CN110995055B - 振动波马达和透镜驱动装置 - Google Patents

振动波马达和透镜驱动装置 Download PDF

Info

Publication number
CN110995055B
CN110995055B CN201910932526.6A CN201910932526A CN110995055B CN 110995055 B CN110995055 B CN 110995055B CN 201910932526 A CN201910932526 A CN 201910932526A CN 110995055 B CN110995055 B CN 110995055B
Authority
CN
China
Prior art keywords
holding
vibrator
wave motor
friction member
vibration wave
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201910932526.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN110995055A (zh
Inventor
阿部辽
追川真
山本泰史
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Publication of CN110995055A publication Critical patent/CN110995055A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110995055B publication Critical patent/CN110995055B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/005Mechanical details, e.g. housings
    • H02N2/0055Supports for driving or driven bodies; Means for pressing driving body against driven body
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
    • G02B7/04Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification
    • G02B7/10Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification by relative axial movement of several lenses, e.g. of varifocal objective lens
    • G02B7/102Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification by relative axial movement of several lenses, e.g. of varifocal objective lens controlled by a microcomputer
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
    • G02B7/04Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
    • G02B7/04Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification
    • G02B7/09Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification adapted for automatic focusing or varying magnification
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/28Systems for automatic generation of focusing signals
    • G02B7/36Systems for automatic generation of focusing signals using image sharpness techniques, e.g. image processing techniques for generating autofocus signals
    • G02B7/38Systems for automatic generation of focusing signals using image sharpness techniques, e.g. image processing techniques for generating autofocus signals measured at different points on the optical axis, e.g. focussing on two or more planes and comparing image data
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03BAPPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B3/00Focusing arrangements of general interest for cameras, projectors or printers
    • G03B3/10Power-operated focusing
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/001Driving devices, e.g. vibrators
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/005Mechanical details, e.g. housings
    • H02N2/0055Supports for driving or driven bodies; Means for pressing driving body against driven body
    • H02N2/006Elastic elements, e.g. springs
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/005Mechanical details, e.g. housings
    • H02N2/0065Friction interface
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/026Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03BAPPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B17/00Details of cameras or camera bodies; Accessories therefor
    • G03B17/42Interlocking between shutter operation and advance of film or change of plate or cut-film
    • G03B17/425Interlocking between shutter operation and advance of film or change of plate or cut-film motor drive cameras
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03BAPPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B2205/00Adjustment of optical system relative to image or object surface other than for focusing
    • G03B2205/0053Driving means for the movement of one or more optical element
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03BAPPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B2205/00Adjustment of optical system relative to image or object surface other than for focusing
    • G03B2205/0053Driving means for the movement of one or more optical element
    • G03B2205/0061Driving means for the movement of one or more optical element using piezoelectric actuators

Abstract

提供振动波马达和透镜驱动装置,振动波马达包括:振子;摩擦构件;加压机构;第一保持机构;以及第二保持机构,其中,振子和摩擦构件被构造成相对于彼此进行相对移动,第一保持机构包括第一保持部和第二保持部,第二保持部在相对移动的方向上比第一保持部长,摩擦构件配置在第一保持部与第二保持部之间,第一保持部包括第一限制部,第二保持部包括第二限制部,并且使第一限制部和第二限制部抵靠第二保持机构,以限制在除振子和第一保持机构的相对移动的方向之外的方向上的移动。

Description

振动波马达和透镜驱动装置
技术领域
本公开涉及一种振动波马达,并且涉及一种被构造成通过使用振动波马达来驱动透镜的透镜驱动装置。
背景技术
为了通过光学系统来校正形成于摄像面的图像的焦点偏移,数字相机包括透镜驱动装置,该透镜驱动装置被构造成通过根据焦点偏移使光学系统的整体或一部分移动来进行聚焦。近年来,为了提高聚焦操作的速度、准确性和静音性(quietness),包括用作驱动源的振动波马达的透镜驱动装置受到关注。特别地,能够在直线方向上驱动被驱动体的线性振动波马达在控制性和驱动特性上是优异的,并且被用作透镜驱动装置的驱动源。在日本特开2017-22957号公报中,为了防止振动波马达的引导机构中包括的滚动构件的掉出,提出了一种线性振动波马达,其中被构造成限制可动部的移动的限制部设置于引导构件。
发明内容
然而,在日本特开2017-22957号公报中,优选的是,限制部被配置为尽可能多地覆盖滚动构件的移动范围。因此,存在的问题是,可动部在行进方向上长以便适当地配置滚动构件,这导致振动波马达的尺寸增大。
本公开的目的是提供一种能够在防止滚动构件掉出的同时显著减小尺寸的振动波马达。
为了解决上述问题,根据本公开,提供了一种振动波马达,其包括:振子;摩擦构件,其被保持为与振子摩擦接触;加压机构,其被构造成使振子压靠摩擦构件;第一保持机构,其被构造成保持振子;以及第二保持机构,其被构造成保持摩擦构件,其中,振子和摩擦构件被构造成相对于彼此进行相对移动,第一保持机构包括第一保持部和第二保持部,第二保持部在相对移动的方向上比第一保持部长,摩擦构件配置在第一保持部与第二保持部之间,第一保持部包括第一限制部,第二保持部包括第二限制部,并且使第一限制部和第二限制部抵靠第二保持机构,以限制在除振子和第一保持机构的相对移动的方向之外的方向上的移动。
可以提供能够在防止滚动构件掉出的同时显著减小尺寸的振动波马达。
从以下参照附图对示例性实施方式的说明,本公开的其它特征将变得明显。
附图说明
图1A和图1B均是用于示出根据本公开的第一实施方式的振动波马达(100)的构造的截面图。
图2A和图2B均是用于示出根据第一实施方式的振动波马达(100)的倾斜限制结构的示意图。图2C是用于示出比较例的示意图。
图3A和图3B是用于示出根据第一实施方式的振动波马达(100)的相对移动的截面图。
图4是用于示出根据第一实施方式的振动波马达(100)与现有技术的振动波马达(900)之间的比较的示意图。
图5是用于示出应用了根据第一实施方式的振动波马达(100)的透镜驱动装置的框图。
图6是用于示出应用了根据第一实施方式的振动波马达(100)的固定筒(5)的构造的截面图。
图7是用于示出根据第一实施方式的振动波马达(100)的控制顺序的流程图。
图8A和图8B均是用于示出根据本公开的第二实施方式的振动波马达(200)的构造的截面图。
图9A是用于示出第二实施方式中的第一引导构件(212)的仰视图。图9B是用于示出第二实施方式中的第二引导构件(213)的仰视图。
图10A、图10B和图10C均是用于示出根据第二实施方式的振动波马达(200)的倾斜限制结构的示意图。
具体实施方式
(第一实施方式)
现在将参照附图详细说明本公开的优选实施方式。
参照图1A和图1B说明根据本公开第一实施方式的振动波马达100的构造。图1A是用于示出从与相对移动方向X和加压方向Z正交的方向Y观察的振动波马达100的截面图。图1B是用于示出从相对移动方向X观察的振动波马达100的截面图。
振动波马达100是超声波马达,其中振子101和摩擦构件109相对于彼此进行相对移动。振动波马达100包括振子101、振子保持壳体104、摩擦构件109、摩擦构件保持壳体110、引导机构111、加压机构115和联接构件120。
振子101包括彼此结合的振动板102和压电元件103。如图1A所示,振动板102包括两个突起102a和接合部102b。两个突起102a被设置为在振动板102的长度方向上彼此间隔开。接合部102b被构造成将振动板102固定到第一振子保持壳体105。此外,柔性基板(未示出)(供电构件)与压电元件103电连接,并且从供电构件向压电元件103施加具有特定振幅和相位差的高频电压。然后,振子101振动(超声波范围内的频率的超声波振动),从而使各突起102a进行椭圆运动。
振子保持壳体104包括第一振子保持壳体105、第二振子保持壳体106和薄板107,并形成被构造成保持振子101的机构。第一振子保持壳体105包括突起105a,突起105a与振子101的接合部102b接合以保持振子101。第二振子保持壳体106被构造成保持后述的第二引导构件113和联接构件120。此外,第二振子保持壳体106包括第一限制部106a,当振子保持壳体104相对于摩擦构件保持壳体110以预定角度θ倾斜时,第一限制部106a抵靠摩擦构件109。薄板107是具有在加压方向Z上刚性低、在相对移动方向X和方向Y上刚性高的特性和弹性的构件,并且薄板107被构造成使第一振子保持壳体105和第二振子保持壳体106彼此联接。利用这种构造,即使当振子101与摩擦构件109之间的抵靠状态根据构件的部件精度变化时,该变化也通过薄板107的变形而被吸收。结果,维持了抵靠的稳定状态,从而能够以高效率产生推力。
摩擦构件109是与振子101保持摩擦接触的构件,并且通过固定构件121紧固到摩擦构件保持壳体110。当向振子101施加电压时,突起102a均进行椭圆运动,在摩擦构件109与突起102a之间间歇地产生摩擦力。因此,摩擦力形成为在相对移动方向X(行进方向)上的推力,其中振子101沿该移动方向X相对于摩擦构件109进行相对移动。该推力允许振子保持壳体104进行相对于摩擦构件保持壳体110的相对移动。
摩擦构件保持壳体110是被构造成保持摩擦构件109和后述的第一引导构件112的构件,并且摩擦构件保持壳体110是固定到紧固部(未示出)(后述的镜筒1)的大致板形构件。摩擦构件保持壳体110具有紧固孔110a,并且固定构件121紧固到紧固孔110a,以便保持摩擦构件109和第一引导构件112。
引导机构111是被构造成允许振子101相对于摩擦构件109进行相对移动的机构,并且引导机构111包括引导构件和滚动构件114。此外,引导构件包括第一引导构件112和第二引导构件113,并且滚动构件114包括第一滚动构件114a和第二滚动构件114b。
第一引导构件112是保持于摩擦构件保持壳体110并且不进行相对于摩擦构件109的相对移动的构件。第一引导构件112具有紧固孔112a和V形槽112b,并且由穿过紧固孔112a的固定构件121紧固到摩擦构件保持壳体110。此外,第一引导构件112通过V形槽112b保持抵靠第一滚动构件114a和第二滚动构件114b。
第二引导构件113具有紧固孔113a,并且通过诸如螺钉等的固定构件122紧固到第二振子保持壳体106,从而与振子保持壳体104一体地移动。即,第二引导构件113是保持于振子保持壳体104并且被构造成与振子101一起相对于摩擦构件109移动的构件。此外,第二引导构件113包括与后述的加压机构115接合的接合部113b,并且受到沿加压机构115的加压方向Z的施力。此外,第二引导构件113具有分别抵靠第一滚动构件114a和第二滚动构件114b的V形槽113c和113d。此外,第二引导构件113包括第二限制部113f,当振子保持壳体104相对于摩擦构件保持壳体110以预定角度θ倾斜时,第二限制部113f抵靠第一引导构件112。然而,第二限制部113f不限于该结构。此外,当第二引导构件113具有将抵靠第一引导构件112的区域时,第二引导构件113被视为包括第二限制部113f。此外,第二限制部113f被配置于在相对移动方向X上比配置有第一滚动构件114a和第二滚动构件114b的区域宽的区域。本公开的特征之一是在相对移动方向X上第二引导构件113比振子保持壳体104长。
第一滚动构件114a和第二滚动构件114b均为球形构件。第一滚动构件114a夹在第一引导构件112的V形槽112b与第二引导构件113的V形槽113c之间,并且第二滚动构件114b夹在第一引导构件112的V形槽112b与第二引导构件113的V形槽113d之间。利用这种结构,第一滚动构件114a和第二滚动构件114b被第一引导构件112限制成仅在相对移动方向X上移动,第二引导构件113也被同样地限制成仅在相对移动方向X上移动。此外,滚动构件114的滚动允许第二引导构件113以低摩擦移动。利用上述构造,在相对移动方向X上相对于第一引导构件112引导第二引导构件113,因此在相对移动方向X上相对于摩擦构件保持壳体110引导振子保持壳体104。
加压机构115是加压部,该加压部包括弹性构件116、第一传递构件117、第二传递构件118和第三传递构件119,并且被构造成使振子101压靠摩擦构件109。弹性构件116是被构造成产生加压力以保持振子101与摩擦构件109摩擦接触的弹簧。在第一实施方式中,配置有四个弹性构件116。弹性构件116的数量不限于四个。第一传递构件117是包括被构造成保持弹性构件116的接合部117a的构件,并且第一传递构件117被构造成向第二传递构件118传递加压力。弹性构件116的一端钩在第一传递构件117的接合部117a上,另一端钩在第二引导构件113的接合部113b上。由此,第一传递构件117和第二引导构件113被加压从而彼此接近。第二传递构件118包括被保持为抵靠第一传递构件117的弧形部118a,并且被构造成向第三传递构件119传递加压力。在弧形部118a被保持为抵靠第一传递构件117的情况下,即使当抵靠的取向根据制造变化而变化时,也可以高效地传递加压力。第三传递构件119是容易吸收振动的具有弹性的构件,并且被配置为夹在振子101与第二传递构件118之间并防止振动从振子101向其它构件传播。第一传递构件117、第二传递构件118、第三传递构件119、振子101、摩擦构件109、第一引导构件112、第一滚动构件114a、第二滚动构件114b和第二引导构件113沿Z方向堆叠并被加压。利用上述构造,弹性构件116的加压力经由第一传递构件117、第二传递构件118和第三传递构件119高效传递,从而保持振子101与摩擦构件109摩擦接触。
联接构件120是保持于第二振子保持壳体106的构件,并且是被构造成将由振子101和摩擦构件109产生的推力传递到从动构件(后述的透镜保持构件8)的构件。
利用上述构造,在振动波马达100中,通过由供电构件(未示出)施加的电压在振子101与摩擦构件109之间产生推力,从而使被构造为保持振子101的振子保持壳体104相对于摩擦构件保持壳体110进行相对移动。此外,推力经由联接构件120传递到从动构件,从而在相对移动方向X上驱动从动构件。
接下来,参照图2A至图2C,说明作为本公开的特征的振动波马达100的倾斜限制结构。图2A是用于示出在正常状态下的根据本公开的振动波马达100的简化示意图。图2B是发生倾斜的状态的图示。图2C是未设置第一限制部106a和第二限制部113f的比较例的图示。
这里,被构造为保持振子101并且包括振子保持壳体104和第二引导构件113的机构被称为“第一保持机构123”。此外,振子保持壳体104被称为“第一振子保持构件125”(第一保持部),第二引导构件113被称为“第二振子保持构件126”(第二保持部)。即,第一保持机构123包括第一振子保持构件125和第二振子保持构件126,第二振子保持构件126在相对移动方向X上比第一振子保持构件125长。此外,第一振子保持构件125包括第一限制部106a,第二振子保持构件126包括第二限制部113f。摩擦构件109配置在第一振子保持构件125与第二振子保持构件126之间。此外,被构造成保持摩擦构件109并且包括摩擦构件保持壳体110、固定构件121和第一引导构件112的机构被称为“第二保持机构124”,其中固定构件121被构造成将摩擦构件109固定到摩擦构件保持壳体110。
首先,在如图2A所示的正常状态下,第一限制部106a和第二限制部113f被配置为在Z方向上通过预定间隙与第二保持机构124间隔开。这里,在当第一保持机构123相对于第二保持机构124进行相对移动时施加突然的加速度或外力的情况下,加速度或外力可以克服加压机构115的加压力从而引起第一保持机构123的倾斜。在这种情况下,当第一保持机构123如图2B所示地以预定角度θ倾斜时,使第一限制部106a和第二限制部113f一起或分别抵靠第二保持机构124,从而限制振动波马达100的倾斜。如图2C所示当未设置第一限制部106a和第二限制部113f中的任一者时,第一保持机构123以大于角度θ的角度θ'倾斜。当假设第一保持机构123绕着作为转动中心的第一滚动构件114a倾斜时,夹持第二滚动构件114b的第二保持机构124和第二振子保持构件126彼此分开,结果是第二滚动构件114b掉出并且不能进行控制。然而,在图2B的情况下,使第一限制部106a和第二限制部113f在第二滚动构件114b掉出之前一起或分别地抵靠第二保持机构124,从而能够防止第二滚动构件114b掉出。此外,不限于倾斜,当第一引导构件112和第二引导构件113相对于彼此平行地进行相对移动时,使第一限制部106a和第二限制部113f中的至少一者抵靠第二保持机构124,从而能够防止滚动构件114掉出。
因此,通过使第一振子保持构件125抵靠第二保持机构124,第一限制部106a用于限制在除了振子101和第一保持机构123的相对移动的方向之外的方向上的移动。此外,通过使第二振子保持构件126抵靠第二保持机构124,第二限制部113f用于限制在除了振子101和第一保持机构123的相对移动的方向之外的方向上的移动。
上述构造具有以下特征。首先,保持于第二保持机构124的摩擦构件109配置在第一振子保持构件125与第二振子保持构件126之间。此外,第二振子保持构件126包括第二引导构件113,第二引导构件113被构造成引导振子101和摩擦构件109的相对移动,并且第二振子保持构件126隔着摩擦构件109配置在与振子101和第一振子保持构件125相反的侧方。此外,摩擦构件保持壳体110隔着摩擦构件109配置在与第二振子保持构件126相反的侧方。另外,第二限制部113f在相对移动方向X上相对于滚动构件114配置在外侧。
接下来,参照图3A和图3B说明根据本公开的振动波马达100的相对移动的范围,图3A和图3B均为振动波马达100的简化截面图。图3A是用于示出振动波马达100位于相对移动的范围的中央的状态的截面图。图3B是用于示出振动波马达100位于相对移动的范围的一端的状态的截面图。此外,与图2A同样地,包括第一振子保持构件125和第二振子保持构件126并且被构造成保持振子101的机构被称为“第一保持机构123”,并且在截面图中未示出第一振子保持构件125。
在图3A中,第一保持机构123可以在相对移动方向X上相对于摩擦构件保持壳体110、摩擦构件109和固定构件121移动。在该情况下,第一保持机构123可以移动到抵靠摩擦构件保持壳体110的位置或即将抵靠的位置。在图3B中示出了第一保持机构123已经移动到相对移动的范围的一端的状态。在该情况下,第二振子保持构件126的端部(第二限制部113f)在加压方向Z上与摩擦构件保持壳体110和固定构件121重叠。利用这种构造,第二振子保持构件126可以在不干涉摩擦构件保持壳体110和固定构件121的情况下移动,从而能够实现抑制振动波马达100的尺寸增大的效果。因此,第二振子保持构件126具有如下特征:当振子101和摩擦构件109相对于彼此进行相对移动时,从加压机构115的加压方向Z观察,第二振子保持构件126与固定构件121和摩擦构件保持壳体110重叠。
接下来,说明本公开的效果。图4是用于示出根据本公开的振动波马达100与现有技术的振动波马达900之间的比较的示意图。如图2C所示,在未设置第一限制部106a和第二限制部113f中的任一者的情况下,当在振动波马达100中第一保持机构123相对于第二保持机构124以预定角度θ'以上的角度倾斜时,第二滚动构件114b掉出并且不能进行控制。鉴于此,在日本特开2017-22957号公报中公开的振动波马达900中,抵靠基部924的限制部906a被设置于被构造成进行相对移动的移动部923,从而将倾斜限制在等于或小于预定角度θ的角度内。然而,利用该构造,期望的是,在配置限制部906a时尽可能多地覆盖滚动构件914的移动范围。因此,设置有限制部906a的移动部923在相对移动方向X上的尺寸增大,结果是振动波马达900的尺寸增大。
作为解决尺寸增大问题的对策,在根据本公开的振动波马达100中,第一保持机构123包括第一振子保持构件125和第二振子保持构件126,其中第一振子保持构件125包括第一限制部106a,第二振子保持构件126包括第二限制部113f。通过使第一限制部106a和第二限制部113f两者抵靠作为基部的第二保持机构124,进行相对移动的第一保持机构123的倾斜受到限制。在该构造中,第二限制部113f与第一限制部106a之间的距离大于滚动构件114与第一限制部106a之间的距离。因此,即使在第一保持机构123在相对移动方向X上的尺寸被设定得较小时,也可以将倾斜抑制在预定角度θ内。此外,第二振子保持构件126被配置成在相对移动的范围的端部处与摩擦构件保持壳体110重叠。因此,不需要使第二保持机构124在相对移动方向X上的尺寸增大。因此,与现有技术的振动波马达900相比,在保持相对移动的等效范围的同时可以使在相对移动方向X上的长度缩短长度ΔL。
利用上述构造,可以提供能够显著减小尺寸的振动波马达100。利用振子101相对于摩擦构件109进行相对移动的构造说明第一实施方式。然而,本公开还可以应用于摩擦构件109相对于振子101进行相对移动的情况。在这种情况下,仅需要将第一保持机构123固定到固定部(后述的固定筒5)并且将从动构件(后述的透镜2)联接到第二保持机构124。
(适用例)
接下来,说明透镜驱动装置,其中根据本公开的第一实施方式的振动波马达100应用于例如数字相机的透镜的镜筒。图5是用于示出透镜驱动装置的框图,该透镜驱动装置包括根据本公开的振动波马达100。透镜驱动装置包括镜筒1和相机主体3。镜筒1包括作为摄像光学系统的一部分的透镜2和被构造成驱动透镜2的振动波马达100。相机主体3包括摄像元件4。此外,透镜驱动装置包括图5中示出的各种部件。通过焦点检测器11来检测形成于摄像元件4的图像的聚焦状态,并且聚焦状态的信号被输入到控制器13。此外,通过位置检测器12来检测透镜2的当前位置,并且当前位置的信号被输入到控制器13。基于这些信号,控制器13向振动波马达驱动器14输出信号以驱动振动波马达100。由此,透镜驱动装置使用振动波马达100将透镜2移动到目标位置以校正焦点偏移,从而能够拍摄出良好的图像。
接下来,参照图6说明利用振动波马达100驱动透镜2的构造。图6是用于示出安装有振动波马达100的固定筒5的截面图。固定筒5具有大致筒状,被保持于镜筒1(未示出),并且保持后述的第一透镜引导构件6、后述的第二透镜引导构件7以及振动波马达100。
透镜保持构件8具有大致筒状并将透镜2保持在透镜保持构件8的中心。透镜保持构件8具有圆孔8a和U形槽8b。圆孔8a被形成为允许后述的第一透镜引导构件6穿过。U形槽8b被形成为允许后述的第二透镜引导构件7被保持为抵靠该处。此外,透镜保持构件8通过联接构件120的中介而联接到振动波马达100。
第一透镜引导构件6是具有棒形状的主引导杆,并且通过圆孔8a被保持为抵靠透镜保持构件8。第一透镜引导构件6限制透镜保持构件8的在与光轴方向OL(相对移动方向X)正交的方向上的平行运动。第二透镜引导构件7是具有棒形状的副引导杆,并且通过U形槽8b被保持为抵靠透镜保持构件8。第二透镜引导构件7限制透镜保持构件8绕着第一透镜引导构件6的转动运动。透镜保持构件8由第一透镜引导构件6和第二透镜引导构件7引导成沿光轴方向OL平行移动,从而相对于固定筒5进行相对移动。
利用上述构造,由振动波马达100产生的推力通过联接构件120传递到透镜保持构件8。透镜保持构件8的在除了光轴方向OL之外的方向上的移动受到第一透镜引导构件6和第二透镜引导构件7的限制。因此,在相对移动方向X上,保持构件8与透镜2被一体地驱动。因此,由振子101和摩擦构件109产生的推力经由联接构件120传递到透镜2,使得透镜2被驱动。因此,可以进行聚焦。
接下来,参照图7说明用于振动波马达100的控制方法。图7是用于示出振动波马达100的操作的、从聚焦操作开始到聚焦操作停止的流程图。
在步骤S1中,通过焦点检测器11来检测形成于摄像元件4的图像的聚焦状态。聚焦状态的信号被输入到控制器13,并且计算并更新振子保持壳体104将移动到的目标位置。在步骤S2中,通过位置检测器12来检测振子保持壳体104的位置。将位置的信号输入到控制器13,并更新当前位置。在步骤S3中,基于在步骤S1中更新的目标位置与在步骤S2中更新的当前位置之间的区别,确定振动波马达100的通电,并且信号被输入到振动波马达驱动器14。在步骤S4中,基于输入信号驱动振动波马达100,从而驱动振子保持壳体104。在步骤S5中,进行是否停止操作的确定。当未给出停止操作的确定时,程序返回到步骤S1。继续控制直到消除了振子保持壳体104的目标位置与当前位置之间的区别为止。
(第二实施方式)
接下来,参照图8A和图8B来说明根据本公开的第二实施方式的振动波马达200的构造。图8A是用于示出从与相对移动方向X和加压方向Z正交的方向Y观察的振动波马达200的截面图。图8B是用于示出从相对移动方向X观察的振动波马达200的截面图。用相同的附图标记表示与第一实施方式相同的构件,并省略其说明。对于与第一实施方式的构件不同的构件,仅说明不同的部分。此外,包括振动波马达200的透镜驱动装置的构造与第一实施方式的透镜驱动装置的构造相同,因此省略其说明。
振动波马达200包括振子201、振子保持壳体204、摩擦构件209、摩擦构件保持壳体210、引导机构211、加压机构215和联接构件220。振子201(包括振动板202和压电元件203)、摩擦构件209、摩擦构件保持壳体210和联接构件220与第一实施方式的相同,因此省略其说明。
振子保持壳体204包括第一振子保持壳体205、第二振子保持壳体206、调节构件207和施力构件208,并且形成被构造成保持振子201的机构。第一振子保持壳体205与第一实施方式中的第一振子保持壳体相同,因此省略其说明。第二振子保持壳体206包括第一限制部206a,当振子保持壳体204相对于摩擦构件保持壳体210以预定角度θ倾斜时,第一限制部206a抵靠摩擦构件209。调节构件207是均具有柱形状的构件。在相对移动方向X上以夹在第一振子保持壳体205与第二振子保持壳体206之间的方式配置两个调节构件207。此外,施力构件208是诸如具有弹性的板簧等的构件,并且被构造成对第一振子保持壳体205、第二振子保持壳体206和调节构件207施力,以便吸收可能在第一振子保持壳体205、第二振子保持壳体206和调节构件207之间出现的在相对移动方向X上的缝隙(backlash)。在该情况下,调节构件207允许第一振子保持壳体205和第二振子保持壳体206仅在加压方向Z上相对于彼此进行相对移动。利用该构造,即使当振子201与摩擦构件209之间的抵靠状态根据构件的构件精度而变化时,通过第一振子保持壳体205和第二振子保持壳体206在加压方向Z上的相对移动吸收该变化。结果,维持了稳定的抵靠状态,从而能够高效地产生推力。
引导机构211是被构造成允许振子201相对于摩擦构件209进行相对移动的机构,并且引导机构211包括引导构件和滚动构件214。此外,引导构件包括第一引导构件212和第二引导构件213,并且滚动构件214包括第一滚动构件214a、第二滚动构件214b和第三滚动构件214c。
图9A是用于示出从负Z方向观察的第一引导构件212的仰视图。图9B是用于示出从正Z方向观察的第二引导构件213的仰视图。第一引导构件212是保持于摩擦构件保持壳体210并且不进行相对于摩擦构件209的相对移动的构件。第一引导构件212具有紧固孔212a、V形槽212b和平面部212c,第一引导构件212由穿过紧固孔212a的固定构件221紧固到摩擦构件保持壳体210。V形槽212b被保持为抵靠第一滚动构件214a和第二滚动构件214b,并且平面部212c被保持为抵靠第三滚动构件214c。
第二引导构件213具有紧固孔213a,并且通过诸如螺钉等的固定构件222紧固到第二振子保持壳体206,从而与振子保持壳体204一体地移动。即,第二引导构件213是保持于振子保持壳体204并且被构造成与振子201一起相对于摩擦构件209移动的构件。此外,第二引导构件213包括与后述的加压机构215接合的接合部213b,并且受到沿加压机构215的加压方向Z的施力。此外,第二引导构件213具有V形槽213c、213d和213e,使V形槽213c、213d和213e分别抵靠第一滚动构件214a、第二滚动构件214b和第三滚动构件214c。此外,第二引导构件213包括第二限制部213f,当振子保持壳体204相对于摩擦构件保持壳体210以预定角度θ倾斜时,使第二限制部213f抵靠第一引导构件212。然而,第二限制部213f不限于该结构。另外,当第二引导构件213具有抵靠第一引导构件212的区域时,第二引导构件213被视为包括第二限制部213f。此外,第二限制部213f配置于在相对移动方向X上比配置有第一滚动构件214a、第二滚动构件214b和第三滚动构件214c的区域宽的区域。本公开的特征之一是,第二引导构件213在相对移动方向X上比振子保持壳体204长。
第一滚动构件214a、第二滚动构件214b和第三滚动构件214c均为球形构件。第一滚动构件214a夹在第一引导构件212的V形槽212b与第二引导构件213的V形槽213c之间,并且第二滚动构件214b夹在第一引导构件212的V形槽212b与第二引导构件213的V形槽213d之间。此外,第三滚动构件214c夹在第一引导构件212的平面部212c与第二引导构件213的V形槽213e之间。利用该构造,第一滚动构件214a、第二滚动构件214b和第三滚动构件214c被第一引导构件212限制成仅在相对移动方向X上移动,并且第二引导构件213也同样地被限制成仅在相对移动方向X上移动。此外,滚动构件214滚动以允许第二引导构件213以低摩擦移动。第二实施方式在以下方面与第一实施方式不同。具体地,利用附加的第三滚动构件214c,限制了第一引导构件212和第二引导构件213的相对转动,因此不需要用于停止转动的构件。利用上述构造,第二引导构件213在相对移动方向X上被相对于第一引导构件212引导,因此振子保持壳体204在相对移动方向X上被相对于摩擦构件保持壳体210引导。
加压机构215是加压部,该加压部包括弹性构件216、第一传递构件217、第二传递构件218和第三传递构件219,并且该加压部被构造成使振子201压靠摩擦构件209。弹性构件216与第一实施方式中的弹性构件相同,因此省略其说明。第一传递构件217是包括被构造成保持弹性构件216的保持部217a并且被构造成向第二传递构件218传递加压力的构件。此外,第一传递构件217包括突起217b并且被保持为利用突起217b抵靠第二传递构件218。第二传递构件218被保持为抵靠第一传递构件217,以将加压力传递到第三传递构件219。利用被保持为抵靠第二传递构件218的突起217b,即使在抵靠的取向根据制造变化而变化时也可以高效地传递加压力。第三传递构件219及其整体构造与第一实施方式的相同,因此省略其说明。利用上述构造,弹性构件216的加压力经由第一传递构件217、第二传递构件218和第三传递构件219高效传递,从而将振子201保持为与摩擦构件209摩擦接触。
利用上述构造,在振动波马达200中,通过供电构件(未示出)施加的电压在振子201与摩擦构件209之间产生推力,从而使被构造成保持振子201的振子保持壳体204相对于摩擦构件保持壳体210进行相对移动。此外,推力经由联接构件220传递到从动构件,从而沿相对移动方向X驱动从动构件。
接下来,将参照图10A至图10C说明作为本公开的特征的振动波马达200的倾斜限制结构。图10A是用于示出在正常状态下的根据本公开的振动波马达200的简化示意图。图10B是用于示出从正Z方向观察的振动波马达200的滚动构件214的平面图。图10C是在振动波马达200中发生倾斜的状态的图示。
这里,与第一实施方式类似地,被构造为保持振子201并且包括振子保持壳体204和第二引导构件213的机构被称为“第一保持机构223”。此外,振子保持壳体204被称为“第一振子保持构件225”(第一保持部),第二引导构件213被称为“第二振子保持构件226”(第二保持部)。即,第一保持机构223包括第一振子保持构件225和第二振子保持构件226,第二振子保持构件226在相对移动方向X上比第一振子保持构件225长。此外,第一振子保持构件225包括第一限制部206a,第二振子保持构件226包括第二限制部213f。摩擦构件209配置在第一振子保持构件225与第二振子保持构件226之间。此外,被构造成保持摩擦构件209并且包括摩擦构件保持壳体210、固定构件221和第一引导构件212的机构被称为“第二保持机构224”,其中固定构件221被构造成将摩擦构件209固定到摩擦构件保持壳体210。
首先,在如图10A所示的正常状态下,第一限制部206a和第二限制部213f被配置为在Z方向上通过预定间隙与第二保持机构224间隔开。这里,在当第一保持机构223相对于第二保持机构224进行相对移动时施加突然的加速度或外力的情况下,加速度或外力可以克服加压机构215的加压力从而引起第一保持机构223的倾斜。在该情况下,如图10B所示,倾斜的轴线对应于使第一滚动构件214a和第三滚动构件214c彼此连接的轴线A或使第二滚动构件214b和第三滚动构件214c彼此连接的轴线B。当第一振子保持构件225在正X方向上相对移动时,易于发生绕着轴线B的倾斜。当第一振子保持构件225在负X方向上相对移动时,易于发生绕着轴线A的倾斜。当第一保持机构223如图10C所示地绕着作为转动中心的轴线A或轴线B以预定角度θ倾斜时,使第一限制部206a和第二限制部213f一起或分别抵靠第二保持机构224,从而限制振动波马达200中的倾斜。当未设置第一限制部206a和第二限制部213f中的任一者时,第一保持机构223与图2C相同地以大于角度θ的角度θ'倾斜并且不能进行控制。然而,在图10C的情况下,使第一限制部206a和第二限制部213f在任何滚动构件214掉出之前一起或分别地抵靠第二保持机构224,从而能够防止滚动构件214掉出。此外,与第一实施方式类似地,不限于倾斜,当第一引导构件212和第二引导构件213相对于彼此平行地进行相对移动时,使第一限制部206a和第二限制部213f中的至少一者抵靠第二保持机构224,从而能够防止滚动构件214掉出。
因此,通过使第一振子保持构件225抵靠第二保持机构224,第一限制部206a用于限制在除振子201和第一保持机构223的相对移动的方向之外的方向上的移动。此外,通过使第二振子保持构件226抵靠第二保持机构224,第二限制部213f用于限制在除振子201和第一保持机构223的相对移动的方向之外的方向上的移动。
被构造成通过使用振动波马达200驱动透镜2的机构和用于振动波马达200的控制方法与第一实施方式的相同,因此省略其说明。此外,在第二实施方式中获得的效果与在第一实施方式中获得的效果相同,因此省略其说明。
利用上述构造,可以提供与现有技术相比能够显著减小尺寸的振动波马达200。与第一实施方式类似地,利用振子201相对于摩擦构件209进行相对移动的构造说明第二实施方式。然而,本公开还适用于摩擦构件209相对于振子201进行相对移动的情况。
虽然已经参照示例性实施方式说明了本公开,但是应当理解,本公开不限于所公开的示例性实施方式。权利要求书的范围应符合最宽泛的解释,以包含所有的这些变型、等同结构和功能。

Claims (7)

1.一种振动波马达,其包括:
振子;
摩擦构件,其被保持为与所述振子摩擦接触;
加压机构,其被构造成使所述振子压靠所述摩擦构件;
第一保持机构,其被构造成保持所述振子;以及
第二保持机构,其被构造成保持所述摩擦构件,
其中,所述振子和所述摩擦构件被构造成相对于彼此进行相对移动,
所述第一保持机构包括第一保持部和第二保持部,所述第二保持部在所述相对移动的方向上比所述第一保持部长,
所述摩擦构件配置在所述第一保持部与所述第二保持部之间,
其特征在于,所述第一保持部包括第一限制部,
所述第二保持部包括第二限制部,并且
使所述第一限制部和所述第二限制部抵靠所述第二保持机构,以限制在除所述振子和所述第一保持机构的所述相对移动的方向之外的方向上的移动。
2.根据权利要求1所述的振动波马达,其中,所述第二保持部包括引导部,所述引导部被构造成引导所述相对移动,并且所述第二保持部隔着所述摩擦构件配置在与所述振子和所述第一保持部的相反的侧方。
3.根据权利要求2所述的振动波马达,其中,
所述引导部包括引导构件和滚动构件,并且
所述第二限制部在所述相对移动的方向上配置在比所述滚动构件靠外侧的位置。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的振动波马达,其中,
所述第二保持机构包括:
保持壳体,其被构造成保持所述摩擦构件;和
固定构件,其被构造成将所述摩擦构件固定到所述保持壳体,并且所述保持壳体隔着所述摩擦构件配置在与所述第二保持部相反的侧方。
5.根据权利要求4所述的振动波马达,其中,当所述振子和所述摩擦构件相对于彼此进行所述相对移动时,从所述加压机构的加压方向观察,所述第二保持部与所述固定构件和所述保持壳体重叠。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的振动波马达,其中,所述振动波马达包括超声波马达,所述超声波马达被构造成产生频率在超声波范围内的振动。
7.一种透镜驱动装置,其包括根据权利要求1至6中任一项所述的振动波马达。
CN201910932526.6A 2018-10-03 2019-09-29 振动波马达和透镜驱动装置 Active CN110995055B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018-188042 2018-10-03
JP2018188042A JP7134817B2 (ja) 2018-10-03 2018-10-03 振動波モータ及びレンズ駆動装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110995055A CN110995055A (zh) 2020-04-10
CN110995055B true CN110995055B (zh) 2023-07-14

Family

ID=70052721

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910932526.6A Active CN110995055B (zh) 2018-10-03 2019-09-29 振动波马达和透镜驱动装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US11442242B2 (zh)
JP (1) JP7134817B2 (zh)
CN (1) CN110995055B (zh)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101334572A (zh) * 2007-06-28 2008-12-31 奥林巴斯映像株式会社 驱动装置
CN101373940A (zh) * 2007-06-29 2009-02-25 奥林巴斯映像株式会社 驱动装置
CN106357150A (zh) * 2015-07-15 2017-01-25 佳能株式会社 振动波马达
JP2017195713A (ja) * 2016-04-21 2017-10-26 キヤノン株式会社 振動波モータ及び振動波モータが搭載された光学機器
JP2017200357A (ja) * 2016-04-28 2017-11-02 キヤノン株式会社 振動波モータおよび振動波モータが搭載された電子機器
CN107342705A (zh) * 2016-04-28 2017-11-10 佳能株式会社 马达和包括马达的电子设备

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6271963B2 (ja) * 2013-11-21 2018-01-31 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータ
JP2017200366A (ja) 2016-04-28 2017-11-02 キヤノン株式会社 振動波モータおよび振動波モータが搭載された電子機器
JP6700945B2 (ja) 2016-04-28 2020-05-27 キヤノン株式会社 振動波モータ及びこれを用いた装置
JP6567020B2 (ja) 2017-01-30 2019-08-28 キヤノン株式会社 駆動装置、光学機器及び撮像装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101334572A (zh) * 2007-06-28 2008-12-31 奥林巴斯映像株式会社 驱动装置
CN101373940A (zh) * 2007-06-29 2009-02-25 奥林巴斯映像株式会社 驱动装置
CN106357150A (zh) * 2015-07-15 2017-01-25 佳能株式会社 振动波马达
JP2017022957A (ja) * 2015-07-15 2017-01-26 キヤノン株式会社 振動波モータ
JP2017195713A (ja) * 2016-04-21 2017-10-26 キヤノン株式会社 振動波モータ及び振動波モータが搭載された光学機器
JP2017200357A (ja) * 2016-04-28 2017-11-02 キヤノン株式会社 振動波モータおよび振動波モータが搭載された電子機器
CN107342705A (zh) * 2016-04-28 2017-11-10 佳能株式会社 马达和包括马达的电子设备

Also Published As

Publication number Publication date
JP7134817B2 (ja) 2022-09-12
JP2020058159A (ja) 2020-04-09
US11442242B2 (en) 2022-09-13
CN110995055A (zh) 2020-04-10
US20200110244A1 (en) 2020-04-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10840828B2 (en) Motor and electronic apparatus including motor
US10247902B2 (en) Motor and apparatus using the same
US9964731B2 (en) Vibration type motor, and lens drive apparatus, lens unit and image pickup apparatus using vibration type motor
US11245343B2 (en) Vibration wave motor and driving device
US11621654B2 (en) Vibration-wave motor and apparatus using the same
US10120158B2 (en) Vibration-type actuator and optical device using the same
US11336211B2 (en) Vibration wave motor and driving apparatus using vibration wave motor
GB2570380A (en) Vibration type motor, lens apparatus, and electronic apparatus
CN110995055B (zh) 振动波马达和透镜驱动装置
US11381177B2 (en) Vibration wave motor and drive device
JP6659164B2 (ja) リニア駆動装置、レンズ鏡筒及び撮像装置
CN112468015B (zh) 振动型马达和驱动设备
CN110190773B (zh) 振动波马达和透镜驱动装置
JP7204526B2 (ja) レンズ駆動装置
US11502625B2 (en) Vibration wave motor, and driving apparatus having the same
US11843279B2 (en) Vibration wave driving apparatus and image pickup apparatus
US20220069739A1 (en) Vibration type actuator, rotationally driving apparatus, and image pickup apparatus
US20220321031A1 (en) Vibration-type actuator, and optical apparatus and electronic apparatus including the same
JP6537482B2 (ja) 振動波モータおよび電子機器
JP2020005353A (ja) 振動波モータ及び振動波モータを用いた駆動装置
JP2020102971A (ja) 振動波モータ

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant