CN111060799B

CN111060799B - 一种真空高低温半导体器件测试探针台

Info

Publication number: CN111060799B
Application number: CN202010003786.8A
Authority: CN
Inventors: 刘家铭; 张孝仁; 苏华庭
Original assignee: Hefei Core Semiconductor Co Ltd
Current assignee: Hefei core semiconductor Co., Ltd
Priority date: 2020-01-03
Filing date: 2020-01-03
Publication date: 2020-09-08
Anticipated expiration: 2040-01-03
Also published as: CN111060799A

Abstract

本发明提供一种真空高低温半导体器件测试探针台，涉及半导体器件技术领域。该真空高低温半导体器件测试探针台，包括工作台本体、防护罩、探针杆和探针头，所述工作台本体顶面的两端均固定连接有移动机构，两个移动机构均包括移动箱，两个移动箱相互远离的一侧面均固定连接有微型电机。该真空高低温半导体器件测试探针台，通过设置夹持机构，具备更换方便和使用方便的优点，解决了现有的真空高低温半导体器件测试探针台在对探针进行更换时比较麻烦，更换效率低的问题，通过设置缓冲机构，有效的避免了在对晶圆进行测试时，晶圆的表面容易被扎伤，进一步影响晶圆的测试，测出的结果无法做到精确化，影响晶圆的正常判断的情况。

Description

一种真空高低温半导体器件测试探针台

技术领域

本发明涉及半导体器件技术领域，具体为一种真空高低温半导体器件测试探针台。

背景技术

半导体器件(semiconductor device)通常利用不同的半导体材料、采用不同的工艺和几何结构，已研制出种类繁多、功能用途各异的多种晶体二极，晶体二极管的频率覆盖范围可从低频、高频、微波、毫米波、红外直至光波，三端器件一般是有源器件，典型代表是各种晶体管(又称晶体三极管)。

现有的真空高低温半导体器件测试探针台在对探针进行更换时比较麻烦，更换效率低，并且探针在对晶圆进行测试时，晶圆的表面容易被扎伤，进一步影响晶圆的测试，测出的结果无法做到精确化，影响晶圆的正常判断，为此，我们提出一种真空高低温半导体器件测试探针台解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种真空高低温半导体器件测试探针台，解决了背景技术中提出的问题。

技术方案

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种真空高低温半导体器件测试探针台，包括工作台本体、防护罩、探针杆和探针头，所述工作台本体顶面的两端均固定连接有移动机构，两个移动机构均包括移动箱，两个移动箱相互远离的一侧面均固定连接有微型电机，两个微型电机的输出端均固定连接有移动块，两个移动块的外表面均螺纹连接有螺杆，两个螺杆的顶面均固定连接有夹持机构，两个夹持机构的内部均设有缓冲机构。

进一步改进为，所述工作台本体的顶面的中心开设有放置槽，工作台本体与防护罩卡接，通过设置放置槽，将半导体器件放置在放置槽的内部，从而便于对半导体器件进行定位。

进一步改进为，两个所述螺杆的内部均滑动连接有滑动块，两个滑动块的两端分别与两个移动箱的内壁固定连接，通过设置滑动块，使螺杆在滑动块上滑动，从而提升螺杆移动时的稳定性。

进一步改进为，两个所述夹持机构均包括夹持箱，两个夹持箱的顶面均固定镶嵌有螺母，两个螺母的内部均螺纹连接有螺栓，两个夹持箱的内部均开设有第一滑槽，两个第一滑槽的内部均滑动连接有第一滑块，两个第一滑块的顶面均固定镶嵌有轴承，两个轴承的内圈分别与两个螺栓的外表面固定连接，通过设置轴承，使螺栓在轴承的内部旋转，从而使螺栓可对第一滑块进行推拉。

进一步改进为，两个所述第一滑块的底面均开设有两个相对称的第二滑槽，每个第二滑槽的内部均滑动连接有夹持块，两个夹持块相互靠近的一侧面均转动连接有滚珠，通过设置滚珠，使探针杆可经滚珠进行滑动，从而避免探针杆扎破半导体器件的外表面。

进一步改进为，两个所述夹持箱的内壁均固定连接有第二铰接块，两个第二铰接块的内部均固定铰接有铰接杆，每个铰接杆远离第二铰接块的一端均固定铰接有第一铰接块每个第一铰接块的一侧面均与夹持块远离探针杆的一侧面固定连接，通过设置第二铰接块、铰接杆和第一铰接块，将铰接杆在第一铰接块与第二铰接块的内部转动，从而对夹持块进行支撑，从而提升夹持块夹持的稳定性。

进一步改进为，所述缓冲机构包括缓冲箱，缓冲箱的内部滑动连接有第二滑块，第二滑块的内部开设有两组相对称的导向孔，每个导向孔的内部均滑动连接有导向杆，每个导向杆的两端分别与缓冲箱的内顶壁和内底壁固定连接，每个导向杆的外表面均设有弹簧，通过设置导向孔和导向杆，将第二滑块经导向孔在导向杆上滑动，从而对第二滑块进行导向。

进一步改进为，所述第二滑块的底面固定连接有第一磁铁，缓冲箱的内底壁固定连接有第二磁铁，第二滑块的顶面固定连接有支撑杆，每个弹簧均位于第二滑块与第二磁铁的夹缝中，通过设置第一磁铁和第二磁铁，使第一磁铁与第二磁铁靠近时对弹簧承受的弹性势力进行缓冲。

1、该真空高低温半导体器件测试探针台，通过设置夹持机构，将螺栓在螺母的内部旋转，从而使螺栓向下推动第一滑块，从而使两个夹持块在两个第二滑槽的内部相互靠近，同时使铰接杆在第二铰接块和第一铰接块的内部转动，从而使夹持块对探针杆进行固定夹持，从而达到了对探针杆快速拆装的效果，具备更换方便和使用方便的优点，解决了现有的真空高低温半导体器件测试探针台在对探针进行更换时比较麻烦，更换效率低的问题。

2、该真空高低温半导体器件测试探针台，通过设置缓冲机构，将探针杆的顶面推动支撑杆往缓冲箱的内部移动，从而使第二滑块在缓冲箱的内部滑动，从而使第二滑块对弹簧进行挤压，同时使第一磁铁与第二磁铁相互靠近，在弹簧的反作用力和第一磁铁与第二磁铁之间斥力的双重作用下，对探针杆进行缓冲，从而有效的避免了在对晶圆进行测试时，晶圆的表面容易被扎伤，进一步影响晶圆的测试，测出的结果无法做到精确化，影响晶圆的正常判断的情况。

3、该真空高低温半导体器件测试探针台，通过设置放置槽，将半导体器件放置在放置槽的内部，从而便于对半导体器件进行定位，通过设置滑动块，使螺杆在滑动块上滑动，从而提升螺杆移动时的稳定性，通过设置轴承。使螺栓在轴承的内部旋转，从而使螺栓可对第一滑块进行推拉，通过设置滚珠，使探针杆可经滚珠进行滑动，从而避免探针杆扎破半导体器件的外表面，通过设置第二铰接块、铰接杆和第一铰接块，将铰接杆在第一铰接块与第二铰接块的内部转动，从而对夹持块进行支撑，从而提升夹持块夹持的稳定性，通过设置导向孔和导向杆，将第二滑块经导向孔在导向杆上滑动，从而对第二滑块进行导向，通过设置第一磁铁和第二磁铁，使第一磁铁与第二磁铁靠近时对弹簧承受的弹性势力进行缓冲。

附图说明

图1为本发明工作台本体的俯视图；

图2为本发明工作台本体主视图的剖视图；

图3为本发明夹持机构闭合状态的剖视图；

图4为本发明夹持机构张开状态的剖视图；

图5为本发明缓冲机构立体图的剖视图。

图中标号表示为，1工作台本体、2放置槽、3防护罩、4移动机构、401移动箱、402微型电机、403螺杆、404移动块、405滑动块、5夹持机构、501夹持箱、502螺母、503螺栓、504轴承、505第一滑块、506第一滑槽、507第二滑槽、508夹持块、509第一铰接块、510铰接杆、511第二铰接块、512滚珠、6缓冲机构、601缓冲箱、602第二滑块、603导向孔、604导向杆、605弹簧、606第一磁铁、607第二磁铁、608支撑杆、7探针杆、8探针头。

具体实施方式

如图1-5所示，本发明实施例提供一种真空高低温半导体器件测试探针台，包括工作台本体1、防护罩3、探针杆7和探针头8，工作台本体1的顶面的中心开设有放置槽2，工作台本体1与防护罩3卡接，通过设置放置槽2，将半导体器件放置在放置槽2的内部，从而便于对半导体器件进行定位，工作台本体1顶面的两端均固定连接有移动机构4，两个移动机构4均包括移动箱401，两个移动箱401相互远离的一侧面均固定连接有微型电机402，本发明微型电机402使用5LK60W微型电机，两个微型电机402的输出端均固定连接有移动块404，两个移动块404的外表面均螺纹连接有螺杆403，两个螺杆403的内部均滑动连接有滑动块405，两个滑动块405的两端分别与两个移动箱401的内壁固定连接，通过设置滑动块405，使螺杆403在滑动块405上滑动，从而提升螺杆403移动时的稳定性，两个螺杆403的顶面均固定连接有夹持机构5。

两个夹持机构5均包括夹持箱501，两个夹持箱501的顶面均固定镶嵌有螺母502，两个螺母502的内部均螺纹连接有螺栓503，两个夹持箱501的内部均开设有第一滑槽506，两个第一滑槽506的内部均滑动连接有第一滑块505，两个第一滑块505的顶面均固定镶嵌有轴承504，两个轴承504的内圈分别与两个螺栓503的外表面固定连接，通过设置轴承504，使螺栓503在轴承504的内部旋转，从而使螺栓503可对第一滑块505进行推拉，两个第一滑块505的底面均开设有两个相对称的第二滑槽507，每个第二滑槽507的内部均滑动连接有夹持块508，两个夹持块508相互靠近的一侧面均转动连接有滚珠512，通过设置滚珠512，使探针杆7可经滚珠512进行滑动，从而避免探针杆7扎破半导体器件的外表面，两个夹持箱501的内壁均固定连接有第二铰接块511，两个第二铰接块511的内部均固定铰接有铰接杆510，每个铰接杆510远离第二铰接块511的一端均固定铰接有第一铰接块509每个第一铰接块509的一侧面均与夹持块508远离探针杆7的一侧面固定连接，通过设置第二铰接块511、铰接杆510和第一铰接块509，将铰接杆510在第一铰接块509与第二铰接块511的内部转动，从而对夹持块508进行支撑，从而提升夹持块508夹持的稳定性，两个夹持机构5的内部均设有缓冲机构6。

缓冲机构6包括缓冲箱601，缓冲箱601的内部滑动连接有第二滑块602，第二滑块602的内部开设有两组相对称的导向孔603，每个导向孔603的内部均滑动连接有导向杆604，每个导向杆604的两端分别与缓冲箱601的内顶壁和内底壁固定连接，每个导向杆604的外表面均设有弹簧605，通过设置导向孔603和导向杆604，将第二滑块602经导向孔603在导向杆604上滑动，从而对第二滑块602进行导向，第二滑块602的底面固定连接有第一磁铁606，缓冲箱601的内底壁固定连接有第二磁铁607，本发明第一磁铁606和第二磁铁607相互靠近的一侧面磁性相反，第二滑块602的顶面固定连接有支撑杆608，每个弹簧605均位于第二滑块602与第二磁铁607的夹缝中，通过设置第一磁铁606和第二磁铁607，使第一磁铁606与第二磁铁607靠近时对弹簧605承受的弹性势力进行缓冲。

本发明工作原理如下：需要对探针杆7进行安装时，将探针杆7放置在两个夹持块508的夹缝中，旋转螺栓503，使其在螺母502的内部转动并下降，从而使螺栓503在轴承504的内部旋转并推动第一滑块505在第一滑槽506的内部下降，从而使两个夹持块508分别在两个第二滑槽507的内部滑动，并使两个夹持块508相互靠近，同时使铰接杆510在第二铰接块511和第一铰接块509的内部转动，从而使夹持块508对探针杆7进行固定夹持，从而达到了对探针杆7快速拆装的效果，具备更换方便和使用方便的优点，解决了现有的真空高低温半导体器件测试探针台在对探针进行更换时比较麻烦，更换效率低的问题，将半导体器件放置在放置槽2的内部，启动微型电机402，使其输出端带动移动块404旋转，从而使螺杆403在移动块404上滑动，同时在滑动块405上滑动，从而使探针头8靠近待检测半导体器件，当探针头8接触至半导体器件时，使探针杆7在滚珠512上滑动，从而使探针杆7推动支撑杆608向缓冲箱601的内部滑动，从而使第二滑块602在缓冲箱601内移动，从而使第二滑块602经导向孔603在导向杆604上滑动，从而对弹簧605进行挤压，同时使第一磁铁606靠近第二磁铁607，从而在弹簧605的反作用力和第一磁铁606与第二磁铁607之间斥力的双重作用下，对探针杆7进行缓冲，从而有效的避免了在对晶圆进行测试时，晶圆的表面容易被扎伤，进一步影响晶圆的测试，测出的结果无法做到精确化，影响晶圆的正常判断的情况。

Claims

1.一种真空高低温半导体器件测试探针台，包括工作台本体（1）、防护罩（3）、探针杆（7）和探针头（8），其特征在于：所述工作台本体（1）顶面的两端均固定连接有移动机构（4），两个移动机构（4）均包括移动箱（401），两个移动箱（401）相互远离的一侧面均固定连接有微型电机（402），两个微型电机（402）的输出端均固定连接有移动块（404），两个移动块（404）的外表面均螺纹连接有螺杆（403），两个螺杆（403）的顶面均固定连接有夹持机构（5），两个夹持机构（5）的内部均设有缓冲机构（6），两个所述夹持机构（5）均包括夹持箱（501），两个夹持箱（501）的顶面均固定镶嵌有螺母（502），两个螺母（502）的内部均螺纹连接有螺栓（503），两个夹持箱（501）的内部均开设有第一滑槽（506），两个第一滑槽（506）的内部均滑动连接有第一滑块（505），两个第一滑块（505）的顶面均固定镶嵌有轴承（504），两个轴承（504）的内圈分别与两个螺栓（503）的外表面固定连接，两个所述第一滑块（505）的底面均开设有两个相对称的第二滑槽（507），每个第二滑槽（507）的内部均滑动连接有夹持块（508），两个夹持块（508）相互靠近的一侧面均转动连接有滚珠（512），两个所述夹持箱（501）的内壁均固定连接有第二铰接块（511），两个第二铰接块（511）的内部均固定铰接有铰接杆（510），每个铰接杆（510）远离第二铰接块（511）的一端均固定铰接有第一铰接块（509）每个第一铰接块（509）的一侧面均与夹持块（508）远离探针杆（7）的一侧面固定连接，所述缓冲机构（6）包括缓冲箱（601），缓冲箱（601）的内部滑动连接有第二滑块（602），第二滑块（602）的内部开设有两组相对称的导向孔（603），每个导向孔（603）的内部均滑动连接有导向杆（604），每个导向杆（604）的两端分别与缓冲箱（601）的内顶壁和内底壁固定连接，每个导向杆（604）的外表面均设有弹簧（605）。

2.根据权利要求1所述的一种真空高低温半导体器件测试探针台，其特征在于：所述工作台本体（1）的顶面的中心开设有放置槽（2），工作台本体（1）与防护罩（3）卡接。

3.根据权利要求1所述的一种真空高低温半导体器件测试探针台，其特征在于：两个所述螺杆（403）的内部均滑动连接有滑动块（405），两个滑动块（405）的两端分别与两个移动箱（401）的内壁固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种真空高低温半导体器件测试探针台，其特征在于：所述第二滑块（602）的底面固定连接有第一磁铁（606），缓冲箱（601）的内底壁固定连接有第二磁铁（607），第二滑块（602）的顶面固定连接有支撑杆（608），每个弹簧（605）均位于第二滑块（602）与第二磁铁（607）的夹缝中。