CN207533613U - 全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置，属于半导体制造、太阳能电池制造及液晶制造领域。该装置包括气动机构、齿轮传动机构和连杆传动机构，所述齿轮传动机构用于固定连接第一自动槽盖的第一转轴，与第一自动槽盖相对应的第二自动槽盖的第二转轴通过所述连杆传动机构与齿轮传动机构连接，所述齿轮传动机构通过气动机构驱动带动第一转轴和连杆传动机构使第一自动槽盖和第二自动槽盖同时开启和关闭。本实用新型能够提高全自动设备使用的安全性和运行的稳定性。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体制造、太阳能电池制造及液晶制造技术领域，特别是指一种全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置。
背景技术
随着半导体器件关键尺寸的不断变化及新材料的引入，在半导体器件的制造过程中，对半导体基板表面的洁净度要求越来越苛刻，同时，既要满足基板清洗效果的同时又要提升清洗效率。
目前基板清洗仍是以湿式清洗为主，湿式清洗通常分为槽式清洗和单片清洗两种方式。槽式清洗在功能方面又分为手动清洗和全自动清洗，全自动清洗在无人工干预的同时，按照既定程序完成若干基板的清洗，具有很高的清洗效率。在全自动清洗过程中，为了保证基板在清洗过程中不被外界污染，药液槽体会配有自动槽盖，根据自动工艺，槽盖需要灵活开启和关闭，以保证全自动运行的稳定性。
对于先有的药液槽体上有两个或两个以上的自动槽盖，发明人在研究过程中发现，当需要开启和关闭所有的自动槽盖时，由于每个自动槽盖都是由单独的机构控制其自动开启和关闭，不同的自动槽盖在开启和关闭会存在一定的时间差，由此降低了药液使用的安全性和设备运行的稳定性。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够提高全自动设备使用的安全性和运行的稳定性的全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置。
为解决上述技术问题，本实用新型提供技术方案如下：
一种全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置，包括气动机构、齿轮传动机构和连杆传动机构，所述齿轮传动机构用于固定连接第一自动槽盖的第一转轴，与第一自动槽盖相对应的第二自动槽盖的第二转轴通过所述连杆传动机构与齿轮传动机构连接，所述齿轮传动机构通过气动机构驱动带动第一转轴和连杆传动机构使第一自动槽盖和第二自动槽盖同时开启和关闭。
进一步的，所述气动机构包括支座、与所述支座铰接连接的气缸以及与所述气缸的活塞杆的端部固定连接的气缸接头，所述气缸接头的端部转动连接有用于与所述齿轮传动机构固定连接的第一连杆。
进一步的，所述齿轮传动机构包括第一齿轮和与所述第一齿轮外啮合的第二齿轮，所述第一连杆和第一自动槽盖的第一转轴均与第一齿轮固定连接。
进一步的，所述连杆传动机构包括相互固定连接的第二连杆、中间连杆和第三连杆，所述第二连杆的末端转动连接有与所述第二齿轮固定连接的第四连杆，所述第三连杆的末端转动连接有与第二自动槽盖的第二转轴固定连接的第五连杆，所述连杆传动机构的中心线与所述第一自动槽盖的第一转轴和第二自动槽盖的第二转轴的轴线垂直。
进一步的，所述气缸为配有磁环的双作用气缸，所述气缸的外部设置有磁性开关。
进一步的，所述第一自动槽盖的第一转轴的外表面和所述第二自动槽盖的第二转轴的外表面均做防腐处理或者所述第一转轴和第二转轴采用耐腐蚀材料制成。
进一步的，所述第一自动槽盖的第一转轴和所述第二自动槽盖的第二转轴采用不锈钢或PEEK材料制成。
与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：
本实用新型的全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置通过齿轮传动机构和连杆传动机构将药液槽体上相对应的第一自动槽盖的第一转轴和第二自动槽盖的第二转轴连接，使得第一转轴和第二转轴同时联动，其中第一转轴和第二转轴分别带动第一自动槽盖和第二自动槽盖开启和关闭。齿轮传动机构在气动机构的驱动下能够带动第一转轴和连杆传动机构使第一转轴和第二转轴同时反方向转动，由此带动药液槽体上相对应的第一自动槽盖和第二自动槽盖的同时开启和关闭，实现了第一自动槽盖和第二自动槽盖的联动开启和关闭，由此减少了第一自动槽盖和第二自动槽盖开启和关闭的时间差，进而提高了全自动设备在使用过程中的安全性和稳定性。
附图说明
图1为本实用新型的全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置的结构示意图；
图2为本实用新型的全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置的三维结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
本实用新型提供一种全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置，如图1和图2所示，包括气动机构1、齿轮传动机构3和连杆传动机构5，齿轮传动机构用于固定连接第一自动槽盖7的第一转轴7-1，与第一自动槽盖7相对应的第二自动槽盖8的第二转轴8-1通过连杆传动机构5与齿轮传动机构3连接，齿轮传动机构3通过气动机构1驱动带动第一转轴7-1和连杆传动机构5使第一自动槽盖7和第二自动槽盖8同时开启和关闭。
本实用新型的全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置通过齿轮传动机构3和连杆传动机构5将药液槽体上相对应的第一自动槽盖7的第一转轴7-1和第二自动槽盖8的第二转轴8-1连接，使得第一转轴7-1和第二转轴8-1同时联动，其中第一转轴7-1和第二转轴8-1分别带动第一自动槽盖7和第二自动槽盖8开启和关闭。齿轮传动机构3在气动机构1的驱动下能够带动第一转轴7-1和连杆传动机构5使第一转轴7-1和第二转轴8-1同时反方向转动，由此带动药液槽体上相对应的第一自动槽盖7和第二自动槽盖8的同时开启和关闭，实现了第一自动槽盖7和第二自动槽盖8的联动开启和关闭，由此减少了第一自动槽盖7和第二自动槽盖8开启和关闭的时间差，进而提高了全自动设备在使用过程中的安全性和稳定性。
本实用新型实施例中，气动机构1优选包括支座1-1、与支座1-1铰接连接的气缸1-2以及与气缸1-2的活塞杆的端部固定连接的气缸接头1-3，气缸接头1-3的端部转动连接有用于与齿轮传动机构3固定连接的第一连杆2。支座1-1可以固定在全自动设备上相应的位置，以使气动机构1更加方便地与药液槽体的自动槽盖连接。由于气动机构1需将气缸1-2的直线伸缩运动通过第一连杆2转化为齿轮传动机构3的转动运动，气动机构1在安装调试以及气缸1-2在后续工作过程中不可避免的需调节气缸1-2相对于齿轮传动机构3的角度，因此，将气缸1-2与支座1-1之间的连接设计为铰接连接可以更加方便灵活地调整气缸1-2的角度，保证气缸1-2在做直线伸缩运动时开启关闭第一自动槽盖7和第二自动槽盖8时两自动槽盖旋转的稳定性。
优选的，齿轮传动机构3可以包括第一齿轮3-1和与第一齿轮3-1外啮合的第二齿轮3-2，第一连杆2和第一自动槽盖7的第一转轴7-1-均与第一齿轮3-1固定连接。第一连杆2通过与气缸接头1-3的转动连接以及与第一齿轮3-1的固定连接，能够使气缸1-2在直线伸缩运动时带动第一齿轮3-1顺时针或逆时针转动，第一齿轮3-1由此带动第一转轴7-1同时转动。并且由于第一齿轮3-1与第二齿轮3-2进行外啮合，第二齿轮3-2则与第一齿轮3-1做反方向的转动，之后连杆传动机构4在第二齿轮3-2的带动下使第二转轴8-1做与第一转轴7-1反方向的转动，由此使得第一自动槽盖7和第二自动槽盖8同时开启和关闭。
具体的，连杆传动机构5优选包括相互固定连接的第二连杆5-1、中间连杆5-2和第三连杆5-3，第二连杆5-1的末端转动连接有与第二齿轮3-2固定连接的第四连杆4，第三连杆5-3的末端转动连接有与第二自动槽盖8的第二转轴8-1固定连接的第五连杆6，连杆传动机构5的中心线与第一自动槽盖7的第一转轴7-1和第二自动槽盖8的第二转轴8-1的轴线垂直。
进一步的，气缸1-2优选为配有磁环的双作用气缸，并且气缸1-2的外部设置有磁性开关。磁性开关与磁环相配合用于感应气缸1-2活塞的位置，可严格控制气缸1-2的行程，保证第一自动槽盖7和第二自动槽盖8的开启角度。
此外，为了保证第一自动槽盖7的第一转轴7-1和第二自动槽盖8的第二转轴8-1强度的同时能够防止其受到化学药液的腐蚀，延长其使用寿命，第一自动槽盖7的第一转轴7-1的外表面和第二自动槽盖8的第二转轴8-1可以采用具有一定耐腐蚀性、强度和刚度的材料制成，如不锈钢、PEEK(聚醚醚酮)等，当第一转轴7-1和第二转轴8-1采用不锈钢制成时，还可以在第一转轴7-1和第二转轴8-1的外表面做防腐处理。
以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (7)
1.一种全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置，其特征在于，包括气动机构、齿轮传动机构和连杆传动机构，所述齿轮传动机构用于固定连接第一自动槽盖的第一转轴，与第一自动槽盖相对应的第二自动槽盖的第二转轴通过所述连杆传动机构与齿轮传动机构连接，所述齿轮传动机构通过气动机构驱动带动第一转轴和连杆传动机构使第一自动槽盖和第二自动槽盖同时开启和关闭。
2.根据权利要求1所述的全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置，其特征在于，所述气动机构包括支座、与所述支座铰接连接的气缸以及与所述气缸的活塞杆的端部固定连接的气缸接头，所述气缸接头的端部转动连接有用于与所述齿轮传动机构固定连接的第一连杆。
3.根据权利要求2所述的全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置，其特征在于，所述齿轮传动机构包括第一齿轮和与所述第一齿轮外啮合的第二齿轮，所述第一连杆和第一自动槽盖的第一转轴均与第一齿轮固定连接。
4.根据权利要求3所述的全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置，其特征在于，所述连杆传动机构包括相互固定连接的第二连杆、中间连杆和第三连杆，所述第二连杆的末端转动连接有与所述第二齿轮固定连接的第四连杆，所述第三连杆的末端转动连接有与第二自动槽盖的第二转轴固定连接的第五连杆，所述连杆传动机构的中心线与所述第一自动槽盖的第一转轴和第二自动槽盖的第二转轴的轴线垂直。
5.根据权利要求2至4中任一所述的全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置，其特征在于，所述气缸为配有磁环的双作用气缸，所述气缸的外部设置有磁性开关。
6.根据权利要求5所述的全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置，其特征在于，所述第一自动槽盖的第一转轴的外表面和所述第二自动槽盖的第二转轴的外表面均做防腐处理或者所述第一转轴和第二转轴采用耐腐蚀材料制成。
7.根据权利要求6所述的全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置，其特征在于，所述第一自动槽盖的第一转轴和第二自动槽盖的第二转轴采用不锈钢或PEEK材料制成。
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