CN111335764B - 一种真空腔室密闭用自动升降门 - Google Patents

Abstract

本发明属于真空腔室密闭技术领域，特别涉及一种真空腔室密闭用自动升降门。包括门板、升降驱动机构、四连杆机构及限位结构，其中四连杆机构连接在门板的一侧，四连杆机构的下端与升降驱动机构连接，限位结构设置于四连杆机构的上方，用于限制四连杆机构的上升行程，升降驱动机构驱动四连杆机构和门板上升至与限位结构接触后，四连杆机构通过限位结构的限位沿水平方向展开，从而使门板与真空腔室贴合，实现真空腔室的密封。发明利用弹簧和四连杆机构完成升降及开关门动作，结构简单，操作方便，降低成本，且密闭效果比较好。

Description

一种真空腔室密闭用自动升降门

技术领域

本发明属于真空腔室密闭技术领域，特别涉及一种真空腔室密闭用自动升降门。

背景技术

现有真空腔室密闭用自动升降门采用两个自由度的配置，一个自由度用于升降，大多由气缸驱动，另一个自由度用于关闭/开启腔室门，该种自动升降门结构复杂，操作繁琐、且密闭效果不佳。

发明内容

针对上述问题，本发明的目的在于提供一种真空腔室密闭用自动升降门，以解决现有真空传输腔室的自动升降门结构复杂，操作繁琐、且密闭效果不佳的问题。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种真空腔室密闭用自动升降门，包括门板、升降驱动机构、四连杆机构及限位结构，其中四连杆机构连接在门板的一侧，所述四连杆机构的下端与所述升降驱动机构连接，所述限位结构设置于所述四连杆机构的上方，用于限制所述四连杆机构的上升行程，所述升降驱动机构驱动所述四连杆机构和门板上升至与所述限位结构接触后，所述四连杆机构通过所述限位结构的限位沿水平方向展开，从而使所述门板与真空腔室贴合，实现所述真空腔室的密封。

所述的真空腔室密闭用自动升降门，所述还包括弹性复位机构，所述弹性复位机构设置于所述四连杆机构内，用于所述四连杆机构复位。

所述四连杆机构包括下辅助连杆、上辅助连杆及竖直连杆，其中下辅助连杆和上辅助连杆平行设置、且两侧分别与竖直连杆和所述门板的一竖直边框铰接，形成所述四连杆机构，所述竖直连杆的下端向下延伸、且与所述升降驱动机构连接，所述弹性复位机构设置于所述竖直连杆和所述门板的一竖直边框之间。

所述弹性复位机构为拉伸弹簧，所述拉伸弹簧的两端分别与所述竖直连杆和所述门板的一竖直边框连接，用于所述四连杆机构收缩。

所述门板的一侧顶部设有可沿限位结构水平行走的滚轮。

所述限位结构包括沿竖直方向设置的前端限位及沿水平方向设置的上端限位，所述上端限位的内侧沿水平方向设有用于所述滚轮行走的滚轮槽。

所述四连杆机构的下端通过调整铰链与所述升降驱动机构连接，通过所述调整铰链调整所述门板与所述真空腔室的平行度。

所述调整铰链包括固定铰链、铰链轴、转动铰链及调整顶丝，其中固定铰链与所述升降驱动机构连接，所述转动铰链与所述四连杆机构连接，所述固定铰链和转动铰链通过铰链轴连接、且可相对转动，所述调整顶丝与所述固定铰链和转动铰链连接，用于调整所述固定铰链和转动铰链之间的相对角度。

所述升降驱动机构为气缸。

本发明的优点及有益效果是：本发明降低一个驱动源，使用单自由度配置，利用弹簧和四连杆机构完成升降及开关门动作，结构简单，操作方便，降低成本。

本发明通过调整铰链调整升降门板与真空腔室的平行度，密闭效果比较好。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明中调整铰链的结构示意图；

图3为图2的左视图。

图中：1为气缸，2为调整铰链，3为竖直连杆，4为下辅助连杆，5为门板，6为拉伸弹簧，7为上辅助连杆，8为前端限位，9为上端限位，10为滚轮，11为滚轮槽，12为真空腔室，21为固定铰链，22为铰链轴，23为转动铰链，24为调整顶丝，25为固定板。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述。

如图1所示，本发明提供的一种真空腔室密闭用自动升降门，包括门板5、升降驱动机构、四连杆机构及限位结构，其中四连杆机构连接在门板5的一侧，四连杆机构的下端与升降驱动机构连接，限位结构设置于四连杆机构的上方，用于限制四连杆机构的上升行程，升降驱动机构驱动四连杆机构和门板5上升至与限位结构接触后，四连杆机构通过限位结构的限位沿水平方向展开，从而使门板5与真空腔室12贴合，实现真空腔室12的密封。

真空腔室密闭用自动升降门还包括弹性复位机构，弹性复位机构设置于四连杆机构内，用于四连杆机构复位。

本发明的实施例中，升降驱动机构为气缸1，弹性复位机构为拉伸弹簧6。

四连杆机构包括下辅助连杆4、上辅助连杆7及竖直连杆3，其中下辅助连杆4和上辅助连杆7平行设置、且两侧分别与竖直连杆3和门板5的一竖直边框铰接，形成四连杆机构，竖直连杆3的下端向下延伸、且与气缸1的输出端连接。

门板5与竖直连杆3之间有多组拉伸弹簧6相连，拉伸弹簧6的两端分别与竖直连杆3和门板5的一竖直边框连接，用于四连杆机构收缩。门板5的一侧顶部设有可沿限位结构水平行走的滚轮10。

限位结构包括沿竖直方向设置的前端限位8及沿水平方向设置的上端限位9，上端限位9的内侧沿水平方向设有用于滚轮10行走的滚轮槽11。

四连杆机构的下端通过调整铰链2与升降驱动机构连接，通过调整铰链2调整门板5与真空腔室12的平行度，真空腔室12距离门板5有一小段距离。

如图2所示，调整铰链2包括固定铰链21、铰链轴22、转动铰链23及调整顶丝24，其中固定铰链21与升降驱动机构连接，转动铰链23与四连杆机构连接，固定铰链21和转动铰链23通过铰链轴22连接、且可相对转动，调整顶丝24与固定铰链21和转动铰链23连接，用于调整固定铰链21和转动铰链23之间的相对角度。

进一步地，固定铰链21的一侧设有固定板25，调整顶丝24与固定板25抵接，如图3所示。

本发明的工作原理是：

利用了平行四连杆机构的特点，在气缸1举升四连杆机构到达上端限位9附近时，滚轮10先接触上端限位9，水平滑动进入滚轮槽11，随着气缸1的持续举升动作，门板5会在水平方向运动并贴紧真空腔室12。当腔室门板5需要开启时，气缸1进行下降动作，拉伸弹簧6会先将门板5拉离真空腔室12，随着进一步运动，滚轮10会脱离滚轮槽11，平行四连杆持续下降。

门板5与真空腔室12需要很高的平行度，所以气缸1与竖直连杆3之间有一调整铰链2，调整铰链2中，固定铰链21与转动铰链23都固定在气缸1侧，转动铰链23还与竖直连杆3相连，二者由铰链轴22连接，转动铰链23固定之前，先调整调整顶丝24使得门板5与真空腔室12平行，再将转动铰链23锁紧。

本发明使用调整铰链调节门板与真空腔室的平行度；采用滚轮和滚轮槽保证门板开关门时的运动方向垂直于真空腔室。

本发明降低一个驱动源，使用单自由度配置，利用弹簧和四连杆机构完成升降及开关门动作，结构简单，操作方便，降低成本。

以上所述仅为本发明的实施方式，并非用于限定本发明的保护范围。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进、扩展等，均包含在本发明的保护范围内。

Claims (5)

1.一种真空腔室密闭用自动升降门，其特征在于，包括门板(5)、升降驱动机构、四连杆机构、限位结构及弹性复位机构，其中四连杆机构连接在门板(5)的一侧，所述四连杆机构的下端与所述升降驱动机构连接，所述限位结构设置于所述四连杆机构的上方，用于限制所述四连杆机构的上升行程；所述弹性复位机构设置于所述四连杆机构内，用于所述四连杆机构复位；

所述升降驱动机构驱动所述四连杆机构和门板(5)上升至与所述限位结构接触后，所述四连杆机构通过所述限位结构的限位沿水平方向展开，从而使所述门板(5)与真空腔室(12)贴合，实现所述真空腔室(12)的密封；

所述四连杆机构的下端通过调整铰链(2)与所述升降驱动机构连接，通过所述调整铰链(2)调整所述门板(5)与所述真空腔室(12)的平行度；

所述四连杆机构包括下辅助连杆(4)、上辅助连杆(7)及竖直连杆(3)，其中下辅助连杆(4)和上辅助连杆(7)平行设置、且两侧分别与竖直连杆(3)和所述门板(5)的一竖直边框铰接，形成所述四连杆机构，所述竖直连杆(3)的下端向下延伸、且与所述升降驱动机构连接，所述弹性复位机构设置于所述竖直连杆(3)和所述门板(5)的一竖直边框之间；

所述调整铰链(2)包括固定铰链(21)、铰链轴(22)、转动铰链(23)及调整顶丝(24)，其中固定铰链(21)与所述升降驱动机构连接，所述转动铰链(23)与所述四连杆机构连接，所述固定铰链(21)和转动铰链(23)通过铰链轴(22)连接、且可相对转动，所述调整顶丝(24)与所述固定铰链(21)和转动铰链(23)连接，用于调整所述固定铰链(21)和转动铰链(23)之间的相对角度。

2.根据权利要求1所述的真空腔室密闭用自动升降门，其特征在于，所述弹性复位机构为拉伸弹簧(6)，所述拉伸弹簧(6)的两端分别与所述竖直连杆(3)和所述门板(5)的一竖直边框连接，用于所述四连杆机构收缩。

3.根据权利要求1所述的真空腔室密闭用自动升降门，其特征在于，所述门板(5)的一侧顶部设有可沿限位结构水平行走的滚轮(10)。

4.根据权利要求3所述的真空腔室密闭用自动升降门，其特征在于，所述限位结构包括沿竖直方向设置的前端限位(8)及沿水平方向设置的上端限位(9)，所述上端限位(9)的内侧沿水平方向设有用于所述滚轮(10)行走的滚轮槽(11)。

5.根据权利要求1所述的真空腔室密闭用自动升降门，其特征在于，所述升降驱动机构为气缸(1)。

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