CN110918584A - 槽盖开关机构及槽式清洗机 - Google Patents

Abstract

本发明公开了槽盖开关机构及槽式清洗机。该槽盖开关机构包括气缸组件、固定板组件、垫板、槽盖组件，其中：气缸组件包括连杆、气缸、支架，连杆和支架安装在固定板组件上，气缸底部与支架铰接并绕支架可转动，气缸的活塞杆与连杆铰接，连杆绕接头转动；槽盖组件包括转轴和槽盖，转轴与气缸组件的连杆固定连接并同步转动，槽盖安装在转轴上并随转轴同步转动，其中，气缸的活塞杆处于伸出行程末端，槽盖关闭；气缸的活塞杆处于缩回行程末端，槽盖打开。根据本发明的槽盖开关机构可使槽盖稳定维持在位状态不回弹，此外结构简单紧凑且实施成本低，也不影响现有槽式清洗机的整体结构。

Description

槽盖开关机构及槽式清洗机

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种槽盖开关机构及包括该槽盖开关机构的槽式清洗机。

背景技术

槽式清洗机的槽盖在使用过程中常会出现轻微回位或明显回弹现象，即槽盖在正常打开位置无法长时间保持完全打开状态(例如竖直90°)，轻则向回倾斜，重则出现半关闭状态。明显回弹会导致在位传感器信号丢失，终端机台中断正常运行并报警，影响物料清洗效果和设备产能。轻微回位虽然可能不至于导致传感器信号丢失，但机械手在取放物料过程中容易与倾斜的槽盖发生碰撞，轻则导致机械手夹爪变形，重则导致物料掉落破损等，特别地，对于采用石英材质的清洗槽，会出现机械手将槽盖压坏并造成石英槽破损的现象，故危害更大。

因此，迫切希望得到一种运行稳定无回弹的槽盖开关机构。

发明内容

本发明的目的是提供一种槽盖开关机构，以克服现有槽盖开关机构容易出现回弹的缺点。

本发明一方面提出了一种槽盖开关机构，包括气缸组件、固定板组件、槽盖组件，其中：所述气缸组件包括连杆、气缸、支架，所述连杆和所述支架安装在所述固定板组件上，所述气缸底部与所述支架铰接并绕所述支架可转动，所述气缸的活塞杆与所述连杆铰接，所述连杆绕所述接头可转动；所述槽盖组件包括转轴和槽盖，所述转轴与所述气缸组件的所述连杆固定连接并同步转动，所述槽盖安装在所述转轴上并随所述转轴同步转动；其中，所述气缸的活塞杆处于伸出行程末端，所述槽盖关闭；所述气缸的活塞杆处于缩回行程末端，所述槽盖打开。

优选地，所述气缸组件还包括传感器，所述传感器安装在所述气缸上，用于检测所述气缸的活塞杆的伸缩位置。

优选地，所述气缸组件还包括上调速阀和下调速阀，所述上调速阀与所述气缸的上腔体连接，所述下调速阀与所述气缸的下腔体连接，以控制所述气缸的活塞杆的伸缩速度。

优选地，所述气缸为端锁气缸。

优选地，所述槽盖与所述气缸的联动方式被设置为：所述气缸的伸缩杆处于伸出行程末端，所述槽盖处于关闭状态；所述气缸的伸缩杆处于缩回行程末端，所述槽盖处于打开状态。

优选地，所述转轴包括后连接轴、主轴、前连接轴，所述槽盖组件还包括后轴座、前轴座，其中，所述主轴的前后两端分别与所述前连接轴和所述后连接轴连接以形成所述转轴，所述转轴两端分别穿过所述前轴座和所述后轴座，所述转轴在所述前轴座和所述后轴座中可转动，所述前连接轴与所述气缸的所述连杆连接，所述转轴被所述连杆带动以同步转动。

优选地，所述主轴的横截面为方形。

优选地，所述槽盖开关机构还包括电磁阀、上气管和下气管，所述电磁阀的一个工作口通过所述上气管与气缸的上腔体连接，另一个工作口通过所述下气管与气缸的下腔体连接。

优选地，所述固定板组件包括垫板、底座，所述槽盖开关机构还包括前垫块、后垫块，所述连杆和所述支架安装在所述垫板上，所述垫板与所述底座连接，所述垫板、所述前垫块和所述后垫块均设有孔，所述槽盖组件与所述垫板、所述前垫块和所述后垫块的孔配合连接，所述槽盖组件的一端穿过所述前垫块的孔及所述垫板的孔与所述气缸组件的所述连杆连接。

优选地，所述槽盖开关机构还包括调节块，所述调节块与所述垫板连接，用于调节所述气缸的位置。

本发明另一方面提出了一种槽式清洗机，包括湿区、干区、升降门、机械手、前安装板、后安装板和如上所述的槽盖开关机构，所述升降门隔离所述湿区和所述干区，所述机械手在所述槽式清洗机内传递物料，所述湿区设有清洗槽，所述前安装板位于所述清洗槽前方，所述后安装板位于所述清洗槽后方，两个对称布置的所述槽盖开关机构位于所述清洗槽左右两侧，其中，所述固定板组件安装在所述前安装板上，所述槽盖组件位于所述清洗槽上方，并且所述槽盖组件的两端分别与所述前安装板和所述后安装板连接。

本发明的有益效果在于：

1，通过连杆将气缸活塞杆的伸缩运动转换为槽盖组件的旋转运动，从而可通过合适的控制方式使槽盖稳定维持在打开/关闭的位状态，不回弹；

2，上述槽盖开关机构结构简单紧凑且实施成本低，也不影响现有槽式清洗机的整体结构。

附图说明

通过结合附图对本发明示例性实施例进行更详细的描述，本发明的上述以及其它目的、特征和优势将变得更加明显，其中，在本发明示例性实施例中，相同的附图标记通常代表相同部件。

图1显示根据本发明实施例的槽盖开关机构的结构示意图；

图2显示根据本发明实施例的气缸组件的结构示意图；

图3显示根据本发明实施例的槽盖组件的结构示意图；

图4显示根据本发明实施例的将气缸组件的直线运动转化为槽盖组件的转动运动的示意图；

图5显示根据本发明实施例的气缸组件的气动原理图；

图6显示根据本发明实施例的气缸组件的气动控制原理图；

图7显示根据本发明实施例的槽式清洗机的清洗槽和槽盖开关机构的结构示意图；

图8显示根据本发明实施例的槽式清洗机的槽盖开关机构的结构示意图；

图9显示根据本发明实施例的左槽盖打开示意图；

图10显示根据本发明实施例的右槽盖打开示意图；

图11显示根据本发明实施例的槽式清洗机的示意框图；

图12显示根据本发明实施例的槽盖开关机构和清洗槽的示意图。

附图标记说明：

1气缸组件，2垫板，3调节块，4底座，5前垫块，6左槽盖组件，7，后垫块；

11，连杆，12上传感器，13气缸，14下传感器，15支撑底座，16上调速阀，17下调速阀，18支架；

19后轴座，20后连接轴，21方钢管，22固定块，23前轴座，24前连接轴，25键，26左槽盖；

27上气管，28下气管，29电磁阀；

30销；

101清洗槽，202左槽盖开关机构，303右槽盖开关机构；

C1升降门，C2,机械手，C3前安装板，C4后安装板，C5槽盖开关机构，C6清洗槽，C7上料台，C8甩干机，C9下料台。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本发明。虽然附图中显示了本发明的优选实施例，然而应该理解，可以以各种形式实现本发明而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了使本发明更加透彻和完整，并且能够将本发明的范围完整地传达给本领域的技术人员。

本发明一方面提供一种槽盖开关机构，包括气缸组件、固定板组件、槽盖组件，其中：气缸组件包括连杆、气缸、支架，连杆和支架安装在固定板组件上，气缸底部与支架铰接并绕支架可转动，气缸的活塞杆与连杆铰接，连杆绕接头可转动；槽盖组件包括转轴和槽盖，转轴与气缸组件的连杆固定连接并同步转动，槽盖安装在转轴上并随转轴同步转动；其中，气缸的活塞杆处于伸出行程末端，槽盖关闭；气缸的活塞杆处于缩回行程末端，所述槽盖打开。

现有槽式清洗机的槽盖在打开位置无法长时间保持在期望的打开状态(例如竖直90°)，容易回弹，这会影响清洗机运行，甚至可能损毁器械。根据本发明的槽盖开关机构，通过连杆将气缸活塞杆的伸缩运动转换为槽盖组件的旋转运动，从而可通过合适的控制方式使槽盖稳定保持在位，无回弹。此外根据本发明的槽盖开关机构还具有结构简单紧凑以及实施成本低的优势。

根据本发明的槽盖开关机构可通过多种方式避免槽盖回弹：

根据本发明，气缸的伸缩杆处于伸出行程末端，槽盖处于关闭状态；气缸的伸缩杆处于缩回行程末端，槽盖处于打开状态，此时，无需使气缸管路一直通有压力气体，因为，当槽盖处于打开位/关闭位时，槽盖自身重力对转轴产生的扭矩方向与气缸运动使槽盖打开/关闭对转轴产生的扭矩方向一致，从而确保槽盖在处于打开位时不会回弹。

由于槽盖可凭借自身受力维持在位(打开/关闭)，而非通过气体压力来保持的，从而无需使气缸管路一直通有压力气体，所以器件使用寿命长，也易发现气体泄漏和管路问题。

在一个示例中，气缸为端锁气缸。端锁气缸的行程末端位置带有锁定装置。当气缸的伸缩杆处于行程末端(伸出/缩回)时，气缸无杆侧一端的锁定装置会将活塞杆卡住并锁定，从而确保槽盖维持在位(打开/关闭)，不会回弹。所以，当气缸为端锁气缸时，无需使气缸管路一直通有压力气体，也无需特别限定气缸与槽盖的联动方式，就可保持槽盖不回弹。端锁气缸的解锁通常并不需要额外的气路控制，当通气时，活塞杆不再被卡住，自动进入解锁状态。

在一个示例中，气缸组件还包括传感器，传感器安装在气缸上，用于检测气缸的活塞杆的伸缩位置。从而系统可精确判断出当前槽盖的开合状态和程度，以避免在槽盖未到位的情况下误操作而影响正常运行或碰损器械。例如，可以设置两个传感器，分别用于监测气缸的活塞杆是否到达伸出和缩回的行程末端。

在一个示例中，气缸组件还包括上调速阀和下调速阀，上调速阀与气缸的上腔体连接，下调速阀与所述气缸的下腔体连接，上调速阀和下调速阀用以控制气缸的活塞杆的伸缩速度。

在一个示例中，转轴包括后连接轴、主轴、前连接轴，槽盖组件还包括后轴座、前轴座，其中，主轴的前后两端分别与前连接轴和后连接轴连接以形成转轴，转轴两端分别穿过前轴座和后轴座，转轴在前轴座和后轴座中可转动，前连接轴与气缸的连杆连接，转轴被连杆带动以同步转动。

在一个示例中，主轴的横截面为方形。方形横截面的主轴更不易无故转动，从而确保槽盖维持在位，更不容易发生回弹。

在一个示例中，槽盖开关机构还包括电磁阀、上气管和下气管，电磁阀的一个工作口通过上气管与气缸的上腔体连接，另一个工作口通过下气管与气缸的下腔体连接。当气缸的上、下腔体上分别安装有上、下调速阀时，电磁阀的一个工作口可以通过上气管连接至上调速阀，另一个工作口可以通过下气管连接至下调速阀。

在一个示例中，固定板组件包括垫板、底座，槽盖开关机构还包括前垫块、后垫块，底座、连杆和支架安装在垫板上，垫板与底座连接，垫板、前垫块和后垫块均设有孔，槽盖组件与垫板、前垫块和后垫块的孔配合连接，槽盖组件的一端穿过前垫块的孔及垫板的孔与气缸组件的连杆连接。

在一个示例中，槽盖开关机构还包括调节块，调节块与垫板连接，用于调节气缸的位置。可以通过调节块微调气缸的位置以确保当气缸运行到行程末端时槽盖正好处于期望的位置，槽盖打开状态的期望位置可能是90°竖直状态，也可能是其他角度，这是根据实际需要确定的。

本发明另一方面还提供了一种槽式清洗机，包括湿区、干区、升降门、机械手、前安装板、后安装板和如上所述的槽盖开关机构，升降门隔离湿区和干区，机械手在槽式清洗机内传递物料，湿区设有清洗槽，前安装板位于清洗槽前方，后安装板位于清洗槽后方，两个对称布置的槽盖开关机构位于清洗槽左右两侧，其中，固定板组件安装在前安装板上，槽盖组件位于清洗槽上方，并且槽盖组件的两端分别与前安装板和后安装板连接。

实施例

图1显示根据本发明实施例的槽盖开关机构的结构示意图；图2显示根据本发明实施例的气缸组件的结构示意图；图3显示根据本发明实施例的槽盖组件的结构示意图；图4显示根据本发明实施例的将气缸组件的直线运动转化为槽盖组件的转动运动的示意图；图5显示根据本发明实施例的气缸组件的气动原理图；图6显示根据本发明实施例的气缸组件的气动控制原理图。

如图1至图6所示，根据本发明的槽盖开关机构包括气缸组件1、垫板2、调节块3、底座4、前垫块5、左槽盖组件6和后垫块7。底座4、前垫块5和后垫块7固定于设备上。左槽盖组件6与垫板2、底座4、前垫块5和后垫块7上的孔配合连接。垫板2与底座4通过螺钉连接。气缸组件1及调节块3通过螺钉和垫板2连接。

气缸组件1包括连杆11、上传感器12、气缸13、下传感器14、上调速阀16、下调速阀17和支架18。气缸13为单杆双作用气缸。气缸13的单耳环型底部与支架18铰接，可使气缸13绕支架18的轴转动。连杆11与气缸13的伸缩杆端的双肘节接头铰接，可使连杆11绕双肘节接头的轴转动。上调速阀16与气缸13的上腔体连接，下调速阀17与气缸13的下腔体连接，用以控制活塞杆伸出缩回速度。上传感器12、下传感器14通过钢带安装于气缸13上，用于检测活塞杆伸缩的位置，即伸出缩回到位情况。

气缸组件1的支架18与支撑底座15通过螺栓连接，支撑底座15与垫板2通过螺钉连接，使气缸组件1整体安装于垫板2上。

左槽盖组件6包括后轴座19、后连接轴20、方钢管21、固定块22、前轴座23、前连接轴24、键25和左槽盖26。具体地，前连接轴14、后连接轴20通过螺钉与方钢管21(即主轴)连接，形成一根转轴，该转轴能够在前轴座23、后轴座20中转动；同时左槽盖26通过4个固定块22固定在方钢管21上，并随其一起转动。前连接轴24与气缸组件1中的连杆11通过键25进行连接，将气缸组件1的直线运动传递并转化为左槽盖组件6的旋转运动，如图4所示。

该槽盖开关机构还包括上气管27、下气管28和电磁阀29。电磁阀29为双电控三位五通中封式电磁阀。电磁阀29通过上气管27与连接在气缸13上的上调速阀16连接，通过下气管28与连接在气缸13上的下调速阀27连接。具体地，电磁阀19的a端得电，气体经过上气管27和上调速阀16进入气缸13的上腔体内，带动气缸13的活塞杆缩回，并将气缸13的下腔体内的气体通过下调速阀17经由下气管28到电磁阀29的排气口排出。相应地，电磁阀19的b端得电，气体经过下气管28和上调速阀17进入气缸13的下腔体内，带动气缸13的活塞杆伸出，并将气缸13的上腔体内的气体通过上调速阀16经由上气管27到电磁阀29的排气口排出。

左槽盖26与气缸13的联动方式被设置为：气缸13的伸缩杆处于伸出行程末端，左槽盖26处于关闭状态；气缸13的伸缩杆处于缩回行程末端，左槽盖26处于打开状态。

电磁阀的控制方式为：电磁阀得电—管路通气—槽盖到位—电磁阀失电。

本实施例中，气体压力只在槽盖运动过程中起推动作用，槽盖在位(打开或关闭)并不通过气体压力作用保持，而是通过自身重力维持在位。具体地，当槽盖在位时，槽盖自身重力对主轴产生的扭矩方向与气缸运动使槽盖打开/关闭对主轴产生的扭矩方向一致，从而确保槽盖在位时不会回弹。而由于气缸的活塞杆的行程限定，当活塞杆处于行程末端时，活塞杆无法再向该行程方向移动，从而使整体受力平衡。

在另一个实施例中，气缸也可采用端锁气缸。如果采用端锁气缸，则不需限定槽盖与气缸的联动方式，即无论使伸缩杆处于伸出行程末端对应槽盖打开状态，或使伸缩杆处于缩回行程末端对应槽盖打开状态，都可采用电磁阀得电—管路通气—槽盖到位—电磁阀失电的电磁阀控制方式。

当然，上述各种实施例中，都可采用电磁阀一直得电的控制方式。

图7显示根据本发明实施例的槽式清洗机的清洗槽和槽盖开关机构的示意图。如图所示，根据本发明实施例的槽式清洗机包括槽盖开关机构202和303，左槽盖开关机构202位于清洗槽101左侧，右槽盖开关机构303位于清洗槽101右侧。槽盖水平为关闭位，槽盖竖直为打开位，运动角度90°。

图8显示根据本发明实施例的清洗槽两侧的槽盖开关机构的示意图，其中左槽盖202处于打开状态，右槽盖303处于关闭状态，图中箭头还示出了等电磁阀再次得电后左槽盖202和右槽盖303的运动趋势。

图9显示根据本发明实施例的左槽盖打开示意图。图9中，左槽盖处于打开位，如箭头所示，其自身重力对主轴产生的扭矩方向为逆时针方向，处于缩回行程末端的气缸运动对主轴产生的扭矩方向也为逆时针方向。

图10显示根据本发明实施例的右槽盖打开示意图。图10中，右槽盖处于关闭位，如箭头所示，其自身重力对主轴产生的扭矩方向为逆时针方向，处于伸出行程末端的气缸运动对主轴产生的扭矩方向也为逆时针方向。

图11显示根据本发明实施例的槽式清洗机的结构示意图，其中，当前伸入机械手的清洁槽的槽盖开关机构为打开状态，其他清洁槽的槽盖开关机构为关闭状态。图12显示根据本发明实施例的槽盖开关机构和清洗槽的示意图，图12中仅示出左槽盖开关机构作为示意，未示出与左槽盖开关机构对称设置的右槽盖开关机构。如图所示，该槽式清洗机包括湿区、干区、升降门C1、机械手C2、前安装板C3、后安装板C4和如上所述的槽盖开关机构C5。升降门C1隔离湿区和干区。机械手C2在槽式清洗机内传递物料。湿区设有清洗槽C6，前安装板C3位于清洗槽C6前方，后安装板C4位于清洗槽C6后方。左槽盖开关机构C5和右槽盖开关机构C5位于清洗槽C6左右两侧，其中，固定板组件安装在前安装板C3上，槽盖组件位于清洗槽上方，并且槽盖组件的两端分别与前安装板C3和后安装板C4连接。槽式清洗机还包括上料位C7、甩干机C8和下料位C9等部件，为使本申请描述简要，在此不再一一展开。

以上已经描述了本发明的各实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的各实施例。在不偏离所说明的各实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。

Claims (10)

1.一种槽盖开关机构，其特征在于，包括气缸组件、固定板组件、槽盖组件，其中：

所述气缸组件包括连杆、气缸、支架，所述连杆和所述支架安装在所述固定板组件上，所述气缸底部与所述支架铰接并绕所述支架可转动，所述气缸的活塞杆与所述连杆铰接，所述连杆绕所述接头可转动；

所述槽盖组件包括转轴和槽盖，所述转轴与所述气缸组件的所述连杆固定连接并同步转动，所述槽盖安装在所述转轴上并随所述转轴同步转动；

其中，所述气缸的活塞杆处于伸出行程末端，所述槽盖关闭；所述气缸的活塞杆处于缩回行程末端，所述槽盖打开。

2.根据权利要求1所述的槽盖开关机构，其特征在于，所述气缸组件还包括传感器，所述传感器安装在所述气缸上，用于检测所述气缸的活塞杆的伸缩位置。

3.根据权利要求1所述的槽盖开关机构，其特征在于，所述气缸组件还包括上调速阀和下调速阀，所述上调速阀与所述气缸的上腔体连接，所述下调速阀与所述气缸的下腔体连接，以控制所述气缸的活塞杆的伸缩速度。

4.根据权利要求1所述的槽盖开关机构，其特征在于，所述气缸为端锁气缸。

5.根据权利要求1所述的槽盖开关机构，其特征在于，所述转轴包括后连接轴、主轴、前连接轴，所述槽盖组件还包括后轴座、前轴座，其中，所述主轴的前后两端分别与所述前连接轴和所述后连接轴连接以形成所述转轴，所述转轴两端分别穿过所述前轴座和所述后轴座，所述转轴在所述前轴座和所述后轴座中可转动，所述前连接轴与所述气缸的所述连杆连接，所述转轴被所述连杆带动以同步转动。

6.根据权利要求5所述的槽盖开关机构，其特征在于，所述主轴的横截面为方形。

7.根据权利要求1所述的槽盖开关机构，其特征在于，所述槽盖开关机构还包括电磁阀、上气管和下气管，所述电磁阀的一个工作口通过所述上气管与气缸的上腔体连接，另一个工作口通过所述下气管与气缸的下腔体连接。

8.根据权利要求1所述的槽盖开关机构，其特征在于，所述固定板组件包括垫板、底座，所述槽盖开关机构还包括前垫块、后垫块，所述连杆和所述支架安装在所述垫板上，所述垫板与所述底座连接，所述垫板、所述前垫块和所述后垫块均设有孔，所述槽盖组件与所述垫板、所述前垫块和所述后垫块的孔配合连接，所述槽盖组件的一端穿过所述前垫块的孔及所述垫板的孔与所述气缸组件的所述连杆连接。

9.根据权利要求1所述的槽盖开关机构，其特征在于，所述槽盖开关机构还包括调节块，所述调节块与所述垫板连接，用于调节所述气缸的位置。

10.一种槽式清洗机，其特征在于，包括湿区、干区、升降门、机械手、前安装板、后安装板和根据权利要求1-9中任意一者所述的槽盖开关机构，所述升降门隔离所述湿区和所述干区，所述机械手在所述槽式清洗机内传递物料，所述湿区设有清洗槽，所述前安装板位于所述清洗槽前方，所述后安装板位于所述清洗槽后方，两个对称布置的所述槽盖开关机构位于所述清洗槽左右两侧，其中，所述固定板组件安装在所述前安装板上，所述槽盖组件位于所述清洗槽上方，并且所述槽盖组件的两端分别与所述前安装板和所述后安装板连接。

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