掺杂设计等方法设计不同的透过率,本实用新型不做具体限定。
本实用新型的圆盘激光能量衰减器,采用多级级联的方式,在每一级中,形成对激光能量的一次衰减,通过多级衰减的方式,从而实现了大能量激光的定量的、大程度的衰减;并且镜片2的可拆卸安装,使得镜片2的调换更加方便,可以随时更换任意透过率的镜片,实用性更强。
进一步的,本实用新型的激光能量衰减器的套筒1与连接管4之间的可拆卸连接可以通过卡接或者螺纹连接等方式实现。优选的,连接管4与本级套筒11以及下一级套筒12通过螺纹连接,连接方便可靠,且调节容易。具体的,如图1所示,连接管4的两端分别设置有内螺纹,套筒1的两端分别设置有与连接管4的内螺纹相匹配的外螺纹。
进一步的,连接管4的内壁设置有用于镜片安装座3定位的第一凸台41;当连接管4与套筒1连接后,镜片安装座3与第一凸台41卡接且套筒1的端部抵靠在镜片安装座3上。
具体的,第一凸台41优选的设置在连接管4的中心位置,使得圆盘激光能量衰减器的整体结构更加对称,另外连接管4的加工也更加简单;连接管4的管壁与第一凸台41优选的一体成型;本实用新型的第一凸台41优选为弧状结构凸台,弧状结构凸台的个数可以为一个、也可以为对称设置的两个或者多个,镜片安装座3上设置有与第一凸台41相匹配的缺口,使得第一凸台41与镜片安装座3的缺口刚好卡接,从而实现镜片安装座3的径向定位;当连接管4与套筒1连接后,套筒1的端部抵靠在镜片安装座3上,从而实现镜片安装座3的轴向定位。另外,镜片安装座3与第一凸台41卡接固定后应保证镜片安装座3呈平面,镜片安装座3与第一凸台41的卡接也避免了镜片安装座3在连接管4内发生转动。
本实用新型的镜片安装座3上还可以设置镜片2安装顺序标识,或者利用镜片安装座3上的缺口指示镜片2的安装顺序;另外,本实用新型的镜片2通常使用铅笔在镜片2侧面标注透过率,并用箭头给出正反方向,便于镜片2的安装。
进一步的,镜片2通过固定环7卡设在镜片安装座3上。作为一种优选的实施方式,如图1所示,固定环7与镜片安装座3螺纹连接,镜片安装座3上设置有用于镜片2定位的第二凸台31;当固定环7与镜片安装座3螺纹连接后,镜片2的一侧抵靠第二凸台31,另一侧抵靠固定环7。
进一步的,固定环7的端部设置有用于固定环7旋转安装的狭缝,从而便于固定环7的安装与拆卸,进而便于镜片2的调换。
进一步的,连接管4的外侧壁对应若干镜片2均匀地设置有用于粘贴指示标签的凹陷区域5。由于套筒1与连接管4连接后,镜片2位于连接管4的内部,使用者可以通过凹陷区域5粘贴的指示标签一目了然的知道布置在连接管4内部的各镜片2的透过率,从而圆盘激光能量衰减器的使用及调节更加便捷。
进一步的,连接管4的外侧壁还设置有用于调节相邻单级圆盘衰减系统中激光路线的光路对直指示线6,光路对直指示线6沿连接管4的轴线方向延伸。光路对直指示线6的设置从而实现了各单级圆盘衰减系统的各镜片2均对齐,即实现了多级圆盘衰减系统的调节对直。
进一步的,套筒1的侧壁同样可以设置指示标线,指示标线沿套筒1轴向延伸;并且当套筒1与连接管4连接后,指示标线与光路对直指示线6对齐,从而可以通过指示标线确保单级圆盘衰减系统的套筒1的透光孔与镜片2对齐。
作为一种优选的实施方式,如图1所示,凹陷区域5的形状为矩形,光路对直指示线6与凹陷区域5的中心轴线重合。
本实用新型的圆盘激光能量衰减器,实现了大能量激光定量的、大程度的衰减,从而可以与硅基探测器配合使用,继而实现了对大能量激光能量、功率、时间特性、频率特性、光束质量等参量快速、定量与全面的测量;另外可以随时调换不同透过率的镜片2,实用性较强。
以上借助具体实施例对本实用新型做了进一步描述,但是应该理解的是,这里具体的描述,不应理解为对本实用新型的实质和范围的限定,本领域内的普通技术人员在阅读本说明书后对上述实施例做出的各种修改,都属于本实用新型所保护的范围。
Claims (10)
1.一种圆盘激光能量衰减器,其特征在于,所述圆盘激光能量衰减器包括首尾依次相接的若干个单级圆盘衰减系统,所述单级圆盘衰减系统包括:套筒、若干镜片、镜片安装座、以及连接管,其中:
所述套筒的一端设置有与若干所述镜片数量相匹配的透光孔,所述透光孔环形布置;
若干所述镜片分别设置有不同的透过率,并可拆卸的安装在所述镜片安装座上;
所述镜片安装座设置于所述连接管内;
所述连接管的一端可拆卸连接本级所述套筒,另一端可拆卸连接下一级所述套筒,用于实现若干所述单级圆盘衰减系统的依次首尾连接。
2.根据权利要求1所述的圆盘激光能量衰减器,其特征在于,所述连接管与本级所述套筒以及下一级所述套筒通过螺纹连接。
3.根据权利要求2所述的圆盘激光能量衰减器,其特征在于,所述连接管的两端分别设置有内螺纹,所述套筒的两端分别设置有与所述连接管的内螺纹相匹配的外螺纹。
4.根据权利要求1所述的圆盘激光能量衰减器,其特征在于,所述连接管的内壁设置有用于所述镜片安装座定位的第一凸台;当所述连接管与所述套筒连接后,所述镜片安装座与所述第一凸台卡接且所述套筒的端部抵靠在所述镜片安装座上。
5.根据权利要求1所述的圆盘激光能量衰减器,其特征在于,若干所述镜片通过固定环卡设在所述镜片安装座上。
6.根据权利要求5所述的圆盘激光能量衰减器,其特征在于,所述固定环与所述镜片安装座螺纹连接,所述镜片安装座上设置有用于所述镜片定位的第二凸台;当所述固定环与所述镜片安装座螺纹连接后,所述镜片的一侧抵靠所述第二凸台,另一侧抵靠所述固定环。
7.根据权利要求6所述的圆盘激光能量衰减器,其特征在于,所述固定环的端部设置有用于所述固定环旋转安装的狭缝。
8.根据权利要求1所述的圆盘激光能量衰减器,其特征在于,所述连接管的外侧壁对应若干所述镜片均匀地设置有用于粘贴指示标签的凹陷区域。
9.根据权利要求8所述的圆盘激光能量衰减器,其特征在于,所述连接管的外侧壁还设置有用于调节相邻所述单级圆盘衰减系统中激光路线的光路对直指示线,所述光路对直指示线沿所述连接管的轴线方向延伸。
10.根据权利要求1所述的圆盘激光能量衰减器,其特征在于,若干所述镜片的数量为六个,六个所述镜片的透过率分别为15%、30%、45%、60%、75%、90%。
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CN111352231A (zh) * | 2018-12-24 | 2020-06-30 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种透过率调整装置 |
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CN111352231B (zh) * | 2018-12-24 | 2021-10-22 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种透过率调整装置 |
TWI749432B (zh) * | 2018-12-24 | 2021-12-11 | 大陸商上海微電子裝備(集團)股份有限公司 | 一種透過率調整裝置 |
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