CN220356973U - 一种加热器热测试装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种加热器热测试装置，包括有真空腔体板，还包括有连接治具，所述真空腔体板上设置有连接孔，所述连接治具穿过连接孔，所述连接治具设置有密封板和活动顶件，所述密封板抵接在真空腔体板一侧，所述活动顶件抵接在真空腔体板另一侧，所述连接治具上设置有定位区，所述定位区可拆卸连接有加热器。本实用新型提供了一种加热器热测试装置，能够保证加热器的固定稳定，避免倾倒产生磕碰，同时能够提高加热器在真空腔体内部的适配性，提高效率。

Description

一种加热器热测试装置

技术领域

本实用新型涉及检验检测技术领域，尤其涉及一种加热器热测试装置。

背景技术

在晶圆加工过程中，等离子体刻蚀或化学气相沉积等工艺过程，常采用氮化铝加热器来固定、支撑晶片(Wafer)等待加工件，为使静电卡盘具有足够大的升温速度，进而提高晶片刻蚀的均匀性，绝缘层中还可以铺设一加热器，以此通过加热器来加热晶片。

例如公开号“CN111424260B”，公开了“具有高效清洁能力的化学气相沉积设备及半导体工艺方法”，设备包括腔体、基座、沉积源装置、等离子体源及适配器；基座位于腔体内，沉积源装置位于腔体的顶部，与工艺气体源相连通；等离子体源位于腔体外，且与适配器相连通；适配器位于腔体内且位于基座的正上方，适配器包括凹槽和外沿部，凹槽表面具有多个喷气孔，凹槽用于承载晶圆，且在晶圆移出所述腔体后，多个喷气孔将自由基供应至腔体内以对腔体内部进行清洁。但是在实际应用中，在加热器正式使用前，需要进行温度均匀性测试，在测试的真空腔体内，由于加热器上大下小的结构使得加热器的临时固定不够稳定，与真空腔体的适配性较差。

发明内容

针对背景技术中提到的现有技术存在加热器固定不够稳定，适配性较差的问题，本实用新型提供了一种加热器热测试装置，能够保证加热器的固定稳定，避免倾倒产生磕碰，同时能够提高加热器在真空腔体内部的适配性，提高效率。

本实用新型的第二发明目的是能够快速对加热器的位置进行定位，提高安装效率与安装精准性，并保护内部的密封性。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案。

一种加热器热测试装置，包括有真空腔体板，还包括有连接治具，所述真空腔体板上设置有连接孔，所述连接治具穿过连接孔，所述连接治具设置有密封板和活动顶件，所述密封板抵接在真空腔体板一侧，所述活动顶件抵接在真空腔体板另一侧，所述连接治具上设置有定位区，所述定位区可拆卸连接有加热器。通过活动顶件和密封板将连接孔周围的真空腔体板进行夹紧固定，从而实现真空腔体板与连接治具的固定，其中活动顶件设置有多组，从而保证连接治具的能够稳定且均匀地连接在真空腔体板上，其中真空腔体板为真空腔体内的其中一块面板，用于与连接治具连接，连接孔设置在真空腔体板上，用于穿过连接治具，从而将活动顶件和密封板分别设置在真空腔体板的两侧，活动顶件包括但不限于气缸、螺栓、快拆扣，而在连接治具内部设置的定位区，用于将加热器进行固定定位，从而将加热器稳定连接在真空腔体内部，进行试验测试，由于定位区的存在，使得加热器即使在体积上存在上大下小，也可以通过连接治具进行限位，避免发生倾斜磕碰的情况，保证加热平面的水平性，并通过定位区能够实现加热器与真空腔体之间的快速连接。

作为优选，所述密封板靠近真空腔体板一侧设置有密封槽，所述密封槽连接有密封圈。密封板上设置的密封槽用于安装密封圈，在连接治具与真空腔体的连接过程中，通过活动顶件的上升顶住真空腔体板，从而间接带动真空腔体板与密封板挤压，此时真空腔体板与密封板之间的密封圈受挤压产生形变密封，保证真空腔体内部的能够顺利进行抽真空作业。

作为优选，所述连接治具上连接有承重环，所述活动顶件活动连接在承重环上。通过在连接治具上连接承重环，使得连接治具能够先穿过连接孔后再连接承重环，活动顶件在承重环连接完成后，安装至承重环上，在通过螺纹旋转或顶升运动抵接至真空腔体板上，进而实现连接治具的固定。

作为优选，所述活动顶件螺纹连接在承重环上，所述活动顶件旋转上升并抵接至真空腔体板。活动顶件通过螺纹连接在承重环上，螺纹连接的稳定性好，旋转发力简单，其中活动顶件优选地为锁紧螺栓。

作为优选，所述连接治具上设置有安装槽，所述安装槽卡合连接承重环。连接治具上设置的安装槽能够与承重环进行卡合连接，保证了承重环能够有效受力，从而保证了连接治具与真空腔体板之间的稳定性。

作为优选，所述连接治具包括有治具主体，所述治具主体上设置有定位孔，所述治具主体远离真空腔体板一侧连接有密封底板，所述密封底板上设置有固定孔，所述固定孔孔径小于定位孔孔径，所述定位孔和固定孔组成定位区。在治具主体上设置的定位孔为通孔，其中密封底板与治具主体连接在一起，并且在密封底板上也设置有固定孔，固定孔的孔径小于定位孔孔径，其中固定孔也是通孔，固定孔与定位孔连通，由于孔径尺寸存在偏差，因此存在台阶，加热器抵接在台阶上，并且通过设置密封圈实现密封，从而保证真空腔体内部的真空性，定位孔与固定孔形成了定位区，定位区连接加热器，同时由于定位孔与固定孔均为通孔，而由于加热器的上端部分为圆盘型，放置加热器时易遮挡视线，因此可通过两个通孔从连接治具的下方进行观测定位，保证加热器与定位区的定位连接精准，此方案实现了本发明的第二发明目的。

作为优选，所述固定孔上设置有固定连接件，所述加热器包括有基座，所述固定连接件连接基座。固定孔上设置的固定连接件能够实现与基座的可拆卸连接，优选地为插销或螺栓连接，也不限于其他的可拆卸连接，保证基座与定位区连接后能够不产生偏移。

作为优选，所述连接治具上连接有冷却水接口。通过在连接治具上连接冷却水接口，能够在检测过程中为真空腔体内部通入冷却水，通过冷却水进行控温，将冷却水接口集成在连接治具上，减少对真空腔体的额外开口。

作为优选，所述密封板上连接有隔热组件。密封板上连接的隔热组件将加热器的加热盘部分围罩起来，从而形成一个腔体，减少加热盘的热辐射扩散，从而保证实现数据的准确性，其中隔热组件可以是半包围结构，与真空腔体的腔体盖板连接形成隔热的腔体。

本实用新型的有益效果如下：

（1）通过连接治具进行限位，避免发生倾斜磕碰的情况，保证加热平面的水平性，并通过定位区能够实现加热器与真空腔体之间的快速连接，同时能够提高加热器在真空腔体内部的适配性，提高效率；

（2）可通过固定孔、定位孔两个通孔从连接治具的下方进行观测定位，保证加热器与定位区的定位连接精准；

（3）密封板上连接的隔热组件将加热器的加热盘部分围罩起来，从而形成一个腔体，减少加热盘的热辐射扩散，从而保证实现数据的准确性。

附图说明

图1是本实用新型的轴测图。

图2是本实用新型的剖视图。

图3是图2中A处的结构示意图。

图4是本实用新型的第一爆炸视图。

图5是本实用新型的第二爆炸视图。

图中：1真空腔体板，11连接孔，2连接治具，21密封板，211密封槽，22活动顶件，23定位区，24承重环，241安装槽，25治具主体，26定位孔，27密封底板，28固定孔，281固定连接件，29隔热组件，3加热器，31基座，4冷却水接口。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步描述。

实施例1：

如图1、2、3所示，一种加热器热测试装置，包括有真空腔体板1，还包括有连接治具2，真空腔体板1上设置有连接孔11，连接治具2穿过连接孔11，连接治具2设置有密封板21和活动顶件22，密封板21抵接在真空腔体板1一侧，活动顶件22抵接在真空腔体板1另一侧，本实施例中活动顶件为锁紧螺栓，连接治具2上设置有定位区23，定位区23可拆卸连接有加热器3。

通过活动顶件22和密封板21将连接孔11周围的真空腔体板1进行夹紧固定，从而实现真空腔体板1与连接治具2的固定，其中活动顶件22设置有多组，从而保证连接治具2的能够稳定且均匀地连接在真空腔体板1上，其中真空腔体板1为真空腔体内的其中一块面板，用于与连接治具2连接，连接孔11设置在真空腔体板1上，用于穿过连接治具2，从而将活动顶件22和密封板21分别设置在真空腔体板1的两侧，而在连接治具2内部设置的定位区23，用于将加热器3进行固定定位，从而将加热器3稳定连接在真空腔体内部，进行试验测试，由于定位区23的存在，使得加热器3即使在体积上存在上大下小，也可以通过连接治具2进行限位，避免发生倾斜磕碰的情况，保证加热平面的水平性，并通过定位区23能够实现加热器3与真空腔体之间的快速连接。

如图3所示，密封板21靠近真空腔体板1一侧设置有密封槽211，密封槽211连接有密封圈。密封板21上设置的密封槽211用于安装密封圈，在连接治具2与真空腔体的连接过程中，通过活动顶件22的上升顶住真空腔体板1，从而间接带动真空腔体板1与密封板21挤压，此时真空腔体板1与密封板21之间的密封圈受挤压产生形变密封，保证真空腔体内部的能够顺利进行抽真空作业。

如图1、2、4、5所示，连接治具2上连接有承重环24，活动顶件22活动连接在承重环24上，活动顶件22螺纹连接在承重环24上，活动顶件22旋转上升并抵接至真空腔体板1，连接治具2上设置有安装槽241，安装槽241卡合连接承重环24。

通过在连接治具2上连接承重环24，使得连接治具2能够先穿过连接孔11后再连接承重环24，活动顶件22在承重环24连接完成后，安装至承重环24上，在通过螺纹旋转或顶升运动抵接至真空腔体板1上，进而实现连接治具2的固定，活动顶件22通过螺纹连接在承重环24上，螺纹连接的稳定性好，旋转发力简单，其中活动顶件22优选地为锁紧螺栓，连接治具2上设置的安装槽241能够与承重环24进行卡合连接，保证了承重环24能够有效受力，从而保证了连接治具2与真空腔体板1之间的稳定性。

如图2、4、5所示，连接治具2包括有治具主体25，治具主体25上设置有定位孔26，治具主体25远离真空腔体板1一侧连接有密封底板27，密封底板27上设置有固定孔28，固定孔28孔径小于定位孔26孔径，定位孔26和固定孔28组成定位区23，固定孔28上设置有固定连接件281，加热器3包括有基座31，固定连接件281连接基座31。

在治具主体25上设置的定位孔26为通孔，其中密封底板27与治具主体25连接在一起，并且在密封底板27上也设置有固定孔28，固定孔28的孔径小于定位孔26孔径，其中固定孔28也是通孔，固定孔28与定位孔26连通，由于孔径尺寸存在偏差，因此存在台阶，加热器3抵接在台阶上，并且通过设置密封圈实现密封，从而保证真空腔体内部的真空性，定位孔26与固定孔28形成了定位区23，定位区23连接加热器3，同时由于定位孔26与固定孔28均为通孔，而由于加热器3的上端部分为圆盘型，放置加热器3时易遮挡视线，因此可通过两个通孔从连接治具2的下方进行观测定位，保证加热器3与定位区23的定位连接精准，固定孔28上设置的固定连接件281能够实现与基座31的螺栓连接，保证基座31与定位区23连接后能够不产生偏移。

如图1所示，连接治具2上连接有冷却水接口4。通过在连接治具2上连接冷却水接口4，能够在检测过程中为真空腔体内部通入冷却水，通过冷却水进行控温，将冷却水接口4集成在连接治具2上，减少对真空腔体的额外开口。

如图1、2所示，密封板21上连接有隔热组件29。密封板21上连接的隔热组件29将加热器3的加热盘部分围罩起来，从而形成一个腔体，减少加热盘的热辐射扩散，从而保证实现数据的准确性，其中隔热组件29可以是半包围结构，与真空腔体的腔体盖板连接形成隔热的腔体。

本实施例中加热器热测试装置的装配和工作过程如下：在本实施例中，加热器3包括有下端体积较小的基座31和上端体积占比较大的加热盘，首先，将未连接承重环24和活动顶件22的连接治具2放置到真空腔体内，当连接治具2穿过连接孔11后，密封板21抵接在真空腔体的内壁上，随后将两个半圆环状的承重环24卡接在安装槽241上，随后将活动顶件22连接在承重环24上，活动顶件22为锁紧螺栓，通过螺纹旋进抵接在真空腔体板1的外壁上，从而将连接治具2与真空腔体板1实现稳定连接，当需要进行热测试时，将真空腔体的盖子打开，将加热器3的基座31朝下放置到连接治具2上，并将基座31与定位区23连接，基座31抵接在固定孔28和定位孔26所形成的台阶上，由于基座31上设置有密封圈，从而实现密封，随后工作人员在连接治具2的下方进行观测，调整加热器3的位置，保证准确并与固定连接件281对齐，通过螺栓进行拧紧固定，随后陆续安装热电耦，电源线，放置wafer，隔热板，盖上真空腔体盖即可进行抽真空和热测试。

Claims (9)

1.一种加热器热测试装置，包括有真空腔体板，其特征在于，还包括有连接治具，所述真空腔体板上设置有连接孔，所述连接治具穿过连接孔，所述连接治具设置有密封板和活动顶件，所述密封板抵接在真空腔体板一侧，所述活动顶件抵接在真空腔体板另一侧，所述连接治具上设置有定位区，所述定位区可拆卸连接有加热器。

2.根据权利要求1中所述的一种加热器热测试装置，其特征在于，所述密封板靠近真空腔体板一侧设置有密封槽，所述密封槽连接有密封圈。

3.根据权利要求1中所述的一种加热器热测试装置，其特征在于，所述连接治具上连接有承重环，所述活动顶件活动连接在承重环上。

4.根据权利要求3中所述的一种加热器热测试装置，其特征在于，所述活动顶件螺纹连接在承重环上，所述活动顶件旋转上升并抵接至真空腔体板。

5.根据权利要求3中所述的一种加热器热测试装置，其特征在于，所述连接治具上设置有安装槽，所述安装槽卡合连接承重环。

6.根据权利要求1-5中任意一项所述的一种加热器热测试装置，其特征在于，所述连接治具包括有治具主体，所述治具主体上设置有定位孔，所述治具主体远离真空腔体板一侧连接有密封底板，所述密封底板上设置有固定孔，所述固定孔孔径小于定位孔孔径，所述定位孔和固定孔组成定位区。

7.根据权利要求6中所述的一种加热器热测试装置，其特征在于，所述固定孔上设置有固定连接件，所述加热器包括有基座，所述固定连接件连接基座。

8.根据权利要求6中所述的一种加热器热测试装置，其特征在于，所述连接治具上连接有冷却水接口。

9.根据权利要求1-5中任意一项所述的一种加热器热测试装置，其特征在于，所述密封板上连接有隔热组件。