CN118033196A - 一种半导体加工用探针测试台及其使用方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种半导体加工用探针测试台及其使用方法，涉及探针检测技术领域，包括机械臂主体和防护机构，所述防护机构包括连接组件和固定组件，所述连接组件包括旋转盖，所述机械臂主体的端部与所述旋转盖的顶面固定连接，所述旋转盖的底面转动连接有顶杆。本发明通过旋转旋转柱，使顶板与出孔筒之间的距离改变，使锥形档筒伸出出孔筒的长度改变，锥形档筒向外侧展开，从而使两个锥形档筒对探针主体不再限位，便于探针主体伸出锥形档筒的外部，实现了对探针主体外侧防护的效果，对探针主体灵活的防护，使探针主体在使用时取出到锥形档筒外侧，减少探针主体使用时的发生故障的概率。

Description

一种半导体加工用探针测试台及其使用方法

技术领域

本发明涉及探针检测技术领域，具体为一种半导体加工用探针测试台及其使用方法。

背景技术

半导体器件生产中，从半导体单晶片到制成最终成品，须经历数十甚至上百道工序。为了确保产品性能合格、稳定可靠，并有高的成品率，根据各种产品的生产情况，对所有工艺步骤都要有严格的具体要求。因而，在生产过程中必须建立相应的系统和精确的监控措施，首先要从半导体工艺检测着手。

现有技术中，如中国专利申请号为：CN113125929A的“一种半导体加工用探针测试台”，包括底座、测试平台，所述测试平台位于底座上，所述测试平台上设有测试机构，所述底座内设有测试仪器，所述测试机构与测试仪器之间电性连接，测试平台上设有移动槽，所述移动槽内滑动连接有固定板，所述固定板上设有放置槽，所述固定板内设有空腔，所述空腔位于放置槽的下方。

但现有技术中，由于半导体内部结构比较精细，在使用探针检测时需要对固定的位置进行探测，而探针移动平台对探针的位置控制精准度受限，从而使探针的检测头容易移动偏位，从而导致了探针的检测头容易受到刮花产生损坏，影响了探针的使用寿命。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体加工用探针测试台及其使用方法，以解决上述背景技术提出的由于半导体内部结构比较精细，在使用探针检测时需要对固定的位置进行探测，而探针移动平台对探针的位置控制精准度受限，从而使探针的检测头容易移动偏位，从而导致了探针的检测头容易受到刮花产生损坏，影响了探针的使用寿命的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体加工用探针测试台，包括机械臂主体和防护机构，所述防护机构包括连接组件和固定组件，所述连接组件包括旋转盖，所述机械臂主体的端部与所述旋转盖的顶面固定连接，所述旋转盖的底面转动连接有顶杆，所述固定组件包括连接筒，所述连接筒的内侧壁设置有活动组件，所述活动组件包括旋转柱，所述旋转柱的内部设置有夹持组件，所述连接筒的内侧壁与所述旋转柱的外侧壁滑动连接；

所述夹持组件包括第二防护筒和顶板，所述顶板的侧壁与所述顶杆一端相互搭接，所述顶板远离顶杆一侧并固定连接有第一防护筒，所述第一防护筒的外侧壁套接有第二防护筒，所述第一防护筒与所述第二防护筒之间固定连接有弹簧，所述第一防护筒的底端固定连接有两个锥形档筒，所述锥形档筒的外侧壁固定连接有限位环，所述限位环的外侧壁固定连接有出孔筒，所述出孔筒与所述第二防护筒之间固定连接，两个所述锥形档筒的内侧壁活动套接有探针主体。

优选的，所述旋转柱的外侧壁固定连接有螺纹外丝，所述连接筒的内侧壁开设有螺纹内丝，所述螺纹外丝的外侧壁与所述螺纹内丝的内侧壁螺纹连接。

优选的，所述旋转盖侧壁中心位置处固定连接有旋转环，所述旋转环的内侧壁与所述顶杆的外侧壁转动连接。

优选的，所述机械臂主体的底端设置有第二导向机构，所述第二导向机构包括两个连接座，两个所述连接座的侧壁中心位置处转动连接有第二螺杆。

优选的，所述第二螺杆的外侧壁螺纹连接有第二螺纹座，所述第二螺杆的两外侧设置有第二限位柱，所述第二限位柱的外侧壁与所述第二螺纹座的侧壁滑动连接，所述第二螺纹座的顶端固定连接有稳定板。

优选的，所述稳定板的顶面与所述机械臂主体固定连接，所述第二螺杆的一端贯穿连接座的侧壁并固定连接有第二旋钮，两个所述连接座的顶端均设置有第一导向机构。

优选的，所述第一导向机构包括两个垫块，其中一个垫块的顶端固定连接有第二定位板，另一个所述垫块的顶端固定连接有第一定位板。

优选的，所述垫块的底端固定连接有底板，所述底板的底面四个拐角位置处均固定连接有万向轮，所述第一定位板与所述第二定位板之间转动连接有第一螺杆，所述第一螺杆的外侧壁螺纹连接有第一螺纹座。

优选的，所述第一螺纹座的底端与连接座的顶端固定连接，所述第一螺杆的两个外侧均设置有第一限位柱，所述第一限位柱的外侧壁与所述第一螺纹座之间滑动连接，所述第一螺杆的一端贯穿所述第一定位板的侧壁并固定连接有第一旋钮。

一种半导体加工用探针测试台的使用方法，包括以下步骤：

步骤一、将探针主体放置在锥形档筒内部，旋转旋转柱，从而使旋转柱收缩在连接筒的内部，从而使旋转盖与顶板之间的距离减小，从而使顶杆对顶板产生挤压，从而使顶板带动第一防护筒向出孔筒的开口处挤压；

步骤二、当第一防护筒向出孔筒移动时，从而使弹簧产生压缩，从而使弹簧带动锥形档筒向限位环的外侧移动，锥形的锥形档筒向限位环的外侧插出，从而使两个锥形档筒的外侧展开，从而使锥形档筒开口的展开幅度受到限位环的限位幅度减小，使探针主体能够在锥形档筒内部移动；

步骤三、调节探针主体从活动的锥形档筒中取出，反向转动旋转柱，从而使旋转柱远离连接筒，从而使顶杆对顶板的挤压力减小，从而使弹簧展开，从而使第一防护筒带动锥形档筒向内部收缩，使两个锥形档筒向中间挤压，从而使探针主体再次固定，调节探针主体的位置，当探针主体收纳在防护机构的内部时，实现对探针主体防护效果，当探针主体的底端伸出在防护机构的外部时，从而便于对探针主体进行使用；

步骤四、当探针主体固定在防护机构的内部后，通过旋转第二旋钮，使第二旋钮带动第二螺杆旋转，从而使第二螺杆带动第二螺纹座移动，从而使第二螺纹座带动稳定板移动，使稳定板带动机械臂主体移动，实现对探针主体一个方向移动定位的效果；

步骤五、旋转第一旋钮，从而使第一旋钮带动第一螺杆移动，从而使第一螺杆带动第一螺纹座移动，从而使第一螺纹座带动两个连接座移动，从而使连接座带动第二螺纹座移动，从而使稳定板带动机械臂主体移动，从而实现粒对探针主体另一个方向移动定位的效果，通过控制第一导向机构和第二导向机构来控制探针主体在底板上的位置，通过机械臂主体控制探针主体移动的效果，通过设置防护机构来对探针主体外侧进行防护。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、本发明中，通过旋转旋转柱，使顶板与出孔筒之间的距离改变，使锥形档筒伸出出孔筒的长度改变，锥形档筒向外侧展开，从而使两个锥形档筒对探针主体不再限位，便于探针主体伸出锥形档筒的外部，实现了对探针主体外侧防护的效果，对探针主体灵活的防护，使探针主体在使用时取出到锥形档筒外侧，减少探针主体使用时的发生故障的概率。

2、本发明中，通过旋转第二旋钮，从而使第二旋钮带动第二螺杆旋转，从而使第二螺杆带动第二螺纹座移动，从而使第二螺纹座在两个第二限位柱的限位作用下直线移动，从而实现了对机械臂主体的一个方向位置调节的效果。

3、本发明中，通过旋转第一旋钮带动第一螺杆移动，第一螺杆带动螺纹连接的第一螺纹座移动，第一螺纹座的两个外侧通过第一限位柱限定位置，第一螺纹座的另一个方向位置改变，从而调节连接座的位置。

附图说明

图1为本发明一种半导体加工用探针测试台及其使用方法的立体结构示意图一；

图2为本发明一种半导体加工用探针测试台及其使用方法的立体结构示意图二；

图3为本发明一种半导体加工用探针测试台及其使用方法的第一导向机构与第二导向机构结构示意图；

图4为本发明一种半导体加工用探针测试台及其使用方法的防护机构结构示意图；

图5为本发明一种半导体加工用探针测试台及其使用方法的防护机构侧面剖视图；

图6为本发明一种半导体加工用探针测试台及其使用方法的防护机构爆炸效果图；

图7为图5中A处局部结构放大效果图

图中：

1、万向轮；2、底板；

3、第一导向机构；31、垫块；32、第一定位板；33、第一旋钮；34、第一限位柱；35、第一螺杆；36、第一螺纹座；37、第二定位板；

4、第二导向机构；41、连接座；42、第二限位柱；43、第二螺杆；44、第二螺纹座；45、稳定板；46、第二旋钮；5、机械臂主体；

6、防护机构；61、连接组件；611、旋转盖；612、旋转环；613、顶杆；

62、固定组件；621、连接筒；622、螺纹内丝；

63、活动组件；631、旋转柱；632、螺纹外丝；

64、夹持组件；641、锥形档筒；642、限位环；643、出孔筒；644、弹簧；645、第一防护筒；646、第二防护筒；647、顶板；7、探针主体。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施条例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

参照图1-7所示：一种半导体加工用探针测试台，包括机械臂主体5和防护机构6，防护机构6包括连接组件61和固定组件62，连接组件61包括旋转盖611，机械臂主体5的端部与旋转盖611的顶面固定连接，旋转盖611的底面转动连接有顶杆613，固定组件62包括连接筒621，连接筒621的内侧壁设置有活动组件63，活动组件63包括旋转柱631，旋转柱631的内部设置有夹持组件64，连接筒621的内侧壁与旋转柱631的外侧壁滑动连接，使用时，通过旋转旋转柱631，从而使旋转柱631与连接筒621之间产生滑动，从而使旋转柱631与连接筒621之间的距离改变，从而使顶板647与出孔筒643之间的距离改变，便于对探针主体7改变位置，实现对探针主体7的便携的保护的效果；

夹持组件64包括第二防护筒646和顶板647，顶板647的侧壁与顶杆613一端相互搭接，顶板647远离顶杆613一侧并固定连接有第一防护筒645，第一防护筒645的外侧壁套接有第二防护筒646，第一防护筒645与第二防护筒646之间固定连接有弹簧644，第一防护筒645的底端固定连接有两个锥形档筒641，锥形档筒641的外侧壁固定连接有限位环642，限位环642的外侧壁固定连接有出孔筒643，出孔筒643与第二防护筒646之间固定连接，两个锥形档筒641的内侧壁活动套接有探针主体7，使用时，旋转旋转柱631调节连接筒621的位置，从而使锥形档筒641伸出出孔筒643的长度改变，锥形档筒641为锥形的结构的空心杆，两个锥形档筒641对探针主体7实现防护罩的效果，锥形档筒641向外伸出后，锥形档筒641向外侧展开，从而使两个锥形档筒641对探针主体7不再限位，便于探针主体7伸出锥形档筒641的外部，从而使探针主体7对外部的半导体进行检测，需要固定探针主体7位置时，反向转动旋转柱631，从而使旋转柱631收纳在连接筒621的内部，从而使顶板647受到弹簧644的弹力向外移动，从而使锥形档筒641向内移动，从而使探针主体7再次与锥形档筒641之间固定。

根据图5-7所示，旋转柱631的外侧壁固定连接有螺纹外丝632，连接筒621的内侧壁开设有螺纹内丝622，螺纹外丝632的外侧壁与螺纹内丝622的内侧壁螺纹连接。旋转盖611侧壁中心位置处固定连接有旋转环612，旋转环612的内侧壁与顶杆613的外侧壁转动连接，通过在旋转柱631的外侧壁设置螺纹外丝632，通过在连接筒621的内部开设螺纹内丝622，从而便于旋转柱631与连接筒621之间移动，方便了探针主体7与防护机构6之间活动连接的效果，使探针主体7与锥形档筒641之间便携夹持。

根据图1-3所示，机械臂主体5的底端设置有第二导向机构4，第二导向机构4包括两个连接座41，两个连接座41的侧壁中心位置处转动连接有第二螺杆43。第二螺杆43的外侧壁螺纹连接有第二螺纹座44，第二螺杆43的两外侧设置有第二限位柱42，第二限位柱42的外侧壁与第二螺纹座44的侧壁滑动连接，第二螺纹座44的顶端固定连接有稳定板45。稳定板45的顶面与机械臂主体5固定连接，第二螺杆43的一端贯穿连接座41的侧壁并固定连接有第二旋钮46，两个连接座41的顶端均设置有第一导向机构3，通过设置第二导向机构4，需要改变机械臂主体5的一个方向位置时，旋转第二旋钮46，从而使第二旋钮46带动第二螺杆43旋转，从而使第二螺杆43带动第二螺纹座44移动，从而使第二螺纹座44在两个第二限位柱42的限位作用下直线移动，从而实现了对机械臂主体5的一个方向位置调节的效果。

根据图1-3所示，第一导向机构3包括两个垫块31，其中一个垫块31的顶端固定连接有第二定位板37，另一个垫块31的顶端固定连接有第一定位板32。垫块31的底端固定连接有底板2，底板2的底面四个拐角位置处均固定连接有万向轮1，第一定位板32与第二定位板37之间转动连接有第一螺杆35，第一螺杆35的外侧壁螺纹连接有第一螺纹座36。第一螺纹座36的底端与连接座41的顶端固定连接，第一螺杆35的两个外侧均设置有第一限位柱34，第一限位柱34的外侧壁与第一螺纹座36之间滑动连接，第一螺杆35的一端贯穿第一定位板32的侧壁并固定连接有第一旋钮33，通过设置第一旋钮33，旋转第一旋钮33带动第一螺杆35移动，从而使第一螺杆35带动螺纹连接的第一螺纹座36移动，第一螺纹座36的两个外侧通过第一限位柱34限定位置，从而使第一螺纹座36的另一个方向位置改变，从而调节连接座41的位置，从而对机械臂主体5另一个方向位置调节的效果好，通过在底板2的底端设置万向轮1，提升了底板2的使用的便携性。

一种半导体加工用探针测试台的使用方法，包括以下步骤：

1）将探针主体7放置在锥形档筒641内部，旋转旋转柱631，从而使旋转柱631收缩在连接筒621的内部，从而使旋转盖611与顶板647之间的距离减小，从而使顶杆613对顶板647产生挤压，从而使顶板647带动第一防护筒645向出孔筒643的开口处挤压；

2）当第一防护筒645向出孔筒643移动时，从而使弹簧644产生压缩，从而使弹簧644带动锥形档筒641向限位环642的外侧移动，锥形的锥形档筒641向限位环642的外侧插出，从而使两个锥形档筒641的外侧展开，从而使锥形档筒641开口的展开幅度受到限位环642的限位幅度减小，使探针主体7能够在锥形档筒641内部移动；

3）调节探针主体7从活动的锥形档筒641中取出，反向转动旋转柱631，从而使旋转柱631远离连接筒621，从而使顶杆613对顶板647的挤压力减小，从而使弹簧644展开，从而使第一防护筒645带动锥形档筒641向内部收缩，使两个锥形档筒641向中间挤压，从而使探针主体7再次固定，调节探针主体7的位置，当探针主体7收纳在防护机构6的内部时，实现对探针主体7防护效果，当探针主体7的底端伸出在防护机构6的外部时，从而便于对探针主体7进行使用；

4）当探针主体7固定在防护机构6的内部后，通过旋转第二旋钮46，使第二旋钮46带动第二螺杆43旋转，从而使第二螺杆43带动第二螺纹座44移动，从而使第二螺纹座44带动稳定板45移动，使稳定板45带动机械臂主体5移动，实现对探针主体7一个方向移动定位的效果；

5）旋转第一旋钮33，从而使第一旋钮33带动第一螺杆35移动，从而使第一螺杆35带动第一螺纹座36移动，从而使第一螺纹座36带动两个连接座41移动，从而使连接座41带动第二螺纹座44移动，从而使稳定板45带动机械臂主体5移动，从而实现粒对探针主体7另一个方向移动定位的效果，通过控制第一导向机构3和第二导向机构4来控制探针主体7在底板2上的位置，通过机械臂主体5控制探针主体7移动的效果，通过设置防护机构6来对探针主体7外侧进行防护。

本装置的使用方法及工作原理：旋转第二旋钮46带动第二螺杆43旋转，第二螺杆43带动第二螺纹座44移动，第二螺纹座44带动稳定板45移动，旋转第一旋钮33带动第一螺杆35移动，第一螺杆35带动第一螺纹座36移动，第一螺纹座36带动两个连接座41移动，连接座41带动第二螺纹座44移动，稳定板45带动机械臂主体5移动，对探针主体7的位置进行调节；

转动旋转柱631，使旋转柱631收缩在连接筒621的内部，使顶杆613对顶板647产生挤压，使弹簧644产生压缩，锥形的锥形档筒641向限位环642的外侧插出，两个锥形档筒641的外侧展开，使探针主体7能够在锥形档筒641内部移动，实现了探针主体7位置调节效果，反向转动旋转柱631，使两个锥形档筒641向中间挤压，使探针主体7再次固定。

尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种半导体加工用探针测试台，包括机械臂主体（5）和防护机构（6），其特征在于：所述防护机构（6）包括连接组件（61）和固定组件（62），所述连接组件（61）包括旋转盖（611），所述机械臂主体（5）的端部与所述旋转盖（611）的顶面固定连接，所述旋转盖（611）的底面转动连接有顶杆（613），所述固定组件（62）包括连接筒（621），所述连接筒（621）的内侧壁设置有活动组件（63），所述活动组件（63）包括旋转柱（631），所述旋转柱（631）的内部设置有夹持组件（64），所述连接筒（621）的内侧壁与所述旋转柱（631）的外侧壁滑动连接；

所述夹持组件（64）包括第二防护筒（646）和顶板（647），所述顶板（647）的侧壁与所述顶杆（613）一端相互搭接，所述顶板（647）远离顶杆（613）一侧并固定连接有第一防护筒（645），所述第一防护筒（645）的外侧壁套接有第二防护筒（646），所述第一防护筒（645）与所述第二防护筒（646）之间固定连接有弹簧（644），所述第一防护筒（645）的底端固定连接有两个锥形档筒（641），所述锥形档筒（641）的外侧壁固定连接有限位环（642），所述限位环（642）的外侧壁固定连接有出孔筒（643），所述出孔筒（643）与所述第二防护筒（646）之间固定连接，两个所述锥形档筒（641）的内侧壁活动套接有探针主体（7）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用探针测试台，其特征在于：所述旋转柱（631）的外侧壁固定连接有螺纹外丝（632），所述连接筒（621）的内侧壁开设有螺纹内丝（622），所述螺纹外丝（632）的外侧壁与所述螺纹内丝（622）的内侧壁螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体加工用探针测试台，其特征在于：所述旋转盖（611）侧壁中心位置处固定连接有旋转环（612），所述旋转环（612）的内侧壁与所述顶杆（613）的外侧壁转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体加工用探针测试台，其特征在于：所述机械臂主体（5）的底端设置有第二导向机构（4），所述第二导向机构（4）包括两个连接座（41），两个所述连接座（41）的侧壁中心位置处转动连接有第二螺杆（43）。

5.根据权利要求4所述的一种半导体加工用探针测试台，其特征在于：所述第二螺杆（43）的外侧壁螺纹连接有第二螺纹座（44），所述第二螺杆（43）的两外侧设置有第二限位柱（42），所述第二限位柱（42）的外侧壁与所述第二螺纹座（44）的侧壁滑动连接，所述第二螺纹座（44）的顶端固定连接有稳定板（45）。

6.根据权利要求5所述的一种半导体加工用探针测试台，其特征在于：所述稳定板（45）的顶面与所述机械臂主体（5）固定连接，所述第二螺杆（43）的一端贯穿连接座（41）的侧壁并固定连接有第二旋钮（46），两个所述连接座（41）的顶端均设置有第一导向机构（3）。

7.根据权利要求6所述的一种半导体加工用探针测试台，其特征在于：所述第一导向机构（3）包括两个垫块（31），其中一个垫块（31）的顶端固定连接有第二定位板（37），另一个所述垫块（31）的顶端固定连接有第一定位板（32）。

8.根据权利要求7所述的一种半导体加工用探针测试台，其特征在于：所述垫块（31）的底端固定连接有底板（2），所述底板（2）的底面四个拐角位置处均固定连接有万向轮（1），所述第一定位板（32）与所述第二定位板（37）之间转动连接有第一螺杆（35），所述第一螺杆（35）的外侧壁螺纹连接有第一螺纹座（36）。

9.根据权利要求8所述的一种半导体加工用探针测试台，其特征在于：所述第一螺纹座（36）的底端与连接座（41）的顶端固定连接，所述第一螺杆（35）的两个外侧均设置有第一限位柱（34），所述第一限位柱（34）的外侧壁与所述第一螺纹座（36）之间滑动连接，所述第一螺杆（35）的一端贯穿所述第一定位板（32）的侧壁并固定连接有第一旋钮（33）。

10.一种半导体加工用探针测试台的使用方法，其特征在于，使用了上述1-9任意一项所述的一种半导体加工用探针测试台，包括以下步骤：

S1、将探针主体（7）放置在锥形档筒（641）内部，旋转旋转柱（631），从而使旋转柱（631）收缩在连接筒（621）的内部，从而使旋转盖（611）与顶板（647）之间的距离减小，从而使顶杆（613）对顶板（647）产生挤压，从而使顶板（647）带动第一防护筒（645）向出孔筒（643）的开口处挤压；

S2、当第一防护筒（645）向出孔筒（643）移动时，从而使弹簧（644）产生压缩，从而使弹簧（644）带动锥形档筒（641）向限位环（642）的外侧移动，锥形的锥形档筒（641）向限位环（642）的外侧插出，从而使两个锥形档筒（641）的外侧展开，从而使锥形档筒（641）开口的展开幅度受到限位环（642）的限位幅度减小，使探针主体（7）能够在锥形档筒（641）内部移动；

S3、调节探针主体（7）从活动的锥形档筒（641）中取出，反向转动旋转柱（631），从而使旋转柱（631）远离连接筒（621），从而使顶杆（613）对顶板（647）的挤压力减小，从而使弹簧（644）展开，从而使第一防护筒（645）带动锥形档筒（641）向内部收缩，使两个锥形档筒（641）向中间挤压，从而使探针主体（7）再次固定，调节探针主体（7）的位置，当探针主体（7）收纳在防护机构（6）的内部时，实现对探针主体（7）防护效果，当探针主体（7）的底端伸出在防护机构（6）的外部时，从而便于对探针主体（7）进行使用；

S4、当探针主体（7）固定在防护机构（6）的内部后，通过旋转第二旋钮（46），使第二旋钮（46）带动第二螺杆（43）旋转，从而使第二螺杆（43）带动第二螺纹座（44）移动，从而使第二螺纹座（44）带动稳定板（45）移动，使稳定板（45）带动机械臂主体（5）移动，实现对探针主体（7）一个方向移动定位的效果；

S5、旋转第一旋钮（33），从而使第一旋钮（33）带动第一螺杆（35）移动，从而使第一螺杆（35）带动第一螺纹座（36）移动，从而使第一螺纹座（36）带动两个连接座（41）移动，从而使连接座（41）带动第二螺纹座（44）移动，从而使稳定板（45）带动机械臂主体（5）移动，从而实现粒对探针主体（7）另一个方向移动定位的效果，通过控制第一导向机构（3）和第二导向机构（4）来控制探针主体（7）在底板（2）上的位置，通过机械臂主体（5）控制探针主体（7）移动的效果，通过设置防护机构（6）来对探针主体（7）外侧进行防护。