CN110895288A - 对接浮动机构 - Google Patents
对接浮动机构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110895288A CN110895288A CN201910603606.7A CN201910603606A CN110895288A CN 110895288 A CN110895288 A CN 110895288A CN 201910603606 A CN201910603606 A CN 201910603606A CN 110895288 A CN110895288 A CN 110895288A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- plate body
- docking
- plate
- screw
- column
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 210000001503 joint Anatomy 0.000 title abstract description 6
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 75
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 31
- 238000003032 molecular docking Methods 0.000 claims description 35
- 230000000712 assembly Effects 0.000 claims description 3
- 238000000429 assembly Methods 0.000 claims description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 abstract description 36
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
- G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
- G01R1/0416—Connectors, terminals
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
- G01R31/2601—Apparatus or methods therefor
Abstract
一种对接浮动机构包含支撑平台、支撑柱、第一板体、第二板体、氮气棒与至少一位置调整组件。支撑柱位于支撑平台的下方且具有容置空间。第一板体位于容置空间中。第二板体位于支撑柱上且覆盖容置空间。氮气棒具有伸缩杆。伸缩杆穿过第一板体与第二板体。伸缩杆的一端固定于第一板体,氮气棒背对伸缩杆的一端连接支撑平台。位置调整组件位于容置空间中。位置调整组件包含固定柱与第一螺丝。固定柱位于第一板体上且其内具有螺纹。第一螺丝锁附于该固定柱的螺纹。第一螺丝的顶面具有滚珠,且滚珠抵接第二板体的底面。当测试头设置于支撑平台后,可利用对接浮动机构调整测试头相对于测试机的位置,以顺利将测试头对接至测试机。
Description
技术领域
本案是有关于一种对接浮动机构,尤指一种用于测试机的对接浮动机构。
背景技术
一般而言,半导体测试机具有用来与测试头连接的对接机构,测试头具有电路板的连接接口或环形探针座(Ring tower),并放置于对接机构上,以与测试机电性连接。然而,传统的对接机构无法有效调整测试头相对于测试机的位置,因此往往需花费大量的时间与人力将测试头与测试机对接。
发明内容
本发明的一技术态样为一种对接浮动机构。
根据本发明一实施方式,一种对接浮动机构包含支撑平台、支撑柱、第一板体、第二板体、氮气棒与至少一位置调整组件。支撑柱位于支撑平台的下方且具有容置空间。第一板体位于容置空间中。第二板体位于支撑柱上且覆盖容置空间。氮气棒具有伸缩杆。伸缩杆穿过第一板体与第二板体。伸缩杆的一端固定于第一板体,氮气棒背对伸缩杆的一端连接支撑平台。位置调整组件位于容置空间中。位置调整组件包含固定柱与第一螺丝。固定柱位于第一板体上且其内具有螺纹。第一螺丝锁附于固定柱的螺纹。第一螺丝的顶面具有滚珠,且滚珠抵接第二板体的底面。
在本发明一实施方式中,上述位置调整组件还包含弹簧。弹簧套设于固定柱,且位于第一板体与第二板体之间。
在本发明一实施方式中,上述第一板体具有第一穿孔,伸缩杆位于第一穿孔中,且第一穿孔的边缘与伸缩杆之间具有间隙。
在本发明一实施方式中,上述间隙介于4mm至6mm。
在本发明一实施方式中,上述第一板体具有第二穿孔,固定柱耦合于第二穿孔。
在本发明一实施方式中,上述位置调整组件还包含第二螺丝。第二螺丝穿过第一板体而锁附于固定柱的底部,且第二螺丝与第一螺丝分别位于固定柱的相对两端。
在本发明一实施方式中,上述对接浮动机构具有多个位置调整组件。第一板体具有第一穿孔与多个第二穿孔。第二穿孔围绕第一穿孔。伸缩杆位于第一穿孔中,位置调整组件的固定柱分别耦合于第二穿孔。
在本发明一实施方式中,上述对接浮动机构还包含两螺帽。伸缩杆的该端与氮气棒的该端各具有螺纹,且此两螺纹分别穿过支撑平台与第一板体而分别与两螺帽锁附。
在本发明一实施方式中,上述对接浮动机构还包含夹持件、第一连接件、第二连接件与插销。夹持件位于氮气棒的表面。第一连接件位于夹持件上。第二连接件位于支撑柱上。第一连接件与第二连接件共同具有穿孔。插销耦合于此穿孔。
在本发明一实施方式中,上述对接浮动机构还包含把手。把手位于支撑柱上,且把手与第二连接件分别位于支撑柱的相邻两侧面。
在本发明上述实施方式中,由于氮气棒的一端连接支撑平台,且氮气棒具有可拉伸行程,因此氮气棒不仅可对支撑平台及其上的测试头提供一定的支撑力道,当支撑平台受力时还可于Z方向(垂直方向)移动。此外,伸缩杆的一端固定于第一板体,位置调整组件的固定柱位于第一板体上,且具有滚珠的第一螺丝锁附于固定柱而抵接第二板体的底面,因此支撑平台受力时可于氮气棒上浮动。经由上述设计,当测试头设置于支撑平台后,便可利用对接浮动机构调整测试头相对于测试机的位置,以顺利将测试头对接至测试机。
附图说明
图1绘示根据本发明一实施方式的对接浮动机构将测试头安装于测试机时的立体图;
图2绘示图1的测试头移除后对接浮动机构的立体图;
图3绘示图2的对接浮动机构的局部放大图;
图4绘示图3的对接浮动机构的局部分解图;
图5绘示图4的位置调整组件与第一板体的局部放大图;
图6绘示图3沿线段6-6的局部剖面图;
图7绘示图4的氮气棒、第一板体与位置调整组件组装后的立体图;
图8绘示图7从第一板体下方看的立体图。
【符号说明】
100:对接浮动机构
110:支撑平台
120:支撑柱
121:容置空间
122:侧面
124:侧面
130:第一板体
131:第一穿孔
133:第二穿孔
140:第二板体
142:底面
150:氮气棒
151:一端
152:伸缩杆
153:一端
160:位置调整组件
162:固定柱
164:第一螺丝
165:滚珠
166:弹簧
168:第二螺丝
172:夹持件
174:第一连接件
176:第二连接件
177:穿孔
178:插销
180:把手
210:测试机
220:测试头
6-6:线段
d:间隙
n1、n2:螺帽
t1、t2、t3:螺纹
x、y、z:方向
θ:角度
具体实施方式
以下将以附图揭露本发明的多个实施方式,为明确说明,许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而,应了解到,这些实务上的细节不应用以限制本发明。也就是说,在本发明部分实施方式中,这些实务上的细节是非必要的。此外,为简化附图起见,一些已知惯用的结构与元件在附图中将以简单示意的方式绘示。
图1绘示根据本发明一实施方式的对接浮动机构100将测试头220安装于测试机210时的立体图。图2绘示图1的测试头220移除后对接浮动机构100的立体图。同时参阅图1与图2,对接浮动机构100设置于半导体测试机210上,对接浮动机构100可用来支撑测试头220并调整测试头220的位置,以方便测试头220与测试机210电性连接。在一些实施方式中,测试机210与测试头220可具有电路连接接口或环形探针座(Ring tower),并不用以限制本发明。
对接浮动机构100包含支撑平台110、支撑柱120与氮气棒150。当测试头220放置于支撑平台110上时,测试头220的电路连接接口或环形探针座位于支撑平台110的开口中,以方便与测试机210电性连接。支撑柱120位于支撑平台110的下方。氮气棒150的顶部固定于支撑平台110,且氮气棒150的一部分延伸至支撑柱120中。支撑柱120位于测试机210上。氮气棒150具有可拉伸行程,因此当测试头220放置于支撑平台110上时,支撑平台110可受力下降,当测试头220从支撑平台110脱离时,支撑平台110可上升复位。在本实施方式中,氮气棒150的可拉伸行程约为40mm。
在以下叙述中,将进一步说明对接浮动机构100的结构。
图3绘示图2的对接浮动机构100的局部放大图。图4绘示图3的对接浮动机构100的局部分解图。同时参阅图3与图4,对接浮动机构100包含支撑柱120、第一板体130、第二板体140、氮气棒150与至少一位置调整组件160。支撑柱120具有容置空间121。第一板体130位于支撑柱120的容置空间121中。第二板体140位于支撑柱120上且覆盖容置空间121。氮气棒150具有伸缩杆152。氮气棒150的伸缩杆152穿过第一板体130与第二板体140。伸缩杆152的一端153固定于第一板体130,氮气棒150背对伸缩杆152的一端151连接支撑平台110(见图2)。在本实施方式中,对接浮动机构100还包含螺帽n1与螺帽n2(见图2),伸缩杆152的一端153具有螺纹t1,氮气棒150的一端151具有螺纹t2,且伸缩杆152的一端153的螺纹t1穿过第一板体130而与螺帽n1锁附,氮气棒150的一端151的螺纹t2穿过支撑平台110而与螺帽n2锁附。
此外,当图4的所有元件组合后,位置调整组件160会位于支撑柱120的容置空间121中。在以下叙述中,将进一步说明位置调整组件160与第一板体130的结构。
图5绘示图4的位置调整组件160与第一板体130的局部放大图。同时参阅图4与图5,位置调整组件160包含固定柱162与第一螺丝164。固定柱162位于第一板体130上且固定柱162内具有螺纹t3。第一螺丝164锁附于固定柱162的螺纹t3。第一螺丝164的顶面具有滚珠165,且滚珠165可用来抵接第二板体140的底面142。在本实施方式中,单一滚珠165可承受40N的力。
由于氮气棒150的一端151连接图2的支撑平台110,且氮气棒150具有可拉伸行程,因此氮气棒150不仅可对支撑平台110(见图2)及其上的测试头220(见图1)提供一定的支撑力道,当支撑平台110受力时还可于方向z(垂直方向)移动。此外,氮气棒150的伸缩杆152的一端153固定于第一板体130,位置调整组件160的固定柱162位于第一板体130上,且具有滚珠165的第一螺丝164锁附于固定柱162而抵接第二板体140的底面142,因此支撑平台110受力时可于氮气棒150上浮动。经由上述设计,当测试头220设置于支撑平台110后,便可利用对接浮动机构100(见图2)调整测试头220相对于测试机210(见图1)的位置,以顺利将测试头220对接至测试机210。
图6绘示图3沿线段6-6的局部剖面图。同时参阅图5与图6,第一板体130具有第一穿孔131,以供图4氮气棒150的伸缩杆152通过。在组装后,氮气棒150的伸缩杆152位于第一穿孔131中,如图6所示。在本实施方式中,第一板体130的第一穿孔131的边缘与伸缩杆152之间具有间隙d,且间隙d介于4mm至6mm,例如5mm。如此一来,当支撑平台110(见图2)受力时,除了可于垂直方向移动外,还可于方向x与方向y(水平方向)移动。
图7绘示图4的氮气棒150、第一板体130与位置调整组件160组装后的立体图。同时参阅图3与图7,位置调整组件160还包含弹簧166。弹簧166套设于固定柱162,且弹簧166位于第一板体130与第二板体140之间。由于位置调整组件160具有弹簧166,且第一板体130具有第一穿孔131,因此当支撑平台110(见图2)受力时,除了支撑平台110可于方向x、y、z移动外,支撑平台110与其下方的氮气棒150还可倾斜角度θ。
图8绘示图7从第一板体130下方看的立体图。同时参阅图5与图8,第一板体130具有第二穿孔133,固定柱162耦合于第一板体130的第二穿孔133。此外,位置调整组件160还包含第二螺丝168。第二螺丝168穿过第一板体130而锁附于固定柱162的底部,且第二螺丝168与第一螺丝164分别位于固定柱162的相对两端。
在本实施方式中,位置调整组件160与第一板体130的第二穿孔133皆为多个,其数量并不用以限制本发明。举例来说,第一板体130具有单一第一穿孔131与三个第二穿孔133。这三个第二穿孔133围绕第一穿孔131。氮气棒150的伸缩杆152位于此第一穿孔131中,三个位置调整组件160的三个固定柱162分别耦合于三个第二穿孔133。这样的设计可对支撑平台110(见图2)提供平衡的支撑性。
同时参阅图3与图4,对接浮动机构100(见图2)还包含夹持件172、第一连接件174、第二连接件176与插销178。夹持件172位于氮气棒150的表面。第一连接件174位于夹持件172上。第二连接件176位于支撑柱120上。当氮气棒150未受力时,第一连接件174位于第二连接件176上方。当氮气棒150受向下的力时,第一连接件174可随氮气棒150下降而接近第二连接件176。在此状态下,第一连接件174与第二连接件176共同具有穿孔177。此时插销178可耦合于穿孔177以完成氮气棒150、支撑平台110(见图2)与测试头220(见图1)的定位。在本实施方式中,对接浮动机构100还可包含把手180。把手180位于支撑柱120上,且把手180与第二连接件176分别位于支撑柱120的相邻两侧面122、124,以避免干涉,方便操作对接浮动机构100。
虽然本发明已以实施方式揭露如上,然其并非用以限定本发明,任何熟悉此技艺者,在不脱离本发明的精神和范围内,当可作各种的更动与润饰,因此本发明的保护范围当视所附的权利要求书所界定的范围为准。
Claims (10)
1.一种对接浮动机构,其特征在于,包含:
一支撑平台;
一支撑柱,位于该支撑平台的下方,且具有一容置空间;
一第一板体,位于该容置空间中;
一第二板体,位于该支撑柱上且覆盖该容置空间;
一氮气棒,具有一伸缩杆,该伸缩杆穿过该第一板体与该第二板体,该伸缩杆的一端固定于该第一板体,该氮气棒背对该伸缩杆的一端连接该支撑平台;以及
至少一位置调整组件,位于该容置空间中,该位置调整组件包含:
一固定柱,位于该第一板体上且其内具有一螺纹;以及
一第一螺丝,锁附于该固定柱的该螺纹,该第一螺丝的顶面具有一滚珠,且该滚珠抵接该第二板体的底面。
2.根据权利要求1所述的对接浮动机构,其特征在于,该位置调整组件还包含:
一弹簧,套设于该固定柱,且位于该第一板体与该第二板体之间。
3.根据权利要求1所述的对接浮动机构,其特征在于,该第一板体具有一第一穿孔,该伸缩杆位于该第一穿孔中,且该第一穿孔的边缘与该伸缩杆之间具有一间隙。
4.根据权利要求3所述的对接浮动机构,其特征在于,该间隙介于4mm至6mm。
5.根据权利要求3所述的对接浮动机构,其特征在于,该第一板体具有一第二穿孔,该固定柱耦合于该第二穿孔。
6.根据权利要求5所述的对接浮动机构,其特征在于,该位置调整组件还包含:
一第二螺丝,穿过该第一板体而锁附于该固定柱的底部,且该第二螺丝与该第一螺丝分别位于该固定柱的相对两端。
7.根据权利要求1所述的对接浮动机构,其特征在于,具有多个位置调整组件,其中该第一板体具有一第一穿孔与多个第二穿孔,所述多个第二穿孔围绕该第一穿孔,该伸缩杆位于该第一穿孔中,所述多个位置调整组件的所述固定柱分别耦合于所述多个第二穿孔。
8.根据权利要求1所述的对接浮动机构,其特征在于,还包含两螺帽,其中该伸缩杆的该端与该氮气棒的该端各具有一螺纹,且两该螺纹分别穿过该支撑平台与该第一板体而分别与该两螺帽锁附。
9.根据权利要求1所述的对接浮动机构,其特征在于,还包含:
一夹持件,位于该氮气棒的表面;
一第一连接件,位于该夹持件上;
一第二连接件,位于该支撑柱上,其中该第一连接件与该第二连接件共同具有一穿孔;以及
一插销,耦合于该穿孔。
10.根据权利要求1所述的对接浮动机构,其特征在于,还包含:
一把手,位于该支撑柱上,且该把手与该第二连接件分别位于该支撑柱的相邻两侧面。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW107131589A TWI663410B (zh) | 2018-09-07 | 2018-09-07 | 對接浮動機構 |
TW107131589 | 2018-09-07 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN110895288A true CN110895288A (zh) | 2020-03-20 |
CN110895288B CN110895288B (zh) | 2022-04-01 |
Family
ID=67764605
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201910603606.7A Active CN110895288B (zh) | 2018-09-07 | 2019-07-05 | 对接浮动机构 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN110895288B (zh) |
TW (1) | TWI663410B (zh) |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN2552630Y (zh) * | 2002-07-17 | 2003-05-28 | 群录自动化工业股份有限公司 | 浮动机构 |
TW545596U (en) * | 2002-09-16 | 2003-08-01 | Prec Machinery Res & Dev Cen | Ascending/descending mechanism of two-axis and floating one-axis |
WO2004103571A1 (es) * | 2003-05-22 | 2004-12-02 | Industrias Peñalver, S.L. | Pistola de accionamiento neumático para dispensa de líquidos |
TWM323236U (en) * | 2007-05-11 | 2007-12-11 | Wen-Shan Ke | Improved structure of connecting rod assembly for active table board |
TW200846667A (en) * | 2006-12-29 | 2008-12-01 | Intest Corp | Test head positioning system and method |
CN103707041A (zh) * | 2013-12-26 | 2014-04-09 | 昆山富新立伟自动化科技有限公司 | 一种能够降低滾珠丝杆磨损的自动压铜柱机 |
JP2014108436A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-12 | Aida Engineering Ltd | プレス機械のダイオープン機構 |
CN203750862U (zh) * | 2013-11-22 | 2014-08-06 | 格兰达技术(深圳)有限公司 | 一种ic芯片测试分选机的测试抓手的浮动接头模组装置 |
CN106695462A (zh) * | 2016-12-09 | 2017-05-24 | 浙江工业大学 | 一种液动压悬浮研磨抛光一体抛光角度可调装置 |
CN106724032A (zh) * | 2017-03-30 | 2017-05-31 | 葛心悦 | 一种学生用多功能矫姿座椅 |
LU100568B1 (en) * | 2017-12-18 | 2018-03-21 | Xiamen Xiang Xin De Trading Co Ltd | Pneumatic rod with two-chamber structure |
CN207333546U (zh) * | 2017-08-03 | 2018-05-08 | 常州九创气弹簧科技有限公司 | 一种便于维修的气弹簧 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008103328A1 (en) * | 2007-02-23 | 2008-08-28 | Intest Corporation | Test head manipulator |
TWI613453B (zh) * | 2011-07-06 | 2018-02-01 | 色拉頓系統公司 | 具有一探針裝置之測試系統及轉位機構 |
DE102012112271A1 (de) * | 2012-12-14 | 2014-03-27 | Turbodynamics Gmbh | Zusammenführvorrichtung |
MY179046A (en) * | 2013-09-30 | 2020-10-26 | Intest Corp | Method and apparatus for docking a test head with a peripheral |
TWI524077B (zh) * | 2013-12-03 | 2016-03-01 | Tohoku Seiki Ind Co Ltd | IC processor |
-
2018
- 2018-09-07 TW TW107131589A patent/TWI663410B/zh active
-
2019
- 2019-07-05 CN CN201910603606.7A patent/CN110895288B/zh active Active
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN2552630Y (zh) * | 2002-07-17 | 2003-05-28 | 群录自动化工业股份有限公司 | 浮动机构 |
TW545596U (en) * | 2002-09-16 | 2003-08-01 | Prec Machinery Res & Dev Cen | Ascending/descending mechanism of two-axis and floating one-axis |
WO2004103571A1 (es) * | 2003-05-22 | 2004-12-02 | Industrias Peñalver, S.L. | Pistola de accionamiento neumático para dispensa de líquidos |
TW200846667A (en) * | 2006-12-29 | 2008-12-01 | Intest Corp | Test head positioning system and method |
TWM323236U (en) * | 2007-05-11 | 2007-12-11 | Wen-Shan Ke | Improved structure of connecting rod assembly for active table board |
JP2014108436A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-12 | Aida Engineering Ltd | プレス機械のダイオープン機構 |
CN203750862U (zh) * | 2013-11-22 | 2014-08-06 | 格兰达技术(深圳)有限公司 | 一种ic芯片测试分选机的测试抓手的浮动接头模组装置 |
CN103707041A (zh) * | 2013-12-26 | 2014-04-09 | 昆山富新立伟自动化科技有限公司 | 一种能够降低滾珠丝杆磨损的自动压铜柱机 |
CN106695462A (zh) * | 2016-12-09 | 2017-05-24 | 浙江工业大学 | 一种液动压悬浮研磨抛光一体抛光角度可调装置 |
CN106724032A (zh) * | 2017-03-30 | 2017-05-31 | 葛心悦 | 一种学生用多功能矫姿座椅 |
CN207333546U (zh) * | 2017-08-03 | 2018-05-08 | 常州九创气弹簧科技有限公司 | 一种便于维修的气弹簧 |
LU100568B1 (en) * | 2017-12-18 | 2018-03-21 | Xiamen Xiang Xin De Trading Co Ltd | Pneumatic rod with two-chamber structure |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
江南造船厂船体车间: "扁圆两用碳刨龙头及半自动碳刨小车", 《化工与通用机械》 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI663410B (zh) | 2019-06-21 |
TW202011037A (zh) | 2020-03-16 |
CN110895288B (zh) | 2022-04-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101681238B1 (ko) | 수직형 프로브 장치 및 수직형 프로브 장치에 사용되는 지지 기둥 | |
US10215801B2 (en) | Contact inspection device having a probe head and rotation restricting portions | |
US8721372B2 (en) | Contact and electrical connecting apparatus | |
US8248091B2 (en) | Universal array type probe card design for semiconductor device testing | |
US10018669B2 (en) | Electrical contactor and electrical connecting apparatus | |
JP5337341B2 (ja) | 電気的接続装置およびその組み立て方法 | |
JP2006023271A (ja) | 半導体検査用プローブカード | |
US20160146885A1 (en) | Probe and contact inspection device | |
TWI408373B (zh) | 適用於細間距垂直探測應用之模組化空間轉換器 | |
US20080054927A1 (en) | Probe assembly | |
US20030077932A1 (en) | Floating blind mate interface for automatic test system | |
US10962570B2 (en) | System, a tangent probe card and a probe head assembly for testing semiconductor wafer | |
CN110895288B (zh) | 对接浮动机构 | |
US11733267B2 (en) | Probe head and probe card | |
JP7240317B2 (ja) | 検査治具 | |
CN109687187B (zh) | 电连接模块及板对板电连接装置 | |
KR102086391B1 (ko) | 회로 검사장치 | |
CN116872185A (zh) | 调平机构及晶圆传输机械手 | |
KR20220036783A (ko) | Pcb 검사용 지그 | |
KR101646544B1 (ko) | 부품이 간소화된 테스트 소켓 | |
CN111465246B (zh) | 一种双向背板定位销快速安装装置及方法 | |
KR102037657B1 (ko) | 전기적 검사용 프로브 카드 및 프로브 카드의 프로브 헤드 | |
CN216123281U (zh) | 一种子母板组中固定子板的拆装构件 | |
KR20060003315A (ko) | 반도체 검사용 프로브 카드 | |
CN112748323A (zh) | 测试治具及测试组件 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |