CN110964353A - 损伤的载物台修复用溶液组合物、损伤的载物台修复方法及损伤的载物台的抗静电涂布方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供损伤的载物台的修复用溶液组合物、损伤的载物台的修复方法及损伤的载物台的抗静电涂布方法，本发明的溶液组合物包含：含有选自醇、甲苯、甲基乙基酮、环己酮中的至少一种的溶剂；具有1nm～500nm的尺寸且含有选自碳黑、科琴黑、乙炔黑、富勒烯、石墨烯和碳纳米管中的至少一种的黑色颜料；分散剂；以及有机系粘合剂和无机系粘合剂混合而成的有机无机混合粘合剂，上述有机系粘合剂为选自多官能性丙烯酸类树脂、多官能性氨基甲酸酯树脂和苯氧系树脂中的至少一种，上述无机系粘合剂为选自氧化铝溶胶、硅溶胶和二氧化钛溶胶中的至少一种。根据本发明，提供低价修复半导体、显示器制作设备的载物台的方法。

Description

损伤的载物台修复用溶液组合物、损伤的载物台修复方法及 损伤的载物台的抗静电涂布方法

技术领域

本发明涉及损伤的载物台修复用溶液组合物、利用上述修复用溶液组合物的损伤的载物台修复方法及损伤的载物台的抗静电涂布方法，更详细而言，涉及半导体、平板显示器制造设备以及检测设备等的载物台上表面因反复操作工序而发生物理损伤时能够将平坦度、反射率、抗静电等性能复原的损伤的载物台的修复用溶液组合物及利用其的损伤的载物台的修复方法及损伤的载物台的抗静电涂布方法。

背景技术

半导体制造制备中所使用的载物台用于安放晶片基板，通常由金属和陶瓷材质制作。此外，作为LCD、OLED等平板显示器制造设备的曝光机(Photolithography equipment)、LC点胶机(Liquid Crystal Dispenser)、检测器(Inspection equipment)等中所使用的载物台用于安放玻璃基板，通常由金属或陶瓷构成，在铝载物台的情况下，一般在最外表面形成有氧化铝被膜(硬质阳极氧化)。

上述载物台上部面为平面，或者由多个凹凸图案或整齐地隔开配置且凸出的多个压纹构成。

此外，上述载物台上部面通常形成有多个真空孔，从而在制造工序中以真空方式吸附基板而稳定地固定基板。

此时，由于与基板的摩擦，载物台上部面会发生刮擦等磨损，且在长时间反复吸附和脱附时，发生局部物理损伤，从而会产生表面高低的差异。

因此，由于基板真空吸附压力，发生基板平坦度的偏差而对操作精密度造成影响。尤其在曝光机载物台的情况下，曝光精密度变低而发生制品的电路图案不良。

此外，在形成有黑色的氧化铝被膜的载物台的情况下，如果铝因被膜的损伤而裸露，则反射率变高，由此，在曝光工序时会发生制品的电路图案不良。进而，金属性铝由于在上表面露出，因而会造成静电的突然放电导致的基板的破损和电路短路等问题。

因此，以往的方案是，利用阳极氧化笔或黑色记号笔来临时涂抹载物台的损伤的部位，或者制作新的载物台来替换。

但是，如果利用以往的阳极氧化笔或记号笔来涂抹损伤的部位，则虽然能够暂时弥补高度或反射率，但是油墨涂膜会因洗涤载物台或与基板的接触摩擦而容易被去除，且涂膜厚度不均匀而在应用时存在局限。此外，制作新的载物台来替换的方法存在发生巨额费用且在脱附载物台以及再安装时需要大量时间而长时间无法启动设备的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：韩国注册专利第10-1171316号

发明内容

所要解决的课题

本发明用于解决以如上所述的问题为代表的多种问题，其目的在于，提供在具有长时间的耐久性的同时所需费用少的损伤的载物台的修复方法和可以用于此的修复用溶液组合物。尤其提供修正局部磨损的载物台上部面的高低差而在形成微细电路图案等对于平坦度敏感的工序中减少不良的方法，且提供对于经氧化铝被膜处理的载物台通过修正因金属铝裸露而变高的反射率从而在曝光工序等中减少电路图案不良的方法。

解决课题的方法

因此，本发明的优选的实施例的损伤的载物台的修复用溶液组合物包含：含有选自醇、甲苯、甲基乙基酮、环己酮中的至少一种的溶剂；具有1nm～500nm的尺寸且含有选自碳黑、科琴黑、乙炔黑、富勒烯、石墨烯和碳纳米管中的至少一种的黑色颜料；分散剂；以及有机系粘合剂和无机系粘合剂混合而成的有机无机混合粘合剂，上述有机系粘合剂为选自多官能性丙烯酸类树脂、多官能性氨基甲酸酯树脂和苯氧系树脂中的至少一种，上述无机系粘合剂为选自氧化铝溶胶、硅溶胶和二氧化钛溶胶中的至少一种。

上述黑色颜料的含量可以为整体修复用溶液的0.5wt％～3wt％。

此外，上述有机无机混合粘合剂的含量可以为整体修复用溶液的1wt％～20wt％。

本发明的另一方面提供一种损伤的载物台修复方法，其包括在载物台的损伤的部分的上表面涂布由上述损伤的载物台的修复用溶液组合物构成的修复用溶液的步骤。

该情况下，上述载物台的上表面以彼此隔开配置的方式形成有凸出的压纹部，上述涂布修复用溶液的步骤可以将上述修复用溶液涂布于损伤的压纹部上表面。

此外，上述涂布修复用溶液的步骤可以利用点胶机来涂布上述修复用溶液组合物。

此外，上述涂布修复用溶液的步骤可以涂布1μm～20μm高度。

此外，上述涂布修复用溶液的步骤之后可以包括涂布保护上述涂布后的修复用溶液的保护用溶液的步骤，上述保护用溶液可以包含：含有选自醇、二丁基醚、异丙基醚、乙基醚、碳酸二甲酯中的至少一种的溶剂，以及选自由硅、氮和氢构成的无机化合物、烷氧基硅烷、胶体二氧化硅中的至少一种的无机物。

上述保护用溶液中，无机物的含量可以为整体保护用溶液的5wt％～20wt％。

此外，上述涂布修复用溶液的步骤之前可以进一步包括利用含有选自具有5μm～50μm的粒子尺寸的氧化铝、碳化硅、石榴石、锆中的至少一种的去镜面化布以损伤的载物台的上表面的表面粗糙度成为0.5μm～1.0μm的方式对上述载物台的上表面进行前处理的步骤。

根据本发明的又一实施例，提供损伤的载物台的抗静电涂布方法，其包括：在载物台的损伤的部分的上表面涂布由上述损伤的载物台的修复用溶液组合物构成的修复用溶液的步骤；在上述涂布修复用溶液的步骤之后，以上述载物台的上表面的面电阻成为10⁶Ω/□～10⁹Ω/□的方式在上述载物台上表面涂布抗静电涂布液的步骤。

该情况下，上述载物台的上表面以彼此隔开配置的方式形成有凸出的压纹部，上述涂布修复用溶液的步骤可以将上述修复用溶液涂布于损伤的压纹部上表面。

此外，上述涂布修复用溶液的步骤可以利用点胶机来涂布上述修复用溶液组合物。

此外，上述涂布修复用溶液的步骤可以涂布1μm～20μm高度。

另一方面，在上述涂布修复用溶液的步骤和上述涂布抗静电涂布液的步骤之间，可以包括涂布保护上述涂布后的修复用溶液的保护用溶液的步骤，该情况下，上述保护用溶液可以包含：含有选自醇、二丁基醚、异丙基醚、乙基醚、碳酸二甲酯中的至少一种的溶剂；以及选自由硅、氮和氢构成的无机化合物、烷氧基硅烷、胶体二氧化硅中的至少一种的无机物，上述保护用溶液中的无机物的含量可以为整体保护用溶液的5wt％～20wt％。

另一方面，上述涂布修复用溶液的步骤之前可以进一步包括利用含有选自具有5μm～50μm的粒子尺寸的氧化铝、碳化硅、石榴石、锆中的至少一种的去镜面化布以载物台的损伤的部分的上表面的表面粗糙度成为0.5μm～1.0μm的方式对上述载物台的上表面进行前处理的步骤。

发明效果

根据本发明，可以在因载物台与基板的频繁接触、摩擦而局部受到损伤的位置涂布由修复用溶液组合物构成的修复用溶液，通过利用去镜面化布进行前处理工序后，将修复用溶液涂布于损伤的载物台上表面，之后涂布保护用溶液，从而能够使因载物台的摩擦而局部损伤的载物台的高低差变得平坦，在经氧化铝被膜处理的载物台的情况下，不仅能够使高低差变得平坦，而且能够降低因铝的裸露而变高的反射率，从而使制品的电路图案不良的发生最小化。此外，通过在载物台上表面涂布抗静电涂布液，能够使载物台与基板间的静电发生最少化。

因此，本发明提供以下效果：在短时间内仅修复损伤的位置来使平坦度和反射率不良减少，而无需重新制作对损伤的载物台进行替换，且所修复的部分对于与基板的摩擦会具有长时间的耐久性，提高半导体、显示器制造工序的生产效率。

附图说明

图1是图示涂布了由本发明的优选的实施例的损伤的载物台的修复用溶液组合物构成的修复用溶液的载物台的立体图。

图2a、图2b是沿图1的Ⅱ-Ⅱ线的截面图。

图3是本发明的优选的实施例的损伤的载物台修复方法的流程图。

图4a至图4d分别是图示上述图3的各步骤的截面图。

图5是图示本发明的优选的实施例的损伤的载物台的抗静电涂布方法的流程图。

图6是图示图5的涂布抗静电涂布液的各步骤的流程图。

图7是根据图5进行了抗静电涂布的载物台的截面图。

符号说明

100：载物台

102：载物台基材

105：压纹部

110：氧化铝被膜层

120：修复层

125：保护层

200：抗静电层

具体实施方式

以下，参照附图，通过优选的实施例来详细说明本发明。

图1是图示涂布由本发明的优选的实施例的损伤的载物台的修复用溶液组合物构成的修复用溶液的状态的俯视图，图2a是铝基材的沿图1的Ⅱ-Ⅱ线的截面图，图2b是陶瓷基材的沿图1的Ⅱ-Ⅱ线的截面图。

如图1以及图2a、图2b所示，载物台100由金属或陶瓷基材102构成。因此，本发明的金属材料可以为铝(Al)、镁(Mg)、锌(Zn)、钛(Ti)材料中的任一种。此外，陶瓷材料可以为碳化硅、氮化硅、氧化铝、氧化锆材料中的任一种。在铝基材的情况下，形成有氧化铝被膜层110。此外，上述载物台的表面形成有整齐地隔开配置且凸出的多个压纹部105。

上述压纹部105可以为高度(H)150μm～300μm、宽度(W)约1mm的截面为四边形或梯形形状的六面体形状。上述压纹部105起到在使与基板接触的面积最小化的同时维持载物台的平坦度的功能。

但是，随着半导体、显示器基板的长时间反复进行真空吸附和脱附，凸出的压纹部105的上表面因与基板的摩擦而发生磨损。铝基材的情况下，压纹部表面的氧化铝被膜层110受到局部损伤而使铝裸露于外部，同时会产生压纹部105的高度变低的部分105a。例如，曝光机的情况下，如果上述基材裸露于外部，则载物台的反射率发生变化，并且在曝光时通过基板的光被载物台反射而可能发生图案不良。此外，由于氧化铝被膜层110的磨损而可能发生图案的偏差。此外，由于电绝缘性的氧化铝被膜受到损伤而导电性基材裸露，可能发生突然放电导致的基板的破损和电路不良。

根据本发明组成的修复用溶液通过涂布于载物台的损伤的位置来以与未损伤的部分的高度相同的方式修正载物台的最外表面的高度从而提高平坦度，且能够使表面反射率恢复至损伤前的反射率。

为此，本发明的优选的实施例的损伤的载物台的修复用溶液组合物包含溶剂、黑色颜料、分散剂和有机无机混合粘合剂。

溶剂包含选自醇、甲苯、甲基乙基酮、环己酮中的至少一种。

黑色颜料具有1nm～500nm的尺寸且包含选自碳黑、科琴黑、乙炔黑、富勒烯、石墨烯和碳纳米管中的至少一种。

有机无机混合粘合剂包含有机系粘合剂和无机系粘合剂。有机系粘合剂为选自多官能性丙烯酸类树脂、多官能性氨基甲酸酯树脂和苯氧系树脂中的至少一种。无机系粘合剂为选自氧化铝溶胶、硅溶胶和二氧化钛溶胶中的至少一种。

该情况下，黑色颜料优选为1nm～500nm大小。

相对于整体溶液组合物，黑色颜料优选具有0.5wt％～3wt％的含量。这是因为，在上述含量小于0.5wt％的情况下，反射率改善不充分，在上述含量大于3wt％的情况下，结合力变弱。

上述有机无机混合粘合剂提高与载物台的附着性和耐久性。该情况下，相对于整体溶液组合物，有机无机混合粘合剂的含量优选为1wt％～20wt％。这是因为，在上述含量小于1wt％的情况下，膜的厚度变薄而耐久性下降，在上述含量大于20wt％的情况下，修复操作变难，可能导致平坦度的不良。

在本发明的另一方面中，利用由损伤的载物台的修复用溶液组合物组成的修复用溶液修复损伤的载物台的步骤S110如图3所示包括在载物台的损伤的部分的上表面涂布如上所述的由损伤的载物台的修复用溶液组合物构成的修复用溶液的步骤S12。

如图4a所示，上述载物台100可以由载物台基材102和追加的氧化铝被膜层110形成。

上述载物台基材102由金属或陶瓷材料构成。因此，本发明的金属材料可以为铝(Al)、镁(Mg)、锌(Zn)、钛(Ti)材料中的任一种。此外，陶瓷材料可以为碳化硅、氮化硅、氧化铝、氧化锆材料中的任一种。在上述载物台的基材为铝基材的情况下，上述氧化铝被膜层110是通过阳极氧化处理而形成的被膜层。此外，上述载物台的表面形成有整齐地隔开配置且凸出的多个压纹部105。

如果上述载物台被使用一段时间，则由于表面发生磨损，因而在分离基板时会产生大量静电。因此，有必要对损伤的载物台的表面实施抗静电涂布而使静电的产生减少。

这是因为，在载物台上移送或操作的基板在反复进行与载物台的真空吸附和吸附解除时，一部分载物台表面会发生因摩擦而受到损伤的现象。

该情况下，载物台表面如上形成有多个隔开的压纹部105，上述压纹部中的一部分105a会发生损伤。

由于上述损伤，压纹部磨损而损伤的压纹部与未损伤的压纹部之间会产生高度差异，在铝基材的情况下，会发生氧化铝被膜脱落的现象而产生高度差异和反射率差异。

因此，如果对于损伤的压纹部上表面实施抗静电涂布而不涂布修复用溶液，则载物台的平坦度会脱离适宜水平，真空吸附时可能发生基板平坦度的偏差而导致制品的电路图案不良。氧化铝被膜受到损伤时铝会裸露，与未损伤的压纹部相比，反射率变高，会因光的反射而导致基板的电路图案不良，且由于金属性铝而发生突然放电，因此可能造成基板的破损或电路不良。

上述修复用溶液组合物与本发明的优选的实施例的损伤的载物台的修复用溶液组合物相同，因此省略对其的详细说明。

该步骤S12中，上述修复用溶液涂布于损伤的压纹部的表面105a。上述步骤可以利用精密点胶机在所需的位置进行涂布。利用精密点胶机的情况下，能够使损伤部位周边的污染最小化，并且指定损伤部位进行修复，且由于可以涂布相同的量而能够按照精确的高度来恢复损伤部分。

当然，利用与此不同的刷子或注射器等公知的其他手段来进行涂布的情况也包含在本发明中。

本发明的由损伤的载物台的修复用溶液组合物构成的修复用溶液与载物台的附着性优异，耐溶剂腐蚀性优异而不易被去除，且硬度高而耐久性优异。此外，能够在载物台安装于设备的状态下进行修复，因此操作性也优异。

该情况下，在根据损伤的压纹部的高度涂布修复用溶液的步骤中，可以按照1μm～20μm高度涂布修复用溶液。

另一方面，如图3和图4b所示，在涂布上述修复用溶液之前，可以进行利用去镜面化布的去镜面化及恢复表面粗糙度的前处理步骤。

上述去镜面化布包含选自具有5μm～50μm的粒子尺寸的氧化铝、碳化硅、石榴石、锆中的至少一种。此外，上述步骤中，利用上述去镜面化布进行操作时，优选以载物台的损伤的部分105a的上表面的表面粗糙度成为0.5μm～1.0μm的方式进行，这是因为，表面粗糙度处于上述范围时，所涂布的修复用溶液的附着力优异。

此外，在如图4c所示那样涂布上述修复用溶液之后，可以如图3和图4d所图示的那样包括涂布保护上述涂布后的修复用溶液的保护用溶液的步骤S13。由此，可以形成保护层125。

构成上述保护用溶液的溶液组合物可以包含溶剂和无机物。

溶剂可以包含选自醇、二丁基醚、异丙基醚、乙基醚、碳酸二甲酯中的至少一种。

此外，无机物可以为选自由硅、氮和氢构成的无机化合物、烷氧基硅烷、胶体二氧化硅中的至少一种。

通过涂布上述保护用溶液的步骤，能够保护涂布了修复用溶液的层，防止污染或破损，从而进一步提高耐久性。

该情况下，上述无机物的含量可以为整体保护用溶液的5wt％～20wt％。这是因为，在上述含量小于5wt％的情况下，无法形成用于保护涂布了修复用溶液的层的充分的厚度而耐久性下降，在大于20wt％的情况下，所需固化时间长，溶液的粘度增加，因此存在难以调节厚度的问题。

本发明的又另一方面的损伤的载物台的抗静电涂布方法S100如图5所示在上述损伤的载物台修复步骤S110之后包括在载物台上表面涂布抗静电涂布液的步骤S120。

上述损伤的载物台修复步骤S110如图3所示可以进行将修复用溶液涂布于载物台上的步骤S12。此外，在涂布修复用溶液的步骤之前，可以进行对上述载物台的损伤的部分进行前处理的步骤S11，在涂布修复用溶液的步骤之后，可以进行涂布保护用溶液的步骤S13。上述步骤与说明图3以及图4a至图4d的内容相同，因此省略对其的详细说明。

涂布抗静电涂布液的步骤S120中，以上述载物台上表面的面电阻成为10⁶Ω/□～10⁹Ω/□的方式将抗静电涂布液涂布于上述载物台上表面。

上述涂布液涂布步骤可以使用各种各样的方法。

作为其中一例，图6是图示本发明的优选的实施例的涂布抗静电涂布液的方法的各步骤的流程图。

如图6所示，涂布抗静电涂布液的方法包括制造抗静电涂布液的步骤S210、将抗静电涂布液浸湿于海绵辊的步骤S220、使浸湿了抗静电涂布液的海绵辊与载物台接触的步骤S230、以及使上述载物台干燥的步骤S240。

制造抗静电涂布液的步骤S210中，将碳纳米管(CNT)分散于溶剂后，混合无机溶胶粘合剂和固化剂而制造。

溶剂可以为水或醇等有机溶剂。

作为上述碳纳米管，可以选自单壁碳纳米管、双壁碳纳米管、多壁碳纳米管、绳束状碳纳米管以及它们的组合。

此外，可以选择通过酸处理等对表面进行了改性的碳纳米管、或分离为金属性和半导体性等彼此不同属性的碳纳米管。

粘合剂包含无机溶胶。上述无机溶胶可以包含选自氧化铝溶胶、二氧化钛溶胶、ZnO溶胶、CeO₂溶胶、MgO溶胶和硅溶胶中的至少一种。

如果将上述无机溶胶涂布于载物台，则可以固化成无机凝胶。上述无机凝胶赋予抗静电膜的耐久性和耐溶剂性。此外，上述无机凝胶不会因紫外线而破损。

固化剂能够使固化在常温下进行。上述固化剂包含选自乙酸锆、氯化锆、甲基丙烯酰氧基硅烷、甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、甲基丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷、N-(3-甲基丙烯酰氧基羟基丙基)-3-氨基丙基三乙氧基硅烷、甲基丙烯酰氧基丙基三三甲基甲硅烷氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丙酯、甲基丙烯酸正丁酯中的至少一种。它们在载物台表面与常温的水分结合时，即使没有热处理，上述无机溶胶也能够在常温形成网络而固化。

上述固化剂在每1g上述无机溶胶中优选按照0.05wt％～2wt％的重量比率添加。在上述固化剂具有小于0.05wt％的重量比率的情况下，发生薄膜的不均匀现象或不能够完全固化，耐久性下降。此外，在固化剂具有大于2wt％的重量比率的情况下，面电阻增大，抗静电效果急剧下降。

另一方面，上述无机溶胶以抗静电涂布液总量为基准优选具有5wt％～30wt％。如果上述无机溶胶含量小于抗静电涂布液总量的5wt％，则耐溶剂性降低，对于紫外线(UV)的耐久性降低。如果上述无机溶胶含量大于抗静电涂布液总量的30wt％，则虽然耐溶剂性提高，但抗静电效果变差，涂膜可能产生裂纹。

之后，可以将CNT分散于水或醇等有机溶剂的分散溶液与无机溶胶粘合剂和固化剂混合，然后对上述混合溶液进行5分钟～20分钟搅拌以及超声波处理，从而完成抗静电涂布液。通过上述超声波工序，构成上述溶液的构成要素充分混合，从而改性成能够进行常温固化。

之后，进行将抗静电涂布液浸湿于海绵辊的步骤S220。

上述海绵辊可以为聚烯烃(PO)、聚氨酯(PU)材料的连续气孔多孔质辊。如果使用这样的辊，则能够对载物台表面均匀地涂布。

然后，使上述海绵辊接触于上述载物台上而形成抗静电涂层S230。

之后，在常温下干燥30分钟～60分钟，从而在载物台表面形成抗静电涂层S240。

该情况下，可以使载物台表面的面电阻调节至10⁶Ω/□～10⁹Ω/□。上述面电阻是用于防止载物台产生静电的适宜水平。如果该面电阻大于10⁹Ω/□，则电导率不佳，上述载物台上的静电荷扩散效果差，如果面电阻小于10⁶Ω/□，则由于突然的放电现象而可能对相邻的电路和部件造成影响。

图7是图示本发明的实施例的抗静电后的载物台100的截面图。如图7所示，本发明的抗静电后的载物台100包含载物台基材102、氧化铝被膜层110、修复层120、保护层125和抗静电层200。

如上，参照本发明的优选的实施例进行了说明，但只要是本技术领域的一般技术人员就可以理解，在不脱离以下权利要求所记载的本发明的思想和领域的范围内能够对本发明进行多种多样的修改及变更。

<实施例>

对于具有氧化铝被膜损伤的压纹部的载物台的上表面，利用去镜面化布以表面粗糙度成为0.5μm～1.0μm的方式进行前处理后，利用精密点胶机设备将修复用溶液涂布于压纹部上表面。之后，利用精密点胶机设备将保护用溶液涂布于涂布了修复用溶液的压纹部上表面，从而对损伤的载物台进行修复。

<比较例>

上述损伤的载物台相同，但对于损伤的压纹部利用以往的阳极氧化笔进行涂抹而修复损伤的载物台。

<特性的评价>

测定项目和测定方法如下。

耐溶剂性：对于修复后的载物台的表面，利用酒精湿巾进行洗涤，从而评价修复部分的去除状态，按照良好(◎)、普通(△)、不良(X)来区分。

摩擦耐久性：对于修复后的载物台的表面，利用磨刀石(oilstone)进行摩擦，从而评价修复部分的耐久性状态，按照良好(◎)、普通(△)、不良(X)来区分。

修复涂布膜的厚度均匀度：通过3D显微镜来评价修复涂布膜的厚度。

反射率：利用分光光度计测定修复后的载物台的反射率。

[表1]

区分	耐溶剂性	摩擦耐久性	涂布膜的厚度均匀度(％)	反射率(％)
					实施例	◎	◎	80.0	5.5
比较例	X	X	61.5	5.5

Claims (16)

1.一种损伤的载物台的修复用溶液组合物，其包含：

溶剂，其包含选自醇、甲苯、甲基乙基酮、环己酮中的至少一种；

黑色颜料，其具有1nm～500nm的尺寸且包含选自碳黑、科琴黑、乙炔黑、富勒烯、石墨烯和碳纳米管中的至少一种；

分散剂；以及

有机无机混合粘合剂，其是有机系粘合剂和无机系粘合剂混合而成，所述有机系粘合剂为选自多官能性丙烯酸树脂、多官能性氨基甲酸酯树脂和苯氧系树脂中的至少一种，所述无机系粘合剂为选自氧化铝溶胶、硅溶胶和二氧化钛溶胶中的至少一种。

2.根据权利要求1所述的损伤的载物台的修复用溶液组合物，其特征在于，所述黑色颜料的含量为整体修复用溶液的0.5wt％～3wt％。

3.根据权利要求1所述的损伤的载物台的修复用溶液组合物，其特征在于，所述有机无机混合粘合剂的含量为整体修复用溶液的1wt％～20wt％。

4.一种损伤的载物台修复方法，其包括在载物台的损伤的部分上表面涂布由权利要求1～3中任一项所述的损伤的载物台的修复用溶液组合物构成的修复用溶液的步骤。

5.根据权利要求4所述的损伤的载物台修复方法，其特征在于，

所述载物台的上表面以彼此隔开配置的方式形成有凸出的压纹部，

涂布所述修复用溶液的步骤中，将所述修复用溶液涂布于损伤的压纹部上表面。

6.根据权利要求4所述的损伤的载物台修复方法，其特征在于，涂布所述修复用溶液的步骤中，利用点胶机来涂布所述修复用溶液组合物。

7.根据权利要求4所述的损伤的载物台修复方法，其特征在于，涂布所述修复用溶液的步骤中，涂布1μm～20μm高度。

8.根据权利要求4所述的损伤的载物台修复方法，其包括在涂布修复用溶液的步骤之后，涂布保护所述涂布后的修复用溶液的保护用溶液的步骤，

所述保护用溶液包含：

溶剂，其包含选自醇、二丁基醚、异丙基醚、乙基醚、碳酸二甲酯中的至少一种；以及

无机物，其为选自由硅、氮和氢构成的无机化合物、烷氧基硅烷、胶体二氧化硅中的至少一种。

9.根据权利要求8所述的损伤的载物台修复方法，其特征在于，所述保护用溶液中的无机物的含量为整体保护用溶液的5wt％～20wt％。

10.根据权利要求4所述的损伤的载物台修复方法，其包括在涂布所述修复用溶液的步骤之前，利用去镜面化布以损伤的载物台的上表面的表面粗糙度成为0.5μm～1.0μm的方式对所述载物台的上表面进行前处理的步骤，

所述去镜面化布包含选自具有5μm～50μm的粒子尺寸的氧化铝、碳化硅、石榴石、锆中的至少一种。

11.一种损伤的载物台的抗静电涂布方法，其包括：

在载物台的损伤的部分上表面涂布由权利要求1～3中任一项所述的损伤的载物台的修复用溶液组合物构成的修复用溶液的步骤；

在涂布所述修复用溶液的步骤之后，以所述载物台上表面的面电阻成为10⁶Ω/□～10⁹Ω/□的方式将抗静电涂布液涂布于所述载物台上表面的步骤。

12.根据权利要求11所述的损伤的载物台的抗静电涂布方法，其特征在于，

所述载物台的上表面以彼此隔开配置的方式形成有凸出的压纹部，

涂布所述修复用溶液的步骤中，将所述修复用溶液涂布于损伤的压纹部上表面。

13.根据权利要求11所述的损伤的载物台的抗静电涂布方法，其特征在于，涂布所述修复用溶液的步骤中，利用点胶机来涂布所述修复用溶液组合物。

14.根据权利要求11所述的损伤的载物台的抗静电涂布方法，其特征在于，涂布所述修复用溶液的步骤中，涂布1μm～20μm高度。

15.根据权利要求11所述的损伤的载物台的抗静电涂布方法，其特征在于，在涂布所述修复用溶液的步骤和涂布所述抗静电涂布液的步骤之间，包括涂布保护所述涂布后的修复用溶液的保护用溶液的步骤，

所述保护用溶液包含：

溶剂，其包含选自醇、二丁基醚、异丙基醚、乙基醚、碳酸二甲酯中的至少一种；以及

无机物，其为选自由硅、氮和氢构成的无机化合物、烷氧基硅烷、胶体二氧化硅中的至少一种，

所述保护用溶液中的无机物的含量为整体保护用溶液的5wt％～20wt％。

16.根据权利要求11所述的损伤的载物台的抗静电涂布方法，其包括：在涂布所述修复用溶液的步骤之前，利用去镜面化布以载物台的损伤的部分的上表面的表面粗糙度成为0.5μm～1.0μm的方式对所述载物台的上表面进行前处理的步骤，

所述去镜面化布包含选自具有5μm～50μm的粒子尺寸的氧化铝、碳化硅、石榴石、锆中的至少一种。

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