CN110918522B - 基板冲洗装置及其设置方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及提高耐久性、削减使用时的过载、更换和维护便利的基板冲洗装置及其设置方法。基板冲洗装置包括：辊刷组件，第一支撑部，第二支撑部，第一旋转部，第二旋转部，以及施压部。辊刷组件具有基管，沿中心轴线方向形成有贯通孔；在基管的外周表面的刷；引入塞，分别耦合到基管的两端并密闭贯通孔。第一、第二支撑部分别间隔配设在辊刷组件的两端。第一旋转部耦合到辊刷组件一端的引入塞，与辊刷组件一体旋转。第二旋转部耦合到辊刷组件另一端的引入塞，与辊刷组件一体旋转。施压部一端耦合到第二支撑部，另一端与第二旋转部耦合，向辊刷组件另一端的引入塞的方向对第二旋转部加压，使第二旋转部耦合到辊刷组件另一端的引入塞。

Description

基板冲洗装置及其设置方法
技术领域
本发明涉及一种基板冲洗装置及其设置方法，更详细地，涉及一种提高耐久性、削减使用时的过负载、且更换和维护便利的基板冲洗装置及其设置方法。
背景技术
随着信息化社会的发展，对显示装置的要求正在以各种形式增加。与此相应，近年来已经研究了LCD、PDP、ELD和VFD等各种平板显示装置，并且其中一部分已在各种装置中用作显示装置。
通常，显示装置用玻璃基板在主处理工序中，在基板的主表面上形成有由光致抗蚀剂涂布液、光敏聚酰胺树脂、滤色器染色体等构成的薄膜层，该基板被装载在基板传送装置中并沿一个方向移动，然后经过后处理工序，例如化学药液涂布工序、冲洗工序和干燥工序等。
在这种平板显示装置的制造工序中，所述冲洗工序是用于去除基板上的异物和颗粒的工序，其中附着在玻璃基板上的污染颗粒成为主要冲洗对象。在这样的用于去除污染颗粒的冲洗方法中，使用刷的冲洗方法得到广泛使用。使用刷的冲洗工序是在将冲洗液喷射到基板上的同时使刷旋转以去除基板上的异物。
图1是示出现有的基板冲洗装置的刷组件的示意图。
如图1所示，以往，现有的基板冲洗装置的刷组件由轴10、刷20以及支撑台30构成。
通常，刷20可以以通道形式缠绕固定在轴10上，或者以带的形式缠绕并与轴10一体化，用于冲洗面板基板。
轴10构成为实心形式。轴10的两端直接耦合到支撑台30。另外，随着面板基板大型化，轴10的直径变大并且长度也变长，轴10的重量也增大。然而，由于以往的轴10以实心形式构成，因而伴随直径的变大且长度的增加，重量也变大。因此，存在的问题是，设备使用时的负载大。
然后，在更换刷20的情况下，应将刷20和轴10一起全部更换。因此，存在的问题是，用于运输分离的大重量的轴和刷并运输新的大重量的轴和刷的物流成本会增大。
另外，由于需要运输大重量的轴和刷的过程，因而存在的问题是，更换作业需要很多时间。
现有文献中有大韩民国公开专利公报第2010-0059415号(2010年6月4日公开)。
发明内容
为了解决上述问题，本发明要解决的技术问题是提供一种提高耐久性、减少使用时的过负载、且更换和维护便利的基板冲洗装置及其设置方法。
本发明要解决的技术问题不限于以上提到的技术问题，本领域技术人员从以下描述中可以清楚地理解以上未提到的其他技术问题。
为了解决上述问题，提供了一种基板冲洗装置，包括：辊刷组件，具有：基管，沿中心轴线方向形成有贯通孔以使两端开放；刷，配设在所述基管的外周表面上；以及引入塞，分别耦合到所述基管的两端并密闭所述贯通孔；第一支撑部，间隔开地配设在所述辊刷组件的一端；第二支撑部，间隔开地配设在所述辊刷组件的另一端；第一旋转部，耦合到所述第一支撑部，并耦合到所述辊刷组件的一端的引入塞，与所述辊刷组件一体地旋转；第二旋转部，耦合到所述辊刷组件的另一端的引入塞，并与所述辊刷组件一体地旋转；以及施压部，其一端耦合到所述第二支撑部，其另一端与所述第二旋转部耦合，向所使用辊刷组件的另一端的引入塞的方向对所述第二旋转部施压，使得所述第二旋转部耦合到所述辊刷组件的另一端的引入塞。
在本发明的实施例中，所述引入塞可以具有：第一引入塞，具有多角形状的第一键槽和锥形的第一对准槽，所述第一键槽耦合到所述基管的一端并形成在其中心，所述第一对准槽形成在所述第一键槽的中心；和第二引入塞，具有多角形状的第二键槽和锥形的第二对准槽，所述第二键槽耦合到所述基管的另一端并形成在其中心，所述第二对准槽形成在所述第二键槽的中心。
在本发明的实施例中，所述第一旋转部可以具有：第一轴，可旋转地耦合到所述第一支撑部；第一键，以对应于所述第一键槽的方式形成在所述第一轴的一端，耦合到所述第一键槽，并向所述辊刷组件传递旋转力；以及第一对准突起，以对应于所述第一对准槽的方式突出形成在所述第一键上，耦合到所述第一对准槽，并使所述第一旋转部和所述辊刷组件的旋转中心轴线一致。
在本发明的实施例中，所述第二旋转部可以具有：第二轴，在一端具有插入槽，所述插入槽沿轴方向形成并在内周表面上形成有第一螺纹齿；第二键，以对应于所述第二键槽的方式形成在所述第二轴的另一端，耦合到所述第二键槽，并向所述辊刷组件传递旋转力；以及第二对准突起，以对应于所述第二对准槽的方式突出形成在所述第二键上，耦合到所述第二对准槽，并使所述第二旋转部和所述辊刷组件的旋转中心轴线一致。
在本发明的实施例中，所述施压部可以具有：施压杆，其一端可旋转地耦合到所述第二支撑部；和第二螺纹齿，以与所述第一螺纹齿螺纹耦合的方式形成在所述施压杆的另一端；所述第二螺纹齿可以沿所述施压部的旋转方向的相反方向形成，使得当所述施压部旋转时，保持所述第二旋转部的第二键和所述第二对准突起分别耦合到所述第二键槽和第二对准槽的状态。
在本发明的实施例中，所述基板冲洗装置可以还包括夹紧部，所述夹紧部配设成包覆所述施压杆的外周表面，所述夹紧部的一端与以具有比所述施压杆的直径大的直径的方式形成在所述施压杆上的卡爪紧密接合，所述夹紧部的另一端与所述第二轴紧密接合，并且约束成使所述第二旋转部不向所述第二支撑部的方向移动。
在本发明的实施例中，所述夹紧部可以具有：第一夹紧环，形成为包覆所述施压杆的外周表面的一部分，并且两端贯通形成有第一耦合孔；第二夹紧环，形成为包覆所述施压杆的外周表面的其余部分，并且两端贯通形成有对应于所述第一耦合孔的第二耦合孔；以及耦合部件，耦合到所述第一耦合孔和所述第二耦合孔，并使所述第一夹紧环和所述第二夹紧环耦合。
在本发明的实施例中，所述基板冲洗装置可以还包括平衡配重，所述平衡配重配设在所述第一旋转部，使得在所述辊刷组件的旋转时由所述第一旋转部施加的第一垂直荷重与由所述第二旋转部、所述施压部和所述夹紧部施加的第二垂直荷重相等。
为了解决上述技术问题，本发明的一实施例提供了一种基板冲洗装置的设置方法，包括：辊刷组件设置步骤，设置辊刷组件，所述辊刷组件具有：基管，沿中心轴线方向形成有贯通孔以使两端开放；刷，配设在所述基管的外周表面上；以及引入塞，分别耦合到所述基管的两端并密闭所述贯通孔；第一耦合步骤，使第一旋转部耦合到第一支撑部，所述第一支撑部间隔开地配设在所述辊刷组件的一端；第二耦合步骤，使所述辊刷组件的一端的引入塞耦合到所述第一旋转部，使得与所述辊刷组件一体地旋转；第三耦合步骤，使施压部的一端耦合到第二支撑部，并使第二旋转部耦合到所述施压部的另一端，所述第二支撑部间隔开地配设在所述辊刷组件的另一端；以及第四耦合步骤，在所述第二旋转部耦合到所述施压部的状态下，使所述第二旋转部向所述辊刷组件一端的引入塞的方向移动，并使所述第二旋转部耦合到所述辊刷组件的另一端的引入塞，使得所述第二旋转部与所述辊刷组件一体地旋转。
在本发明的实施例中，所述设置方法可以还包括约束耦合步骤：在所述第四耦合步骤之后，使夹紧部耦合到所述施压部的外周表面，使得一端与形成在所述施压部的卡爪紧密接合，并使得另一端与所述第二旋转部的第二轴紧密接合，并且约束成使所述第二旋转部不向所述第二支撑部的方向移动。
在本发明的实施例中，所述辊刷组件设置步骤可以具有设置保护层的步骤，所述保护层覆盖所述基管的外周表面以保护所述基管免受冲洗液影响。
附图说明
图1是示出现有的基板冲洗装置的刷组件的示意图。
图2是示出根据本发明的一实施例的基板冲洗装置的立体图。
图3和图4是示出根据本发明的一实施例的基板冲洗装置的分解立体图。
图5是示出根据本发明的一实施例的基板冲洗装置的组装截面图。
图6是示出根据本发明的一实施例的基板冲洗装置的分解截面图。
图7是示出根据本发明的一实施例的基板冲洗装置的夹紧部的立体图。
图8是示出根据本发明的一实施例的基板冲洗装置的第二旋转部和夹紧部的使用例的截面示意图。
图9是示出根据本发明的一实施例的基板冲洗装置的设置方法的流程图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明进行说明。本发明可以以各种不同形式来实施，因此不限于这里说明的实施例。然后，在附图中为了清楚地说明本发明，省略了与说明无关的部分，并且在整个说明书中相同的部分附上相同的附图标记。
在说明书全文中，某个部件与另一部件连接(相连，接触，耦合)时，这不仅包括“直接连接”的情况，而且包括在其中间插设其他部件而“间接连接”的情况。此外，当某个部分“包括”某个构成要素时，这意味着可以还具有其他构成要素，而不排除其他构成要素，除非另有特别说明。
本说明书中使用的术语仅用于说明特定实施例，而不是意图要限定本发明。除非上下文另有明确规定，否则单数表达也可包括复数表达的含义。在本说明书中，术语“包括”或“具有”等应理解为，指定在说明书中记载的特征、数字、步骤、动作、构成要素、部件或其组合的存在，但是不预先排除一个或一个以上的其他特征、数字、步骤、动作、构成要素、部件或其组合的存在或附加的可能性。
以下，参照附图对本发明的实施例进行详细说明。
图2是示出根据本发明的一实施例的基板冲洗装置的立体图，图3和图4是示出根据本发明的一实施例的基板冲洗装置的分解立体图，图3以第一旋转部为中心示出，图4以第二旋转部和施压部为中心示出。图5是示出根据本发明的一实施例的基板冲洗装置的组装截面图，图6是示出根据本发明的一实施例的基板冲洗装置的分解截面图。
如图2至图6所示，基板冲洗装置可以包括：辊刷组件100，第一支撑部200，第二支撑部300，第一旋转部400，第二旋转部500，以及施压部600。
辊刷组件100可以包括基管120、刷120以及引入塞。
可以沿基管110的中心轴线方向形成贯通孔111以使基管110的两端开放。基管110可以由不锈钢等金属材料、塑料材料、CFRP材料等中的至少一种材料构成。由于在基管110的内侧形成有贯通孔111，因而可以大幅减轻基管110的重量。
刷120可以配设在基管110的外周表面上。刷120可以以通道形式缠绕固定在基管110上，或者以带形式等各种方式缠绕固定。
引入塞可以具有第一引入塞130和第二引入塞140。引入塞可以由金属材料、塑料材料、CFRP材料中的至少一种材料构成。
第一引入塞130可以耦合到基管110的一端。
然后，第一引入塞130可以具有第一插入部131、第一塞部132、第一键槽133以及第一对准槽134。
第一插入部131的外周表面直径可以与基管110的内周表面的直径相对应，第一塞部132的外周表面直径可以与基管110的外周表面的直径相对应。
在基管110的一端，可以沿圆周方向以一定的间隔形成有第一紧固孔112，并且在第一塞部132，可以沿圆周方向以对应于第一紧固孔112的方式形成第三紧固孔135。
然后，第一紧固部件137可以通过第三紧固孔135耦合到第一紧固孔112，由此，第一引入塞130可以牢固地耦合到基管110的一端并密闭该端。
另外，第一引入塞130耦合到基管110的一端的方法不限于前述的方法。例如，可以使用其他方法，在第一插入部131的外周表面与基管110的内周表面之间插设粘接剂，由此，第一引入塞130也可以牢固地耦合到基管110的一端。
第一键槽133可以形成为具有与第一塞部132的中心相同的中心，并可以形成为多角形状。
然后，第一对准槽134可以形成为具有与第一键槽133的中心相同的中心，并可以形成为锥形。第一对准槽134可以形成为从第一键槽133的底表面进一步陷没。
第二引入塞140可以耦合到基管110的另一端。
然后，第二引入塞140可以具有第二插入部141、第二塞部142、第二键槽143以及第二对准槽144。
第二插入部141的外周表面可以以对应于基管110的内周表面的直径形成，第二塞部142的外周表面可以以对应于基管110的外周表面的直径形成。
在基管110的另一端，可以沿圆周方向以一定的间隔形成有第二紧固孔113，并且在第二塞部142，可以沿圆周方向以对应于第二紧固孔113的方式形成有第四紧固孔145。
然后，第二紧固部件147可以通过第四紧固孔145耦合到第二紧固孔113，由此，第二引入塞140可以牢固地耦合到基管110的另一端并密闭该端。
另外，第二引入塞140耦合到基管110的另一端的方法不限于前述的方法。例如，可以使用其他方法，在第二插入部141的外周表面与基管110的内周表面之间插设粘接剂，由此，第二引入塞140也可以牢固地耦合到基管110的另一端。
第二键槽143可以形成为具有与第二塞部142的中心相同的中心，并可以形成为多角形状。
然后，第二对准槽144可以形成为具有与第二键槽143的中心相同的中心，并可以形成为锥形。第二对准槽144可以形成为从第二键槽143的底表面进一步陷没。
整体上，第二引入塞140可以形成为对应于第一引入塞130。
另外，辊刷组件100可以还具有保护层150。
保护层150可以设置成覆盖基管110的外周表面，并且可以保护基管110免受冲洗液影响。在进一步设置保护层150的情况下，可以在保护层150的外周表面设置刷120。
通常，冲洗液可以是冲洗用的化学药液，保护层150可以由具有强耐化学腐蚀的聚烯烃基材料制成。由此，可以增大辊刷组件100的耐久性。
另外，保护层150可以以收缩管的形式构成。收缩前的保护层150可以形成为具有比基管110的外侧直径大的内侧直径，因此，在保护层150的内侧可以容易插入基管110。然后，保护层150在将基管110置于其内的状态下收缩，从而保护层150可以设置成覆盖基管110的外周表面。保护层150可以例如是热收缩管。
第一支撑部200可以间隔开地配设在辊刷组件100的一端。第一支撑部200可以具有第一轴承。
第二支撑部300可以间隔开地配设在辊刷组件100的另一端。第二支撑部300可以具有第二轴承。
第一旋转部400可以具有第一轴410、第一键420以及第一对准突起430。
第一轴410可以耦合到第一轴承210，由此，第一轴410可以可旋转地耦合到第一支撑部200。
第一键420可以形成在第一轴410的一端，并且可以以对应于第一键槽133的方式形成为多角形状。因此，当第一键420插入到第一键槽133时，第一旋转部400和辊刷组件100可以相互传递旋转力，第一旋转部400和辊刷组件100可以一体地旋转。
第一对准突起430可以突出形成在第一键420上，并且可以形成为对应于第一对准槽134。当第一键420插入到第一键槽133时，第一对准突起430可以插入耦合到第一对准槽134。当第一对准突起430插入耦合到第一对准槽134时，第一旋转部400和辊刷组件100的旋转中心轴线可以相互一致。
第二旋转部500可以具有第二轴510、第二键520以及第二对准突起530。
第二轴510可以具有在一端部沿轴方向形成的插入槽511，在插入槽511的内周表面可以形成有第一螺纹512。
第二键520可以形成在第二轴510的另一端，并且可以以对应于第二键槽143的方式形成为多角形状。因此，当第二键520插入到第二键槽143时，第二旋转部500和辊刷组件100可以在彼此间传递旋转力，第二旋转部500和辊刷组件100可以一体地旋转。
第二对准突起530可以突出形成在第二键520上，并且可以形成为对应于第二对准槽144。当第二键520插入到第二键槽143时，第二对准突起530可以插入耦合到第二对准槽144。当第二对准突起530插入耦合到第二对准槽144时，第二旋转部500和辊刷组件100的旋转中心轴线可以相互一致。
施压部600的一端耦合到第二支撑部300，另一端耦合到第二旋转部500，向辊刷组件100另一端的第二引入塞140方向对第二旋转部500施压，第二旋转部500可以耦合到辊刷组件100的另一端的第二引入塞140。
具体地，施压部600可以具有施压杆610、卡爪611以及第二螺纹612。
施压杆610的一端可以耦合到第二轴承310，由此，施压杆610可以可旋转地耦合到第二支撑部300。
卡爪611可以在施压杆610的一端形成为具有比施压杆610的直径大的直径。
第二螺纹齿612可以形成在施压杆610的另一端，并且可以形成为与第一螺纹齿512螺纹耦合。
在第二旋转部500耦合到施压部600的状态下，第二旋转部500旋转，当向第二引入塞140的方向移动时，第二键520和第二对准突起530可以分别插入耦合到第二键槽143和第二对准槽144。
基板冲洗装置可以包括动力提供部800。
如图5所示，在动力提供部800向施压部600提供旋转动力的情况下，随着施压部600旋转，第二旋转部500也可以旋转。
由于施压部600和第二旋转部500是螺纹耦合的状态，因而维持以下状态是重要的。即，即使施压部600和第二旋转部500沿相同方向旋转，第二旋转部500也不向第二支撑部300的方向移动，也就是说，第二旋转部500的第二键520和第二对准突起530分别耦合到第二键槽143和第二对准槽144。
因此，期望的是，第二螺纹齿612沿施压部600的旋转方向的相反方向形成。这样，当施压部600旋转时，即使对第二旋转部500施加轴方向的力，这样的轴方向的力也成为使第二旋转部500向第二引入塞140的方向移动的力，因而即使在旋转中，也可以稳定地维持第二旋转部500和第二引入塞140耦合的状态。
以上对动力提供部800向施压部600提供旋转动力的情况作了说明，然而不必限于此。也就是说，动力提供部800可以向第一旋转部400和施压部600中的任一方提供旋转动力。
图7是示出根据本发明的一实施例的基板冲洗装置的夹紧部的立体图，
图8是示出根据本发明的一实施例的基板冲洗装置的第二旋转部和夹紧部的使用例的截面示意图，图8中的(a)示出了第二旋转部500耦合到第二引入塞140之前的状态，图8中的(b)示出了第二旋转部500耦合到第二引入塞140的状态。
如图7和图8所示，基板冲洗装置可以还包括夹紧部700。
夹紧部700可以具有第一夹紧环710、第二夹紧环720以及耦合部件730。
第一夹紧环710可以形成为包覆施压杆610的外周表面的一部分，并且在两端部可以贯通形成有第一耦合孔711。
第二夹紧环720形成为包覆施压杆610的外周表面的其余部分，并且在两端可以贯通形成有对应于第一耦合孔711的第二耦合孔721。
耦合部件730可以通过第一耦合孔711耦合到第二耦合孔721，并使第一夹紧环710和第二夹紧环720耦合。
参照图8中的(b)，第二旋转部500在耦合到施压部600的状态下，向第二引入塞140的方向移动，当第二键520和第二对准突起530分别插入耦合到第键槽143和第二对准槽144时，夹紧部700可以配设在第二旋转部500和施压部600之间。此时，夹紧部700可以耦合成包覆施压杆610的外周表面，并且可以耦合成使一端与施压杆610的卡爪611紧密接合，并且另一端与第二轴510紧密接合。由此，第二旋转部500可以被约束成不向第二支撑部的方向移动。
另外，如图5和图6所示，基板冲洗装置可以还包括平衡配重900。
平衡配重900可以配设在第一旋转部400上。参照图5，当以辊刷组件100为基准在右侧设置夹紧部700时，施加给构成辊刷组件100两侧的轴的部分的垂直荷重很有可能不同。
当然，在设计时，由第一旋转部400施加的第一垂直荷重与由第二旋转部500、施压部600和夹紧部700施加的第二垂直荷重可以是相同的。然而由于制造公差等的原因，第二旋转部500、施压部600和夹紧部700的重量合计后的总重量会超过第一旋转部400的重量。因此，在辊刷组件100的两侧的垂直荷重不同的情况下，平衡配重900配设在第一旋转部400上，可以使由平衡配重900和第一旋转部400产生的第一垂直荷重与由第二旋转部500、施压部600和夹紧部700产生的第二垂直荷重相等。由此，辊刷组件100可以稳定旋转而不会偏心旋转。
平衡配重900可以具有相互耦合的第一配重910和第二配重920，并且可以形成为与夹紧部700的形状相应。
以下，对基板冲洗装置的设置方法进行说明。
图9是示出根据本发明的一实施例的基板冲洗装置的设置方法的流程图。
进一步参照图9进行说明。基板冲洗装置的设置方法可以包括：辊刷组件设置步骤S1110，第一耦合步骤S1120，第二耦合步骤S1130，第三耦合步骤S1140，以及第四耦合步骤S1150。
辊刷组件设置步骤S1110可以包括：设置辊刷组件100，该辊刷组件100具有：基管110，沿中心轴线方向形成有贯通孔以使两端开放；刷120，配设在基管110的外周表面上；以及引入塞，即第一引入塞130和第二引入塞140，分别耦合到基管110的两端部并密闭贯通孔111。
辊刷组件设置步骤S1110可以包括：设置覆盖基管110的外周表面的保护层150，以保护基管110免受冲洗液影响。保护层150可以构成为收缩管的形式，保护层150由于在基管110位于内侧的状态下收缩，因而可以设置成覆盖基管110的外周表面。
第一耦合步骤S1120可以包括：使第一旋转部400耦合到第一支撑部200，该第一支撑部200间隔开地配设在辊刷组件100的一端。
第二耦合步骤S1130可以包括：使辊刷组件100的一端的引入塞，即第一引入塞130耦合到第一旋转部400，以与辊刷组件100一体地旋转。
第三耦合步骤S1140可以包括：使施压部600的一端耦合到第二支撑部300，并使第二旋转部500耦合到施压部600的另一端，该第二支撑部间隔开地配设在辊刷组件100的另一端。这里，第二旋转部500和施压部600可以螺纹耦合。
第四耦合步骤S1150可以包括：在第二旋转部500耦合到施压部600的状态下，使第二旋转部500向辊刷组件100的另一端的引入塞(即第二引入塞140)的方向移动，并且使第二旋转部500耦合到辊刷组件100的另一端的引入塞，即第二引入塞140，以使第二旋转部500与辊刷组件100一体地旋转。
另外，基板冲洗装置的设置方法可以还包括约束耦合步骤S1160。
约束耦合步骤S1160可以包括：可以在第四耦合步骤S1150之后进行，使夹紧部700耦合到施压部600的外周表面，使得其一端与形成在施压部600的卡爪611紧密接合，并使得另一端与第二旋转部500的第二轴510紧密接合，并且约束成使第二旋转部500不向第二支撑部300的方向移动。
根据本发明，由于在基管110的内侧形成有贯通孔111，可以大幅减轻基管110的重量，因而可以减少辊刷组件100的重量并减轻在使用时施加的负载。另外，由于辊刷组件100重量轻，因而可以削减运送过程中的物流成本。
然后，在更换刷120的情况下，去除夹紧部700，使第二旋转部500旋转并从第二引入塞140分离，从而可以容易取下并更换重量轻的辊刷组件100，因而可以缩短更换作业时间。
根据本发明的实施例，随着在基管的内侧形成有贯通孔，可以大幅减轻基管的重量，因而可以减少辊刷组件的重量并减轻在使用时施加的负载。此外，由于辊刷组件重量轻，因而可以削减运送过程中的物流成本。
此外，根据本发明的实施例，在更换刷的情况下，去除夹紧部，使第二旋转部旋转并从第二引入塞分离，通过这样的简单操作，可以容易取下并更换低重量的辊刷组件，因而可以缩短更换作业时间。
此外，根据本发明的实施例，将保护层设置成覆盖基管的外周表面，并保护基管免受冲洗液影响，可以确保辊刷组件的耐久性。
应当理解，本发明的效果不限于上述效果，并且包括可从本发明的详细描述或权利要求中描述的本发明的结构推导出的所有效果。
上述的本发明的说明是用于例示的说明，并且本发明所属领域的普通技术人员可以理解，在不改变本发明的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他具体形式容易地修改本发明。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而非限制性的。例如，描述为单一类型的每个组件可以分散实施，并且类似地，作为分散的组件所说明的构成要素可以以组合形式来实施。
本发明的范围由权利要求书表示。应该理解，从权利要求书的含义和范围及其等同概念导出的所有修改或变型方式都包括在本发明的范围内。
附图标记说明
100：辊刷组件 110：基管 120：刷 130：第一引入塞
133：第一键槽 134：第一对准槽 140：第二引入塞
143：第二键槽 144：第二对准槽 150：保护层
200：第一支撑部 300：第二支撑部 400：第一旋转部
410：第一轴 420：第一键 430：第一对准突起
500：第二旋转部 510：第二轴 511：插入槽
520：第二键 530：第二对准突起 600：施压部
610：施压杆 611：卡爪 700：夹紧部
800：动力提供部 900：平衡配重

Claims (3)

1.一种基板冲洗装置，包括：
辊刷组件，具有：基管，沿中心轴线方向形成有贯通孔以使两端开放；刷，配设在所述基管的外周表面上；以及引入塞，分别耦合到所述基管的两端并密闭所述贯通孔；
第一支撑部，间隔开地配设在所述辊刷组件的一端；
第二支撑部，间隔开地配设在所述辊刷组件的另一端；
第一旋转部，耦合到所述第一支撑部，并耦合到所述辊刷组件的一端的引入塞，与所述辊刷组件一体地旋转；
第二旋转部，耦合到所述辊刷组件的另一端的引入塞，并与所述辊刷组件一体地旋转；
施压部，其一端耦合到所述第二支撑部，另一端与所述第二旋转部耦合，向所述辊刷组件另一端的引入塞的方向对所述第二旋转部施压，使得所述第二旋转部耦合到所述辊刷组件的另一端的引入塞，
夹紧部，配设在所述施压部处，并且限制成使所述第二旋转部不向所述第二支撑部的方向移动；
平衡配重，所述平衡配重配设在所述第一旋转部，使得在所述辊刷组件旋转时由所述平衡配重和所述第一旋转部施加的第一垂直荷重与由所述第二旋转部、所述施压部和所述夹紧部施加的第二垂直荷重相等；以及
保护层，所述保护层设置成覆盖所述基管的外周表面，并保护所述基管免受冲洗液影响，
所述引入塞具有第一引入塞和第二引入塞，
所述第一引入塞具有第一插入部、第一塞部、第一键槽以及第一对准槽，所述第一插入部形成为具有与所述基管的内周表面的直径相对应的直径，并且插入于所述基管的一端，所述第一塞部形成为具有与所述基管的外周表面的直径相对应的直径，并且密闭所述基管的一端，所述第一键槽为多角形状，并且具有与所述第一塞部的中心相同的中心，所述第一对准槽为锥形，并且形成在所述第一键槽的中心，
所述第二引入塞具有第二插入部、第二塞部、第二键槽以及第二对准槽，所述第二插入部形成为具有与所述基管的内周表面的直径相对应的直径，并且插入于所述基管的另一端，所述第二塞部形成为具有与所述基管的外周表面的直径相对应的直径，并且密闭所述基管的另一端，所述第二键槽为多角形状，并且具有与所述第二塞部的中心相同的中心，所述第二对准槽为锥形，并且形成在所述第二键槽的中心，
所述第一旋转部具有：
第一轴，可旋转地耦合到所述第一支撑部；
第一键，与所述第一键槽对应地形成在所述第一轴的一端，耦合到所述第一键槽，并向所述辊刷组件传递旋转力；以及
第一对准突起，与所述第一对准槽对应地突出形成在所述第一键上，耦合到所述第一对准槽，并使所述第一旋转部和所述辊刷组件的旋转中心轴线一致，
所述第二旋转部具有：
第二轴，在一端具有插入槽，所述插入槽沿轴方向形成，并在内周表面上形成有第一螺纹齿；
第二键，与所述第二键槽对应地形成在所述第二轴的另一端，耦合到所述第二键槽，并向所述辊刷组件传递旋转力；以及
第二对准突起，与所述第二对准槽对应地突出形成在所述第二键上，耦合到所述第二对准槽，并使所述第二旋转部和所述辊刷组件的旋转中心轴线一致，
所述施压部具有：
施压杆，其一端可旋转地耦合到所述第二支撑部；
卡爪，形成在所述施压杆上，并且其直径大于所述施压杆的直径；以及
第二螺纹齿，以与所述第一螺纹齿螺纹耦合的方式形成在所述施压杆的另一端；
所述第二螺纹齿沿与所述施压部旋转方向相反的方向形成，使得当所述施压部旋转时对所述第二旋转部施加轴方向的力，以使所述第二旋转部向所述第二引入塞的方向移动，从而保持所述第二键和所述第二对准突起分别耦合到所述第二键槽和第二对准槽的状态，
所述夹紧部配设成包覆所述施压杆的外周表面，其一端与所述卡爪紧密接合，另一端与所述第二轴紧密接合，并且配设在所述第二旋转部和所述施压部之间，
所述保护层是由聚烯烃基材料制成的热收缩管，
所述保护层形成为在收缩前具有比所述基管的外侧直径大的内侧直径，在将所述基管置于其内侧的状态下收缩，从而设置成覆盖所述基管的外周表面。
2.根据权利要求1所述的基板冲洗装置，其特征在于，所述夹紧部具有：
第一夹紧环，形成为包覆所述施压杆的外周表面的一部分，并且其两端贯通形成有第一耦合孔；
第二夹紧环，形成为包覆所述施压杆的外周表面的其余部分，并且其两端贯通形成有对应于所述第一耦合孔的第二耦合孔；以及
耦合部件，耦合到所述第一耦合孔和所述第二耦合孔，并使所述第一夹紧环和所述第二夹紧环耦合。
3.一种基板冲洗装置的设置方法，其中所述基板冲洗装置是根据权利要求1-2中任一项所述的基板冲洗装置，该方法包括：
辊刷组件设置步骤，设置辊刷组件，所述辊刷组件具有：基管，沿中心轴线方向形成有贯通孔以使两端开放；刷，配设在所述基管的外周表面上；以及引入塞，分别耦合到所述基管的两端并密闭所述贯通孔；
第一耦合步骤，使第一旋转部耦合到第一支撑部，所述第一支撑部间隔开地配设在所述辊刷组件的一端；
第二耦合步骤，使所述辊刷组件的一端的引入塞耦合到所述第一旋转部以与所述辊刷组件一体地旋转；
第三耦合步骤，使施压部的一端耦合到第二支撑部，并使第二旋转部耦合到所述施压部的另一端，所述第二支撑部间隔开地配设在所述辊刷组件的另一端；
第四耦合步骤，在所述第二旋转部耦合到所述施压部的状态下，使所述第二旋转部向所述辊刷组件另一端的引入塞的方向移动，并使所述第二旋转部耦合到所述辊刷组件的另一端的引入塞，使得所述第二旋转部与所述辊刷组件一体地旋转；以及
约束耦合步骤，使夹紧部耦合到所述施压部的外周表面，约束成使所述第二旋转部不向所述第二支撑部的方向移动，
在所述约束耦合步骤中，所述夹紧部配设成包覆所述施压杆的外周表面，其一端与所述卡爪紧密接合，另一端与所述第二轴紧密接合，并且配设在所述第二旋转部和所述施压部之间，
所述辊刷组件设置步骤具有设置保护层的步骤，所述保护层覆盖所述基管的外周表面以保护所述基管免受冲洗液影响，
在设置所述保护层的步骤中，
所述保护层是由聚烯烃基材料制成的热收缩管，
所述保护层形成为在收缩前具有比所述基管的外侧直径大的内侧直径，在将所述基管置于其内侧的状态下收缩，从而设置成覆盖所述基管的外周表面，
还设置有平衡配重，所述平衡配重配设在所述第一旋转部，使得在所述辊刷组件旋转时由所述平衡配重和所述第一旋转部施加的第一垂直荷重与由所述第二旋转部、所述施压部和所述夹紧部施加的第二垂直荷重相等。
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