CN111334755B - 一种蒸镀装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种蒸镀装置，通过将坩埚本体设置在基板上方，能够避免基板产生弯曲，且使得基板和掩膜版能够更好地贴合在一起；由于坩埚本体在蒸镀和运动过程中会产生灰尘颗粒，灰尘颗粒落在设置在基板上的掩膜版上会造成掩膜版塞孔，影响到基板的镀膜，在坩埚本体和基板之间设置防尘装置，能够有效防止灰尘颗粒落入到掩膜版上，进而能够在减小基板弯曲的同时有效起到防尘作用，提高基板镀膜的稳定性和品质度。

Description

一种蒸镀装置
技术领域
本发明涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种蒸镀装置。
背景技术
有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，简称为OLED)被发明以来，备受业界关注，经过几十年的发展，凭借其轻薄和可挠曲等特性，现已广泛应用在显示领域，是目前最具发展前景的显示技术。
OLED的核心部分是由多层的不同功能的有机层构成，这些有机层的厚度一般在几埃到几千埃之间，每层的厚度必须精确控制；目前，物理气相沉积法是制作有机层的主流技术：将有机材料在真空腔中加热，使得材料气化或者升华，沉积在温度比较低的基板上，形成多层膜的OLED器件。
比较常见的做法是：基板在真空腔的上部并且镀膜面朝下，盛有有机材料的坩埚在腔体下部，有机材料在坩埚内部经过加热升华或者气化，沉积在基板上；由于基板的厚度一般在1mm以内且镀膜面朝下，只能在基板的边界处非镀膜区域做支撑，基板中间镀膜区域无法做支撑，因此基板在重力的作用下很容易产生弯曲(bending)；为了减小基板的弯曲，必须控制基板的尺寸并保持比较厚的厚度，限制了生产效率的提高和成本的节约。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是：提供一种能够减小基板弯曲的同时有效起到防尘作用的蒸镀装置。
为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：
一种蒸镀装置，包括坩埚本体和基板，所述坩埚本体位于所述基板上方，所述坩埚本体和基板之间设有防尘装置，所述防尘装置被配置为吸收所述坩埚本体产生的灰尘颗粒；
所述坩埚本体的一侧面设有供坩埚本体内的喷射物向外喷射的喷嘴，在所述蒸镀装置的竖直方向上，所述喷嘴与所述防尘装置的边缘平齐，所述喷嘴倾斜设置且所述喷嘴的喷射口朝向所述基板。
本发明的有益效果在于：
通过将坩埚本体设置在基板上方，能够避免基板产生弯曲，且使得基板和掩膜版能够更好地贴合在一起；由于坩埚本体在蒸镀和运动过程中会产生灰尘颗粒，灰尘颗粒落在设置在基板上的掩膜版上会造成掩膜版塞孔，影响到基板的镀膜，在坩埚本体和基板之间设置防尘装置，能够有效防止灰尘颗粒落入到掩膜版上，进而能够在减小基板弯曲的同时有效起到防尘作用，提高基板镀膜的稳定性和品质度。
附图说明
图1为根据本发明的一种蒸镀装置的结构示意图；
图2为根据本发明的一种蒸镀装置的尺寸示意图；
标号说明：
1、坩埚本体；2、基板；3、上防尘板；4、下防尘板；5、侧板。
具体实施方式
为详细说明本发明的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
请参照图1，本发明提供的技术方案：
一种蒸镀装置，包括坩埚本体和基板，所述坩埚本体位于所述基板上方，所述坩埚本体和基板之间设有防尘装置，所述防尘装置被配置为吸收所述坩埚本体产生的灰尘颗粒；
所述坩埚本体的一侧面设有供坩埚本体内的喷射物向外喷射的喷嘴，在所述蒸镀装置的竖直方向上，所述喷嘴与所述防尘装置的边缘平齐，所述喷嘴倾斜设置且所述喷嘴的喷射口朝向所述基板。
从上述描述可知，本发明的有益效果在于：
通过将坩埚本体设置在基板上方，能够避免基板产生弯曲，且使得基板和掩膜版能够更好地贴合在一起；由于坩埚本体在蒸镀和运动过程中会产生灰尘颗粒，灰尘颗粒落在设置在基板上的掩膜版上会造成掩膜版塞孔，影响到基板的镀膜，在坩埚本体和基板之间设置防尘装置，能够有效防止灰尘颗粒落入到掩膜版上，进而能够在减小基板弯曲的同时有效起到防尘作用，提高基板镀膜的稳定性和品质度。
进一步的，所述喷嘴的延长线与所述基板所在的法线之间形成的夹角为30-45°。
由上述描述可知，将喷嘴的延长线与基板所在的法线之间形成的夹角设为30-45°，能够保证坩埚本体内的喷射物喷射到基板上完成基板的镀膜。
进一步的，所述防尘装置包括上防尘板，所述上防尘板与所述坩埚本体相互平行设置，在所述蒸镀装置的竖直方向上，所述喷嘴与所述上防尘板的边缘平齐。
进一步的，所述上防尘板上设有盲孔。
由上述描述可知，通过设置上防尘板用来吸收坩埚本体产生的灰尘颗粒，在上防尘板上设置盲孔，能够增加上防尘板的吸附面积使得上防尘板上能够容纳更多的灰尘颗粒，且灰尘颗粒有些呈粉末状的，通过设置盲孔，粉末落入到盲孔中不易重新从上防尘板中飘出。
进一步的，所述上防尘板靠近所述坩埚本体的一侧面的边缘上设有侧板，所述侧板倾斜设置在所述上防尘板上，所述侧板与所述上防尘板的延伸面之间形成的夹角为45-90°且所述侧板在所述上防尘板的延伸面的投影的水平宽度为1-3cm。
由上述描述可知，通过设置侧板能够进一步有效防止掉落在上防尘板的灰尘颗粒落在掩膜版上还能够起到阻挡蒸镀物的作用，使得从坩埚本体中喷射出来的喷射物都喷射在基板上，避免蒸镀物的浪费。
进一步的，所述防尘装置还包括下防尘板，所述下防尘板设置在所述上防尘板与所述基板之间，所述下防尘板与所述上防尘板相互平行设置且所述下防尘板的轴中心和上防尘板的轴中心在同一直线上，在所述蒸镀装置的竖直方向上，所述下防尘板的边缘与所述上防尘板的边缘不平齐。
从上述描述可知，上防尘板上积累较多的灰尘颗粒时，在没有及时处理的情况下，会由于积累量的增多从上防尘板中溢出，通过设置下防尘板且防尘板的边缘与上防尘板的边缘不平齐能够有效防止灰尘颗粒落在掩膜版上造成掩膜版塞孔。
进一步的，所述上防尘板的边缘处所在的法线与所述下防尘板的边缘处所在的法线之间的距离为2-6cm。
进一步的，所述上防尘板与所述下防尘板之间设有间距，所述间距为1-3cm。
请参照图1和图2，本发明的实施例一为：
一种蒸镀装置，包括坩埚本体1和基板2，所述坩埚本体1位于所述基板2上方，所述坩埚本体1和基板2之间设有防尘装置，所述防尘装置被配置为吸收所述坩埚本体1产生的灰尘颗粒；所述防尘装置由耐高温(大于500℃)的金属材料或合金制成，例如钛、铝、铁和铜等。
所述基板2靠近防尘装置的一侧面上方设有掩膜版，用来在基板2上形成印制图案。
所述坩埚本体1内部设有有机材料，在所述坩埚本体1的外围设有加热装置用以加热坩埚本体1内的有机材料；在所述有机材料的上方设有多孔分散板，用来使有机材料能够均匀地从喷嘴喷出。
所述坩埚本体1的一侧面设有供坩埚本体1内的喷射物向外喷射的喷嘴，在所述蒸镀装置的竖直方向上，所述喷嘴与所述防尘装置的边缘平齐，所述喷嘴倾斜设置且所述喷嘴的喷射口朝向所述基板2。
在进行蒸镀时，坩埚本体1和防尘装置会一起进行水平往复运动或者是基板2和掩膜版一起进行水平往复运动以使基板2上均匀镀上膜层。
所述喷嘴的延长线与所述基板2所在的法线之间形成的夹角(所述夹角可参照图2中用θ标识的夹角)为30-45°，优选为39°。
所述防尘装置包括上防尘板3，所述上防尘板3与所述坩埚本体1相互平行设置，在所述蒸镀装置的竖直方向上，所述喷嘴与所述上防尘板3的边缘平齐。
所述上防尘板3上设有盲孔。
所述上防尘板3靠近所述坩埚本体1的一侧面的边缘上设有侧板5，所述侧板5倾斜设置在所述上防尘板3上，所述侧板5与所述上防尘板3的延伸面之间形成的夹角为45-90°，优选为60°，且所述侧板5在所述上防尘板3的延伸面的投影的水平宽度(所述水平宽度为图2中用A和C标识的宽度)为1-3cm，优选为2.5cm。
所述防尘装置还包括下防尘板4，所述下防尘板4设置在所述上防尘板3与所述基板2之间，所述下防尘板4与所述上防尘板3相互平行设置且所述下防尘板4的轴中心和上防尘板3的轴中心在同一直线上，在所述蒸镀装置的竖直方向上，所述下防尘板4的边缘与所述上防尘板3的边缘不平齐。
在蒸镀物喷射到上防尘板3时，将通过设置的侧板5和将所述上防尘板3的边缘处所在的法线与所述下防尘板4的边缘处所在的法线之间的距离(所述距离为图2中用B和D标识的宽度)设为2-6cm，优选为4cm，能够保证下防尘板4上不会镀到蒸镀物，保证下防尘板4的清洁度，由于下防尘板4上保持一定的洁净度，灰尘颗粒落在掩膜版上的几率就会大大减小。
所述上防尘板3与所述下防尘板4之间设有间距，所述间距为1-3cm，优选为2cm。
综上所述，本发明提供的一种蒸镀装置，通过将坩埚本体设置在基板上方，能够避免基板产生弯曲，且使得基板和掩膜版能够更好地贴合在一起；由于坩埚本体在蒸镀和运动过程中会产生灰尘颗粒，灰尘颗粒落在设置在基板上的掩膜版上会造成掩膜版塞孔，影响到基板的镀膜，在坩埚本体和基板之间设置防尘装置，能够有效防止灰尘颗粒落入到掩膜版上，进而能够在减小基板弯曲的同时有效起到防尘作用，提高基板镀膜的稳定性和品质度。
以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (4)

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括坩埚本体和基板，所述坩埚本体位于所述基板上方，所述坩埚本体和基板之间设有防尘装置，所述防尘装置被配置为吸收所述坩埚本体产生的灰尘颗粒；
所述坩埚本体的一侧面设有供坩埚本体内的喷射物向外喷射的喷嘴，在所述蒸镀装置的竖直方向上，所述喷嘴与所述防尘装置的边缘平齐，所述喷嘴倾斜设置且所述喷嘴的喷射口朝向所述基板；
所述防尘装置包括上防尘板，所述上防尘板与所述坩埚本体相互平行设置，在所述蒸镀装置的竖直方向上，所述喷嘴与所述上防尘板的边缘平齐；所述上防尘板上设有盲孔；所述上防尘板靠近所述坩埚本体的一侧面的边缘上设有侧板，所述侧板倾斜设置在所述上防尘板上，所述侧板与所述上防尘板的延伸面之间形成的夹角为45-90°且所述侧板在所述上防尘板的延伸面的投影的水平宽度为1-3cm；
所述防尘装置还包括下防尘板，所述下防尘板设置在所述上防尘板与所述基板之间，所述下防尘板与所述上防尘板相互平行设置且所述下防尘板的轴中心和上防尘板的轴中心在同一直线上，在所述蒸镀装置的竖直方向上，所述下防尘板的边缘与所述上防尘板的边缘不平齐。
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述喷嘴的延长线与所述基板所在的法线之间形成的夹角为30-45°。
3.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述上防尘板的边缘处所在的法线与所述下防尘板的边缘处所在的法线之间的距离为2-6cm。
4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述上防尘板与所述下防尘板之间设有间距，所述间距为1-3cm。
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