CN111086869A - 工业用机器人的手及工业用机器人 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种工业用机器人手，是搬运搬运对象物的工业用机器人的手，可以适当地装载各种尺寸的搬运对象物。搬运搬运对象物(2)的工业用机器人的手(3)具备：多个手叉(16)，该多个手叉(16)形成为直线状且互相平行配置；支承部件(17)，该支承部件(17)配置于手叉(16)的上表面侧，支承搬运对象物(2)的下表面并且限制搬运对象物(2)在手叉(16)的长度方向上的移动；以及移动机构(19)，该移动机构(19)使支承部件(17)在手叉(16)的长度方向上移动。

Description

工业用机器人的手及工业用机器人

技术领域

本发明涉及一种搬运搬运对象物的工业用机器人的手。另外，本发明涉及具备这种手的工业用机器人。

背景技术

目前，已知有一种工业用机器人，搬运曝光装置中使用的掩模(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的工业用机器人具备装载掩模的手、支承手的基端侧的线性驱动部以及支承线性驱动部的本体部。手具备形成为直线状的两根手叉。两根手叉互相平行配置。掩模装载于两根手叉上。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010－76066号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在专利文献1所记载的工业用机器人被用于例如制造各种尺寸的掩模的掩模生产线的情况下，该工业用机器人需要将各种尺寸的掩模装载于手上进行搬运。

于是，本发明的技术问题在于提供一种工业用机器人的手，是搬运搬运对象物的工业用机器人的手，可以适当地装载各种尺寸的搬运对象物。另外，本发明的技术问题在于提供一种具备这种手的工业用机器人。

解决技术问题所采用的技术方案

为了解决上述技术问题，本发明的工业用机器人的手是搬运搬运对象物的工业用机器人手，其特征在于，具备：多个手叉，该多个手叉形成为直线状且互相平行配置；支承部件，该支承部件配置于手叉的上表面侧，支承搬运对象物的下表面并且限制搬运对象物在手叉的长度方向上的移动；以及移动机构，该移动机构使支承部件在手叉的长度方向上移动。

本发明的工业用机器人的手具备使支承部件在手叉的长度方向上移动的移动机构，该支承部件支承搬运对象物的下表面并且限制搬运对象物在手叉的长度方向上的移动。因此，在本发明中，能够根据搬运对象物的尺寸，使支承部件移动到能适当地支承搬运对象物的下表面的位置。因此，在本发明中，可以将各种尺寸的搬运对象物适当地装载在手上。

在本发明中，理想的是，手具备支承部件和第二支承部件，所述支承部件相对于手叉能在手叉的长度方向上移动，所述第二支承部件固定于手叉的上表面侧并支承搬运对象物的下表面，支承部件限制搬运对象物向手叉的长度方向上的一侧移动，第二支承部件限制搬运对象物向手叉的长度方向上的另一侧移动。当以这种方式构成时，与限制搬运对象物向手叉的长度方向上的另一侧移动的第二支承部件相对于手叉能在手叉的长度方向上移动的情况相比，能够简化手的结构。

在本发明中，理想的是，手具备：固定部件，所述固定部件固定支承部件；橡胶垫，所述橡胶垫为橡胶制，固定于固定部件的下表面；以及第二移动机构，所述第二移动机构使固定部件在橡胶垫以规定接触压与手叉的上表面接触的接触位置和橡胶垫从手叉的上表面分离的分离位置之间移动。当以这种方式构成时，当固定部件配置于接触位置时，可以利用橡胶垫和手叉的上表面的摩擦力使支承部件在手叉的长度方向上的规定位置停止。另外，当以这种方式构成时，通过使固定部件移动到分离位置，可以利用移动机构使支承部件在手叉的长度方向上容易地移动。

在本发明中，理想的是，第二移动机构是气缸，当固定部件配置于接触位置时，橡胶垫通过气缸与手叉的上表面接触或被按压在手叉的上表面。当以这种方式构成时，可以增大固定部件配置于接触位置时的橡胶垫和手叉的上表面之间的摩擦力，所以，可以使支承部件可靠地停止在手叉的长度方向上的规定位置。

本发明的手可以应用于工业用机器人，所述工业用机器人是具备连接手并且保持手的手保持部的工业用机器人，将手叉的长度方向的一方设为第一方向、将第一方向的相反方向设为第二方向时，搬运对象物装载于手叉的第二方向侧部分，移动机构的驱动源配置于比手与手保持部的连接部分靠第一方向侧的位置。

在这种工业用机器人中，可以将各种尺寸的搬运对象物适当地装载在手上。另外，在这种工业用机器人中，在手叉的长度方向上，可以使装载在手上的搬运对象物和移动机构的驱动源之间的距离较远，所以，即使在将温度较高的搬运对象物装载在手上的情况下，也能够防止由搬运对象物的热量的影响导致的移动机构的驱动源的损伤。

本发明的手可以应用于工业用机器人，所述工业用机器人是具备连接手并且保持手的手保持部的工业用机器人，将手叉的长度方向的一方设为第一方向、将第一方向的相反方向设为第二方向时，搬运对象物装载于手叉的第二方向侧部分，手具备可动部件，该可动部件安装第二移动机构并且与支承部件一起在手叉的长度方向上移动，移动机构的驱动源配置于比手与手保持部的连接部分靠第一方向侧的位置，第二移动机构安装于可动部件的第一方向端侧。

在这种工业用机器人中，可以将各种尺寸的搬运对象物适当地装载在手上。另外，在这种工业用机器人中，在手叉的长度方向上，可以使装载在手上的搬运对象物和移动机构的驱动源之间的距离较远，并且可以使装载在手上的搬运对象物和第二移动机构之间的距离较远。因此，即使在将温度较高的搬运对象物装载在手上的情况下，也能够防止由搬运对象物的热量的影响导致的移动机构的驱动源及第二移动机构的损伤。

本发明的手可以应用于具备手保持部和倾斜修正机构的工业用机器人，所述手保持部连接手并且保持手，所述倾斜修正机构修正装载于手叉上的搬运对象物相对于水平方向的倾斜。在这种工业用机器人中，可以将各种尺寸的搬运对象物适当地装载在手上。另外，在这种工业用机器人中，即使手叉因装载在手叉上的搬运对象物的重量而弯曲，也能够修正装载在手叉上的搬运对象物相对于水平方向的倾斜。

(发明效果)

如上所述，在本发明的工业用机器人的手中，可以将各种尺寸的搬运对象物适当地装载在手上。另外，在本发明的工业用机器人中，可以将各种尺寸的搬运对象物适当地装载在手上。

附图说明

图1是本发明实施方式的工业用机器人的侧视图。

图2是图1所示的工业用机器人的俯视图。

图3是用于说明图1所示的手的结构的俯视图。

图4是用于说明图1所示的手的结构的图。

图5中，(A)是用于说明图1的E部的结构的放大图，(B)是用于说明说明图1的F部的结构的放大图。

图6中，(A)是用于说明图2的G部的结构的放大图，(B)是用于说明图2的H部的结构的放大图。

图7中，(A)是用于说明图4的(A)的J部的放大图，(B)是图4的(B)的K部的放大图。

图8是用于说明图1的M部的结构的放大图。

图9是用于说明图8的N－N截面的结构进行说明的图。

附图标记说明

1 机器人(工业用机器人)

2 掩模(搬运对象物)

3 手

4 臂(手保持部)

16 手叉

17 支承部件

18 支承部件(第二支承部件)

19 移动机构

20 固定部件

20A 接触位置

20B 分离位置

21 橡胶垫

22 气缸(第二移动机构)

23 关节部(手与手保持部的连接部分)

29 电动机(移动机构的驱动源)

34 可动部件

46 倾斜修正机构

X 手叉的长度方向

X1 第二方向

X2 第一方向

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

(工业用机器人的整体结构)

图1是本发明实施方式的工业用机器人1的侧视图。图2是图1所示的工业用机器人1的俯视图。

本实施方式的工业用机器人1(以下称为“机器人1”)是用于搬运规定搬运对象物2的水平多关节型机器人。本实施方式的搬运对象物2是在曝光装置等中使用的掩模。因此，在下文中，将搬运对象物2称为“掩模2”。掩模2例如形成为长方形的平板状。本实施方式的机器人1设置在制造各种尺寸的掩模2的掩模2的生产线上，可以搬运各种尺寸的掩模2。例如，机器人1最大可以搬运纵长及横长为2000mm左右的掩模2，最小可以搬运纵长及横长为800mm左右的掩模2。

机器人1具备装载掩模2的手3、前端侧能转动地与手3连接的臂4、支承臂4的本体部5以及支承本体部5并使其能在水平方向上移动的基底6。本体部5具备支承臂4的基端侧并且能升降的臂支架7、能升降地保持臂支架7的保持框架8、构成本体部5的下端部分并且相对于基底6能水平移动的基台9以及固定保持框架8的下端并且相对于基台9能转动的回转框架10。

臂4由第一臂部12和第二臂部13这两个臂部构成。第一臂部12的基端侧能转动地与臂支架7连接。在第一臂部12的前端侧，能转动地连接有第二臂部13的基端侧。在第二臂部13的前端侧，能转动地连接有手3。第一臂部12、第二臂部13以及手3按顺序从下侧向上侧配置。机器人1具备使臂4伸缩的臂驱动机构。本实施方式的臂4是连接手3并且保持手3的手保持部。

保持框架8形成为在上下方向上细长的长方体的柱状。保持框架8经由臂支架7能升降地保持手3及臂4。机器人1具备使臂支架7相对于保持框架8升降的升降机构和在上下方向上引导臂支架7的导向机构。保持框架8的下端固定于回转框架10。如上所述，回转框架10相对于基台9能转动，基台9相对于基底6能水平移动。机器人1具备使回转框架10相对于基台9转动的转动机构和使基台9相对于基底6水平移动的水平移动机构。

(手的结构)

图3是用于说明图1所示的手3的结构的俯视图。图4是用于说明图1所示的手3的结构的图。图5的(A)是用于说明图1的E部的结构的放大图，图5的(B)是用于说明图1的F部的结构的放大图。图6的(A)是用于说明图2的G部的结构的放大图，图6的(B)是用于说明图2的H部的结构的放大图。图7的(A)是图4的(A)的J部的放大图，图7的(B)是图4的(B)的K部的放大图。

手3具备能转动地与第二臂部13的前端侧连接的基部15和从基部15向水平方向的一方延伸的直线状的多个手叉16。本实施方式的手3具备两根手叉16。另外，手3具备支承部件17、18和移动机构19，上述支承部件17、18配置于手叉16的上表面侧并且支承掩模2的下表面，上述移动机构19使支承部件17向手叉16的长度方向移动。

而且，手3具备：固定部件20，该固定部件20固定支承部件17；橡胶垫21，该橡胶垫21为橡胶制，固定于固定部件20的下表面；以及第二移动机构22，该第二移动机构22使固定部件20在橡胶垫21以规定接触压与手叉16的上表面接触的接触位置(图7的(B)中实线所示的位置)20A和橡胶垫21从手叉16的上表面分离的分离位置(图7的(B)中双点划线所示的位置)20B之间移动。

基部15形成为中空状并且形成为上下方向的厚度较薄的扁平的大致长方体状。在基部15固定有手叉16的基端部。形成为直线状的两根手叉16以隔开规定间隔的状态互相平行配置，从基部15向水平方向的相同方向突出。在以下说明中，将手叉16的长度方向(图3等中的X方向)设为“前后方向”，将与上下方向和前后方向正交的图3等中的Y方向设为“左右方向”。

另外，在以下说明中，将前后方向中、手叉16从基部15突出的方向(图3中的X1方向)设为“前”方向，将其相反方向(图3等中的X2方向)设为“后”方向。即，在以下说明中，将手叉16的前端侧设为前侧，将手叉16的基端侧设为后侧。本实施方式的后方向(X2方向)成为手叉16的长度方向的一方即第一方向，前方向(X1方向)成为第一方向的相反方向即第二方向。

如上所述，基部15能转动地连接于第二臂部13的前端侧。即，基部15能转动地连接于臂4的前端侧。在本实施方式中，基部15在比前后方向上的基部15的中心靠前侧的位置处与臂4的前端侧连接。即，手3向臂4的连接部分即关节部23配置于比前后方向上的基部15的中心靠前侧的位置。

如上所述，手叉16形成为直线状。在本实施方式中，手叉16形成为在前后方向上细长的方形筒状，且形成为中空状。手叉16的上表面成为与上下方向大致正交的平面。另外，手叉16由含有碳纤维的树脂形成。手叉16的基端部配置于形成为中空状的基部15的内部。另外，配置于右侧的手叉16的基端部固定于基部15的右端部，配置于左侧的手叉16的基端部固定于基部15的左端部。掩模2装载于两根手叉16的前侧部分。

在两根手叉16各自的上表面侧，各配置有一个支承部件17和支承部件18。支承部件17、18形成为块状。支承部件17相对于手叉16能在前后方向上移动。另一方面，支承部件18固定于手叉16上。本实施方式的支承部件18是第二支承部件。

支承部件18在手叉16的前端部(末端部)固定于手叉16的上表面侧。另外，支承部件18通过形成为L字状的固定板25(参照图5、图6)固定于手叉16的前端部。在支承部件18上形成有与掩模2的前端部的下表面接触的接触面18a。接触面18a成为与上下方向大致正交的平面。另外，在支承部件18上形成有限制掩模2向前侧移动的限制面18b。即，支承部件18限制掩模2向前侧移动。限制面18b成为与前后方向大致正交的平面，能接触掩模2的前端面。

在固定板25上固定有用于检测有无掩模2的传感器26。传感器26配置于支承部件18的后侧。另外，传感器26配置于比接触面18a靠下侧的位置。此外，从传感器26引出的配线利用形成为中空状的手叉16的内部穿绕到手3的后端部。

支承部件17配置于比支承部件18靠后侧的位置。在支承部件17上形成有与掩模2的后端部的下表面接触的接触面17a。接触面17a是平面，当固定部件20被配置于接触位置20A时，与上下方向大致正交。另外，在支承部件17上形成有限制掩模2向后侧移动的限制面17b。即，支承部件17限制掩模2向后侧移动。限制面17b成为与前后方向大致正交的平面，能接触掩模2的后端面。

移动机构19具备作为驱动源的电动机29和与电动机29连接的滚珠丝杆30。电动机29固定于构成基部15的下表面的平板状的底板31的上表面。另外，电动机29固定于基部15的后端部。即，电动机29配置于比关节部23靠后侧的位置。电动机29配置为电动机29的输出轴向前侧突出。

滚珠丝杆30的螺纹轴32配置为螺纹轴32的轴向和前后方向一致。螺纹轴32经由轴承能旋转地支承于底板31。螺纹轴32配置于电动机29的前侧，经由减速器及联接器固定于电动机29的输出轴上。另外，螺纹轴32配置于手3的左右方向上的中心位置。滚珠丝杆30的螺母部件33安装于与支承部件17一起在前后方向上移动的可动部件34上。具体地说，螺母部件33固定于可动部件34的前端部。

在底板31的上表面固定有沿前后方向引导可动部件34的导轨35。导轨35以在左右方向上夹着螺纹轴32的方式，固定于底板31的上表面的两个部位。在可动部件34上固定有从上侧与导轨35卡合的导向块36。导轨35配置于比两根手叉16靠左右方向上的内侧的位置。

第二移动机构22是气缸。因此，在下文中将第二移动机构22称为“气缸22”。气缸22安装在可动部件34上。具体地说，气缸22安装在可动部件34的后端侧的两个部位。气缸22配置于比两根导轨35靠左右方向上的外侧的位置。气缸22配置为气缸22的杆向下侧突出。气缸22的上端部保持于可动部件34，使得气缸22能够以前后方向为轴向进行转动。

气缸22的动力经由杆部件39、管状部件40以及保持部件41传递给固定部件20。管状部件40形成为圆管状。即，管状部件40形成为细长的圆柱状。管状部件40配置为管状部件40的长度方向和前后方向一致。管状部件40经由轴承能转动地保持于可动部件34。管状部件40相对于可动部件34能够以前后方向为转动的轴向进行转动。

当从前后方向观察时，配置于右侧的管状部件40设置在配置于右侧的气缸22的右侧，配置于左侧的管状部件40设置在配置于左侧的气缸22的左侧。另外，管状部件40配置于比两根手叉16靠左右方向的内侧的位置。

杆部件39的一端部能转动地连接到气缸22的杆。杆部件39相对于气缸22的杆能够以前后方向为转动的轴向进行转动。杆部件39的另一端部固定于管状部件40的后端部。另外，杆部件39的另一端部固定于管状部件40的下端部。由于一端部与气缸22的杆连接的杆部件39的另一端部固定于管状部件40的后端部，因而管状部件40相对于可动部件34的在前后方向上的移动被限制。

保持部件41固定于管状部件40的前端部。另外，保持部件41固定于管状部件40的上端部，保持部件41从管状部件40的前端部向上侧立起。

固定部件20形成为长方形的平板状，配置为固定部件20的长度方向和左右方向一致。配置于右侧的支承部件17固定在配置于右侧的固定部件20的上表面的右端部。配置于右侧的固定部件20的左端部固定在配置于右侧的保持部件41的上端面。配置于左侧的支承部件17固定在配置于左侧的固定部件20的上表面的左端部。配置于左侧的固定部件20的右端部固定在配置于左侧的保持部件41的上端面。

橡胶垫21例如是形成为长方形的板状的橡胶板。橡胶垫21固定在配置于右侧的固定部件20的下表面的右端侧和配置于左侧的固定部件20的下表面的左端侧。另外，橡胶垫21在配置于右侧的固定部件20的下表面及配置于左侧的固定部件20的下表面各表面，以在左右方向上隔开间隔的状态固定于多个部位。例如，橡胶垫21固定在配置于右侧的固定部件20的下表面的三个部位和配置于左侧的固定部件20的下表面的三个部位。此外，本实施方式的橡胶垫21烧焊固定于薄钢板上，固定有橡胶垫21的薄钢板被固定于固定部件20的下表面。即，橡胶垫21经由薄钢板固定于固定部件20的下表面。

在保持部件41上固定有用于检测有无掩模2的传感器42。配置于右侧的传感器42设置在配置于右侧的固定部件20的左侧，配置于左侧的传感器42设置在配置于左侧的固定部件20的右侧。另外，传感器42配置于比支承部件17的接触面17a靠下侧的位置。此外，从传感器42引出的配线利用形成为圆管状的管状部件40的内部穿绕到手3的后端部。

在本实施方式中，当向气缸22的杆侧供给压缩空气并且气缸22的杆被拉入时，固定部件20配置于接触位置20A(参照图7中的实线)。当固定部件20配置于接触位置20A时，橡胶垫21通过气缸22与手叉16的上表面接触。在本实施方式中，当固定部件20配置于接触位置20A时，橡胶垫21通过气缸22被按压在手叉16的上表面。在这种状态下，当向气缸22的头侧供给压缩空气并且气缸22的杆突出时，固定部件20与杆部件39、管状部件40以及保持部件41一起以管状部件40的轴心为中心转动，并向分离位置20B移动(参照图7中的双点划线)。

另外，在本实施方式中，当根据由机器人1搬运的掩模2的尺寸使支承部件17在前后方向上移动时，使固定部件20向分离位置20B移动。在固定部件20配置于分离位置20B的状态下，当电动机29启动使螺纹轴32旋转时，气缸22、杆部件39、管状部件40、保持部件41、固定部件20以及支承部件17与固定有螺母部件33的可动部件34一起在前后方向上移动。此外，手3具备收容有与气缸22连接的空气配管的一部分等的线缆承载管(日文：ケーブルベヤ，注册商标)。

(倾斜修正机构的结构)

图8是用于说明图1的M部的结构的放大图。图9是用于说明图8的N－N截面的结构的图。

机器人1具备倾斜修正机构46，该倾斜修正机构46修正装载于手叉16上的掩模2相对于水平方向的倾斜。倾斜修正机构46构成关节部23。即，手3的基部15经由倾斜修正机构46能转动地连接到第二臂部13的前端侧。倾斜修正机构46通过将左右方向设为转动的轴向并且使手3以支点部47为转动中心转动，修正装载在手叉16上的掩模2的倾斜。

倾斜修正机构46具备作为驱动源的电动机48、经由减速器与电动机48的输出轴连接的偏心轴(曲轴)49、一端侧安装在偏心轴49上的连杆部件50、安装连杆部件50的另一端侧的安装部件51以及能转动地保持于第二臂部13的前端侧的转动部件52。此外，在图8中省略了连杆部件50的图示。

电动机48保持于转动部件52。偏心轴49配置为，偏心轴49的轴向和左右方向一致。偏心轴49能转动地保持于转动部件52。偏心轴49相对于转动部件52能够以左右方向为转动的轴向进行转动。偏心轴49具备轴心从偏心轴49的转动中心偏移规定量的圆柱状的偏心部49a。

连杆部件50的一端侧能转动地安装于偏心部49a的外周侧。连杆部件50的另一端侧能转动地安装于安装部件51的后端部。安装部件51的前端部能转动地保持于支点部47，安装部件51相对于转动部件52能够以支点部47为转动中心转动。另外，安装部件51可以实现以左右方向为转动的轴向的转动。在安装部件51的上端固定有手3的基部15的下表面。

在倾斜修正机构46中，当电动机48启动时，偏心轴49转动。当偏心轴49转动时，连杆部件50移动，安装部件51以支点部47为中心转动。当安装部件51以支点部47为中心转动时，手3也以支点部47为中心转动，装载在手叉16上的掩模2的倾斜被修正。

(本实施方式的主要效果)

如上所述，在本实施方式中，手3具备使支承掩模2的下表面并且限制掩模2向后侧移动的支承部件17在前后方向上移动的移动机构19，根据由机器人1搬运的掩模2的尺寸，使支承部件17在前后方向上移动。因此，在本实施方式中，可以根据掩模2的尺寸使支承部件17移动到能够适当地支承掩模2的下表面的位置。因此，在本实施方式中，可以将各种尺寸的掩模2适当地装载到手3上。

在本实施方式中，限制掩模2向前侧移动的支承部件18固定于手叉16。因此，在本实施方式中，与支承部件18相对于手叉16能够在前后方向上移动的情况相比，可以简化手3的结构。

在本实施方式中，手3具备橡胶垫21和气缸22，所述橡胶垫21固定于固定支承部件17的固定部件20的下表面，所述气缸22使固定部件20在接触位置20A和分离位置20B之间移动，上述接触位置20A是橡胶垫21以规定接触压与手叉16的上表面接触的位置，上述分离位置20B是橡胶垫21从手叉16的上表面分离的位置。因此，在本实施方式中，可以利用固定部件20配置在接触位置20A时的橡胶垫21和手叉16的上表面之间的摩擦力使支承部件17停止在前后方向上的规定位置。另外，在本实施方式中，通过使固定部件20移动到分离位置20B，可以通过移动机构19使支承部件17在前后方向上容易地移动。

另外，在本实施方式中，当固定部件20配置在接触位置20A时，橡胶垫21通过气缸22被按压在手叉16的上表面，因此，可以增大固定部件20配置在接触位置20A时的橡胶垫21和手叉16的上表面之间的摩擦力。因此，在本实施方式中，可以使支承部件17可靠地停止在前后方向上的规定位置。

在本实施方式中，掩模2装载于两根手叉16的前侧部分。另外，在本实施方式中，电动机29配置于比关节部23靠后侧的位置。因此，在本实施方式中，在前后方向上，可以使装载在手3上的掩模2和电动机29之间的距离较远。因此，在本实施方式中，即使在温度较高的掩模2装载在手3上的情况下，也可以防止由于掩模2的热量的影响导致的电动机29的损伤。

另外，在本实施方式中，气缸22安装在可动部件34的后端侧，所以，在前后方向上，可以使装载在手3上的掩模2和气缸22之间的距离较远。因此，在本实施方式中，即使在温度较高的掩模2装载在手3上的情况下，也可以防止由于掩模2的热量的影响导致的气缸22的损伤。

在本实施方式中，手3具备修正装载在手叉16上的掩模2相对于水平方向的倾斜的倾斜修正机构46。因此，在本实施方式中，即使手叉16因装载在手叉16上的掩模2的重量而弯曲，也可以修正装载在手叉16上的掩模2相对于水平方向的倾斜。

(其他实施方式)

上述实施方式是本发明的优选实施方式的一个例子，但不限于此，在不变更本发明的宗旨的范围内，可以实施各种变形。

在上述实施方式中，除了支承部件17以外，也可以是支承部件18相对于手叉16能够在前后方向上移动。在这种情况下，手3具备使支承部件18在前后方向上移动的移动机构。另外，在上述实施方式中，也可以代替支承部件17，使支承部件18相对于手叉16能够在前后方向上移动。

在上述实施方式中，气缸22可以安装于可动部件34的前端侧，也可以安装于前后方向上的可动部件34的中间位置。另外，在上述实施方式中，固定部件20通过以管状部件40的轴心为中心转动而在接触位置20A和分离位置20B之间移动，但是固定部件20例如也可以通过在上下方向上线性移动而在接触位置20A和分离位置20B之间移动。另外，在上述实施方式中，手3也可以具备电动机和将该电动机的动力传递给固定部件20的动力传递机构而代替气缸22。

在上述实施方式中，基部15的后端部也可以能转动地连接于臂4的前端侧。另外，在上述实施方式中，电动机29也可以固定于基部15的前端部。而且，在上述实施方式中，手3具备的手叉16的数量也可以在三个以上。另外，在上述实施方式中，机器人1也可以不具备倾斜修正机构46。另外，在上述实施方式中，机器人1搬运的搬运对象物2也可以是除了掩模以外的物体。例如，机器人1搬运的搬运对象物2也可以是液晶显示器用的玻璃基板。

在上述实施方式中，机器人1是水平多关节型机器人，但应用本发明的机器人也可以是除了水平多关节型机器人以外的工业用机器人。例如，应用本发明的机器人也可以是像上述专利文献1中公开的工业用机器人那样，具备支承手3的基端侧的线性驱动部和支承线性驱动部的本体部的机器人。这种情况下的线性驱动部是连接手3并且保持手3的手保持部。

Claims (7)

1.一种手，是搬运搬运对象物的工业用机器人的手，其特征在于，具备：

多个手叉，所述多个手叉形成为直线状且互相平行配置；

支承部件，所述支承部件配置于所述手叉的上表面侧，支承所述搬运对象物的下表面并且限制所述搬运对象物在所述手叉的长度方向上的移动；以及

移动机构，所述移动机构使所述支承部件在所述手叉的长度方向上移动。

2.根据权利要求1所述的手，其特征在于，具备：

所述支承部件，所述支承部件相对于所述手叉能在所述手叉的长度方向上移动；以及

第二支承部件，所述第二支承部件固定于所述手叉的上表面侧并支承所述搬运对象物的下表面，

所述支承部件限制所述搬运对象物向所述手叉的长度方向上的一侧移动，

所述第二支承部件限制所述搬运对象物向所述手叉的长度方向上的另一侧移动。

3.根据权利要求1或2所述的手，其特征在于，具备：

固定部件，所述固定部件固定所述支承部件；

橡胶垫，所述橡胶垫为橡胶制，固定于所述固定部件的下表面；以及

第二移动机构，所述第二移动机构使所述固定部件在所述橡胶垫以规定接触压与所述手叉的上表面接触的接触位置和所述橡胶垫从所述手叉的上表面分离的分离位置之间移动。

4.根据权利要求3所述的手，其特征在于，

所述第二移动机构是气缸，

当所述固定部件配置于所述接触位置时，所述橡胶垫通过所述气缸与所述手叉的上表面接触或被按压在所述手叉的上表面。

5.一种工业用机器人，其特征在于，具备：

权利要求1～4中任一项所述的手；以及

连接所述手并且保持所述手的手保持部，

将所述手叉的长度方向的一方设为第一方向、将第一方向的相反方向设为第二方向时，

所述搬运对象物装载于所述手叉的第二方向侧部分，

所述移动机构的驱动源配置于比所述手与所述手保持部的连接部分靠第一方向侧的位置。

6.一种工业用机器人，其特征在于，具备：

权利要求3或4所述的手；以及

连接所述手并且保持所述手的手保持部，

将所述手叉的长度方向的一方设为第一方向、将第一方向的相反方向设为第二方向时，

所述搬运对象物装载于所述手叉的第二方向侧部分，

所述手具备可动部件，所述可动部件安装所述第二移动机构并且与所述支承部件一起在所述手叉的长度方向上移动，

所述移动机构的驱动源配置于比所述手与所述手保持部的连接部分靠第一方向侧的位置，

所述第二移动机构安装于所述可动部件的第一方向端侧。

7.一种工业用机器人，其特征在于，具备：

权利要求1～4中任一项所述的手；

连接所述手并且保持所述手的手保持部；以及

修正装载于所述手叉上的所述搬运对象物相对于水平方向的倾斜的倾斜修正机构。

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