CN111334833B - 一种差异化孔同步电镀填充方法及系统 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种电镀装置，更具体的说是一种差异化孔同步电镀填充方法及系统。方法包括以下步骤：S1、两个V形夹杆将晶圆夹紧固定至水平位置；S2、将晶圆放入电镀盒内并在电镀盒内加入电镀液，将接触块移动至晶圆的上侧，旋动压螺钉II向下移动压在晶圆的上侧，进而阴极柱与晶圆之间连通；S3、节激光发射器的前后左右位置，将激光发射器调整至晶圆上的孔的正上部，向孔处发射激光，将多个不同大小的孔的上方均设置一个激光发射器；S4、根据需要向放置座上防止不同的透光率或者不同数量的半透光片，调节多个激光发射器照射在不同孔上的光的强度，进而改变每个孔周围的温度；S5、在阳极柱和阴极柱处通电对晶圆进行电镀。

Description

一种差异化孔同步电镀填充方法及系统
技术领域
本发明涉及一种电镀装置，更具体的说是一种差异化孔同步电镀填充方法及系统。
背景技术
电镀工艺是利用电解的原理将导电体铺上一层金属的方法。电镀是指在含有预镀金属的盐类溶液中，以被镀基体金属为阴极，通过电解作用，使镀液中预镀金属的阳离子在基体金属表面沉积出来，形成镀层的一种表面加工方法。镀层性能不同于基体金属，具有新的特征。根据镀层的功能分为防护性镀层，装饰性镀层及其它功能性镀层。电镀时，镀层金属或其他不溶性材料做阳极，待镀的工件做阴极，镀层金属的阳离子在待镀工件表面被还原形成镀层。能增强金属的抗腐蚀性增加硬度、防止磨耗、提高导电性、光滑性、耐热性和表面美观。但是传统的电镀方法不能对晶圆上的差异化孔进行同步电镀填充。
发明内容
本发明提供一种差异化孔同步电镀填充系统，其有益效果为本发明可以对晶圆上的差异化孔进行同步电镀填充。
本发明涉及一种电镀装置，更具体的说是一种差异化孔同步电镀填充系统，包括电镀盒、激光发射器、门形架、半透光片、透光孔、挡杆和放置座，本发明可以对晶圆上的差异化孔进行同步电镀填充。
所述激光发射器固定连接在门形架的下侧，门形架的下部固定连接有放置座，放置座的中部设置有透光孔，放置座上放置有半透光片，放置座的前后两侧均固定连接有挡杆，激光发射器、门形架、半透光片、透光孔、挡杆和放置座设置有多组，多个激光发射器均位于电镀盒的上侧。
所述差异化孔同步电镀填充系统还包括梯形凸条I、前后移杆和支撑杆，电镀盒的后侧设置有梯形凸条I，多个门形架上均固定连接有前后移杆，多个前后移杆在前后方向上分别滑动连接在多个支撑杆的上部，前后移杆和支撑杆之间通过螺钉压紧固定，多个支撑杆的下部均滑动连接在梯形凸条I上，多个支撑杆均通过螺钉压紧固定。
所述差异化孔同步电镀填充系统还包括V形夹杆、夹槽、条座和轨道杆，两个条座分别滑动连接在轨道杆的前后两端，条座与轨道杆之间通过螺钉压紧固定，两个条座的相对面上均固定连接有V形夹杆，两个V形夹杆的左右两部均设置有夹槽，两个V形夹杆均位于电镀盒的内部。
所述差异化孔同步电镀填充系统还包括竖杆、L形架和电动推杆，L形架的下部固定连接在电镀盒的底面上，轨道杆的中部固定连接有竖杆，竖杆竖向滑动连接在L形架的上部，L形架的上部固定连接有电动推杆，电动推杆的活动端固定连接在竖杆的上部。
所述差异化孔同步电镀填充系统还包括固定轴、挡片、底杆和顶针，轨道杆的下部固定连接有固定轴，底杆滑动连接在固定轴上，固定轴的下端固定连接有挡片，挡片与底杆之间的固定轴上套接有压缩弹簧I，底杆的右端上侧固定连接有顶针。
所述差异化孔同步电镀填充系统还包括T形支架、空心柱、防滑条、梯形凸条II、实心柱和加热环，电镀盒的内侧前部固定连接有T形支架，T形支架的后侧设置有梯形凸条II，梯形凸条II上粘接有防滑条，梯形凸条II上滑动连接有多个空心柱，多个空心柱上均滑动连接有实心柱，多个实心柱的后端均固定连接有加热环，加热环内设置有电热丝，空心柱与实心柱之间通过螺钉压紧固定。
所述差异化孔同步电镀填充系统还包括凸片和阳极柱，电镀盒的左侧固定连接有凸片，凸片上固定连接有阳极柱。
所述差异化孔同步电镀填充系统还包括绝缘片、压螺钉I、橡胶套、阴极柱、侧片、梯形凸条III、接触块和压螺钉II，电镀盒的右侧设置有橡胶套，橡胶套上在左右方向上滑动连接有阴极柱，阴极柱的左端固定连接有侧片，侧片的左侧固定连接有梯形凸条III，梯形凸条III上竖向滑动连接有接触块，侧片的上部通过螺纹连接有压螺钉II，压螺钉II压在接触块的上侧，电镀盒的右部通过螺纹连接有压螺钉I，压螺钉I的左端固定连接有绝缘片，绝缘片压在侧片的右侧。
一种差异化孔同步电镀填充系统进行电镀填充的方法包括以下步骤：
S1、两个V形夹杆将晶圆夹紧固定至水平位置；
S2、将晶圆放入电镀盒内并在电镀盒内加入电镀液，将接触块移动至晶圆的上侧，旋动压螺钉II向下移动压在晶圆的上侧，进而阴极柱与晶圆之间连通；
S3、节激光发射器的前后左右位置，将激光发射器调整至晶圆上的孔的正上部，向孔处发射激光，将多个不同大小的孔的上方均设置一个激光发射器；
S4、根据需要向放置座上防止不同的透光率或者不同数量的半透光片，调节多个激光发射器照射在不同孔上的光的强度，进而改变每个孔周围的温度；
S5、在阳极柱和阴极柱处通电对晶圆进行电镀。
本发明一种差异化孔同步电镀填充系统的有益效果为：
本发明一种差异化孔同步电镀填充系统，本发明可以对晶圆上的差异化孔进行同步电镀填充。
附图说明
下面结合附图和具体实施方法对本发明做进一步详细的说明。
图1为本发明一种差异化孔同步电镀填充系统的整体结构示意图一；
图2为本发明一种差异化孔同步电镀填充系统的整体结构示意图二；
图3为竖杆和固定轴的结构示意图；
图4为电镀盒和T形支架的结构示意图一；
图5为电镀盒和T形支架的结构示意图二；
图6为阴极柱的结构示意图；
图7为激光发射器的结构示意图一；
图8为激光发射器的结构示意图二。
图中：竖杆1；V形夹杆101；夹槽102；条座103；轨道杆104；L形架105；电动推杆106；固定轴2；挡片201；底杆202；顶针203；电镀盒3；凸片301；阳极柱302；绝缘片303；压螺钉I304；橡胶套305；梯形凸条I306；T形支架4；空心柱401；防滑条402；梯形凸条II403；实心柱404；加热环405；阴极柱5；侧片501；梯形凸条III502；接触块503；压螺钉II504；激光发射器6；门形架601；前后移杆602；支撑杆603；半透光片604；透光孔605；挡杆606；放置座607。
具体实施方式
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
具体实施方式一：
下面结合图1-8说明本实施方式，本发明涉及一种电镀装置，更具体的说是一种差异化孔同步电镀填充系统，包括电镀盒3、激光发射器6、门形架601、半透光片604、透光孔605、挡杆606和放置座607，本发明可以对晶圆上的差异化孔进行同步电镀填充。
所述激光发射器6固定连接在门形架601的下侧，门形架601的下部固定连接有放置座607，放置座607的中部设置有透光孔605，放置座607上放置有半透光片604，放置座607的前后两侧均固定连接有挡杆606，激光发射器6、门形架601、半透光片604、透光孔605、挡杆606和放置座607设置有多组，多个激光发射器6均位于电镀盒3的上侧。使用时，将晶圆放入电镀盒3内并在电镀盒3内加入电镀液，将晶圆作为阴极，再在电镀盒3的另一侧向电镀液内通入阳极，对晶圆上的孔进行电镀；由于晶圆上的孔的大小不同，因此，在不同孔的上侧均设置有个激光发射器6，根据需要向放置座607上防止不同的透光率或者不同数量的半透光片604，调节多个激光发射器6照射在不同孔上的光的强度，进而改变每个孔周围的温度，在不同的温度下，使得不同大小的孔可以同步电镀填充。
具体实施方式二：
下面结合图1-8说明本实施方式，所述差异化孔同步电镀填充系统还包括梯形凸条I306、前后移杆602和支撑杆603，电镀盒3的后侧设置有梯形凸条I306，多个门形架601上均固定连接有前后移杆602，多个前后移杆602在前后方向上分别滑动连接在多个支撑杆603的上部，前后移杆602和支撑杆603之间通过螺钉压紧固定，多个支撑杆603的下部均滑动连接在梯形凸条I306上，多个支撑杆603均通过螺钉压紧固定。支撑杆603可以左右移动，前后移杆602可以前后滑动，进而调节激光发射器6的前后左右位置，将激光发射器6调整至晶圆上的孔的正上部，向孔处发射激光。将多个不同大小的孔的上方均设置一个激光发射器6。
具体实施方式三：
下面结合图1-8说明本实施方式，所述差异化孔同步电镀填充系统还包括V形夹杆101、夹槽102、条座103和轨道杆104，两个条座103分别滑动连接在轨道杆104的前后两端，条座103与轨道杆104之间通过螺钉压紧固定，两个条座103的相对面上均固定连接有V形夹杆101，两个V形夹杆101的左右两部均设置有夹槽102，两个V形夹杆101均位于电镀盒3的内部。两个条座103均可以在轨道杆104上前后滑动，进而调节两个V形夹杆101的前后位置，两个V形夹杆101可以将晶圆夹紧固定至水平位置，晶圆插在四个夹槽102内防止晶圆脱离两个V形夹杆101。
具体实施方式四：
下面结合图1-8说明本实施方式，所述差异化孔同步电镀填充系统还包括竖杆1、L形架105和电动推杆106，L形架105的下部固定连接在电镀盒3的底面上，轨道杆104的中部固定连接有竖杆1，竖杆1竖向滑动连接在L形架105的上部，L形架105的上部固定连接有电动推杆106，电动推杆106的活动端固定连接在竖杆1的上部。电动推杆106伸缩时可以带动竖杆1在L形架105上竖直滑动，进而带动两个V形夹杆101和晶圆上下移动，便于将晶圆从电镀盒3内取出。
具体实施方式五：
下面结合图1-8说明本实施方式，所述差异化孔同步电镀填充系统还包括固定轴2、挡片201、底杆202和顶针203，轨道杆104的下部固定连接有固定轴2，底杆202滑动连接在固定轴2上，固定轴2的下端固定连接有挡片201，挡片201与底杆202之间的固定轴2上套接有压缩弹簧I，底杆202的右端上侧固定连接有顶针203。固定轴2上的压缩弹簧始终给予底杆202向上的力，使得顶针203可以压在位置两个V形夹杆101之间的晶圆的下侧，防止晶圆上下窜动。
具体实施方式六：
下面结合图1-8说明本实施方式，所述差异化孔同步电镀填充系统还包括T形支架4、空心柱401、防滑条402、梯形凸条II403、实心柱404和加热环405，电镀盒3的内侧前部固定连接有T形支架4，T形支架4的后侧设置有梯形凸条II403，梯形凸条II403上粘接有防滑条402，梯形凸条II403上滑动连接有多个空心柱401，多个空心柱401上均滑动连接有实心柱404，多个实心柱404的后端均固定连接有加热环405，加热环405内设置有电热丝，空心柱401与实心柱404之间通过螺钉压紧固定。空心柱401可以在梯形凸条II403上左右滑动，防滑条402增大了摩擦力，空心柱401在梯形凸条II403上滑动完毕后可以固定，实心柱404可以在空心柱401上前后滑动，进而调节加热环405的前后位置，加热环405设置有多个，将多个加热环405放置于晶圆上不同孔的下侧，与激光发射器6配合辅助控制每个孔处的温度，进一步使得差异化孔同步电镀填充。
具体实施方式七：
下面结合图1-8说明本实施方式，所述差异化孔同步电镀填充系统还包括凸片301和阳极柱302，电镀盒3的左侧固定连接有凸片301，凸片301上固定连接有阳极柱302。阳极柱302作为阳极进行通电。
具体实施方式八：
下面结合图1-8说明本实施方式，所述差异化孔同步电镀填充系统还包括绝缘片303、压螺钉I304、橡胶套305、阴极柱5、侧片501、梯形凸条III502、接触块503和压螺钉II504，电镀盒3的右侧设置有橡胶套305，橡胶套305上在左右方向上滑动连接有阴极柱5，阴极柱5的左端固定连接有侧片501，侧片501的左侧固定连接有梯形凸条III502，梯形凸条III502上竖向滑动连接有接触块503，侧片501的上部通过螺纹连接有压螺钉II504，压螺钉II504压在接触块503的上侧，电镀盒3的右部通过螺纹连接有压螺钉I304，压螺钉I304的左端固定连接有绝缘片303，绝缘片303压在侧片501的右侧。阴极柱5作为阴极进行通电，旋动压螺钉I304向左移动时可以带动绝缘片303向左压动侧片501，使得侧片501和阴极柱5向左滑动，进而将接触块503移动至晶圆的上侧，旋动压螺钉II504向下移动压在晶圆的上侧，进而阴极柱5与晶圆之间连通，晶圆作为阴极进行电镀。
一种差异化孔同步电镀填充系统进行电镀填充的方法包括以下步骤：
S1、两个V形夹杆101将晶圆夹紧固定至水平位置；
S2、将晶圆放入电镀盒3内并在电镀盒3内加入电镀液，将接触块503移动至晶圆的上侧，旋动压螺钉II504向下移动压在晶圆的上侧，进而阴极柱5与晶圆之间连通；
S3、节激光发射器6的前后左右位置，将激光发射器6调整至晶圆上的孔的正上部，向孔处发射激光，将多个不同大小的孔的上方均设置一个激光发射器6；
S4、根据需要向放置座607上防止不同的透光率或者不同数量的半透光片604，调节多个激光发射器6照射在不同孔上的光的强度，进而改变每个孔周围的温度；
S5、在阳极柱302和阴极柱5处通电对晶圆进行电镀。
本发明的工作原理：使用时，将晶圆放入电镀盒3内并在电镀盒3内加入电镀液，将晶圆作为阴极，再在电镀盒3的另一侧向电镀液内通入阳极，对晶圆上的孔进行电镀；由于晶圆上的孔的大小不同，因此，在不同孔的上侧均设置有个激光发射器6，根据需要向放置座607上防止不同的透光率或者不同数量的半透光片604，调节多个激光发射器6照射在不同孔上的光的强度，进而改变每个孔周围的温度，在不同的温度下，使得不同大小的孔可以同步电镀填充。支撑杆603可以左右移动，前后移杆602可以前后滑动，进而调节激光发射器6的前后左右位置，将激光发射器6调整至晶圆上的孔的正上部，向孔处发射激光。将多个不同大小的孔的上方均设置一个激光发射器6。两个条座103均可以在轨道杆104上前后滑动，进而调节两个V形夹杆101的前后位置，两个V形夹杆101可以将晶圆夹紧固定至水平位置，晶圆插在四个夹槽102内防止晶圆脱离两个V形夹杆101。电动推杆106伸缩时可以带动竖杆1在L形架105上竖直滑动，进而带动两个V形夹杆101和晶圆上下移动，便于将晶圆从电镀盒3内取出。固定轴2上的压缩弹簧始终给予底杆202向上的力，使得顶针203可以压在位置两个V形夹杆101之间的晶圆的下侧，防止晶圆上下窜动。空心柱401可以在梯形凸条II403上左右滑动，防滑条402增大了摩擦力，空心柱401在梯形凸条II403上滑动完毕后可以固定，实心柱404可以在空心柱401上前后滑动，进而调节加热环405的前后位置，加热环405设置有多个，将多个加热环405放置于晶圆上不同孔的下侧，与激光发射器6配合辅助控制每个孔处的温度，进一步使得差异化孔同步电镀填充。阳极柱302作为阳极进行通电。阴极柱5作为阴极进行通电，旋动压螺钉I304向左移动时可以带动绝缘片303向左压动侧片501，使得侧片501和阴极柱5向左滑动，进而将接触块503移动至晶圆的上侧，旋动压螺钉II504向下移动压在晶圆的上侧，进而阴极柱5与晶圆之间连通，晶圆作为阴极进行电镀。
当然，上述说明并非对本发明的限制，本发明也不仅限于上述举例，本技术领域的普通技术人员在本发明的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换，也属于本发明的保护范围。

Claims (2)

1.一种差异化孔同步电镀填充系统，包括电镀盒(3)、激光发射器(6)、门形架(601)、半透光片(604)、透光孔(605)、挡杆(606)和放置座(607)，其特征在于：所述激光发射器(6)固定连接在门形架(601)的下侧，门形架(601)的下部固定连接有放置座(607)，放置座(607)的中部设置有透光孔(605)，放置座(607)上放置有半透光片(604)，放置座(607)的前后两侧均固定连接有挡杆(606)，激光发射器(6)、门形架(601)、半透光片(604)、透光孔(605)、挡杆(606)和放置座(607)设置有多组，多个激光发射器(6)均位于电镀盒(3)的上侧；
所述差异化孔同步电镀填充系统还包括梯形凸条I(306)、前后移杆(602)和支撑杆(603)，电镀盒(3)的后侧设置有梯形凸条I(306)，多个门形架(601)上均固定连接有前后移杆(602)，多个前后移杆(602)在前后方向上分别滑动连接在多个支撑杆(603)的上部，前后移杆(602)和支撑杆(603)之间通过螺钉压紧固定，多个支撑杆(603)的下部均滑动连接在梯形凸条I(306)上，多个支撑杆(603)均通过螺钉压紧固定；
所述差异化孔同步电镀填充系统还包括V形夹杆(101)、夹槽(102)、条座(103)和轨道杆(104)，两个条座(103)分别滑动连接在轨道杆(104)的前后两端，条座(103)与轨道杆(104)之间通过螺钉压紧固定，两个条座(103)的相对面上均固定连接有V形夹杆(101)，两个V形夹杆(101)的左右两部均设置有夹槽(102)，两个V形夹杆(101)均位于电镀盒(3)的内部；
所述差异化孔同步电镀填充系统还包括竖杆(1)、L形架(105)和电动推杆(106)，L形架(105)的下部固定连接在电镀盒(3)的底面上，轨道杆(104)的中部固定连接有竖杆(1)，竖杆(1)竖向滑动连接在L形架(105)的上部，L形架(105)的上部固定连接有电动推杆(106)，电动推杆(106)的活动端固定连接在竖杆(1)的上部；
所述差异化孔同步电镀填充系统还包括固定轴(2)、挡片(201)、底杆(202)和顶针(203)，轨道杆(104)的下部固定连接有固定轴(2)，底杆(202)滑动连接在固定轴(2)上，固定轴(2)的下端固定连接有挡片(201)，挡片(201)与底杆(202)之间的固定轴(2)上套接有压缩弹簧I，底杆(202)的右端上侧固定连接有顶针(203)；
所述差异化孔同步电镀填充系统还包括T形支架(4)、空心柱(401)、防滑条(402)、梯形凸条II(403)、实心柱(404)和加热环(405)，电镀盒(3)的内侧前部固定连接有T形支架(4)，T形支架(4)的后侧设置有梯形凸条II(403)，梯形凸条II(403)上粘接有防滑条(402)，梯形凸条II(403)上滑动连接有多个空心柱(401)，多个空心柱(401)上均滑动连接有实心柱(404)，多个实心柱(404)的后端均固定连接有加热环(405)，加热环(405)内设置有电热丝，空心柱(401)与实心柱(404)之间通过螺钉压紧固定；
所述差异化孔同步电镀填充系统还包括凸片(301)和阳极柱(302)，电镀盒(3)的左侧固定连接有凸片(301)，凸片(301)上固定连接有阳极柱(302)；
所述差异化孔同步电镀填充系统还包括绝缘片(303)、压螺钉I(304)、橡胶套(305)、阴极柱(5)、侧片(501)、梯形凸条III(502)、接触块(503)和压螺钉II(504)，电镀盒(3)的右侧设置有橡胶套(305)，橡胶套(305)上在左右方向上滑动连接有阴极柱(5)，阴极柱(5)的左端固定连接有侧片(501)，侧片(501)的左侧固定连接有梯形凸条III(502)，梯形凸条III(502)上竖向滑动连接有接触块(503)，侧片(501)的上部通过螺纹连接有压螺钉II(504)，压螺钉II(504)压在接触块(503)的上侧，电镀盒(3)的右部通过螺纹连接有压螺钉I(304)，压螺钉I(304)的左端固定连接有绝缘片(303)，绝缘片(303)压在侧片(501)的右侧。
2.根据权利要求1所述的一种差异化孔同步电镀填充系统进行电镀填充的方法包括以下步骤：
S1、两个V形夹杆(101)将晶圆夹紧固定至水平位置；
S2、将晶圆放入电镀盒(3)内并在电镀盒(3)内加入电镀液，将接触块(503)移动至晶圆的上侧，旋动压螺钉II(504)向下移动压在晶圆的上侧，进而阴极柱(5)与晶圆之间连通；
S3、节激光发射器(6)的前后左右位置，将激光发射器(6)调整至晶圆上的孔的正上部，向孔处发射激光，将多个不同大小的孔的上方均设置一个激光发射器(6)；
S4、根据需要向放置座(607)上防止不同的透光率或者不同数量的半透光片(604)，调节多个激光发射器(6)照射在不同孔上的光的强度，进而改变每个孔周围的温度；
S5、在阳极柱(302)和阴极柱(5)处通电对晶圆进行电镀。
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