CN111215295A - 一种加热旋转平台装置及其使用方法 - Google Patents

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    • B05C13/00—Means for manipulating or holding work, e.g. for separate articles
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    • B05C9/00—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important
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    • B05C9/14—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material and performing an auxiliary operation the auxiliary operation involving heating or cooling

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Abstract

本发明属于半导体制程中喷胶领域，具体地说是一种加热旋转平台装置及其使用方法，装置包括单元平台、加热盘、连接法兰、中空旋转电机、固定架及中空旋转平台，固定架固接于单元平台上，中空旋转电机安装在固定架上，中空旋转平台可相对转动地设置在固定架上，并由中空旋转电机驱动旋转；连接法兰的一端与中空旋转平台相连，另一端由单元平台穿过、并连接有加热盘，加热盘上的加热丝电线及真空管由连接法兰内部、中空旋转平台穿过。本发明解决了现有技术需要定期人工校准的麻烦，且取缔了易坏导电滑环的使用。方便了人工操作且提供了工作效率。

Description

一种加热旋转平台装置及其使用方法
技术领域
本发明属于半导体制程中喷胶领域，具体地说是一种加热旋转平台装置及其使用方法。
背景技术
传统的喷胶机设备，其单元内基本上是由电机皮带轮带动加热盘体旋转；因皮带在长时间运转下会有松动的情况，需要人工定期进行校准相位角。另外，由电机皮带轮带动加热旋转盘体的结构，需要使用导电滑环对盘体的加热丝和电气件连接，由于喷胶机的本身工艺原因，喷胶单元内的粉尘颗粒较多，通常会导致导电滑环损坏而不通电。
发明内容
为了解决因现有皮带轮电机应用限制而导致的上述问题，本发明的目的在于提供一种加热旋转平台装置及其使用方法。该加热旋转平台装置解决了现有技术需要定期人工校准的麻烦，且取缔了易坏导电滑环的使用。方便了人工操作且提供了工作效率。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：
本发明的加热旋转平台装置包括单元平台、加热盘、连接法兰、中空旋转电机、固定架及中空旋转平台，其中固定架固接于单元平台上，所述中空旋转电机安装在固定架上，中空旋转平台可相对转动地设置在固定架上，并由所述中空旋转电机驱动旋转；所述连接法兰的一端与中空旋转平台相连，另一端由所述单元平台穿过、并连接有加热盘，该加热盘上的加热丝电线及真空管由所述连接法兰内部、中空旋转平台穿过；
其中：所述连接法兰为中空结构，两端分别与中空旋转平台及加热盘的底面固接；
所述单元平台上开设有通孔，所述连接法兰由该通孔穿过，所述通孔直径大于或等于连接法兰的外径；
所述加热丝电线的一端与加热盘相连，另一端依次穿过连接法兰、中空旋转平台后与位于所述单元平台下部的加热电气件连接；
所述真空管的一端与加热盘相连，另一端依次穿过连接法兰、中空旋转平台后通过真空管路与位于所述单元平台下部的负压源相连通。
本发明加热旋转平台装置的使用方法为：
在进行喷胶工艺作业时，当前后两片晶圆进行相同工艺时，所述中空旋转电机驱动中空旋转平台旋转，进而带动连接法兰及加热盘旋转，该加热盘顺时针旋转设定工艺角度，直到旋转至一片晶圆工艺做完；待下一片晶圆进行喷胶作业时，所述加热盘在当前位置再通过中空旋转电机的驱动逆时针旋转设定工艺角度，直到旋转回原位，此片晶圆工艺也作业完成；当前后两片晶圆进行不同工艺时，前一片晶圆工艺做完后，所述加热盘通过中空旋转电机的驱动回归原位，然后再进行下一片不同工艺作业的晶圆，通过中空旋转电机的驱动逆时针旋转设定工艺角度，直到旋转至下一片晶圆工艺做完。
本发明的优点与积极效果为：
本发明的加热旋转平台装置替代了电机皮带轮带动加热旋转盘体的动力形式，有效避免了人工定期校准皮带轮的紧度和相位角的操作，提供了工作效率，节省了维护时间，变相的提高了设备的产能。同时，因导电滑环在喷胶环境中损坏的几率比较高，本发明的加热旋转平台装置取缔了导电滑环的使用，所以相应的节省了成本。
附图说明
图1为本发明加热旋转平台装置的立体结构示意图；
图2为本发明加热旋转平台装置的结构侧视图；
图3为本发明加热旋转平台装置的结构俯视图；
图4为本发明加热旋转平台装置去掉固定架后的主视剖视图；
其中：1为单元平台，2为加热盘，3为连接法兰，4为中空旋转电机，5为固定架，6为中空旋转平台，7为加热丝电线，8为真空管。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步详述。
如图1～4所示，本发明的加热旋转平台装置包括单元平台1、加热盘2、连接法兰3、中空旋转电机4、固定架5及中空旋转平台6，其中固定架5呈倒置的“U”形，该“U”形开口端的两侧均固接在单元平台1的下表面。中空旋转电机4固接在固定架5上，中空旋转平台6可相对转动地设置在固定架5上，并由中空旋转电机4驱动旋转；本实施例的中空旋转平台6为市购的中空旋转电机4所自带的，故在此不再赘述。
连接法兰3为中空结构，一端与中空旋转平台6固接，另一端由单元平台1穿过、并连接至加热盘2的底面。单元平台1上开设有通孔，连接法兰3由该通孔穿过，通孔直径大于或等于连接法兰3的外径。
加热盘2上的加热丝电线7及真空管8由连接法兰3内部、中空旋转平台6穿过。加热丝电线7的一端与加热盘2相连，另一端依次穿过连接法兰3、中空旋转平台6后与位于单元平台1下部的加热电气件连接。真空管8的一端与加热盘2相连，另一端依次穿过连接法兰3、中空旋转平台6后通过真空管路与位于单元平台1下部的负压源相连通。
本发明加热旋转平台装置的使用方法为：
在进行喷胶工艺作业时，当前后两片晶圆进行相同工艺时，中空旋转电机4驱动中空旋转平台6旋转，进而带动连接法兰3及加热盘2旋转，该加热盘2顺时针旋转设定工艺角度，直到旋转至一片晶圆工艺做完；待下一片晶圆进行喷胶作业时，加热盘2在当前位置再通过中空旋转电机4的驱动逆时针旋转设定工艺角度，直到旋转回原位，此片晶圆工艺也作业完成。
当前后两片晶圆进行不同工艺时，前一片晶圆工艺做完后，加热盘2通过中空旋转电机4的驱动回归原位，然后再进行下一片不同工艺作业的晶圆，通过中空旋转电机4的驱动逆时针旋转设定工艺角度，直到旋转至下一片晶圆工艺做完。
本发明的加热旋转平台装置的中空走线结构结合以上作业形式完全可以取缔导电滑环的使用，方便了经常维修及更换滑环的操作，既节省了人工操作的时间也节省了成本。同时，原皮带轮带动加热盘体的旋转动力，也定期需要人工校紧皮带轮及校准其相位角，大大节省了人工操作时间，提高了工作效率，相应提高设备产能。

Claims (6)

1.一种加热旋转平台装置，其特征在于：包括单元平台(1)、加热盘(2)、连接法兰(3)、中空旋转电机(4)、固定架(5)及中空旋转平台(6)，其中固定架(5)固接于单元平台(1)上，所述中空旋转电机(4)安装在固定架(5)上，中空旋转平台(6)可相对转动地设置在固定架(5)上，并由所述中空旋转电机(4)驱动旋转；所述连接法兰(3)的一端与中空旋转平台(6)相连，另一端由所述单元平台(1)穿过、并连接有加热盘(2)，该加热盘(2)上的加热丝电线(7)及真空管(8)由所述连接法兰(3)内部、中空旋转平台(6)穿过。
2.根据权利要求1所述的加热旋转平台装置，其特征在于：所述连接法兰(3)为中空结构，两端分别与中空旋转平台(6)及加热盘(2)的底面固接。
3.根据权利要求1所述的加热旋转平台装置，其特征在于：所述单元平台(1)上开设有通孔，所述连接法兰(3)由该通孔穿过，所述通孔直径大于或等于连接法兰(3)的外径。
4.根据权利要求1所述的加热旋转平台装置，其特征在于：所述加热丝电线(7)的一端与加热盘(2)相连，另一端依次穿过连接法兰(3)、中空旋转平台(6)后与位于所述单元平台(1)下部的加热电气件连接。
5.根据权利要求1所述的加热旋转平台装置，其特征在于：所述真空管(8)的一端与加热盘(2)相连，另一端依次穿过连接法兰(3)、中空旋转平台(6)后通过真空管路与位于所述单元平台(1)下部的负压源相连通。
6.一种权利要求1至5任一权利要求所述加热旋转平台装置的使用方法，其特征在于：在进行喷胶工艺作业时，当前后两片晶圆进行相同工艺时，所述中空旋转电机(4)驱动中空旋转平台(6)旋转，进而带动连接法兰(3)及加热盘(2)旋转，该加热盘(2)顺时针旋转设定工艺角度，直到旋转至一片晶圆工艺做完；待下一片晶圆进行喷胶作业时，所述加热盘(2)在当前位置再通过中空旋转电机(4)的驱动逆时针旋转设定工艺角度，直到旋转回原位，此片晶圆工艺也作业完成；当前后两片晶圆进行不同工艺时，前一片晶圆工艺做完后，所述加热盘(2)通过中空旋转电机(4)的驱动回归原位，然后再进行下一片不同工艺作业的晶圆，通过中空旋转电机(4)的驱动逆时针旋转设定工艺角度，直到旋转至下一片晶圆工艺做完。
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