CN111238372A - 双复合式坐标测量系统的联合位置误差的同步检测方法 - Google Patents

双复合式坐标测量系统的联合位置误差的同步检测方法 Download PDF

Info

Publication number
CN111238372A
CN111238372A CN202010113496.9A CN202010113496A CN111238372A CN 111238372 A CN111238372 A CN 111238372A CN 202010113496 A CN202010113496 A CN 202010113496A CN 111238372 A CN111238372 A CN 111238372A
Authority
CN
China
Prior art keywords
coordinate system
sub
standard
coordinate
angle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202010113496.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN111238372B (zh
Inventor
周森
徐健
陶磊
颜宇
黄勇
张涛
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Chongqing Academy of Metrology and Quality Inspection
Original Assignee
Chongqing Academy of Metrology and Quality Inspection
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Chongqing Academy of Metrology and Quality Inspection filed Critical Chongqing Academy of Metrology and Quality Inspection
Priority to CN202010113496.9A priority Critical patent/CN111238372B/zh
Publication of CN111238372A publication Critical patent/CN111238372A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN111238372B publication Critical patent/CN111238372B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/002Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates

Abstract

本发明公开了一种双复合式坐标测量系统的联合位置误差的同步检测方法,能够将两个联合位置误差溯源到同一激光干涉系统上,采用激光干涉系统建立参考坐标系,获取参考坐标系分别关于第一子坐标系、第二子坐标系的旋转关系;根据旋转关系将检测点在子坐标系中的位置坐标转换到参考坐标系中,得到旋转位置坐标;根据旋转位置坐标进行数据拟合,得到被测标准单元的拟合中心坐标;确定出被测标准单元中心点在参考坐标系中的参考位置坐标,作为被测标准单元中心点的实际位置坐标;以被测标准单元中心点的实际位置坐标为中心,作一个包含被测单元所有拟合中心坐标的最小外接球,所述最小外接球的直径作为联合位置误差。

Description

双复合式坐标测量系统的联合位置误差的同步检测方法
技术领域
本发明涉及误差检测技术领域,尤其是两台复合式坐标测量系统的联合位置误差检测方法。
背景技术
复合式坐标测量系统具有多种类型的传感器,如接触式、图像、光学传感器。对于大型构件,往往需要两台复合式坐标测量系统同时进行测量,但是目前存在的问题是:在测量前对两台坐标测量系统的联合误差校准(多种传感器的联合误差)是先后进行的,不仅效率较低,更严重的是导致两台复合式坐标测量系统在检测时所处的环境条件不一致(如温度、气压、湿度等),那么两台复合式坐标测量系统的误差精度检测受到环境干扰,不能准确的检测到两台复合式坐标测量系统在相同环境条件下的联合误差,因此难以将两台测量系统的联合误差校准为一致,导致对大型构件的测量结果不准确。尤其是复合式坐标测量系统的联合位置误差,联合位置误差属于系统误差,是影响测量结果精度的关键性因素。至于联合形状误差与联合尺寸误差,主要由传感器的性能决定,对测量结果精度的影响远小于联合位置误差。因此,亟需要一种能够同时对两台复合式坐标测量系统进行联合位置误差检测的方法。
发明内容
针对上述现有技术的不足,本发明提供一种双复合式坐标测量系统的联合位置误差的同步检测方法,解决目前缺乏能够同时对两台复合式坐标测量系统进行联合位置误差检测的有效方法的技术问题。
为了解决上述技术问题,本发明采用了如下的技术方案:一种双复合式坐标测量系统的联合位置误差的同步检测方法,包括以下步骤:建立参考坐标系,获取参考坐标系分别关于第一子坐标系、第二子坐标系的旋转关系;第一子坐标系、第二子坐标系分别为第一坐标测量系统的坐标系、第二坐标测量系统的坐标系;
分别以标准器A、标准器B上的一个标准单元的中心点作为第一溯源点、第二溯源点,跟踪第一溯源点、第二溯源点在参考坐标系中的参考位置坐标;第一坐标测量系统、第二坐标测量系统分别同时对标准器A、标准器B进行采样;
根据相应的旋转关系分别将标准器A上对被测标准单元的检测点在第一子坐标系中的位置坐标、标准器B上被对测标准单元的检测点在第二子坐标系统中的位置坐标转换到参考坐标系中,从而得到相应的旋转位置坐标;
根据旋转位置坐标进行数据拟合,得到被测标准单元的拟合中心坐标;根据标准单元之间已知的相对位置关系以及溯源点的参考位置坐标,确定出被测标准单元中心点在参考坐标系中的参考位置坐标,作为被测标准单元中心点的实际位置坐标;以被测标准单元中心点的实际位置坐标为中心,作一个包含被测单元所有拟合中心坐标的最小外接球,所述最小外接球的直径作为联合位置误差。
进一步的,参考坐标系按如下方式建立:
在两个复合式坐标测量系统之间建立激光光路:激光干涉仪、双角度分光镜与参考面镜的中心依次位于同一直线上,形成主直线光路;主直线光路作为参考坐标系的一水平轴,以主直线光路的水平垂直线作为另一水平轴,以双角度分光镜的中心作为参考坐标系的原点。
进一步的,参考坐标系关于第一子坐标系、第二子坐标系的旋转关系按如下方式获取:
双角度分光镜从主直线光路上分解出分别用于跟踪第一溯源点、第二溯源点的第一子光路、第二子光路;通过激光干涉法调整双角度分光镜的分光角度,使第一子光路、第二子光路分别同时平行于第一子坐标系的一水平轴、第二子坐标系的一水平轴,获取此时第一子光路与主直线光路之间的夹角β1以及第二子光路与主直线光路之间的夹角β2,夹角β1与夹角β2分别作为参考坐标系关于第一子坐标系、第二子坐标系的旋转关系。
进一步的,若复合式坐标测量系统中包含多个轴线不平行的控制臂,以其中一个控制臂作为参考臂,标准器位于参考臂有效视场范围时的位置作为参考位置;依次绕单轴翻转标准器,使标准器位于各个控制臂的有效视场范围内,依次对标准器进行采样;同时,采用角度跟踪光路对标准器相对于参考位置的参考翻转角度进行跟踪;根据参考翻转角度对所有控制臂的采样数据进行转换,得当所有控制臂在参考臂位姿下的翻转数据;以翻转数据作为被测标准单元的检测点在子坐标系中的位置坐标。
与现有技术相比,本发明具有以下有益效果:
1、本发明创新性的提出了双复合式坐标测量系统的联合位置误差的表达方法:以被测标准单元中心点的实际位置坐标为中心,作一个包含被测单元所有拟合中心坐标的最小外接球,所述最小外接球的直径作为联合位置误差。这种表达方式并非直接来源于单个复合式坐标测量系统的联合位置误差的表达方式。
2、本发明将第一子坐标系、第二子坐标系均转换到同一参考坐标系下,将独立的两个复合式坐标测量系统各自的联合位置误差通过统一的参考坐标系联系到一起:实际位置坐标均是在参考坐标系下,实际位置坐标的精度均被溯源到同一台激光干涉仪(精度比测量系统更高)上,排除了实际位置坐标精度的差异所导致的两个系统的联合位置误差的累积误差:若分别用不同的仪器来溯源实际位置坐标,不同仪器的测量精度存在差异,这种差异就会累积到相应的联合位置误差上。
3、本发明除了能够对两台单臂复合式坐标测量系统的联合位置误差进行同步检测以外,还通过角度追踪进行数据翻转,来实现两台多臂复合式坐标测量系统的联合位置误差的同步检测。
附图说明
图1是双复合式坐标测量系统的联合位置误差的同步检测方法的原理示意图。
具体实施方式
下面结合附图和优选实施方式对本发明作进一步的详细说明。
参考图1所示,两个复合式坐标测量系统分别为协作测量设备1、协作测量设备2。协作测量设备1只有一个控制臂,协作测量设备2具有两个控制臂。
建立参考坐标系:在两个复合式坐标测量系统之间建立激光光路:激光干涉仪、双角度分光镜与参考面镜的中心依次位于同一直线上,形成主直线光路;主直线光路作为参考坐标系的一水平轴(如Y轴),以主直线光路的水平垂直线作为另一水平轴(X轴),以双角度分光镜的中心作为参考坐标系的原点。第一子坐标系、第二子坐标系与参考坐标系的原点均位于同一水平面,并且三个坐标系的Z轴平行。
分别以标准器A、标准器B上的一个标准单元(标准单元为标准球、标准圆柱或标准圆孔)的中心点作为第一溯源点、第二溯源点,跟踪第一溯源点、第二溯源点在参考坐标系中的参考位置坐标;第一坐标测量系统、第二坐标测量系统分别同时对标准器A、标准器B进行采样。
参考坐标系关于第一子坐标系、第二子坐标系的旋转关系按如下方式获取:
双角度分光镜从主直线光路上分解出分别用于跟踪第一溯源点、第二溯源点的第一子光路、第二子光路;通过激光干涉法调整双角度分光镜的分光角度,使第一子光路、第二子光路分别同时平行于第一子坐标系的一水平轴(如X轴)、第二子坐标系的一水平轴(如X轴),获取此时第一子光路与主直线光路之间的夹角β1以及第二子光路与主直线光路之间的夹角β2,夹角β1与夹角β2分别作为参考坐标系关于第一子坐标系、第二子坐标系的旋转关系。
根据相应的旋转关系分别将标准器A上对被测标准单元的检测点在第一子坐标系中的位置坐标、标准器B上被对测标准单元的检测点在第二子坐标系统中的位置坐标转换到参考坐标系中,从而得到相应的旋转位置坐标。
以协作测量设备2为例来说明根据夹角β2来计算旋转位置坐标:
假设标准器B上被对测标准单元的检测点在第二子坐标系统中的位置坐标为(x2,y2,z2),根据三角函数关系与几何变换,可得到相应的旋转位置坐标(x,y,z)如下:
Figure BDA0002390783520000041
根据旋转位置坐标进行数据拟合,拟合出球体、圆孔等,如拟合出高斯球,得到被测标准单元的拟合中心坐标;根据标准单元之间已知的相对位置关系(标准单元中心之间的距离为已知的名义值)以及溯源点的参考位置坐标,确定出被测标准单元中心点在参考坐标系中的参考位置坐标,作为被测标准单元中心点的实际位置坐标;以被测标准单元中心点的实际位置坐标为中心,作一个包含被测单元所有拟合中心坐标的最小外接球,所述最小外接球的直径作为联合位置误差。
对于单臂复合式坐标测量系统,以协作测量设备2为例,可以根据以下方式确定溯源点在参考坐标系中的参考位置坐标:
获取第二子光路垂直于标准器B上被测标准单元外表面的切线的垂点在参考坐标系中的参考位置坐标,以被测标准单元的名义半径值作为垂点与第二溯源点之间的距离,从而计算出第二溯源点在参考坐标系中的参考位置坐标。
若复合式坐标测量系统中包含多个轴线不平行的控制臂,以其中一个控制臂作为参考臂,标准器位于参考臂有效视场范围时的位置作为参考位置;依次绕单轴翻转标准器,使标准器位于各个控制臂的有效视场范围内,依次对标准器进行采样;同时,采用角度跟踪光路对标准器相对于参考位置的参考翻转角度进行跟踪;根据参考翻转角度对所有控制臂的采样数据进行转换,得当所有控制臂在参考臂位姿下的翻转数据;以翻转数据作为被测标准单元的检测点在子坐标系中的位置坐标。
标准器通过翻转机构进行单轴翻转,翻转机构包括底座、底座上设置有固定支架与升降杆,固定支架与标准器上的翻转中心点铰接,升降杆上端固定连接在标准器底面,并且升降杆上端位于跟踪点与翻转中心点的连线上;升降杆采用手动、电动、气动或液压升降杆。
对于多臂复合式坐标测量系统,以协作测量设备1为例,可以根据以下方式确定溯源点在参考坐标系中的参考位置坐标:
多臂复合式坐标测量系统中包含多个轴线不平行的控制臂,以其中一个控制臂(竖直控制臂)作为参考臂,标准器A位于参考臂有效视场范围时的位置作为参考位置;获取标准器位于参考位置时第一溯源点在参考坐标系中的位置坐标:首先确定标准器A位于水平位置上第一溯源点在参考坐标系中的位置坐标,然后,根据参考位置与水平位置之间的夹角,换算出标准器位于参考位置时第一溯源点在参考坐标系中的位置坐标。
角度跟踪光路包括位于溯源点正下方的测量面镜、位于子光路上的单角度分光镜与参考面镜;单角度分光镜从子光路上分解出垂直于子光路的水平跟踪光路,水平跟踪光路上设有位于测量面镜正下方的三角棱镜,三角棱镜用于跟随溯源点在标准器绕单轴翻转过程中在水平方向上的轴向移动,并将光线引导至测量面镜并接收测量面镜的反射光,从而使得激光干涉仪能够测量出测量面镜在Z轴方向距离三角棱镜的高度,以此高度作为溯源点距离三角棱镜的高度;根据溯源点距离三角棱镜的高度计算参考翻转角度。
按如下方式计算参考翻转角度:
首先,获取标准器位于水平位置时,溯源点距离三角棱镜的初始高度h0
然后,获取标准器位于参考位置时,溯源点距离三角棱镜的高度h1;计算参考位置时的标准器与水平面之间的夹角α0
最后,计算第i个控制臂相对于参考位置的参考翻转角度αi,根据以下公式:
Figure BDA0002390783520000051
式中,L表示标准器上的溯源点与翻转中心点之间的距离,hi表示溯源点距离三角棱镜的高度。

Claims (9)

1.一种双复合式坐标测量系统的联合位置误差的同步检测方法,其特征在于,包括以下步骤:建立参考坐标系,获取参考坐标系分别关于第一子坐标系、第二子坐标系的旋转关系;第一子坐标系、第二子坐标系分别为第一坐标测量系统的坐标系、第二坐标测量系统的坐标系;
分别以标准器A、标准器B上的一个标准单元的中心点作为第一溯源点、第二溯源点,跟踪第一溯源点、第二溯源点在参考坐标系中的参考位置坐标;第一坐标测量系统、第二坐标测量系统分别同时对标准器A、标准器B进行采样;
根据相应的旋转关系分别将标准器A上对被测标准单元的检测点在第一子坐标系中的位置坐标、标准器B上被对测标准单元的检测点在第二子坐标系统中的位置坐标转换到参考坐标系中,从而得到相应的旋转位置坐标;
根据旋转位置坐标进行数据拟合,得到被测标准单元的拟合中心坐标;根据标准单元之间已知的相对位置关系以及溯源点的参考位置坐标,确定出被测标准单元中心点在参考坐标系中的参考位置坐标,作为被测标准单元中心点的实际位置坐标;以被测标准单元中心点的实际位置坐标为中心,作一个包含被测单元所有拟合中心坐标的最小外接球,所述最小外接球的直径作为联合位置误差。
2.根据权利要求1所述的双复合式坐标测量系统的联合位置误差的同步检测方法,其特征在于,标准单元为标准球、标准圆柱、标准圆孔或相互间的组合体。
3.根据权利要求1所述的双复合式坐标测量系统的联合位置误差的同步检测方法,其特征在于,参考坐标系按如下方式建立:
在两个复合式坐标测量系统之间建立激光光路:激光干涉仪、双角度分光镜与参考面镜的中心依次位于同一直线上,形成主直线光路;主直线光路作为参考坐标系的一水平轴,以主直线光路的水平垂直线作为另一水平轴,以双角度分光镜的中心作为参考坐标系的原点。
4.根据权利要求3所述的双复合式坐标测量系统的联合位置误差的同步检测方法,其特征在于:第一子坐标系、第二子坐标系与参考坐标系的原点均位于同一水平面,并且三个坐标系的Z轴平行。
5.根据权利要求3所述的双复合式坐标测量系统的联合位置误差的同步检测方法,其特征在于:参考坐标系关于第一子坐标系、第二子坐标系的旋转关系按如下方式获取:
双角度分光镜从主直线光路上分解出分别用于跟踪第一溯源点、第二溯源点的第一子光路、第二子光路;通过激光干涉法调整双角度分光镜的分光角度,使第一子光路、第二子光路分别同时平行于第一子坐标系的一水平轴、第二子坐标系的一水平轴,获取此时第一子光路与主直线光路之间的夹角β1以及第二子光路与主直线光路之间的夹角β2,夹角β1与夹角β2分别作为参考坐标系关于第一子坐标系、第二子坐标系的旋转关系。
6.根据权利要求5所述的双复合式坐标测量系统的联合位置误差的同步检测方法,其特征在于:根据以下方式确定溯源点在参考坐标系中的参考位置坐标,获取子光路垂直于被测标准单元外表面的切线的垂点在参考坐标系中的参考位置坐标,以被测标准单元的名义半径值作为垂点与溯源点之间的距离,从而计算出溯源点在参考坐标系中的参考位置坐标。
7.根据权利要求5所述的双复合式坐标测量系统的联合位置误差的同步检测方法,其特征在于:若复合式坐标测量系统中包含多个轴线不平行的控制臂,以其中一个控制臂作为参考臂,标准器位于参考臂有效视场范围时的位置作为参考位置;依次绕单轴翻转标准器,使标准器位于各个控制臂的有效视场范围内,依次对标准器进行采样;同时,采用角度跟踪光路对标准器相对于参考位置的参考翻转角度进行跟踪;根据参考翻转角度对所有控制臂的采样数据进行转换,得当所有控制臂在参考臂位姿下的翻转数据;以翻转数据作为被测标准单元的检测点在子坐标系中的位置坐标。
8.根据权利要求7所述的双复合式坐标测量系统的联合位置误差的同步检测方法,其特征在于:角度跟踪光路包括位于溯源点正下方的测量面镜、位于子光路上的单角度分光镜与参考面镜;单角度分光镜从子光路上分解出垂直于子光路的水平跟踪光路,水平跟踪光路上设有位于测量面镜正下方的三角棱镜,三角棱镜用于跟随溯源点在标准器绕单轴翻转过程中在水平方向上的轴向移动,并将光线引导至测量面镜并接收测量面镜的反射光,从而使得激光干涉仪能够测量出测量面镜在Z轴方向距离三角棱镜的高度,以此高度作为溯源点距离三角棱镜的高度;根据溯源点距离三角棱镜的高度计算参考翻转角度。
9.根据权利要求8所述的双复合式坐标测量系统的联合位置误差的同步检测方法,其特征在于:按如下方式计算参考翻转角度:
首先,获取标准器位于水平位置时,溯源点距离三角棱镜的初始高度h0
然后,获取标准器位于参考位置时,溯源点距离三角棱镜的高度h1;计算参考位置时的标准器与水平面之间的夹角α0
最后,计算第i个控制臂相对于参考位置的参考翻转角度αi,根据以下公式:
Figure FDA0002390783510000031
式中,L表示标准器上的溯源点与翻转中心点之间的距离,hi表示溯源点距离三角棱镜的高度。
CN202010113496.9A 2020-02-24 2020-02-24 双复合式坐标测量系统的联合位置误差的同步检测方法 Active CN111238372B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010113496.9A CN111238372B (zh) 2020-02-24 2020-02-24 双复合式坐标测量系统的联合位置误差的同步检测方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010113496.9A CN111238372B (zh) 2020-02-24 2020-02-24 双复合式坐标测量系统的联合位置误差的同步检测方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN111238372A true CN111238372A (zh) 2020-06-05
CN111238372B CN111238372B (zh) 2021-05-25

Family

ID=70880064

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010113496.9A Active CN111238372B (zh) 2020-02-24 2020-02-24 双复合式坐标测量系统的联合位置误差的同步检测方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111238372B (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112414352A (zh) * 2020-11-10 2021-02-26 重庆市计量质量检测研究院 凸轮轴上被测对象的采样位姿修正与轮廓形貌测量方法
CN113310445A (zh) * 2021-05-26 2021-08-27 上海市计量测试技术研究院 一种多仪器组合测量系统的校准方法

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4677301A (en) * 1983-12-19 1987-06-30 Nippon Kogaku K. K. Alignment apparatus
CN101701794A (zh) * 2009-10-28 2010-05-05 合肥工业大学 双关节式坐标测量系统
CN102200429B (zh) * 2011-04-06 2012-07-04 西安交通大学 基于激光跟踪复合式测量的数控机床精度检测方法
CN106052607A (zh) * 2016-06-28 2016-10-26 天津大学 多传感器测量机坐标统一和精度检定的标准器及使用方法
CN106092008A (zh) * 2016-06-28 2016-11-09 天津大学 高精度复合式测量机的坐标统一标定器及标定方法
CN106352823A (zh) * 2016-08-26 2017-01-25 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 一种基于多瞄准装置的复合坐标测量系统
CN106871949A (zh) * 2017-04-17 2017-06-20 重庆市计量质量检测研究院 用于多传感器测量系统的多球板标准器及联合误差检测法
CN107063330A (zh) * 2017-04-17 2017-08-18 重庆市计量质量检测研究院 用于多传感器测量系统的多孔板标准器及联合误差检测法
CN110487182A (zh) * 2019-08-26 2019-11-22 大连理工大学 一种基于多维动态标准器的坐标转换方法

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4677301A (en) * 1983-12-19 1987-06-30 Nippon Kogaku K. K. Alignment apparatus
CN101701794A (zh) * 2009-10-28 2010-05-05 合肥工业大学 双关节式坐标测量系统
CN102200429B (zh) * 2011-04-06 2012-07-04 西安交通大学 基于激光跟踪复合式测量的数控机床精度检测方法
CN106052607A (zh) * 2016-06-28 2016-10-26 天津大学 多传感器测量机坐标统一和精度检定的标准器及使用方法
CN106092008A (zh) * 2016-06-28 2016-11-09 天津大学 高精度复合式测量机的坐标统一标定器及标定方法
CN106352823A (zh) * 2016-08-26 2017-01-25 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 一种基于多瞄准装置的复合坐标测量系统
CN106871949A (zh) * 2017-04-17 2017-06-20 重庆市计量质量检测研究院 用于多传感器测量系统的多球板标准器及联合误差检测法
CN107063330A (zh) * 2017-04-17 2017-08-18 重庆市计量质量检测研究院 用于多传感器测量系统的多孔板标准器及联合误差检测法
CN110487182A (zh) * 2019-08-26 2019-11-22 大连理工大学 一种基于多维动态标准器的坐标转换方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112414352A (zh) * 2020-11-10 2021-02-26 重庆市计量质量检测研究院 凸轮轴上被测对象的采样位姿修正与轮廓形貌测量方法
CN113310445A (zh) * 2021-05-26 2021-08-27 上海市计量测试技术研究院 一种多仪器组合测量系统的校准方法
CN113310445B (zh) * 2021-05-26 2023-06-06 上海市计量测试技术研究院 一种多仪器组合测量系统的校准方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN111238372B (zh) 2021-05-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7131207B2 (en) Workpiece inspection method
US9542355B2 (en) Method for recalibrating coordinate positioning apparatus
EP1446636B2 (en) Dynamic artefact comparison
CN109032070B (zh) 一种采用电涡流位移传感器的非接触式R-test测量仪标定方法
Gao et al. Precision measurement of multi-degree-of-freedom spindle errors using two-dimensional slope sensors
CN103791868B (zh) 一种基于虚拟球的空间标定体及其标定方法
CN111238372B (zh) 双复合式坐标测量系统的联合位置误差的同步检测方法
US6985238B2 (en) Non-contact measurement system for large airfoils
CN109724532B (zh) 一种复杂光学曲面几何参量的精确测试装置及方法
CN110360959A (zh) 一种用于大型精密轴类零件的视觉检测系统
CN103862327A (zh) 一种球头球心位置检测方法
TWI405057B (zh) Dynamic path detection method and device for five - axis machine
CN113028994A (zh) 一种管件椭圆度及厚度的同步检测装置及方法
CN101566466B (zh) 轮廓度分析系统及方法
CN107084685B (zh) 内孔圆柱度检测装置及其检测方法
CN116007532A (zh) 用机械臂调整摆臂式轮廓测量仪的装置及误差标定方法
CN115218792A (zh) 一种基于光学原理的主轴回转误差测量方法及装置
CN113134848A (zh) 一种基于六轴机器人重复定位精度的测量方式
CN111780967B (zh) 一种可校正偏心误差的转台传动精度光学复合检测方法
US10222193B2 (en) Method and apparatus for inspecting workpieces
CN203375945U (zh) 一种基于特征识别的激光三维测量装置
CN111272068B (zh) 协作多臂测量系统的联合误差评价、检测方法与系统
CN217930170U (zh) 一种光学检测式主轴回转误差测量装置
CN219198657U (zh) 应用激光跟踪仪的船舶尾管照光找中装置
CN115077458B (zh) 回转零件截面弯曲偏心的杠杆球式通用精密测量方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant