CN111148579A - 气雾剂产生器孔板到支撑件的安装 - Google Patents

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Abstract

孔板(1)在其边沿(203)处通过粘合剂被附接到支撑垫圈(3)。在施加粘合剂之前，在孔板的边沿(203)的下表面中加工在平面中具有锯齿形图案的锚固凹槽(204)。该凹槽(204)向外延伸到孔板(1)的边。锚固凹槽具有在10μm到40μm的范围内的深度和在20μm到150μm的范围内的宽度，以及在2.5°到12.5°的范围内的角距。在高频振动并且潮湿和化学腐蚀的环境中，可获得长时间可靠附接的优秀的粘结强度。

Description

气雾剂产生器孔板到支撑件的安装
技术领域
本发明涉及可振动元件在医疗装置中的安装，其中可振动元件具有高达几厘米的最大宽度尺寸，但是特别是其中该尺寸为几毫米的医疗装置。一个示例是将孔板安装到气雾剂产生器中的支撑件上。
背景技术
气雾剂产生器内的环境不利于维持元件之间(并且尤其是孔板在支撑件上)的良好密封。孔板可以例如以128kHz的频率振动，并且当然仅其表面的一小部分可以被附接到支撑件。另外，环境是潮湿的。由于这些原因，以在整个预期产品寿命中确保孔板的附接质量的方式进行制造是特别的挑战。
WO2012/046220(Stamford Devices Ltd.)描述了一种安装在支撑垫圈上的孔板，并且环形压电致动器安装在垫圈上，以引起支撑垫圈的位移并因此引起孔板的振动。压电致动器使用导电环氧粘合剂安装。孔板通过热手段(例如焊接)附接到支撑垫圈。焊接是有效的方法。然而，由于工艺设备的复杂性和敏感性，难以大规模大批量生产。
W02007/012215(Boegli Gravures SA)描述了使用激光处理以通过使用纳秒(nanosecond)至飞秒(femtosecond)范围内的激光脉冲长度的激光辐射在表面上提供网格状结构。可以在激光辐射之后施加粘合剂。
DE 102009017492(Edag GmbH)描述了在施加粘合剂之前对表面进行激光束结构化。
EP3127616(Pari)描述了一种方法，其中在施加粘合剂和附接孔板之前，对支撑件的表面的一部分进行激光结构化。该结构化在支撑表面上提供了凹陷图案。
JPS59132964(Matsushita Electric)描述了一种用于液体燃料的雾化泵，其喷嘴板被粘合到壳体。喷嘴板支撑压电元件，并且在粘合剂的辅助下通过粘合剂被粘结到壳体，粘合剂可以以波形图案在板的边沿处部分地围绕板，或者延伸穿过孔。
US2011233302(Micro Base Technology Corporation)描述了一种雾化组件，该雾化组件包括在基座上的雾化板，该雾化板具有形成为胶合部的径向外部区域，其被穿孔形成有胶孔。压电驱动元件堆叠在该雾化板的顶部上，并且附接至雾化板的该胶合区域。
CN201371109(Health&Life Co.)描述了一种微滴产生装置，该微滴产生装置包括振荡件、连接件以及夹在振荡件和连接件之间的喷孔件。喷孔件具有穿孔，使得结合材料可以通过该穿孔结合振荡件和连接件。
US2013112770A1(Micro Base Technology Corporation)描述了一种雾化结构，该雾化结构包括驱动元件、结构板和夹在驱动元件和结构板之间的雾化板。结构板具有胶溢流狭槽。
聚合物或环氧树脂粘合剂可用于粘合剂附接。但是，由于在形成粘合时不一样的材料的金属-聚合物相互作用，可能会引起问题。而且，抛光材料的表面能导致较差的“特性粘合(Specific Adhesion)”(接触表面之间的分子吸引力)。表面能越低，吸引力越弱。而且，可以使用的粘合剂的类型范围受到限制。
本发明旨在提供一种将可振动元件附接到支撑件的改进方法，特别是在气雾剂产生器中将孔板附接到其支撑件的改进方法。
发明内容
我们描述了一种气雾剂产生器，包括：
孔板，以及
用于孔板的支撑件，
其中，孔板通过粘合剂被粘结到支撑件，并且所述粘合剂被锚固在孔板和支撑件中的至少一者中的锚固凹槽中。
优选地：
锚固凹槽在孔板的表面中，在具有圆周孔板边缘的圆周边沿中，以及
锚固凹槽径向地布置在所述孔板边沿中在所述圆周边缘处或其附近。
优选地，支撑件是环形的，并且孔板边沿与环形的支撑件的内边缘重叠。
可选地，气雾剂产生器包括安装在环形的支撑件上的振动产生器。
我们还描述了具有在权利要求5至24中所述的特征的气雾剂产生器。
我们还描述了一种雾化器，其包括：任一实施例的气雾剂产生器，支撑件被安装到其上的壳体，以及向振动产生器提供驱动功率的驱动电路。
我们还描述了一种将气雾剂产生器孔板附接到支撑件的方法，该方法包括：
在所述孔板和支撑件中的至少一者的表面中加工锚固凹槽，凹槽具有在10μm至40μm的范围内的深度和在20μm至150μm的范围内的宽度；和
将粘合剂施加到所述锚固凹槽或施加到孔板或支撑件中另一者的相对表面，以及
将孔板和支撑件按压在一起。
优选地，锚固凹槽通过激光、磨料水射流、电铸、化学蚀刻、喷砂或机械加工来加工。
优选地，所述锚固凹槽被加工在所述孔板的边沿中。
我们还描述了在所附的权利要求28至45中所述的方法的其它方面。
附加的说明
我们描述了一种设备，其包括：
可振动元件，以及
用于可振动元件的支撑件，
其中，可振动元件通过粘合剂粘合到支撑件，并且所述粘合剂被锚固在可振动元件和支撑件中的至少一者中的锚固凹槽中。
在一方面中：
锚固凹槽在可振动元件中，
可振动元件具有圆周边缘，并且
锚固凹槽径向地布置在边沿中、在所述圆周边缘处或其附近。
可振动元件可以是用于雾化的孔板或医疗装置隔膜。
在一方面中：
该设备是气雾剂产生器，并且
可振动元件是用于产生气雾剂的孔板，所述孔板具有边沿。
优选地：
支撑件是环形的，是垫圈的形式，并且
孔板边沿被附接到环形的支撑件的内边缘。
优选地，锚固凹槽基本平行。
锚固凹槽可具有在10μm至40μm的范围内的深度。
优选地，至少一些锚固凹槽的深度在元件的厚度的15％至60％的范围内。优选地，至少一些锚固凹槽的深度在元件的厚度的30％至40％的范围内。优选地，至少一些锚固凹槽具有在20μm至150μm的范围内的宽度。
优选地，至少一些锚固凹槽具有在40μm至120μm的范围内的宽度。
优选地，至少一些锚固凹槽具有在2.5°至12.5°的范围内的角距。
优选地，至少一些锚固凹槽具有在方向上的至少一个弯曲。至少一个弯曲可具有在45°至120°范围内的角度，并且优选在80°至105°范围内的角度。
优选地，至少一些凹槽包括多个弯曲，所述多个弯曲在平面中形成锯齿形图案。
锚固凹槽可以在可振动元件的边沿中，并且所述边沿与所述元件在所述边沿内的主体的平面中的面积比可以在20％至60％的范围内。
优选地，所述锚固凹槽在可振动元件的边沿中，其中，所述锚固凹槽的平面中的面积与所述边沿的平面中的面积之比在20％至60％，并且优选在30％至50％的范围内。
在一个示例中，支撑件不具有锚固凹槽，并且其表面基本上是平坦的。
在另一示例中，可振动元件包括钯和/或镍材料。
粘合剂可选自能够粘合两个基板的单组分或两组分粘合剂，并且优选地是单组分环氧粘合剂。
优选地，粘合剂在可振动构件和支撑件之间邻近所述锚固凹槽形成圆角。
在一个示例中，支撑件具有在锚固凹槽处与可振动元件相邻的弯曲边缘表面，并且所述圆角在所述表面和锚固凹槽之间。优选地，所述支撑件弯曲表面是凸形的。
我们还描述了一种将可振动元件附接到支撑件的方法，该方法包括：
在所述可振动元件和支撑件中的至少一者的表面中加工锚固凹槽，凹槽具有在10μm至40μm的范围内的深度和在20μm至150μm的范围内的宽度；和
将粘合剂施加到所述锚固凹槽，或施加到元件或支撑件中的另一者的相对表面，并将元件和支撑件按压在一起。
优选地，通过激光、磨料水射流、电铸、化学蚀刻、喷砂或机械加工来加工锚固凹槽。
优选地，所述锚固凹槽在所述可振动元件的边沿中加工。
优选地，可振动元件是孔板，并且支撑件是垫圈的形式。
我们还描述了一种气雾剂产生器，其包括任一实施例的设备，其中可振动元件是用于气雾化的孔板或隔膜。
附图说明
通过仅参考附图通过示例给出的本发明的一些实施例的以下描述，将更清楚地理解本发明，其中：
图1是气雾剂产生器的分解图，并且图2是示出了孔板和支撑件的完成组装的放大图；
图3是大体上示出了在围绕孔板的用于通过粘合剂附接至支撑垫圈的边沿的表面中的微加工的锚固凹槽的图案的图；
图4是更详细地示出了孔板的一组视图，包括：具有放大视图部分的平面图(a)；具有放大视图部分的透视图(b)；具有放大视图部分的侧视图(c)；
图5是另一种孔板的类似的一组视图，其中锚固凹槽的间距(角度和圆周间隔)较大，并且锯齿形图案中只有两个弯曲；
图6是示出孔板、锚固凹槽、粘合剂和支撑垫圈之间的关系的示意性侧视图，以及图7是更详细地示出一侧的放大图；以及
图8是示出了不同情况下的粘结强度的图集。
具体实施方式
气雾剂产生器
参照图1和图2，气雾剂产生器100包括壳体101，该壳体101包含：可振动元件，在该情况下为钯(Palladium)和镍(Nickel)材料的孔板(“AP”)1；压电振动产生器或致动器(“压电件”)2；以及不锈钢(哈氏合金(Hastelloy))的支撑垫圈3。压电件2和孔板1由支撑垫圈3支撑。下面将更详细描述孔板1到垫圈3附接的方式。
孔板1中的孔的尺寸被确定为使液体雾化，使得大多数的液滴的尺寸小于6μm。孔板可以是非平面的，并且可以是穹顶形的几何形状。孔从第一上液体接触表面延伸到第二下表面，根据公知的雾化原理，雾化的液滴从该第二下表面流出。
电能在这种情况下通过与压电件2的上表面直接接触的第一导电销10被供给压电件2，并且第二导电销11通过在支撑垫圈3的突片上的导电粘合剂20与支撑垫圈3的上表面电接触。支撑垫圈3和导电粘合剂20又与压电件2的下表面电接触。使用导电液体粘合剂20将压电件2的下侧附接到垫圈3。
支撑垫圈3又接合抵靠容纳在支撑壳体27的凹槽26中的下O形环25。支撑垫圈3还接合抵靠在主壳体的上部29中的上O形环28。因此，支撑垫圈3被夹在上O形环28和下O形环25之间。该子组件又被夹在壳体部分29和下保持夹27之间。下保持夹27的布置提供了支撑垫圈3周围的均匀支撑，其通过O形环28以及销10和11施加的支撑力来起平衡作用。
除了孔板1到支撑垫圈的附接之外，用于附接部件的布置在该实施例中如WO2012/046220中所述。
典型地，压电件2在被电激发时例如以大约134kHz或128kHz振动。装有本发明的气雾剂产生器的喷雾器必须能够在宽范围的使用模式下运行。此类雾化器通常在28天的周期内间歇地被使用，或者可以连续使用长达7天。因此，气雾剂产生器内的环境非常恶劣，需要将孔板非常可靠且均匀地附接至垫圈。
孔板到支撑垫圈的附接
参照图3，孔板1具有主体202，该主体具有孔，孔的直径大约为6μm并且孔具有的密度为每平方毫米大约93个(如果制造使用光定义的掩模，则密度可以高得多，大约每平方毫米数千，如在WO2012/092163中所描述的)。围绕该主体，具有边沿203，其下表面附接至支撑垫圈3。
AP1在O形环28和压电件2侧向内部直接支撑在支撑垫圈3上，而无需任何机械夹持。尽管没有夹持，而且实际上没有高频操作条件的事实，但是AP 1的边沿和垫圈3之间的结合对于长的产品寿命非常有效。这主要是由于AP表面上的凹槽，其有助于粘附，如以下更详细所述。
AP 1边沿203在下表面中被微加工，以具有多个平行的锚固凹槽，每个凹槽具有一对侧表面和基表面，该基表面基本在AP平面内。凹槽在下表面中，基本沿径向方向延伸，并且在平面图中看去具有锯齿形图案，在弯曲之间具有直的长度。在图3中仅示意性地示出了微加工的图案，但是在图4和5中提供了一些实施例的更多细节。
参照图4，孔板1在边沿203中具有这种图案的凹槽204。
边沿203与(穿孔的)主体202在平面中的面积比优选在20％至60％的范围内，并且在该实施例中为51％。凹槽与边沿203在平面中的面积比也优选为20％至60％，并且更优选在30％至50％的范围内。
凹槽204的参数为：
径向(角度的)间距，5°；
宽度，100μm；
深度，20μm；
长度：500μm；
直线间隔，5；
方向变化(弯曲)，4；和
角度过渡(弯曲角度)，71.5°。
锚固凹槽深度优选在边沿的厚度的约15％至60％的范围内，并且更优选在该厚度的30％至40％的范围内。
在这种情况下，每个凹槽的锯齿形图案都有四个方向变化，每个方向变化约72°。但是，可以有更多或更少的弯曲。在其它实施例中，没有弯曲，凹槽是直的，但是，这不是优选的。每个弯曲的角度优选在45°至105°的范围内，并且更优选在70°至80°的范围内。
同样，优选地，锚固凹槽向外延伸到孔板的边沿的边缘。然而，设想至少一些可以在两端封闭。
而且，每个凹槽优选地是细长的，其长宽比(aspect ratio)大于1.1∶1，并且优选地至少为2∶1。代替在边沿的边缘处开口或除了在边沿的边缘处开口之外，至少一些锚固凹槽可具有排气口。
参照图5，另一种孔板250具有带孔的主体252和边沿253，边沿253在支撑接触侧上具有凹槽251。在这种情况下，参数为：
径向(角度的)间距，10°；
宽度，100μm；
深度，20μm；
长度：400μm；
直线间隔，3；
方向变化，2；和
角度过渡，100°。
图5仅示出了锚固凹槽的另一种构造的一个示例。总的来说，本发明的范围包括具有各种变化的不同构造的凹槽，这些凹槽不具有、具有一个、两个或三个以上的弯曲。
通常，优选的是，具有尽可能高的凹槽的密度，以与在孔板中，尤其是在孔板被附接至垫圈的边沿处，保持足够机械强度相一致。例如，在一个示例中有72个凹槽，并且优选在30至130个凹槽的范围内。
通常，优选地，锚固凹槽的深度在10μm至40μm的范围内，宽度在20μm至150μm的范围内，角度间距在2.5°至12.5°的范围内，并且优选地，它们具有在方向上的至少一个弯曲，以及每个弯曲的角度在45°至120°的范围内，并且优选在80°至105°的范围内。
参考图6和7，更详细地示出了孔板1及其到支撑垫圈3的附接。如上所述，孔板1主体202包括围绕主体202的边沿203，边沿203提供用于附接到支撑垫圈3的下表面。边沿203的锚固凹槽在径向截面图中在两个位置被观察到，但对于其它凹槽配置，在其密度和宽度方面可以不同。这些视图示出了粘合剂220在边沿203和垫圈3之间被施加到边沿203，在其下侧上。从横截面看，垫圈以凸曲率倾斜远离孔板的平面。有利地，粘合剂220在垫圈弯曲远离孔板的下表面处形成圆角221。这为垫圈到孔板的整体性提供了出色的机械强度。
如果没有微加工的锚固凹槽，则粘结强度取决于“特性粘合”或接触表面之间的分子化学吸引力。这导致部件之间的良好的能量传递，但导致差的粘结强度。当将凹槽微加工到孔板边沿的表面中时，它们增加了“机械粘合”或成分颗粒的物理互锁。特性粘合和机械粘合的结合，在这里被称为“有效粘合”，具有增加粘合剂的锚固的效果，从而允许最佳的粘结强度和能量传递。
粘合剂优选是单组分环氧粘合剂(one-part epoxy adhesive)。它优选具有高达约40N/mm2的粘结强度并且具有良好的耐化学性。这样的单组分环氧粘合剂可例如从Permabond，Araldite，Loctite或Masterbond获得。根据预期的应用，可以可替代地使用两组分环氧粘合剂，或者实际上是结构丙烯酸粘合剂。
锚固凹槽足够大，以允许粘合剂流入和输入。由于固化的固体粘合剂被锚固在凹槽中的事实，因此这增加了粘合剂的机械粘合性。而且，粘合的表面积显著增加。
在图6和7中示出了机械锁定。凹槽的几何形状使得可以优化元件到元件的能量传递，在这种情况下是位移。
失效模式被转移到粘合剂本身，从而粘合剂被剪切，在垫圈上留有一些粘合剂，在孔板上留有一些粘合剂。这是非常理想的粘合特征和失效模式，因为它减少了过程开发中要控制的变量数量。关键工艺输入变成了粘合剂本身以及其固化的拉伸强度。
在某些情况下，孔板本身破裂，并且粘合接合部仍保持完整。
图8示出了未加工(未开槽)的孔板与图4的微加工(已开槽)的孔板的粘结强度比较。该图显示了通过在孔板的轮缘中设置锚固凹槽实现的粘合剂的粘结强度的改善。与在表面中没有锚固件的粘结相比，在带有径向锚固凹槽的示例中，破坏粘合剂粘结所需的最大负载力已翻倍还多。箱处的值是牛顿，与竖直轴的值相同。要注意的是，与几种现有技术方法不同，利用本发明，不需要将AP机械夹持到支撑件上。通过具有在AP的径向外侧的振动致动器，其可以被定位在用于最佳的振动、物理空间和电连接要求的任何所需的位置处。而且，通过避免夹持装置，在完全不动的(相对于支撑件)并且自由振动的AP的部件之间没有急剧的过渡。
激光切割的径向锚固凹槽的几何形状直接影响粘合的基板之间的能量传递。我们已经发现，锯齿形图案比例如直的平行凹槽图案具有更好的粘结强度。后者可能会导致孔板(“AP”)直径周围的薄弱点，这些薄弱点随着板振动可能会导致破裂的增加。因此，如果使用直的锚固凹槽，则它们应该被分布以最小化在边沿的机械强度的影响。同样，拉伸后分析还表明，AP/粘合剂粘结失败，并且在AP上的激光切割凹槽中粘合剂残留迹象最小。
使用锚固凹槽的锯齿形图案，分析表明，当AP从胶粘剂上拉开时，一些粘合剂会随AP剪切掉。这表明到AP的粘合更好，并且失效模式已从“孔板分离”变化为“粘合剂剪切”。
为了获得最大的粘结强度，粘合剂制造商建议最小固化粘合剂层在50μm至100μm之间。为了提供该间隙，孔板将位于基板上方更高的位置，从而导致部件之间的能量传递不同以及装置操作中的变化。为了消除对该额外间隙的需要，可以选择凹槽几何形状的深度以在这些锚固点内在粘合的基板之间提供更大的粘合剂间隙。由于孔板的径向图案设计和径向位移，凹槽的深度不会影响轮缘性能。
所获得的粘结强度明显高于粘合剂与凹槽以外的其它特征(例如通孔)接合的情况。如果增加通孔，则它们将无法提供更多的附加粘合，因为孔内的材料被去除，并且仅会粘合到孔的垂直壁上。
我们注意到，在现有方法中，存在锚固通孔，其提供了将胶锚固柱向上形成到孔中的可能性，其中一些胶锚固柱溢流出了胶合元件的顶部，从而形成了类似于铆钉头的几何形状。但是，在其它孔中，胶可能无法完全穿透到顶部。这将导致缺少粘合均匀性。在其它现有的布置中，除了在接头中的胶粘合之外，振动的元件还被夹在或被夹持在两个其它元件之间。
另一方面，在本发明中，锚固凹槽提供锚固几何形状，以使胶芯吸和闩锁到其中。它们还显著增加了与胶接触的表面积，并避免了需要胶必须渗入到元件的顶部以实现类似锚固。各个凹槽的锯齿形布置确保压电件的径向振动以最小的能量损耗被有效地传递到垫圈，这可能是短的径向直线的特征。
这些单独的锯齿形线的径向排列将能量从压电件均匀地集中到孔板的中心。原型测试结果表明，不需要使胶完全地通过粘合的孔板，并且也不需要使用额外的第三顶部元件(如额外的顶部垫圈)来夹持或夹住孔板。凹槽围绕轮缘的分布和数量使某些凹槽可能没有完全地填充胶的影响最小化。
本发明对于其中需要可重复的可靠的抗拉强度并且需要跨粘合接头的高能量传递的情况下的部件的微粘合是有利的。这对于金属到金属的粘合特别有利。它也可以用于其中需要较大的粘合间隙的应用中。在高频振动以及潮湿和化学腐蚀的环境中，可以实现长期可靠的附接的出色的粘结强度。
锚固凹槽以类似于标准图案填充(standard hatching)的方式改善了粘合剂粘合，但不会在穹顶的外径周围产生薄弱点。
压电元件向AP施加径向力，导致穹顶移位。由于径向填充图案从AP的中心点辐射，因此在此径向位移过程中不会弱化轮缘。
用于孔板的微加工的方法
锚固凹槽是通过二极管泵取的固态激光烧蚀来加工的，但是在其它实施例中，可以通过激光技术在毫秒、纳秒、皮秒或飞秒的脉冲宽度范围的激光技术、磨料水射流(abrasive waterjet)、电铸(electro forming)、化学蚀刻(chemical etching)、喷砂(bead blasting)或机械加工来实现。还可以设想，可以如WO2013/186031中描述的在利用掩膜和蚀刻的光限定工艺(photo-defined process)中提供凹槽。
在10-15KHz范围内的频率下，用于微加工的优选的激光参数为5.0-6.5W。
本发明不限于所描述的实施例，而是可以在结构和细节上有所变化。例如，本发明可以应用于气雾剂产生器或其它医疗装置中的任何其它可振动元件的粘结。一个示例是将如压电元件的振动装置附接到支撑件。其它示例是保护电子部件、触点或通过使用而经受机械疲劳的任何表面安装技术，例如在雾化器控制器PCB中使用的表面安装按钮。可以设想，支撑垫圈也可以被加工。通常，本发明特别适合于其中以高频驱动可振动元件的任何应用，例如用于医疗应用的隔膜泵。而且，如果需要粘合剂充当导电路径的一部分，则粘合剂可以是导电的。
凹槽可以在孔板边沿的面向轴向的上表面或下表面中的任一个中。但是，优选的是，它们在如图所示的下气雾剂侧部。

Claims (45)

1.一种气雾剂产生器，包括：
孔板，以及
用于孔板的支撑件，
其中，孔板通过粘合剂被粘结到支撑件，并且所述粘合剂被锚固在孔板和支撑件中的至少一者中的锚固凹槽中。
2.根据权利要求1所述的气雾剂产生器，其特征在于：
锚固凹槽在孔板的表面中，在具有圆周孔板边缘的圆周边沿中，以及
锚固凹槽径向地布置在所述孔板边沿中、在所述圆周边缘处或其附近。
3.根据权利要求1或2所述的气雾剂产生器，其特征在于，支撑件是环形的，并且孔板边沿与环形的支撑件的内边缘重叠。
4.根据权利要求3所述的气雾剂产生器，其特征在于，气雾剂产生器包括安装在环形的支撑件上的振动产生器。
5.根据权利要求4所述的气雾剂产生器，其特征在于，气雾剂产生器在孔板的径向外侧被安装在环形的支撑件上。
6.根据权利要求1至5中的任一项所述的气雾剂产生器，其特征在于，锚固凹槽基本平行，并且大体上在径向方向上延伸。
7.根据任一前述权利要求所述的气雾剂产生器，其特征在于，所述锚固凹槽具有在10μm至40μm的范围内的深度。
8.根据任一前述权利要求所述的气雾剂产生器，其特征在于，至少一些锚固凹槽的深度在孔板的厚度的15％至60％的范围内。
9.根据权利要求8所述的气雾剂产生器，其特征在于，至少一些锚固凹槽的深度在所述孔板的厚度的30％至40％的范围内。
10.根据任一前述权利要求所述的气雾剂产生器，其特征在于，至少一些锚固凹槽具有在20μm至150μm的范围内，优选地在40μm至120μm的范围内的宽度。
11.根据任一前述权利要求所述的气雾剂产生器，其特征在于，至少一些锚固凹槽具有在2.5°至12.5°的范围内的角距。
12.根据任一前述权利要求所述的气雾剂产生器，其特征在于，至少一些锚固凹槽具有在方向上的至少一个弯曲。
13.根据权利要求12所述的气雾剂产生器，其特征在于，至少一个弯曲具有在45°至120°范围内的角度。
14.根据权利要求13所述的气雾剂产生器，其特征在于，至少一个弯曲具有在80°至105°范围内的角度。
15.根据权利要求12至14中的任一项所述的气雾剂产生器，其特征在于，至少一些凹槽包括多个弯曲，所述多个弯曲在平面中形成锯齿形图案。
16.根据任一前述权利要求所述的气雾剂产生器，其特征在于，所述锚固凹槽在孔板的边沿中，并且边沿与所述元件在所述边沿内的主体在平面中的面积之比在20％至60％的范围内。
17.根据任一前述权利要求所述的气雾剂产生器，其特征在于，所述锚固凹槽在孔板的边沿中，其中，所述锚固凹槽的平面中的面积与边沿的平面中的面积之比在20％至60％，并且优选在30％至50％的范围内。
18.根据任一前述权利要求所述的气雾剂产生器，其特征在于，支撑件不具有锚固凹槽，并且所述支撑件的表面基本上是平坦的。
19.根据任一前述权利要求所述的气雾剂产生器，其特征在于，孔板包括钯和/或镍材料。
20.根据任一前述权利要求所述的气雾剂产生器，其特征在于，粘合剂选自能够粘合两个基板的单组分或两组分粘合剂，并且优选地是单组分环氧粘合剂。
21.根据任一前述权利要求所述的气雾剂产生器，其特征在于，粘合剂在所述孔板和所述支撑件之间邻近所述锚固凹槽形成圆角。
22.根据权利要求21所述的气雾剂产生器，其特征在于，支撑件具有在锚固凹槽处与孔板相邻的弯曲边缘表面，并且所述圆角在所述表面和锚固凹槽之间。
23.根据权利要求22所述的气雾剂产生器，其特征在于，所述支撑件弯曲表面是凸形的。
24.一种雾化器，其包括：根据权利要求4至23中的任一项所述的气雾剂产生器，支撑件被安装到其上的壳体，以及向振动产生器提供驱动功率的驱动电路。
25.一种将气雾剂产生器孔板附接到支撑件的方法，该方法包括：
在所述孔板和支撑件中的至少一者的表面中加工锚固凹槽，凹槽具有在10μm至40μm的范围内的深度和在20μm至150μm的范围内的宽度；和
将粘合剂施加到所述锚固凹槽或施加到孔板或支撑件中的另一者的相对表面上，以及
将孔板和支撑件按压在一起。
26.根据权利要求25所述的方法，其特征在于，锚固凹槽通过激光、磨料水射流、电铸、化学蚀刻、喷砂或机械加工来加工。
27.根据权利要求25或26所述的方法，其特征在于，所述锚固凹槽被加工在所述孔板的边沿中。
28.根据权利要求25至27所述的方法，其特征在于，支撑件是环形的，例如是垫圈的形式。
29.根据权利要求25至28中的任一项所述的方法，其特征在于，至少一些锚固凹槽的深度在孔板的厚度的15％至60％的范围内。
30.根据权利要求29所述的方法，其特征在于，至少一些锚固凹槽的深度在元件的厚度的30％至40％的范围内。
31.根据权利要求25至30中的任一项所述的方法，其特征在于，至少一些锚固凹槽具有在20μm至150μm的范围内的宽度。
32.根据权利要求31所述的方法，其特征在于，至少一些锚固凹槽具有在40μm至120μm的范围内的宽度。
33.根据权利要求25至32中的任一项所述的方法，其特征在于，至少一些锚固凹槽具有在2.5°至12.5°范围内的角距。
34.根据权利要求25至33中的任一项所述的方法，其特征在于，至少一些锚固凹槽具有在方向上的至少一个弯曲。
35.根据权利要求34所述的方法，其特征在于，至少一个弯曲具有在45°至120°范围内的角度。
36.根据权利要求35所述的方法，其特征在于，至少一个弯曲具有在80°至105°范围内的角度。
37.根据权利要求34至36中的任一项所述的方法，其特征在于，至少一些凹槽包括多个弯曲，所述多个弯曲在平面中形成锯齿形图案。
38.根据权利要求25至37中的任一项所述的方法，其特征在于，所述锚固凹槽在孔板的边沿中，并且边沿与所述孔板在边沿内的主体的平面中的面积之比在20％到60％的范围内。
39.根据权利要求25至38中的任一项所述的方法，其特征在于，所述锚固凹槽在孔板的边沿中，其中，所述锚固凹槽的平面中的面积与边沿的平面中的面积之比在20％至60％的范围内，优选在30％至50％的范围内。
40.根据权利要求25至39中的任一项所述的方法，其特征在于，支撑件不具有锚固凹槽，并且其表面是基本平坦的。
41.根据权利要求25至40中的任一项所述的方法，其特征在于，孔板包括钯和/或镍材料。
42.根据权利要求25至41中的任一项所述的方法，其特征在于，粘合剂选自能够粘合两个基板的单组分或两组分粘合剂，并且优选地是单组分环氧粘合剂。
43.根据权利要求25至42中的任一项所述的方法，其特征在于，粘合剂在孔板和与支撑件之间邻近所述锚固凹槽形成圆角。
44.根据权利要求43所述的方法，其特征在于，支撑件具有在锚固凹槽处与孔板相邻的弯曲边缘表面，并且所述圆角在所述表面和锚固凹槽之间。
45.根据权利要求44所述的方法，其特征在于，所述支撑件弯曲表面是凸形的。
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