CN109979860B - 槽体自动开关盖机构及其工作方式 - Google Patents

Abstract

本发明公开了槽体自动开关盖机构及其工作方式，包括第一侧板及其平行设置的第二侧板，所述第一侧板和第二侧板之间对称转动连接有两个第一盖板，所述第一侧板背离第二侧板的外侧面对应两个第一盖板转轴所在位置处对称设置的两个连接架，两个所述连接架均与对应的气缸保护架焊接，所述气缸保护架的内部固定有旋转气缸。本发明中，通过旋转气缸带动第一盖板及其转动连接的第二盖板实现对槽体端口的封挡，开启和关闭占据的空间小，便于工人操作；过橡胶带顶面的卡条与卡槽卡合，实现第一盖板和第二盖板之间的密封，通过第二橡胶条和第三橡胶条的贴靠，实现第一盖板和第二盖板底面与档条顶面之间的密封，保证槽体端口的密封性。

Description

槽体自动开关盖机构及其工作方式

技术领域

本发明涉及半导体湿式制程设备配件技术领域，具体涉及槽体自动开关盖机构及其工作方式。

背景技术

当下各湿式制程设备开关盖方式尚不完善，且由于所允许安装空间狭小、端盖开启角度和紧密性要求等因素，故许多开关盖方式尚不能满足所需。由于传统开关盖机构大部分运用人工、拉伸气缸和连杆来实现端盖的开关运动，受到重力、拉伸气缸和连杆机构本身的限制性，不仅给工人操作带来不便，且使端盖开启角度和紧密性受到极大约束。

发明内容

为了克服上述的技术问题，本发明的目的在于提供槽体自动开关盖机构及其工作方式，通过旋转气缸带动第一盖板及其转动连接的第二盖板实现对槽体端口的封挡，开启和关闭占据的空间小，便于工人操作；过橡胶带顶面的卡条与卡槽卡合，实现第一盖板和第二盖板之间的密封，通过第二橡胶条和第三橡胶条的贴靠，实现第一盖板和第二盖板底面与档条顶面之间的密封，保证槽体端口的密封性。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

槽体自动开关盖机构，包括第一侧板及其平行设置的第二侧板，所述第一侧板和第二侧板之间对称转动连接有两个第一盖板，所述第一侧板背离第二侧板的外侧面对应两个第一盖板转轴所在位置处对称设置的两个连接架，两个所述连接架均与对应的气缸保护架焊接，所述气缸保护架的内部固定有旋转气缸，所述旋转气缸通过旋转轴与对应位置的第一盖板传动连接；

所述第一侧板和第二侧板二者的相对面位于第一盖板转轴处的下部焊接有延伸至第一侧板和第二侧板两侧的档条，所述第一侧板和第二侧板的相对面位于档条的上部均对称开设有两个弧形引导槽，所述第一盖板远离转轴的端部底面通过铰链与第二盖板转动连接，所述第二盖板由固定盖板以及端部滑动连接的活动盖板组成，所述固定盖板的两外侧壁焊接有延伸至弧形引导槽内的轮轴，所述轮轴的外壁转动套接有与弧形引导槽内壁贴靠的滚轮，所述固定盖板相对活动盖板的侧面等距开设有四个滑杆槽，所述活动盖板的截面为L型，所述活动盖板相对四个滑杆槽的端面对应四个滑杆槽的所在位置焊接有插杆，所述插杆的外壁套接有连接活动盖板和固定盖板的拉伸弹簧，所述活动盖板相对四个滑杆槽的端面内部等距嵌入安装有三个磁铁片，所述活动盖板背离三个磁铁片的端面粘附固定有第一橡胶条；

所述第一盖板和第二盖板的底面之间连接有橡胶带，所述第一盖板和第二盖板的底面对应橡胶带侧边位置开设有卡槽，所述橡胶带的顶面对应卡槽所在位置处设置有卡条。

进一步在于：所述档条的表面粘附固定有第二橡胶条，所述第一盖板和第二盖板的底面对应第二橡胶条所在位置处粘附固定有第三橡胶条。

进一步在于：两个所述活动盖板相对面内嵌入安装的磁铁片相吸，并且两个活动盖板相对面粘附的两个第一橡胶条表面开设有相互卡合的沟槽。

进一步在于：所述弧形引导槽的内宽大于滚轮的外径。

进一步在于：所述活动盖板的底宽大于活动盖板的位移距离。

进一步在于：所述第一盖板的旋转角度为0-90°。

进一步在于：所述橡胶带的宽度小于第二盖板上橡胶带连接处与第一盖板铰接处之间距离与第一盖板上橡胶带连接处与第二盖板铰接处之间距离之和3-5mm。

槽体自动开关盖机构的工作方式,该开关盖机构的具体使用步骤为：

步骤一：将开关盖机构通过螺栓与半导体湿式制程设备的槽体端口进行连接，在第一侧板的外侧，介于第一侧板和第二侧板之间通过档条固定挡板，并在挡板的上部固定与第一盖板搭接的橡胶压条；

步骤二：将外接的供气装置通过气管与两个旋转气缸各自的两个进气嘴进行连接；

步骤三：控制开关盖机构关盖时，外接的供气装置通过气管向旋转气缸一端供气，控制旋转气缸带动旋转轴旋转，旋转的旋转轴带动第一盖板向内进行翻转，由于第一盖板和第二盖板之间通过铰链转动连接，并且第二盖板的侧壁设置有与弧形引导槽滑动连接的滚轮，在滚轮的引导作用下，第二盖板沿着弧形引导槽移动，当第二盖板的顶面趋于重合时，两个第二盖板端部活动盖板内的磁铁片相互吸引，使得两个活动盖板之间相向移动，完成两个第二盖板之间的拼接，同时第一盖板和第二盖板，顶面处于重合时，第一盖板和第二盖板底面下部的第二橡胶条和第三橡胶条之间实现密封，并且挡板上的橡胶压条对第一盖板连接处实现搭接；

步骤四：控制开关盖机构开盖时，外接的供气装置通过气管向旋转气缸另一端供气，控制旋转气缸带动旋转轴反向旋转，反向旋转的旋转轴带动第一盖板向外进行翻转，此时两个第二盖板之间相互背离，第二盖板端部活动盖板内的磁铁片逐渐分离，并且在拉伸弹簧的作用下，恢复至初始位置，然后随着第一盖板的逐渐翻转，第二盖板通过滚轮沿着弧形引导槽移动，并且第二盖板向第一盖板靠拢，从而将半导体湿式制程设备的槽体端口打开。

本发明的有益效果：

1、在第一侧板和第二侧板的相对面均对称开设有两个弧形引导槽，在第一侧板和第二侧板之间对称转动连接有两个第一盖板，利用旋转气缸带动第一盖板旋转，在第一盖板远离转轴的端部底面通过铰链与第二盖板转动连接，第二盖板的固定盖板两外侧壁焊接有延伸至弧形引导槽内的轮轴，并且轮轴的外壁转动套接有与弧形引导槽内壁贴靠的滚轮，该种结构，通过旋转气缸带动第一盖板及其转动连接的第二盖板实现对槽体端口的封挡，开启和关闭占据的空间小，便于工人操作；

2、在第一盖板和第二盖板的底面之间连接有橡胶带，在第一盖板和第二盖板的底面对应橡胶带侧边位置开设有卡槽，橡胶带的顶面对应卡槽所在位置处设置有卡条，而在档条的表面粘附固定有第二橡胶条，第一盖板和第二盖板的底面对应第二橡胶条所在位置处粘附固定有第三橡胶条，两个活动盖板相对面内嵌入安装的磁铁片相吸，并且两个活动盖板相对面粘附的两个第一橡胶条表面开设有相互卡合的沟槽，该种结构，通过橡胶带顶面的卡条与卡槽卡合，实现第一盖板和第二盖板之间的密封，通过第二橡胶条和第三橡胶条的贴靠，实现第一盖板和第二盖板底面与档条顶面之间的密封，保证槽体端口的密封性。

附图说明

下面结合附图对本发明作进一步的说明。

图1是本发明开关盖机构的结构示意图；

图2是本发明中开关盖机构的另一视角的结构示意图；

图3是本发明中第二盖板的爆炸图；

图4是本发明中活动盖板的结构示意图；

图5是本发明中第一盖板和第二盖板连接结构示意图。

图中：1、连接架；2、旋转气缸；3、气缸保护架；4、第一侧板；5、第一盖板；6、第二盖板；61、固定盖板；611、轮轴；612、滚轮；613、滑杆槽；62、活动盖板；621、插杆；622、磁铁片；623、第一橡胶条；63、拉伸弹簧；7、弧形引导槽；8、第二侧板；9、第二橡胶条；10、档条；11、旋转轴；12、第三橡胶条；13、橡胶带；131、卡条；14、卡槽；15、铰链。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

请参阅图1-3所示，槽体自动开关盖机构，包括第一侧板4及其平行设置的第二侧板8，第一侧板4和第二侧板8之间对称转动连接有两个第一盖板5，第一盖板5的旋转角度为0-90°，这样能够实现对槽体端口的开启和关闭，第一侧板4背离第二侧板8的外侧面对应两个第一盖板5转轴所在位置处对称设置的两个连接架1，两个连接架1均与对应的气缸保护架3焊接，气缸保护架3的内部固定有旋转气缸2，旋转气缸2通过旋转轴11与对应位置的第一盖板5传动连接；

第一侧板4和第二侧板8二者的相对面位于第一盖板5转轴处的下部焊接有延伸至第一侧板4和第二侧板8两侧的档条10，第一侧板4和第二侧板8的相对面位于档条10的上部均对称开设有两个弧形引导槽7，第一盖板5远离转轴的端部底面通过铰链15与第二盖板6转动连接，第二盖板6由固定盖板61以及端部滑动连接的活动盖板62组成，固定盖板61的两外侧壁焊接有延伸至弧形引导槽7内的轮轴611，轮轴611的外壁转动套接有与弧形引导槽7内壁贴靠的滚轮612，弧形引导槽7的内宽大于滚轮612的外径，这样滚轮612能够在弧形引导槽7内滑动。

实施例2

请参阅图3-5所示，固定盖板61相对活动盖板62的侧面等距开设有四个滑杆槽613，活动盖板62的截面为L型，活动盖板62相对四个滑杆槽613的端面对应四个滑杆槽613的所在位置焊接有插杆621，插杆621的外壁套接有连接活动盖板62和固定盖板61的拉伸弹簧63，活动盖板62相对四个滑杆槽613的端面内部等距嵌入安装有三个磁铁片622，活动盖板62背离三个磁铁片622的端面粘附固定有第一橡胶条623，活动盖板62的底宽大于活动盖板62的位移距离；

第一盖板5和第二盖板6的底面之间连接有橡胶带13，第一盖板5和第二盖板6的底面对应橡胶带13侧边位置开设有卡槽14，橡胶带13的顶面对应卡槽14所在位置处设置有卡条131，橡胶带13的宽度小于第二盖板6上橡胶带13连接处与第一盖板5铰接处之间距离与第一盖板5上橡胶带13连接处与第二盖板6铰接处之间距离之和3-5mm，这样当第一盖板5和第二盖板6处于绷直状态时，能够拉紧橡胶带13实现对第一盖板5和第二盖板6之间的间隙实现密封遮挡，档条10的表面粘附固定有第二橡胶条9，第一盖板5和第二盖板6的底面对应第二橡胶条9所在位置处粘附固定有第三橡胶条12，两个活动盖板62相对面内嵌入安装的磁铁片622相吸，这样当两个活动盖板62相互靠近时，在磁铁片622的吸力作用下，将两个活动盖板62拼接成一体，并且两个活动盖板62相对面粘附的两个第一橡胶条623表面开设有相互卡合的沟槽，这样当两个活动盖62相互贴靠时，通过相互卡合的沟槽增加二者的密封性。

本发明的有益效果：

1、在第一侧板4和第二侧板8的相对面均对称开设有两个弧形引导槽7，在第一侧板4和第二侧板8之间对称转动连接有两个第一盖板5，利用旋转气缸2带动第一盖板5旋转，在第一盖板5远离转轴的端部底面通过铰链15与第二盖板6转动连接，第二盖板6的固定盖板61两外侧壁焊接有延伸至弧形引导槽7内的轮轴611，并且轮轴611的外壁转动套接有与弧形引导槽7内壁贴靠的滚轮612，该种结构，通过旋转气缸2带动第一盖板5及其转动连接的第二盖板6实现对槽体端口的封挡，开启和关闭占据的空间小，便于工人操作；

2、在第一盖板5和第二盖板6的底面之间连接有橡胶带13，在第一盖板5和第二盖板6的底面对应橡胶带13侧边位置开设有卡槽14，橡胶带13的顶面对应卡槽14所在位置处设置有卡条131，而在档条10的表面粘附固定有第二橡胶条9，第一盖板5和第二盖板6的底面对应第二橡胶条9所在位置处粘附固定有第三橡胶条12，两个活动盖板62相对面内嵌入安装的磁铁片622相吸，并且两个活动盖板62相对面粘附的两个第一橡胶条623表面开设有相互卡合的沟槽，该种结构，通过橡胶带13顶面的卡条131与卡槽14卡合，实现第一盖板5和第二盖板6之间的密封，通过第二橡胶条9和第三橡胶条12的贴靠，实现第一盖板5和第二盖板6底面与档条10顶面之间的密封，保证槽体端口的密封性。

工作原理：使用时，将开关盖机构通过螺栓与半导体湿式制程设备的槽体端口进行连接，在第一侧板4的外侧，介于第一侧板4和第二侧板8之间通过档条10固定挡板，并在挡板的上部固定与第一盖板5搭接的橡胶压条，然后将外接的供气装置通过气管与两个旋转气缸2各自的两个进气嘴进行连接，控制开关盖机构关盖时，外接的供气装置通过气管向旋转气缸2一端供气，控制旋转气缸2带动旋转轴11旋转，旋转的旋转轴11带动第一盖板5向内进行翻转，由于第一盖板5和第二盖板6之间通过铰链15转动连接，并且第二盖板6的侧壁设置有与弧形引导槽7滑动连接的滚轮612，在滚轮612的引导作用下，第二盖板6沿着弧形引导槽7移动，当第二盖板6的顶面趋于重合时，两个第二盖板6端部活动盖板62内的磁铁片622相互吸引，使得两个活动盖板62之间相向移动，完成两个第二盖板6之间的拼接，同时第一盖板5和第二盖板6，顶面处于重合时，第一盖板5和第二盖板6底面下部的第二橡胶条9和第三橡胶条12之间实现密封，并且挡板上的橡胶压条对第一盖板5连接处实现搭接；控制开关盖机构开盖时，外接的供气装置通过气管向旋转气缸2另一端供气，控制旋转气缸2带动旋转轴11反向旋转，反向旋转的旋转轴11带动第一盖板5向外进行翻转，此时两个第二盖板6之间相互背离，第二盖板6端部活动盖板62内的磁铁片622逐渐分离，并且在拉伸弹簧63的作用下，恢复至初始位置，然后随着第一盖板5的逐渐翻转，第二盖板6通过滚轮612沿着弧形引导槽7移动，并且第二盖板6向第一盖板5靠拢，从而将半导体湿式制程设备的槽体端口打开。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上内容仅仅是对本发明所作的举例和说明，所属本技术领域的技术人员对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离发明或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本发明的保护范围。

Claims (6)

1.槽体自动开关盖机构，其特征在于，包括第一侧板（4）及其平行设置的第二侧板（8），所述第一侧板（4）和第二侧板（8）之间对称转动连接有两个第一盖板（5），所述第一侧板（4）背离第二侧板（8）的外侧面对应两个第一盖板（5）转轴所在位置处对称设置的两个连接架（1），两个所述连接架（1）均与对应的气缸保护架（3）焊接，所述气缸保护架（3）的内部固定有旋转气缸（2），所述旋转气缸（2）通过旋转轴（11）与对应位置的第一盖板（5）传动连接；

所述第一侧板（4）和第二侧板（8）二者的相对面位于第一盖板（5）转轴处的下部焊接有延伸至第一侧板（4）和第二侧板（8）两侧的档条（10），所述第一侧板（4）和第二侧板（8）的相对面位于档条（10）的上部均对称开设有两个弧形引导槽（7），所述第一盖板（5）远离转轴的端部底面通过铰链（15）与第二盖板（6）转动连接，所述第二盖板（6）由固定盖板（61）以及端部滑动连接的活动盖板（62）组成，所述固定盖板（61）的两外侧壁焊接有延伸至弧形引导槽（7）内的轮轴（611），所述轮轴（611）的外壁转动套接有与弧形引导槽（7）内壁贴靠的滚轮（612），所述固定盖板（61）相对活动盖板（62）的侧面等距开设有四个滑杆槽（613），所述活动盖板（62）的截面为L型，所述活动盖板（62）相对四个滑杆槽（613）的端面对应四个滑杆槽（613）的所在位置焊接有插杆（621），所述插杆（621）的外壁套接有连接活动盖板（62）和固定盖板（61）的拉伸弹簧（63），所述活动盖板（62）相对四个滑杆槽（613）的端面内部等距嵌入安装有三个磁铁片（622），所述活动盖板（62）背离三个磁铁片（622）的端面粘附固定有第一橡胶条（623）；

所述第一盖板（5）和第二盖板（6）的底面之间连接有橡胶带（13），所述第一盖板（5）和第二盖板（6）的底面对应橡胶带（13）侧边位置开设有卡槽（14），所述橡胶带（13）的顶面对应卡槽（14）所在位置处设置有卡条（131）；

所述档条（10）的表面粘附固定有第二橡胶条（9），所述第一盖板（5）和第二盖板（6）的底面对应第二橡胶条（9）所在位置处粘附固定有第三橡胶条（12）；

两个所述活动盖板（62）相对面内嵌入安装的磁铁片（622）相吸，并且两个活动盖板（62）相对面粘附的两个第一橡胶条（623）表面开设有相互卡合的沟槽。

2.根据权利要求1所述的槽体自动开关盖机构,其特征在于，所述弧形引导槽（7）的内宽大于滚轮（612）的外径。

3.根据权利要求1所述的槽体自动开关盖机构,其特征在于，所述活动盖板（62）的底宽大于活动盖板（62）的位移距离。

4.根据权利要求1所述的槽体自动开关盖机构,其特征在于，所述第一盖板（5）的旋转角度为0-90°。

5.根据权利要求1所述的槽体自动开关盖机构,其特征在于，所述橡胶带（13）的宽度小于第二盖板（6）上橡胶带（13）连接处与第一盖板（5）铰接处之间距离与第一盖板（5）上橡胶带（13）连接处与第二盖板（6）铰接处之间距离之和3-5mm。

6.如权利要求1所述的槽体自动开关盖机构的工作方法,其特征在于，该开关盖机构的具体使用步骤为：

步骤一：将开关盖机构通过螺栓与半导体湿式制程设备的槽体端口进行连接，在第一侧板（4）的外侧，介于第一侧板（4）和第二侧板（8）之间通过档条（10）固定挡板，并在挡板的上部固定与第一盖板（5）搭接的橡胶压条；

步骤二：将外接的供气装置通过气管与两个旋转气缸（2）各自的两个进气嘴进行连接；

步骤三：控制开关盖机构关盖时，外接的供气装置通过气管向旋转气缸（2）一端供气，控制旋转气缸（2）带动旋转轴（11）旋转，旋转的旋转轴（11）带动第一盖板（5）向内进行翻转，由于第一盖板（5）和第二盖板（6）之间通过铰链（15）转动连接，并且第二盖板（6）的侧壁设置有与弧形引导槽（7）滑动连接的滚轮（612），在滚轮（612）的引导作用下，第二盖板（6）沿着弧形引导槽（7）移动，当第二盖板（6）的顶面趋于重合时，两个第二盖板（6）端部活动盖板（62）内的磁铁片（622）相互吸引，使得两个活动盖板（62）之间相向移动，完成两个第二盖板（6）之间的拼接，同时第一盖板（5）和第二盖板（6），顶面处于重合时，第一盖板（5）和第二盖板（6）底面下部的第二橡胶条（9）和第三橡胶条（12）之间实现密封，并且挡板上的橡胶压条对第一盖板（5）连接处实现搭接；

步骤四：控制开关盖机构开盖时，外接的供气装置通过气管向旋转气缸（2）另一端供气，控制旋转气缸（2）带动旋转轴（11）反向旋转，反向旋转的旋转轴（11）带动第一盖板（5）向外进行翻转，此时两个第二盖板（6）之间相互背离，第二盖板（6）端部活动盖板（62）内的磁铁片（622）逐渐分离，并且在拉伸弹簧（63）的作用下，恢复至初始位置，然后随着第一盖板（5）的逐渐翻转，第二盖板（6）通过滚轮（612）沿着弧形引导槽（7）移动，并且第二盖板（6）向第一盖板（5）靠拢，从而将半导体湿式制程设备的槽体端口打开。