CN110970328A - 密封环安装治具及安装方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种密封环安装治具及安装方法，用于将第一密封环和第二密封环通过各自的安装面相互贴合安装，密封环安装治具包括：第一压合件，其具有第一压合面，第一压合面用于贴合固定第一密封环上远离其安装面的表面；第二压合件，其具有第二压合面，第二压合面用于贴合固定第二密封环上远离其安装面的表面；连接固定件，其用于连接并固定第一压合件和第二压合件，使第一压合面和第二压合面相对设置，且第一密封环与第二密封环相互贴合。本发明采用第一压合件和第二压合件分别固定第一密封环与第二密封环，使第一密封环与第二密封环贴合固定，改善了密封环安装过程中受力的均匀性，提升了密封环的密封性能，并节省了维护的时间及人力成本。

Description

密封环安装治具及安装方法

技术领域

本发明涉及半导体集成电路制造设备领域，特别是涉及一种密封环安装治具及安装方法。

背景技术

在半导体集成电路制造的刻蚀或薄膜沉积等关键工艺制程中，在工艺腔室中维持稳定的工艺氛围是控制工艺稳定性及确保产品良率的重要因素。

目前，在先进的干法刻蚀设备中，为了在工艺过程中维持稳定且均匀的等离子体刻蚀氛围，工艺腔室一般采用在顶部设置工艺气体喷淋头(shower head)的结构。所述工艺气体喷淋头的供气分布范围能够覆盖晶圆面积，这确保了工艺气体能够在晶圆面内均匀分布，并使其所形成的等离子体的分布范围更为均匀，这将有助于提升刻蚀均匀性和工艺的均一性。为了进一步提升上述气体分布均匀性的效果，围绕工艺气体喷淋头还设置有环状的密封部件，用于在工艺气体喷淋头与晶圆卡盘之间形成能够维持稳定工艺氛围的空间。这些密封环部件在安装时一般要求相互紧密贴合，确保密封性能，防止出现过大的空隙，以免影响原有的刻蚀氛围的均匀分布。

然而，上述密封环结构在工艺腔室进行定期维护时一般需要拆卸、维护并重新安装。由于对密封环结构的密封性能要求较高，仅靠维护人员凭人力按压密封环结构并进行紧固还存在安装容易错位、紧固受力不均匀以及维护过程耗时耗力的缺点。此外，一旦密封环结构安装不到位，就会导致密封性能不佳，进而影响工艺结果甚至导致产品报废。

因此，有必要提出一种新的密封环安装治具及安装方法，解决上述问题。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种密封环安装治具及安装方法，用于解决现有技术中人工紧固密封环存在安装容易错位、紧固受力不均匀以及维护过程耗时耗力的问题。

为实现上述目的及其它相关目的，本发明提供了一种密封环安装治具，用于将第一密封环和第二密封环通过各自的安装面相互贴合安装，其特征在于，包括：

第一压合件，其具有第一压合面，所述第一压合面用于贴合固定所述第一密封环上远离其所述安装面的表面；

第二压合件，其具有第二压合面，所述第二压合面用于贴合固定所述第二密封环上远离其所述安装面的表面；

连接固定件，其用于连接并固定所述第一压合件和所述第二压合件，使所述第一压合面和所述第二压合面相对设置，且所述第一密封环与所述第二密封环相互贴合。

作为本发明的一种可选方案，所述第一压合面和/或所述第二压合面的材料包括特氟龙材料。

作为本发明的一种可选方案，所述密封环安装治具还包括用于使所述第一密封环与所述第二密封环以设定的相对位置相互贴合的引导对准件。

作为本发明的一种可选方案，所述引导对准件包括引导柱，所述引导柱设置于所述第一密封环或所述第二密封环中的任意一方上，所述第一密封环或所述第二密封环中未设置所述引导柱的一方上设有可插设所述引导柱的引导孔；当所述引导柱对准并插设于所述引导孔时，所述第一密封环与所述第二密封环以设定的相对位置相互贴合。

作为本发明的一种可选方案，所述连接固定件包括固定基座和固定螺栓，所述固定基座和所述固定螺栓分别设置于所述第一压合件和所述第二压合件上。

作为本发明的一种可选方案，所述第一压合件包括第一环形框与设置于所述第一环形框内侧的第一连接梁，所述第一压合面位于所述第一环形框上；所述第二压合件包括第二环形框与设置于所述第二环形框内侧的第二连接梁，所述第二压合面位于所述第二环形框上。

作为本发明的一种可选方案，所述连接固定件包括环形框固定件和连接梁固定件；所述环形框固定件用于连接并固定所述第一环形框和所述第二环形框，并均匀分布于所述第一密封环或所述第二密封环的外围；所述连接梁固定件用于连接并固定所述第一连接梁和所述第二连接梁，并均匀分布于所述第一密封环或所述第二密封环的内侧。

本发明还提供了一种密封环安装方法，包括如下步骤：

提供第一密封环、第二密封环以及本发明所述的密封环安装治具；

将所述第一密封环远离其所述安装面的表面贴合固定于所述第一压合件的所述第一压合面上；

将所述第二密封环与所述第一密封环通过各自的安装面相互贴合；

将所述第二密封环远离其所述安装面的表面贴合固定于所述第二压合件的所述第二压合面上；

用所述连接固定件连接并固定所述第一压合件和所述第二压合件。

作为本发明的一种可选方案，将所述第二密封环与所述第一密封环通过各自的安装面相互贴合时，还包括采用引导对准件使所述第一密封环与所述第二密封环以设定的相对位置相互贴合的步骤。

作为本发明的一种可选方案，用所述连接固定件连接并固定所述第一压合件和所述第二压合件后，还包括通过设置于所述第一密封环与所述第二密封环上的紧固结构进一步贴合固定所述第一密封环与所述第二密封环的步骤。

作为本发明的一种可选方案，所述第一密封环与所述第二密封环上的所述紧固结构为多组并均匀分布于所述安装面上，一组所述紧固结构中的多个所述紧固结构在所述安装面上呈中心对称分布；在通过所述紧固结构进一步贴合固定所述第一密封环与所述第二密封环时，按组依次使所有所述紧固结构达到设定的紧固度。

作为本发明的一种可选方案，所述紧固度包括第一紧固度与第二紧固度；在通过所述紧固结构进一步贴合固定所述第一密封环与所述第二密封环时，先使所有所述紧固结构达到所述第一紧固度，再使所有所述紧固结构达到所述第二紧固度。

作为本发明的一种可选方案，在贴合固定所述第一密封环与所述第二密封环后，还包括检查所述第一密封环与所述第二密封环贴合程度的步骤。

如上所述，本发明提供一种密封环安装治具及安装方法，具有以下有益效果：

本发明通过引入一种新的密封环安装治具及安装方法，在安装密封环的过程中，采用第一压合件和第二压合件分别固定第一密封环与第二密封环，使所述第一密封环与所述第二密封环贴合固定，改善了密封环安装过程中受力的均匀性，提升了密封环的密封性能，并节省了维护的时间及人力成本。

附图说明

图1显示为本发明实施例一中提供的刻蚀工艺腔室的截面示意图。

图2显示为本发明实施例一中提供的刻蚀工艺腔室在图1中A区域放大图。

图3显示为本发明实施例一中提供的一种密封环安装治具的第一压合件的俯视图。

图4显示为本发明实施例一中提供的一种密封环安装治具的第二压合件的俯视图。

图5显示为本发明实施例二中将第一密封环贴合固定于第一压合件的截面示意图。

图6显示为本发明实施例二中将第一密封环贴合固定于第一压合件的立体示意图。

图7显示为本发明实施例二中将引导柱安装于第一密封环的截面示意图。

图8显示为本发明实施例二中将引导柱安装于第一密封环的立体示意图。

图9显示为本发明实施例一中提供的一种密封环安装治具的引导柱的正视图。

图10显示为本发明实施例二中将第二密封环通过引导柱与第一密封环贴合的截面示意图。

图11显示为本发明实施例二中将第二压合件贴合于第二密封环并通过连接固定件固定后的截面示意图。

图12显示为本发明实施例二中将第二压合件贴合于第二密封环并通过连接固定件固定过程的立体示意图。

图13显示为本发明实施例二中将第二压合件贴合于第二密封环并通过连接固定件固定后的俯视图。

图14显示为本发明实施例二中旋紧固定螺丝的顺序示意图。

元件标号说明

101 第一压合件

101a 第一压合面

101b 第一环形框

101c 第一十字梁

102 第二压合件

102a 第二压合面

102b 第二环形框

102c 第二十字梁

103 连接固定件

103a 固定基座

103b 固定螺栓

103c 螺栓孔

104 引导柱

201 第一密封环

202 第二密封环

203 腔壁

204 顶板

205 喷淋头

206 供气管路

207 晶圆

208 晶圆吸盘

209 底部均匀部件

210 底座

211 等离子体

301 第一螺丝

302 第二螺丝

303 第三螺丝

304 第四螺丝

305 第五螺丝

306 第六螺丝

307 第七螺丝

308 第八螺丝

309 第九螺丝

310 第十螺丝

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其它优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。

请参阅图1至图14。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，虽图示中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的形态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局形态也可能更为复杂。

实施例一

在刻蚀等半导体工艺设备中，为了确保能够在真空环境下进行工艺，并精确调控工艺气体的供给流量，采用了具有高度密封性能的工艺腔室结构。如图1所示，是本实施例中刻蚀工艺腔室的截面结构示意图，图2是图1中A区域的放大图。在图1中，刻蚀工艺腔室的外围由封闭的腔壁203所构成，而在其顶部位置设置有顶板204(安装基座，mount base)、位于其下方的喷淋头205(shower head)以及穿过所述腔壁203和所述顶板204向所述喷淋头205供给工艺气体的供气管路206。设置于底座210上的晶圆吸盘208用于吸附并固定待刻蚀的晶圆207。所述晶圆207在所述喷淋头205所供给的工艺气体所形成的等离子体211氛围下进行刻蚀工艺。在所述顶板204与所述腔壁203的连接部位则通过第一密封环201(即上地环，up ground ring)与第二密封环202(即基板，base plate)进行密封连接，在所述底座210与所述腔壁203之间还设有底部均匀部件209，以构成能够维持稳定工艺氛围的相对独立的空间。所述底部均匀部件209中设有容许气流通过的气路，当工艺气体通过所述喷淋头205向腔室中均匀分布后，形成刻蚀等离子体对所述晶圆207进行刻蚀，而工艺后的气体及刻蚀副产物则通过所述底部均匀部件209中的气路由下方未画出的抽真空系统排出。此外，图1中仅简略示意所述腔壁203的结构及位置，在实际的刻蚀工艺腔室中，维持腔室内部封闭环境的腔壁结构还可以采用多个部件组合构成。

在刻蚀过程中，上述独立空间内保持着动态平衡，以确保刻蚀工艺的结果均匀而稳定。虽然所述腔壁203的内部在工艺过程中都会保持抽真空的状态，然而，伴随着工艺气体的供给，腔室内部各区域随之出现压力差，进而导致工艺气体的流动。为了维持晶圆207所在区域的工艺氛围的相对独立性和稳定性，由所述顶板204、所述第一密封环201、所述第二密封环202、所述腔壁203和所述底部均匀部件209所构成的空间的密封性能是需要确保的重要指标。上述部件之间任何异常的间隙都会产生通向腔室其他区域的异常气流通路，影响工艺气体的正常分布，进而导致晶圆207所在区域的工艺氛围出现异常。

其中，所述第一密封环201的部分表面由于暴露于腔室内部的工艺环境中，需要定期进行检查维护，并且设备中的其他部件进行维护时也需要升起所述顶板204及其上方的部分所述腔壁203以完成开腔。因此，每次设备维护时，所述第一密封环201与所述第二密封环202都需要进行拆卸，并在维护结束后重新相互贴合安装，并进一步安装于工艺腔室上。由于所述第一密封环201与所述第二密封环202之间的密封性能要求极高，两者的间隙如果超过设定规格，就会导致密封性能下降，进而影响工艺过程。如图2所示，是所述第一密封环201与所述第二密封环202的部分放大图。从图2中可以看出，如果出现压合力不均等不当安装操作，就会导致所述第一密封环201与所述第二密封环202之间在部分区域产生过大的间隙，进而形成连通其所密封空间内外的通路，导致出现异常的气体流动，影响晶圆207所在区域的正常工艺氛围。

需要指出的是，图1仅简略示意所述刻蚀工艺腔室中本发明所关注的结构，而未展示所述刻蚀工艺腔室的传送部件和抽真空部件等其他组件结构，且图1也未限定严格按照真实尺寸作图。此外，本发明也并不仅适用于刻蚀工艺腔室，还可以是其他用到密封环结构的真空工艺腔室，或者其他非真空环境但对密封性能要求较高的设备。所述设备也不限于半导体制造设备，也可以是其他机械设备。所述第一密封环201与所述第二密封环202也不限于上文提到的上地环(up ground ring)与基板(base plate)，也可以是其他需要相互贴合安装的环状密封结构。

目前，是所述第一密封环201与所述第二密封环202之间的安装及密封性控制是通过维护人员根据经验完成的。具体地，安装过程中为了确保所述第一密封环201与所述第二密封环202之间的间隙小于规格值，需要维护人员通过人力将所述第一密封环201与所述第二密封环202相互压紧后，再通过螺栓将两者固定。然而，由于所述第一密封环201与所述第二密封环202之间还需要加装具有弹性的金属垫片等部件，人工紧固还存在安装容易错位、紧固受力不均匀以及维护过程耗时耗力的缺点。对此，本实施例提供了一种能够确保所述第一密封环201与所述第二密封环202贴合固定的密封环安装治具。如图12所示，该密封环安装治具以第一压合件101和第二压合件102将所述第一密封环201与所述第二密封环202贴合压紧，以替代人力压合，避免了人力压合可能存在的受力不均匀以及维护耗时耗力的缺点。

具体地，请参阅图3至图4以及图11至图13，本实施例提供了一种密封环安装治具，用于将第一密封环201和第二密封环202通过各自的安装面相互贴合安装，包括：

第一压合件101，其具有第一压合面101a，所述第一压合面101a用于贴合固定所述第一密封环201上远离其所述安装面的表面；

第二压合件102，其具有第二压合面102a，所述第二压合面102a用于贴合固定所述第二密封环202上远离其所述安装面的表面；

连接固定件103，其用于连接并固定所述第一压合件101和所述第二压合件102，使所述第一压合面101a和所述第二压合面102a相对设置，且所述第一密封环201与所述第二密封环202相互贴合。

在本发明中，将第一密封环201和第二密封环202在安装后相互贴合的那一面定义为其各自的安装面，而如果安装过程中出现受力不均等缺陷就会在所述安装面中出现超过规格值的间隙，进而影响刻蚀工艺腔室的密封性能。

如图3所示，是本实施例所提供的所述第一压合件101的俯视图，其中，所述第一压合面101a朝上放置。可选地，如图11和图12所示，所述连接固定件103包括固定基座103a和固定螺栓103b，所述固定基座103a和所述固定螺栓103b分别设置于所述第一压合件101和所述第二压合件102上。在图3中，所述固定基座103a安装于所述第一压合件101中所述第一压合面101a的一面上。所述第一压合件101还包括第一环形框101b与设置于所述第一环形框101b内侧的第一十字梁101c，所述第一压合面101a位于所述第一环形框101b上。所述固定基座103a共设有5个，分别分布于所述第一环形框101b与所述第一十字梁101c上。所述第一压合面101a上还根据所述第一密封环201的具体表面形貌设有对应的贴合结构。

如图4所示，是本实施例所提供的所述第二压合件102的俯视图。结合图11可以看出，所述第二压合面101a朝下放置，与图4所展示表面相对。所述第二压合件102还包括第二环形框102b与设置于所述第二环形框102b内侧的第二十字梁102c，所述第二压合面102a位于所述第一环形框102b上。所述第二压合件102上还设有螺栓孔103c，以容纳所述固定螺栓103b贯通，并将所述第二压合件102固定连接于所述固定基座103a上。当所述第一压合件101和所述第二压合件102通过所述固定基座103a和所述固定螺栓103b固定连接时，能够同时使所述第一密封环201与所述第二密封环202相互贴合。在本实施例中，所述固定螺栓103b是通过贯通所述螺栓孔103c而设置于所述第二压合件102上的，在本发明的其他实施案例中，所述固定螺栓103b还可以以活动连接的形式固定于所述第二压合件102上，以防止脱落遗失。

作为示例，所述第一压合面101a和/或所述第二压合面102a的材料包括特氟龙材料(聚四氟乙烯)。由于刻蚀工艺腔室的内衬材料一般选择碳化硅、陶瓷或石英等脆性材料，为了防止在所述第一密封环201与所述第二密封环202相互压合的过程中出现应力引发的破损，所述第一压合面101a和所述第二压合面102a上用于接触部分的材料都可以选择产生应力较小的特氟龙材料。可选地，所述特氟龙材料可以以涂层方式形成于所述第一压合件101和所述第二压合件102的表面，并构成所述第一压合面101a和所述第二压合面102a。也可以是，所述第一压合件101和所述第二压合件102上包含所述第一压合面101a和所述第二压合面102a的表面材料整体由特氟龙板材构成。

作为示例，所述密封环安装治具还包括用于使所述第一密封环201与所述第二密封环202以设定的相对位置相互贴合的引导对准件。具体地，如图7至图9，所述引导对准件包括引导柱104，所述引导柱104设置于所述第一密封环201或所述第二密封环202中的任意一方上，所述第一密封环201或所述第二密封环202中未设置所述引导柱104的一方上设有可插设所述引导柱104的引导孔；当所述引导柱104对准并插设于所述引导孔时，所述第一密封环201与所述第二密封环202以设定的相对位置相互贴合。如图7和图8所示，在本实施例中，所述引导柱104固定于所述第一密封环201上。图9所示的是本实施例所提供的所述引导柱104，可以看出其整体在垂直方向上呈等径圆柱体，并在其底端连接所述第一密封环201的位置设有螺纹结构，以安装于所述第一密封环201上对应的螺孔上。所述第二密封环202上设有引导孔，当所述引导柱104通过所述引导孔插设于所述第二密封环202上，所述第一密封环201与所述第二密封环202能够以设定的相对位置相互对齐，而不会出现错位等安装缺陷。

作为示例，所述连接固定件包括环形框固定件和十字梁固定件；所述环形框固定件用于连接并固定所述第一环形框和所述第二环形框，并均匀分布于所述第一密封环或所述第二密封环的外围；所述十字梁固定件用于连接并固定所述第一十字梁和所述第二十字梁，并均匀分布于所述第一密封环或所述第二密封环的内侧。如图8所示，可以将本实施例中5个所述固定基座103a中的4个定义为所述环形框固定件的一部分，其均匀分布于所述第一密封环的外围，而剩下的一个定义为所述十字梁固定件的一部分，在本实施例中设置于所述第一十字梁的中央位置。通过上述设置，可以使所述第一密封环201和所述第二密封环202在相互贴合时均匀受力，而不会出现某些位置因受力不均匀而翘起的情况，进而防止了超规格间隙的出现。所述环形框固定件或所述十字梁固定件都由其对应的固定基座和固定螺栓所构成。当然，在本发明的其他实施案例中，所述环形框固定件和所述十字梁固定件的数量可以根据实际需要灵活增减，但需要确保所述环形框固定件在外围区域均匀分布，且所述环形框固定件和所述十字梁固定件在外围和内侧的设置可以使压合力均匀分布到所述第一密封环和所述第二密封环的各个区域上。

此外，还需要指出的的是，在本实施例中设置于所述环形框内侧的第一连接梁与第二连接梁都为十字梁。然而，作为连接固定环形框的十字梁结构也可以替换为其他类型的梁结构。例如，采用米字梁等横梁数量更多的梁结构可以进一步改善环形框受力时的稳定性，而在这些梁结构上也可以均匀设置数量合适的对应固定件，且这些梁结构的设置也不能影响密封环的固定安装。

实施例二

请参阅图5至图14，本实施例提供了一种密封环安装方法，包括如下步骤：

1)提供第一密封环201、第二密封环202以及如实施例一所述的密封环安装治具；

2)将所述第一密封环201远离其所述安装面的表面贴合固定于所述第一压合件101的所述第一压合面101a上；

3)将所述第二密封环202与所述第一密封环201通过各自的安装面相互贴合；

4)将所述第二密封环202远离其所述安装面的表面贴合固定于所述第二压合件102的所述第二压合面102a上；

5)用所述连接固定件连接并固定所述第一压合件和所述第二压合件。

在步骤1)中，请参阅图3至图4以及图11至图13，提供第一密封环201、第二密封环202以及如实施例一所述的密封环安装治具。其中，所述密封环安装治具包括第一压合件101、第二压合件102和连接固定件103，其具体结构请参阅实施例一。

在步骤2)中，请参阅图5至图6，将所述第一密封环201远离所述安装面的表面贴合固定于所述第一压合件101的所述第一压合面101a上。

如图5所示，是本实施例中所述第一密封环201贴合固定于所述第一压合件101的所述第一压合面101a的截面示意图，图6是该贴合过程的示意图。其中，参考图3和图6还可以看出，所述第一压合面101a具有能够贴合所述第一密封环201下表面的外形结构，可以通过这些外形结构贴合固定所述第一密封环201。例如，通过对应所述第一密封环201内径和外径的位置设置卡位结构，可以防止所述第一密封环201在所述第一压合面101a上滑移。可选地，所述第一压合件101接触所述第一密封环201的表面为特氟龙材料。

在步骤3)中，请参阅图7至图10，将所述第二密封环202与所述第一密封环201通过各自的安装面相互贴合。

作为示例，如图7至图9所示，将所述第二密封环202与所述第一密封环201通过各自的安装面相互贴合时，还包括采用引导对准件使所述第一密封环201与所述第二密封环202以设定的相对位置相互贴合的步骤。具体地，如图9所示，所述引导对准件包括所述引导柱104。如图7和图8所示，所述引导柱104通过螺纹固定于所述第一密封环201上。通过将所述引导柱104固定于所述第一密封环201上，使所述引导柱104对准并套设于所述第二密封环202上的引导孔，使所述第二密封环202与所述第一密封环201能够以设定的相对位置相互贴合，而不会出现滑移错位。如图10所示，是所述第二密封环202与所述第一密封环201通过所述引导柱104相互贴合后的截面示意图。可选地，所述第二压合件102接触所述第二密封环202的表面为特氟龙材料。

在步骤4)中，请参阅图11至图12，将所述第二密封环202远离所述安装面的表面贴合固定于所述第二压合件102的所述第二压合面102a上。

如图11和图12所示，通过将所述第二压合件102的所述第二压合面102a朝下，将所述第二压合面102a贴合于所述第二密封环202上。可选地，所述第二压合面102a的表面也可以像所述第一压合面101a一样，具有能够贴合卡固所述第二密封环202的表面形貌结构。在实施本步骤前，还可以将所述引导柱104逐个去除，并一一以固定螺丝替代，以防止出现相对滑移，同时也便于实施后续的安装流程。

在步骤5)中，请参阅图11至13，用所述连接固定件103连接并固定所述第一压合件101和所述第二压合件102。

具体地，如图12所示，本实施例中是以所述固定螺栓103b贯通所述螺栓孔103c后固定于所述固定基座103a上，以固定所述第一压合件101和所述第二压合件102。如图11所示，在所述固定螺栓103b固定于所述固定基座103a上后，所述第一压合件101和所述第二压合件102将所述第二密封环202与所述第一密封环201压合。图13是图11的俯视图，展示了所述固定螺栓103b在所述第二压合件102上的均匀分布，以使得所述第一压合件101和所述第二压合件102的压合受力均匀，防止出现超规格的空隙。可选地，在紧固所述固定螺栓103b时，采用50N·cm、100N·cm和200N·cm的力矩顺次进行紧固。

需要指出的是，本实施例中虽然对各个步骤进行了排序编号，但这只是为了方便阐述本发明方案，并不是对本发明实施顺序的限定。各个实施步骤还可以根据实际情况对其顺序进行调整。例如，所述引导柱104还可以等所述连接固定件103连接并固定所述第一压合件101和所述第二压合件102后再去除。

作为示例，用所述连接固定件103连接并固定所述第一压合件101和所述第二压合件102后，还包括通过设置于所述第一密封环201与所述第二密封环202上的紧固结构进一步贴合固定所述第一密封环201与所述第二密封环202的步骤。所述第一密封环201与所述第二密封环202在相互贴合后，一般还要通过对应设置的螺丝及安装孔进行固定连接，以确保其安装于刻蚀工艺腔室上时不会出现滑移松动。在本实施例中，所述安装孔也正是在步骤3)中所述引导柱104用于安装并引导所述第一密封环201与所述第二密封环202相互对准的固定孔和引导孔。所述螺丝在固定于所述安装孔时，还会用到垫圈等固定结构。可选地，所述垫圈在通过所述引导柱104贴合安装所述第一密封环201与所述第二密封环202时就可以放置于所述第一密封环201与所述第二密封环202之间。需要指出的是，在本发明中，由于引入了所述第一压合件101和所述第二压合件102进行夹持，在旋紧螺丝时，不必由人力进行夹持，因此节省了人力成本。此外，由于治具夹持的压力施加更为均匀，避免了人力夹持时常常出现的受力不均的缺点，减少了部件安装不当的发生率。

作为示例，如图14所示，所述第一密封环201与所述第二密封环202上的所述紧固结构为多组并均匀分布于所述安装面上，一组所述紧固结构中的多个所述紧固结构在所述安装面上呈中心对称分布；在通过所述紧固结构进一步贴合固定所述第一密封环201与所述第二密封环202时，按组依次使所有所述紧固结构达到设定的紧固度。具体地，在图14中，所述紧固结构的固定螺丝共设置了10颗，分别为第一螺丝301、第二螺丝302、第三螺丝303、第四螺丝304、第五螺丝305、第六螺丝306、第七螺丝307、第八螺丝308、第九螺丝309和第十螺丝310。在旋紧这些螺丝时，以两颗为一组进行旋紧。例如，如图11所示，所述第一螺丝301和所述第二螺丝302为一组，先进行旋紧，而后所述第三螺丝303和所述第四螺丝304为一组进行旋紧，之后如上述两颗为一组的方案，按照图11中箭头所标示的顺序，依次对剩余的螺丝进行旋紧。此外，在本发明的其他实施案例中，每组螺丝的数量还可以根据实际情况进行设置。例如，对于以3的倍数设置的螺丝数还可以以中心对称的三颗螺丝为一组按组依次顺序旋紧。

作为示例，所述紧固度包括第一紧固度与第二紧固度；在通过所述紧固结构进一步贴合固定所述第一密封环与所述第二密封环时，先使所有所述紧固结构达到所述第一紧固度，再使所有所述紧固结构达到所述第二紧固度。例如，在本实施例中，在旋紧螺丝以达到所述第一紧固度和所述第二紧固度时，依次按照20N·cm和40N·cm的力矩紧固螺丝，以使得所述第一密封环与所述第二密封环之间顺次达到不同紧固度并渐进而均匀地得到紧固，防止因各部位受力不均匀而产生间隙。

作为示例，在贴合固定所述第一密封环与所述第二密封环后，还包括检查所述第一密封环与所述第二密封环贴合程度的步骤。可选地，在本实施例中，在所述第一密封环与所述第二密封环贴合后，就可以在安装过程中实时通过塞规检测所述第一密封环与所述第二密封环之间的间隙。所述间隙在安装完成后应小于0.1mm。在所述第一密封环与所述第二密封环通过固定螺丝紧固后，还可以将所述固定螺栓103b依次取下，在通过塞规再次确认所述间隙符合规格值后，将完成安装的所述第一密封环与所述第二密封环从所述密封环安装治具上取下，以备之后进一步组装到刻蚀工艺腔室上。

通过本实施例所提供的使用方法，基于实施例一中所提供的密封环安装治具，设备维护人员可以轻易地通过单人作业完成第一密封环与第二密封环的固定安装，且安装过程中由于通过第一压合件和第二压合件对密封环进行按压，省去了需要安排至少一人进行人力按压的人力成本。此外，由于本发明的治具在按压使能使密封环受力均匀，在密封环安装后不易产生间隙，相比人力按压安装后存在较高的重新安装风险以及机台宕机风险，本发明还大幅节省了机台维护的时间成本，也提升了设备在不同维护周期之间所表现的工艺稳定性。

综上所述，本发明提供了一种密封环安装治具，包括：第一压合件，其具有第一压合面，所述第一压合面用于贴合固定所述第一密封环上远离其所述安装面的表面；第二压合件，其具有第二压合面，所述第二压合面用于贴合固定所述第二密封环上远离其所述安装面的表面；连接固定件，其用于连接并固定所述第一压合件和所述第二压合件，使所述第一压合面和所述第二压合面相对设置，且所述第一密封环与所述第二密封环相互贴合。本发明还提供了一种密封环安装方法，包括如下步骤：提供第一密封环、第二密封环以及本发明所述的密封环安装治具；将所述第一密封环远离其所述安装面的表面贴合固定于所述第一压合件的所述第一压合面上；将所述第二密封环与所述第一密封环通过各自的安装面相互贴合；将所述第二密封环远离其所述安装面的表面贴合固定于所述第二压合件的所述第二压合面上；用所述连接固定件连接并固定所述第一压合件和所述第二压合件。本发明采用第一压合件和第二压合件分别固定第一密封环与第二密封环，使第一密封环与第二密封环贴合固定，改善了密封环安装过程中受力的均匀性，提升了密封环的密封性能，并节省了维护的时间及人力成本。

上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。

Claims (13)

1.一种密封环安装治具，用于将第一密封环和第二密封环通过各自的安装面相互贴合安装，其特征在于，包括：

第一压合件，其具有第一压合面，所述第一压合面用于贴合固定所述第一密封环上远离其所述安装面的表面；

第二压合件，其具有第二压合面，所述第二压合面用于贴合固定所述第二密封环上远离其所述安装面的表面；

连接固定件，其用于连接并固定所述第一压合件和所述第二压合件，使所述第一压合面和所述第二压合面相对设置，且所述第一密封环与所述第二密封环相互贴合。

2.根据权利要求1所述的密封环安装治具，其特征在于：所述第一压合面和/或所述第二压合面的材料包括特氟龙材料。

3.根据权利要求1所述的密封环安装治具，其特征在于：还包括用于使所述第一密封环与所述第二密封环以设定的相对位置相互贴合的引导对准件。

4.根据权利要求3所述的密封环安装治具，其特征在于：所述引导对准件包括引导柱，所述引导柱设置于所述第一密封环或所述第二密封环中的任意一方上，所述第一密封环或所述第二密封环中未设置所述引导柱的一方上设有可插设所述引导柱的引导孔；当所述引导柱对准并插设于所述引导孔时，所述第一密封环与所述第二密封环以设定的相对位置相互贴合。

5.根据权利要求1所述的密封环安装治具，其特征在于：所述连接固定件包括固定基座和固定螺栓，所述固定基座和所述固定螺栓分别设置于所述第一压合件和所述第二压合件上。

6.根据权利要求1所述的密封环安装治具，其特征在于：所述第一压合件包括第一环形框与设置于所述第一环形框内侧的第一连接梁，所述第一压合面位于所述第一环形框上；所述第二压合件包括第二环形框与设置于所述第二环形框内侧的第二连接梁，所述第二压合面位于所述第二环形框上。

7.根据权利要求6所述的密封环安装治具，其特征在于：所述连接固定件包括环形框固定件和连接梁固定件；所述环形框固定件用于连接并固定所述第一环形框和所述第二环形框，并均匀分布于所述第一密封环或所述第二密封环的外围；所述连接梁固定件用于连接并固定所述第一连接梁和所述第二连接梁，并均匀分布于所述第一密封环或所述第二密封环的内侧。

8.一种密封环安装方法，其特征在于，包括如下步骤：

提供第一密封环、第二密封环以及如权利要求1至7任意一项所述的密封环安装治具；

将所述第一密封环远离其所述安装面的表面贴合固定于所述第一压合件的所述第一压合面上；

将所述第二密封环与所述第一密封环通过各自的安装面相互贴合；

将所述第二密封环远离其所述安装面的表面贴合固定于所述第二压合件的所述第二压合面上；

用所述连接固定件连接并固定所述第一压合件和所述第二压合件。

9.基于权利要求8所述的密封环安装方法，其特征在于，将所述第二密封环与所述第一密封环通过各自的安装面相互贴合时，还包括采用引导对准件使所述第一密封环与所述第二密封环以设定的相对位置相互贴合的步骤。

10.基于权利要求8所述的密封环安装方法，其特征在于，用所述连接固定件连接并固定所述第一压合件和所述第二压合件后，还包括通过设置于所述第一密封环与所述第二密封环上的紧固结构进一步贴合固定所述第一密封环与所述第二密封环的步骤。

11.基于权利要求10所述的密封环安装方法，其特征在于，所述第一密封环与所述第二密封环上的所述紧固结构为多组并均匀分布于所述安装面上，一组所述紧固结构中的多个所述紧固结构在所述安装面上呈中心对称分布；在通过所述紧固结构进一步贴合固定所述第一密封环与所述第二密封环时，按组依次使所有所述紧固结构达到设定的紧固度。

12.基于权利要求11所述的密封环安装方法，其特征在于，所述紧固度包括第一紧固度与第二紧固度；在通过所述紧固结构进一步贴合固定所述第一密封环与所述第二密封环时，先使所有所述紧固结构达到所述第一紧固度，再使所有所述紧固结构达到所述第二紧固度。

13.基于权利要求10所述的密封环安装方法，其特征在于，在贴合固定所述第一密封环与所述第二密封环后，还包括检查所述第一密封环与所述第二密封环贴合程度的步骤。

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