CN111176170A - 半导体设备控制系统的启动方法及装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种半导体设备控制系统的启动方法，所述半导体设备包括多个执行单元，所述方法包括：依次扫描所述多个执行单元；在扫描当前执行单元成功时，继续扫描下一所述执行单元；在扫描当前执行单元失败时，记录失败信息，并继续扫描下一所述执行单元；在扫描完所述多个执行单元后，启动所述控制系统。本发明还提供一种启动装置。利用所述启动方法启动所述半导体设备控制系统能够确保半导体设备的正常运行。

Description

半导体设备控制系统的启动方法及装置

技术领域

本发明涉及半导体设备领域，具体地，涉及一种半导体设备控制系统的启动方法及装置。

背景技术

半导体设备通常包括上位机、下位机和多个执行单元(机械手、冷泵等执行单元)。操作者通过上位机与下位机通信，下位机可以与各个执行单元进行通信，以控制各执行单元执行各种操作。

为了控制各个执行单元，下位机首先要启动驱动软件，但是，下位机软件经常启动失败，导致整个半导体设备都无法正常运行，并且，无法排查故障发生的位置和原因。

因此，如何确保半导体设备的正常运行、以及排查故障发生的位置和原因成为本领域亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体设备控制系统的启动方法及装置，以至少解决上述技术问题之一。

为了实现上述目的，作为本发明的一个方面，提供一种半导体设备控制系统的启动方法，所述半导体设备包括多个执行单元，其中，所述方法包括：

依次扫描所述多个执行单元；

在扫描当前执行单元成功时，继续扫描下一所述执行单元；

在扫描当前执行单元失败时，记录失败信息，并继续扫描下一所述执行单元；

在扫描完所述多个执行单元后，启动所述控制系统。

可选地，在扫描当前执行单元失败时，还包括：

发送报警信息，所述报警信息包括所述失败信息。

可选地，在扫描完所述多个执行单元后，还包括：

显示记录的全部失败信息。

可选地，所述失败信息包括：表明扫描失败状态和/或扫描失败原因的状态标记位。

可选地，所述多个执行单元包括机械手、转运港、电机、冷泵、冷却器、热交换器、脉冲直流电源、电磁阀组、流量计、红外测温仪、可编程逻辑控制器中的至少二者。

作为基本公开的第二个方面，提供一种半导体设备控制系统的启动装置，所述半导体设备包括多个执行单元，其中，所述启动装置包括：

扫描模块，用于依次扫描所述多个执行单元；在扫描当前执行单元成功时，继续扫描下一所述执行单元；在扫描当前执行单元失败时，记录失败信息，并继续扫描下一所述执行单元；

启动模块，用于在所述扫描模块扫描完所述多个执行单元后，启动所述控制系统。

可选地，所述扫描模块，还用于在扫描所述当前执行单元失败时，发送报警信息，所述报警信息包括所述失败信息。

可选地，所述扫描模块，还用于在扫描所述当前执行单元失败时，发送报警信息，所述报警信息包括所述失败信息。

可选地，所述失败信息包括：表明扫描失败状态和/或扫描失败原因的状态标记位。

可选地，所述多个执行单元包括机械手、转运港、电机、冷泵、冷却器、热交换器、脉冲直流电源、电磁阀组、流量计、红外测温仪、可编程逻辑控制器中的至少二者。

在本发明所提供的启动方法中，每扫描完一个执行单元，无论是否扫描成功，都继续对下一个执行单元进行扫描。直至所有执行单元都扫描完毕时，无论是否存在扫描失败的执行单元，都启动控制系统，从而可以通过控制系统对已经扫描成功的执行单元进行控制、并执行后续操作，进而可以提高生产效率。

此外，在该启动方法中，已经对扫描失败的执行单元进行了记录，维护人员通过对记录的失败信息进行调取分析，就可以确定哪些执行单元扫描失败了，有利于维护人员对整个半导体设备的维护。

附图说明

附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1是一种典型的半导体设备控制系统的启动方法的流程图；

图2是本发明所提供的半导体设备控制系统的启动方法的一种实施方式的流程图；

图3是本发明所提供的半导体设备控制系统的启动方法的一种优选实施方式的流程图；

图4是本发明实施例提供的半导体设备控制系统的启动装置的模块示意图。

附图标记说明

110：扫描模块 120：启动模块

具体实施方式

以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。

经本发明的发明人研究发现，相关技术中，半导体设备控制系统的启动方法如图1所示：

在步骤S1中，判断是否存在未扫描的执行单元；

当不存在未扫描的执行单元时，在步骤S21中，继续解析半导体设备其他部分对应的配置文件；以及在步骤S31中，启动控制系统，启动结束；

当存在未扫描的执行单元时对该未扫描的执行单元进行扫描，并在步骤S22中，判断对执行单元是否扫描成功；

当步骤S22中对执行单元扫描成功时，继续执行步骤S1；

当步骤S22中对执行单元扫描失败时，停止启动控制系统，启动结束。

由此可知，只要存在一个执行单元扫描失败的情况，半导体设备控制系统的启动就会失败，所有执行单元都无法控制，即使部分执行单元是正常的，这就导致了整个半导体设备均无法运行，并且，也无法排查发生故障的原因。

但实际上，发明人发现，多数执行单元是独立工作的，即便半导体设备中的某一个执行单元出现故障，其实是不会影响到其他未出现故障的执行单元正常工作的。

有鉴于此，作为本发明的一个方面，提供一种半导体设备控制系统的启动方法，该半导体设备包括多个执行单元，其中，如图2所示，该启动方法包括：

在步骤S110中，依次扫描多个执行单元；在扫描当前执行单元成功时，继续扫描下一执行单元；在扫描当前执行单元失败时，记录失败信息，并继续扫描下一执行单元；

在步骤S120中，在扫描完上述多个执行单元后，或者是扫描完所有执行单元后，启动控制系统。

在本发明所提供的控制方法中，每扫描完一个执行单元，无论是否扫描成功，都继续对下一个执行单元进行扫描。直至所有执行单元都扫描完毕时，无论是否存在扫描失败的执行单元，都启动控制系统，从而可以通过所述控制系统对已经扫描成功的执行单元进行控制、并执行后续操作，进而可以提高生产效率。

此外，在步骤S110中，已经对扫描失败的执行单元进行了记录，维护人员通过对记录的失败信息进行调取分析，可以确定哪些执行单元扫描失败了，有利于维护人员对整个半导体设备的维护。

基于上述实施例提供的技术方案，参见图3，本发明实施例提供了这样一种启动方法，在该启动方法中，步骤S110可以被执行为：

扫描完任意一个执行单元后，执行两个判断步骤：

第一个判断步骤：判断是否存在未扫描的执行单元；

若判断结果为“否”(即，不存在未扫描的执行单元)，则执行步骤S120；

若判断结果为“是”(即，存在未扫描的执行单元)，则继续执行扫描执行单元的步骤；

第二个判断步骤：判断是否扫描成功；

若判断结果为“是”(即，扫描成功)，则返回第一个判断步骤；

若判断结果为“否”，则执行记录失败信息并返回第一个判断步骤。

在本发明中，对如何扫描执行单元并不做特殊的限定，并且对如何判定扫描失败也不做特殊限定。具体地，可以通过向执行单元发送扫描信号来实现对执行单元的扫描。作为一种可选实施方式，扫描信号可以包括扫描指令。在本发明中，对失败信息的具体内容不做特殊的限定，例如，失败信息可以包括：表明扫描失败状态和/或扫描失败原因的状态标记位。在一切正常的情况下，执行单元接收到扫描信号后，执行对应扫描指令，再返回回应信息，该回应信息可以包括表征“成功”的状态标记位。

当扫描执行单元失败时，执行单元则可以返回含有表征“失败”的状态标记位的回应信息。其中的表征“失败”的状态标记位即可被记录为失败信息。

在本发明中，扫描失败的原因有很多，有时是无法建立与执行单元之间的通信，有时是执行单元本身故障。作为一种可选实施方式，基于不同的执行单元和不同的执行单元扫描方式，还可以使执行单元直接将扫描失败原因携带在状态标记位中，从使状态标记位可以直接表明扫描失败原因，而携带了扫描失败原因实际上就可以表明扫描失败了。这样一来，维护人员就可以根据状态标记直观地确定故障类型，从进一步降低了维护难度。

作为一种可选实施方式，可以为每一种故障类型设置一个状态标记位，并建立相应的映射表。通过获取状态标记位并在映射表中查询，可以快速地确定故障类型并针对性地对故障进行修复。

在本发明中，对维护人员如何获得失败信息并不做特殊的限定。例如，维护人员可以定期对控制系统进行信息提取，以获得失败信息。

作为另一种可选实施方式，在扫描完多个执行单元后，如图3所示，上述启动方法可以包括：

在步骤S130中，显示记录的全部失败信息。

步骤S130可以在控制系统本地执行，在控制系统本地显示全部失败信息，有利于维护人员一次性确定所有扫描失败的执行单元及对应的扫描失败原因，更加有利于提高维护效率。

为了提醒维护人员，通知维护人员尽快对半导体设备进行修复、以提高维护效率，可选地，在扫描当前执行单元失败时，如图3所示，上述启动方法还可以包括：

在步骤S140中，发送报警信息，该报警信息包括失败信息。

在本实施例中，可以将该报警信息发送至总控设备上(例如，机房内的上位机)，该报警信息可以以文字的形式显示在总控设备上，维护人员通过对报警信息进行分析，可以获得所述失败信息，进一步确定扫描失败的执行单元、以及扫描失败的原因。

在本发明中，对半导体设备中的执行单元的数量以及种类并不做特殊的限定，可选地，上述的执行单元包括机械手(Robot)、转运港(LoadPort)、电机(Motor)、冷泵(CryoPump)、冷却器(Chiller)、热交换器(HeatExchanger)、脉冲直流电源(Pulse DC)、电磁阀组(Solenoid valve)、流量计(Gauge)、红外测温仪、可编程逻辑控制器(PLC)中的至少二者。

在本发明所提供的控制方法中，每扫描完一个执行单元，无论是否扫描成功，都继续对下一个执行单元进行扫描。直至所有执行单元都扫描完毕时，无论是否存在扫描失败的执行单元，都启动控制系统，从而可以通过控制系统对已经扫描成功的执行单元进行控制、并执行后续操作，进而可以提高生产效率。

作为本发明的第二个方面，提供一种半导体设备控制系统的启动装置，该半导体设备包括多个执行单元，其中，如图4所示，该启动装置包括扫描模块110和启动模块120。

该启动装置用于执行本发明实施例提供的上述启动方法，具体地：

扫描模块110用于依次扫描多个执行单元；在扫描当前执行单元成功时，继续扫描下一执行单元；在扫描当前执行单元失败时，记录失败信息，并继续扫描下一执行单元。

启动模块120用于在扫描模块扫描完多个执行单元后，启动控制系统。

上文中已经对上述启动方法的工作原理和有益效果进行了详细描述，这里不再赘述。

可选地，扫描模块110还用于在扫描当前执行单元失败时，发送报警信息，该报警信息包括上述失败信息。

可选地，扫描模块110还用于在扫描完多个执行单元后，显示记录的全部失败信息。

可选地，上述失败信息包括：表明扫描失败状态和/或扫描失败原因的状态标记位。

如上文中所述，上述多个执行单元包括机械手、转运港、电机、冷泵、冷却器、热交换器、脉冲直流电源、电磁阀组、流量计、红外测温仪、可编程逻辑控制器中的至少二者。

下面结合一个具体实施例，对本发明实施例提供的启动方法的工作原理进行详细描述：

在该具体实施例中，半导体设备的多个执行单元包括机械手、转运港、电机、冷泵、冷却器、热交换器、脉冲直流电源、电磁阀组、流量计、红外测温仪、可编程逻辑控制器。

控制系统对机械手进行控制可以传输工件，控制系统对冷泵进行控制可以对工艺腔室进行抽真空，控制系统对电源进行控制可以开始执行工艺，控制系统对电磁阀组进行控制可以开关阀门，对流量计进行控制可以对工艺腔进行通气。执行单元的功能在此不一一列举。

在该半导体设备中，不同的执行单元与控制系统之间的通信方式可以不同。有些执行单元(例如，机械手、转运港、电机)基于以太网的网口(Socket)与控制系统之间实现通信，有些执行单元(冷泵、冷却器、热交换器、脉冲直流电源、红外测温)通过串口与控制系统之间实现通信，有些执行单元(例如，电磁阀、MFC、流量计、PLC)通过设备网络(DeviceNet)的方式与控制系统之间实现通信。基于不同的通信方式，要采用对应的驱动程序对执行单元进行扫描。

针对通过网口与控制系统通信的执行单元而言，与这种类型的执行单元成功建立通信、完成扫描过程时，相应的状态标记位被设置为“Successfully”。当无法建立通信、和/或扫描过程失败时，相应的状态标记位被设置为“Failed”。当状态标记位为“Failed”时，生成相关的报警信息，将报警信息发送给上位机，在上位机的软件界面上显示出该报警信息。

针对通过串口与控制系统通信的执行单元而言，在串口驱动启动过程中，需要设置串口板卡名称、设置波特率、设置字节大小、设置结束位、设置奇偶性、设置On/Off和设置RTS/CTS模式7个步骤。针对每个串口设备都有一个状态标记位，若经过7个步骤都没有失败，说明与串口建立了连接，将状态标记位设置为Successfully，然后扫描下一个设备。若在设置板卡名称、设置波特率、设置字节大小、设置结束位、设置奇偶性、设置On/Off和设置TRS/CTS模式中的任意一个步骤中出现失败，则将状态标记位进行相应的设置。例如，当设置板卡名称步骤失败时，将状态标记位相应地设置为“DeviceNameFailed”；当波特率设置失败时，将状态标记位相应地设置为“BaudRateFailed”；当字节大小设置失败时，可以将状态标记位相应地设置为“CharSizeFailed”；当结束位设置失败时，可以将状态标记位相应地设置为“StopBitFailed”；当设置奇偶性失败时，可以将状态标记位相应地设置为“ParityFailed”；当设置On/Off失败时，可以将状态标记位相应地设置为“XOnOffFailed”；当设置RTS/CTS模式失败时，可以将状态标记位相应地设置为“TrsCtsFailed”。一旦出现某步骤设置失败，则生成报警信息，并通知上位机。需要指出的是，一旦出现某步骤设置失败，可以停止执行设置失败的步骤之后的其他步骤，转而扫描其他执行单元。例如，当波特率设置失败时，则跳过设置字节大小、设置结束位、设置奇偶性、设置On/Off和设置RTS/CTS模式这几个步骤。

针对通过设备网络与控制系统实现通信的执行单元而言，这些执行单元会以从站的形式挂在设备网络下，通过设备网络与控制系统建立通讯。在扫描这些执行单元时，包括开卡(OpenCard)、加载固件(LoadFirmware)、上线(Online)、启动扫描(StartScan)、动态添加设备(DynamicAddDevice)、获取设备(GetDevice)六个步骤。以通过同一个设备网络通信的设备(即，执行单元)为一组，该设备网络下的执行单元共用一个状态标记位，若经过上述6个步骤没有失败，说明该执行单元下的所有设备都可以与控制系统建立连接，将状态标记位设置为“Successfully”，然后扫描其他设备。若在开卡、加载固件、上线和启动扫描中的任意一个步骤出现错误，说明该设备网络的主站卡存在问题，该设备网络下的所有从站执行单元都无法与控制系统建立连接。当开卡步骤失败时，相应地将状态标记位设置为“OpenCardFailed”；当加载固件步骤失败时，相应地将状态标记位设置为“LoadFirmwareFailed”；当上线步骤失败时，相应地将状态标记位设置为“OnlineFailed”；当启动扫描步骤失败时，相应地将状态标记位设置为“StartScanFailed”。一旦出现某步骤设置失败，则生成报警信息，并通知上位机。需要指出的是，一旦出现某步骤设置失败，可以停止执行设置失败的步骤之后的其他步骤，转而扫描其他执行单元。

若顺利执行完开卡步骤、加载固件步骤、上线步骤和启动扫描步骤，说明该主站卡可以与控制系统建立通讯，接下来扫描该设备网络下的从站设备(即，执行单元)，扫描每一个从站设备时会依次执行动态添加设备步骤和获取设备步骤。当从站设备在执行动态添加设备步骤失败时，则将状态标记位修改为“DynamicAddDeviceFailed”；当从站设备在执行获取设备步骤失败时，则将状态标记位修改为“GetDeviceFailed”。一旦出现某步骤设置失败，则生成报警信息，并通知上位机。需要指出的是，一旦出现某步骤设置失败，可以停止执行设置失败的步骤之后的其他步骤，转而扫描其他执行单元。

在上述扫描过程中，任一执行单元出现扫描失败时，都继续扫描下一失败单元，直至所有执行单元扫描完毕。扫描完毕后，无论是否出现了扫描失败的情况，都要启动控制系统。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种半导体设备控制系统的启动方法，所述半导体设备包括多个执行单元，其特征在于，所述方法包括：

依次扫描所述多个执行单元；

在扫描当前执行单元成功时，继续扫描下一所述执行单元；

在扫描当前执行单元失败时，记录失败信息，并继续扫描下一所述执行单元；

在扫描完所述多个执行单元后，启动所述控制系统。

2.根据权利要求1所述的启动方法，其特征在于，在扫描当前执行单元失败时，还包括：

发送报警信息，所述报警信息包括所述失败信息。

3.根据权利要求1所述的启动方法，其特征在于，在扫描完所述多个执行单元后，还包括：

显示记录的全部失败信息。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的启动方法，其特征在于，所述失败信息包括：表明扫描失败状态和/或扫描失败原因的状态标记位。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的启动方法，其特征在于，所述多个执行单元包括机械手、转运港、电机、冷泵、冷却器、热交换器、脉冲直流电源、电磁阀组、流量计、红外测温仪、可编程逻辑控制器中的至少二者。

6.一种半导体设备控制系统的启动装置，所述半导体设备包括多个执行单元，其特征在于，所述启动装置包括：

扫描模块，用于依次扫描所述多个执行单元；在扫描当前执行单元成功时，继续扫描下一所述执行单元；在扫描当前执行单元失败时，记录失败信息，并继续扫描下一所述执行单元；

启动模块，用于在所述扫描模块扫描完所述多个执行单元后，启动所述控制系统。

7.根据权利要求6所述的启动装置，其特征在于，

所述扫描模块，还用于在扫描所述当前执行单元失败时，发送报警信息，所述报警信息包括所述失败信息。

8.根据权利要求6所述的启动装置，其特征在于，

所述扫描模块，还用于在扫描完所述多个执行单元后，显示记录的全部失败信息。

9.根据权利要求6至8中任意一项所述的启动装置，其特征在于，所述失败信息包括：表明扫描失败状态和/或扫描失败原因的状态标记位。

10.根据权利要求6至8中任意一项所述的启动装置，其特征在于，所述多个执行单元包括机械手、转运港、电机、冷泵、冷却器、热交换器、脉冲直流电源、电磁阀组、流量计、红外测温仪、可编程逻辑控制器中的至少二者。

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