CN110871943A - 智能栈板箱 - Google Patents
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Abstract
一种智能栈板箱，适用于承载并容装至少一洁净基板容器，包含栈板座、箱体，及感测装置。箱体包括可分离地组合在该栈板座上四周的周壁，及可分离地结合在该周壁上的上盖，该栈板座与该周壁共同界定出用来容装该至少一洁净基板容器的容置空间，且该容置空间的上、下端分别为该上盖及该栈板座封闭。感测装置包括至少一设置在该栈板座或该箱体上以感测该容置空间中或该栈板座的状态的感测器。在栈板座或箱体上设置感测器，能在智能栈板箱的运送过程中即时侦测该箱体内的环境及所容置物品多寡与重量等状态，来辅助确认甚至控制箱体内的环境状态，确保其中所容置的物品不致受到环境条件的变化而被污染甚或受损。
Description
技术领域
本发明涉及一种栈板箱，特别是涉及一种用于承载并容装半导体用洁净基板容器的智能栈板箱。
背景技术
在半导体制程中，晶圆是主要的基材，其在半导体厂外的外界环境中进行晶圆运送时，一般是将晶圆放置在一洁净基板容器，例如一前开式晶圆运送盒(front openingshipping box，FOSB)中。而在运送多个洁净基板容器时，则通常是通过一栈板或栈板箱承载来承载或容装所述洁净基板容器。
然而，现有的栈板都不具有保护或缓冲结构，以及监测或监控功能，无法提供足够的保护，也无法让搬运人员或运送人员确认承载的晶圆的状态。现有的栈板箱虽有箱体可提供简单的保护，但一来保护效果不佳，二来同样不具有监测或监控功能，而其庞大的体积，更是造成其未被使用时收纳、储存上的困难。同时，两者也都无法配合半导体业先进的自动化设备使用，因此造成作业时效上的减损。
发明内容
本发明的目的在于提供一种智能栈板箱。
本发明智能栈板箱，适用于承载并容装至少一洁净基板容器，所述智能栈板箱包含栈板座、箱体，及感测装置，所述箱体包括可分离地组合在所述栈板座上四周的周壁，及可分离地结合在所述周壁上的上盖，所述栈板座与所述周壁共同界定出用来容装所述至少一洁净基板容器的容置空间，且所述容置空间的上、下端分别为所述上盖及所述栈板座封闭，所述感测装置包括至少一设置在所述栈板座或所述箱体上以感测所述容置空间中或所述栈板座的状态的感测器。
本发明的智能栈板箱，还包含设置在所述容置空间中的定位缓冲单元，所述定位缓冲单元包括设置在所述栈板座上的缓冲底板及邻近所述上盖设置的缓冲顶板。
本发明的智能栈板箱，所述定位缓冲单元还包含设置在所述缓冲底板与所述缓冲顶板之间的缓冲隔板，所述缓冲隔板分别与所述缓冲底板及所述缓冲顶板将所述容置空间区隔出用于分别容置至少一所述洁净基板容器的第一空间区及第二空间区。
本发明的智能栈板箱，所述定位缓冲单元还包括设置在所述上盖与所述缓冲顶板之间的缓冲基材。
本发明的智能栈板箱，所述定位缓冲单元的材料是选自发泡材料构成。
本发明的智能栈板箱，所述发泡材料可选自聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)或乙烯-醋酸乙烯酯共聚物(EVA)。
本发明的智能栈板箱，所述发泡材料的发泡比介于10至60倍之间。
本发明的智能栈板箱，所述发泡材料是为抗静电发泡材料，且所述发泡材料的阻抗值小于1012Ω/sq。
本发明的智能栈板箱，所述栈板座包括基体，及设在所述基体与所述缓冲底板之间的承载模组。
本发明的智能栈板箱，所述承载模组包括防震片。
本发明的智能栈板箱，所述承载模组包括两个间隔设置的所述防震片。
本发明的智能栈板箱，所述承载模组包括多个阵列位于所述防震片之间的防震块。
本发明的智能栈板箱，各所述防震片具有内层、外层，及位于所述内层与所述外层之间的多孔结构。
本发明的智能栈板箱，所述栈板座还包括多个由所述基体的上表面往远离所述容置空间方向凹陷的凹槽。
本发明的智能栈板箱，所述栈板座还包括多个分别设置在所述多个凹槽中用于支撑所述承载模组的防震件。
本发明的智能栈板箱，任意一个所述防震件是为防震胶块。
本发明的智能栈板箱，任意一个所述防震件是为螺旋状防震器。
本发明的智能栈板箱，所述多个防震件包括多个防震胶块与多个螺旋状防震器，且所述多个防震胶块与所述多个螺旋状防震器分别交互设置在所述多个凹槽中。
本发明的智能栈板箱，当所述栈板座包括多个所述螺旋状防震器时，所述多个螺旋状防震器朝同方向设置。
本发明的智能栈板箱，所述防震片是由聚丙烯构成。
本发明的智能栈板箱，所述周壁具有内层、外层，及位于所述内层与所述外层之间的多孔结构。
本发明的智能栈板箱，所述栈板座及所述上盖是由气体辅助射出成型、吹气成型或双层吸塑成型。
本发明的智能栈板箱，所述周壁还包括至少一贯穿所述内层、所述多孔结构与所述外层的可透光视窗。
本发明的智能栈板箱，所述周壁具有四个彼此相连的周板，其中两个相对的所述周板分别具有至少一沿所述周板的高度方向延伸的弯折部，当所述周壁与所述栈板座分离时，可通过弯折所述弯折部以带动另两个相对的所述周板相向移动，使所述周壁呈收合状态。
本发明的智能栈板箱，至少一所述周板具有邻近所述上盖而与所述容置空间连通的侧开口及用于封闭或露出所述侧开口的掀板部，所述箱体还包括多个连接件，所述连接件分别对应设置在所述箱体与所述掀板部上，当所述掀板部封闭或露出所述侧开口时，通过所述连接件固定所述掀板部。
本发明的智能栈板箱，由所述周壁的上周缘至所述周壁的下周缘的高度小于等于所述栈板座的长与宽。
本发明的智能栈板箱，所述周壁的上周缘与下周缘分别具有与所述上盖及所述栈板座相配合定位的凹部。
本发明的智能栈板箱，所述感测装置包括多个感测器，且所述感测器可选自温度感测器、湿度感测器、压力感测器、位置感测器，或前述各种感测器的任一组合。
本发明的智能栈板箱，所述感测装置包括位在所述容置空间中的温度感测器及温度控制器。
本发明的智能栈板箱，所述感测装置包括位在所述容置空间中的湿度感测器，及湿度控制器。
本发明的智能栈板箱，所述感测装置包括压力感测器，且所述智能栈板箱具有用于显示或提示所述智能栈板箱的重量状态的重量提示器，所述压力感测器电连接所述重量提示器。
本发明的智能栈板箱，所述上盖、所述周壁或所述栈板座外侧面上设置有太阳能充电装置，且所述太阳能充电装置电连接所述感测装置。
本发明的智能栈板箱，还包含辨识手段。
本发明的智能栈板箱，所述辨识手段是为条码或无线射频辨识标签。
本发明的智能栈板箱，还包含用于将所述感测装置感测到的资料输出的传输装置，所述传输装置与所述感测装置电连接。
本发明的智能栈板箱，所述传输装置是为无线传输装置。
本发明的智能栈板箱，还包含多个设置在所述上盖的夹取槽。
本发明的智能栈板箱，还包含多个分别位于所述夹取槽的弹性件，及多个分别与所述弹性件连接且各有至少部分分别位于所述夹取槽中的卡固件，所述周壁具有多个分别对应所述多个卡固件的穿孔或卡槽，各所述卡固件能在卡固进对应的所述穿孔或所述卡槽的关闭位置，及在远离对应的所述穿孔或所述卡槽的开启位置之间移动。
本发明的智能栈板箱，还包含设置在所述上盖的防盗装置。
本发明的智能栈板箱，所述防盗装置包括电磁锁，所述电磁锁能通过所述多个弹性件顶抵或释放所述多个卡固件，使各所述卡固件在所述关闭位置及所述开启位置间移动。
本发明的有益效果在于：在栈板座或箱体上设置感测器，能在智能栈板箱的运送过程中即时侦测该箱体内的环境及所容置物品多寡与重量等状态，来辅助确认甚至控制箱体内的环境状态，确保其中所容置的物品不致受到环境条件的变化而被污染甚或受损。
附图说明
图1是一立体图，说明本发明智能栈板箱的一实施例；
图2是一立体图，省略部分元件说明该实施例的一定位缓冲单元；
图3是一立体图，省略部分元件说明该实施例的一栈板座；
图4是一局部放大图，说明该栈板座的一防震胶块；
图5是一局部放大图，说明该栈板座的一螺旋状防震器；
图6是一侧视图，辅助说明图3该栈板座的一承载模组；
图7是一立体分解图，说明该实施例的该栈板座、一周壁，及一上盖的组合关系；
图8是一侧视图，说明防震片或周壁的结构；
图9是一局部放大图，辅助说明图7的该周壁与该上盖的组装；
图10是一立体图，说明该实施例的周壁于收合过程中的样貌；
图11是一立体分解图，说明该实施例的该周壁的收合状态与该上盖及该栈板座的堆叠；
图12是一立体图，说明多个该实施例进行堆叠；
图13是一立体图，省略部分元件说明该实施例的周板上的掀板部及侧开口；
图14是一立体图，辅助说明图13该掀板部的掀开状态；
图15是一立体图，说明该实施例的该感测装置；
图16是一俯视图，说明该实施例的一太阳能充电装置及一感测装置；
图17是一沿图16的直线I-I的剖面侧视图，说明该实施例的夹取槽、卡固件，以及穿孔或卡槽；
图18是一沿图16的直线I-I的剖面侧视图，辅助说明图17的夹取槽、卡固件，以穿孔或卡槽；
图19是一立体图，说明该实施例与一机器手臂；
图20是一立体图，说明该机器手臂的一夹取件的态样；
图21是一立体图，说明该机器手臂夹取该实施例的该上盖；
图22是一立体图，说明该机器手臂夹取该实施例的该定位缓冲单元的一缓冲顶板；及
图23是一立体图，说明该机器手臂夹取该实施例内的一洁净基板容器。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明。
参阅图1、图2及图22，本发明智能栈板箱1的一实施例适用于承载并容装多个洁净基板容器100。该洁净基板容器100可以是各种半导体、太阳能或光电等产业中惯用的密闭式洁净容器，例如光罩盒、晶圆盒等。本实施例中则是以前开式晶圆运送盒(FOSB)来作为范例。
该智能栈板箱1包含一栈板座2、一设置在该栈板座2上的箱体3、一设置在该栈板座2或该箱体3上的感测装置4。
具体地说，该箱体3包括一可分离地组合在该栈板座2上的周壁31，及一可分离地结合在该周壁31上的上盖32。该栈板座2与该周壁31共同界定出一用来容装所述洁净基板容器100的容置空间300，且该容置空间300的上、下端分别为该上盖32及该栈板座2所封闭。
箱体3包含一设置在该容置空间300中的定位缓冲单元5。该定位缓冲单元5则包括了一设置在该栈板座2上的缓冲底板51、一邻近该上盖32设置的缓冲顶板52、一设置在该缓冲底板51与该缓冲顶板52之间的缓冲隔板53。
该缓冲隔板53分别与该缓冲底板51及该缓冲顶板52将该容置空间300区隔出一第一空间区301及一第二空间区302，以分别容置多个洁净基板容器100。而就本实施例中所示范的前开式晶圆运送盒而言，每一个前开式晶圆运送盒又可容置多片晶圆。
而如图2所示，缓冲底板51、缓冲隔板53及缓冲顶板52还配合洁净基板容器100的外型提供了定位以及缓冲的功能，以避免这些洁净基板容器100在运送的过程中因为晃动或遭受撞击而造成其中的晶圆受损。此外，为了提供更好的缓冲及保护效果，在该上盖32与该缓冲顶板52之间还可再进一步设置一缓冲基材54。
较佳地，本实施例中的定位缓冲单元5，包括缓冲底板51、缓冲顶板52、缓冲隔板53及缓冲基材54，其材料可选自发泡材料来构成。例如聚乙烯(Polyethylene，PE)、聚丙烯(Polypropylene，PP)或乙烯-醋酸乙烯酯共聚物(Ethylene vinyl acetate，EVA)等发泡材料。但不限于此。
更佳地，所述发泡材料的发泡比介于10至60倍之间，以提供更好的缓冲效果。此外，由于半导体等高科技产业的产品很容易因为静电放电现象导致损坏，因此该发泡材料还可采用抗静电的发泡材料，且该发泡材料阻抗值最好是在1012Ω/sq以下，以避免静电荷累积后发生放电，造成其中所容置的晶圆受损。
前述表面电阻率的单位「Ω/sq」代表每单位面积上的欧姆值；其中：sq是指单位面积，具体尺寸单位(英尺或公尺)在计算过程中因为相除而相消，所以已与具体尺寸无关。
配合参阅图3至图5，该栈板座2包括一轮廓呈矩形的基体21、多个由该基体21的一上表面往下凹陷的凹槽22、多个分别设置在所述凹槽22内的防震件23，及一设在该基体21与该缓冲底板51之间的承载模组25。
防震件23用于支撑该承载模组25，并隔绝由栈板座2传来的震动。防震件23可以采用各种不同的材质或结构，例如可以是以天然橡胶、硅胶＝等材料所制成的防震胶块231，或者是金属、塑胶或复合材料所制成的螺旋状防震器232。本实施例并不对此加以限制，只要能达到支撑及防震的功效便可。
具体地说，所述凹槽22是呈阵列排列在该基体21上。所述防震胶块231设置在位在四个角落的凹槽22内，所述螺旋状防震器232则是设置在基体21的四边中央的凹槽22内，也就是让所述防震胶块231与所述螺旋状防震器232交互设置在该基体21的外周缘。
其中，防震胶块231主要是提供对于垂直地面方向震动的隔绝；螺旋状防震器232是以轴线全部朝向洁净基板容器100中的晶圆叠置方向同向的方式设置，以提供对于沿着该方向的摇晃或震动的隔离功效。通过这两种不同结构的防震件23来提供更好的防震效果。
配合图2地参阅图3、图6与图8，设置在该基体21上的该承载模组25包括两相间隔设置的防震片251，及多个阵列位于所述防震片251之间的防震块255。与防震胶块231相同地，所述防震块255也一样可以采用天然橡胶、硅胶等材料制作。
每一防震片251又具有一内层252、一外层253，及一位于该内层252与该外层253之间的多孔结构254。较佳地，多孔结构254可以是蜂巢结构。如此可以在具有极高的结构强度的前提下大幅减轻防震片251的重量，而可达到节省运输成本的功效。
相同的是，该箱体3的该周壁31的周板310也可采用与该防震片251同样的结构。也就是说，该周板310也具有一内层303、一外层304，及位于该内层303与该外层304间的多孔结构305(如图8所示)。并且，多孔结构305同样也可以是蜂巢结构，以兼具高强度及轻量化的优点。
请同时参阅图1及图7，该周壁31还包括多个贯穿该内层303、该多孔结构305与该外层304的可透光视窗33。如此，使用者或自动化设备就可直接通过该可透光视窗33确认该容置空间300内装载所述洁净基板容器100的状况。
该周壁31的材料同样也是选自聚乙烯或聚丙烯等。再搭配上该多孔结构305，使该周壁31可具有质量轻、承载力与耐用度高、及隔热性佳等优点。
该栈板座2及该上盖32可以采用气体辅助射出成型、吹气成型或双层吸塑成型等技术制造，以让该栈板座2及该上盖32具有中空轻量化的优点，避免厚尺寸处的凹陷、收缩、翘曲变形，还能缩短成型制程周期，及提高整体强度。
参阅图7与图9，位于该周壁31的一上周缘311与一下周缘312的凹部313、314可分别与该上盖32的定位部323及该栈板座2的凸部26相配合，以通过简易的方式将三者进行组装。且为了正确对位及组装，每一边上对应的各组凹部313与定位部323以及各组对应的凹部314与凸部26可以分别采取不同的尺寸或形状，以利组装人员正确辨识。
更具体地说，在本实施例中，该上盖32具有一本体321、多道由面向该周壁31的上周缘311往该本体321凹陷的沟槽322，及位于所述沟槽322内的定位部323，该周壁31的该上周缘311具有多个与所述定位部323对应且轮廓相配合的凹部313。
同样地，该栈板座2具有多个沿该基体21的该上表面周缘凸起的凸部26，该周壁31的该下周缘312具有多个对应所述凸部26的凹部314。
一般来说，沟槽322的宽度与周壁31的周板310的厚度相同以让周板310的上周缘311可以插入沟槽322中。通过该上盖32的沟槽322及所述定位部323与该周壁31的上周缘311及所述凹部313的搭配，作业人员或可以很容易而正确地将上盖32盖合至周壁31上。
类似地，通过该栈板座2的所述凸部26与该周壁31的下周缘312的所述凹部314的搭配，能提供组装该栈板座2、该周壁31时的防呆定位功能，使组装快速且确实。
参阅图7与图10，该周壁31具有四个彼此相连的周板310，其中相对的两个周板310中央分别具有一沿该周板310的高度方向延伸的弯折部316。各弯折部316将其所在的周板310分成两个周板部315。
当该周壁31由该栈板座2拆离后，可通过将所述弯折部316相向弯折，使所述周板部315相贴合，以带动其中另两个相对的周板310相向移动，使该周壁31呈一收合状态。
配合参阅图11与图12，若周壁31的上周缘311至下周缘312的高度H小于等于该栈板座2的长度与宽度，则呈收合状态的该周壁31可被平放在该上盖32与该栈板座2之间叠置收纳。更可进一步如图12将多个呈收纳状态的智能栈板箱1彼此堆叠以减少储位空间。
要说明的是，当该智能栈板箱1没有进行收纳时，也可通过在该上盖32的顶面与该栈板座2的底面分别设置彼此相配合的凹凸定位结构，使多个智能栈板箱1通过此凹凸定位结构配合，彼此快速且稳固的堆叠。
参阅图13与图14，该周壁31中另两个不具有折弯部316的周板310分别具有一周板部315、一侧开口320，及一掀板部317。侧开口320邻近该上盖32而与该容置空间300连通，该掀板部317可掀式地连接该周板部315，以封闭或露出该侧开口320。
较佳地，该箱体3包括多个分别设置在该周板部315与该掀板部317上的连接件34，当掀开或闭合该掀板部317而使其露出或封闭该侧开口320时，均可通过所述连接件34固定该掀板部317，适用于本实施例的该连接件是选自魔鬼毡为例做说明，以达到将该掀板部317快速黏接的功效。
通过所述掀板部317的设计，掀开所述掀板部317而露出该侧开口320，使位在下层的该第一空间区301(见图2)中的所述洁净基板容器100能方便被取放。
参阅图15、16与图22，该感测装置4包括多个设置在该栈板座2与该箱体3的感测器，用于感测该容置空间300中或该栈板座2的状态。
于本实施例中，该感测装置4包括一设置在该栈板座2上的压力感测器41、一位置感测器43、设置在该箱体3上而位于该容置空间300中的一温度感测器与一湿度感测器(图未示)，及一设置在该上盖32外侧的温湿度显示器44。
具体地说，该压力感测器41设置在该栈板座2的底部、该重量提示器42与该位置感测器43设置在该栈板座2的侧周围。该压力感测器41与该重量提示器42电连接，并用于感测该容置空间300中的所述洁净基板容器100的装载状态，并可通过该重量提示器42的灯号显示，以显示或警示包材短少或晶圆片缺放等异常状态。
该温度感测器及该湿度感测器是与该温湿度显示器44电连接，通过该温度感测器与该湿度感测器来感测该容置空间300中的温度与湿度状态，并将温湿度讯息显示在该温湿度显示器44上。
另外，感测装置4还可包括设置在容置空间300中的一温度控制器(图未示)及一湿度控制器(图未示)，例如一电子加热器或致冷器及一电子式除湿器。当该容置空间300中的温湿度有异常时，可通过所述温度与湿度控制器进行调控，避免该容置空间300中的温湿度异常而影响晶圆的质量。
此外，本实施例所提供的智能栈板箱1还可设置有一位置感测器43，例如一GPS定位器，用于对该智能栈板箱1进行定位，甚至还可以进一步提供追踪的功能。
请同时再参阅图1，本实施例的该太阳能充电装置6是设置在该上盖32上，但也可以选择地设置在该周壁31上或栈板座2的侧面上。该感测装置4所需要的电力除了可通过设置电池供电之外，还可通过与该太阳能充电装置6电连接而由该太阳能充电装置6自行产生电能来提供该感测装置4所需要的电力。
更佳地，本实施例的智能栈板箱1还可进一步设有一用于将该感测装置4感测到资料输出的传输装置92。传输装置92可以为一有线的电子装置连接埠，或者是一无线传输装置，本实施例并不对此加以限制。传输装置92与感测装置4电连接以接收其所感测到的资料，然后再将这些资料输出到外部以供监控或记录用。
另外，智能栈板箱1还可进一步设有一辨识手段91。辨识手段91可以采用条码，包括一维条码或是如快速响应矩阵图码(QR code)等的二维条码，或者是一无线射频辨识标签(RFID tag)，以供作业人员或自动化设备易于辨识或管理。
参阅图1、图16至图20，本实施例的上盖32上还可设置多个夹取槽72、多个分别位于所述夹取槽72中的弹性件73，及多个位于该夹取槽72中且与该弹性件73连接的卡固件74，该周壁31具有多个分别对应所述卡固件74的穿孔(或是卡槽)319。
自动化搬运设备中的机器手臂8包含一具有一抓取面810的抓取件81、一设置在该抓取面810上的电磁锁811，及四个对应所述夹取槽72设置在该抓取面810上的抓取部812。所述抓取部812的数量可根据该夹取槽72的数量对应改变，本实施例对此也不多作限制。
当该机器手臂8的该抓取件81以该抓取面810对应面向上盖32时，可通过将四个抓取部812对应放入所述夹取槽72，并让所述抓取部812分别顶抵所述卡固件74，以使所述卡固件74在卡固进该周壁31的所述穿孔(或是卡槽)319的一关闭状态(如图17所示)，及在远离该周壁31的所述穿孔(或是卡槽)319的一开启状态(如图18所示)之间移动。
参阅图21至图23，当要夹取该智能栈板箱1的该容置空间300中的各洁净基板容器100时，可通过所述抓取部812顶抵所述卡固件74，而依序夹取出该上盖32与该缓冲顶板52，便可夹取该洁净基板容器100(如图23所示)。
更佳地，本实施例还可在上盖32设置有一可控制所述卡固件74的防盗装置7。防盗装置7包括有一电磁锁71。该机器手臂8的该抓取件81的该抓取面810上与电磁锁71对应处设有一电磁锁811。机器手臂8上的电磁锁811与该防盗装置7的该电磁锁71彼此相互感应、进行资料核对。若资料相符，防盗装置7才解除对于卡固件74的锁定，用于达到防盗的功效。
综上所述，本实施例所提供的智能栈板箱1，通过在该栈板座2或该箱体3上设置感测器，能在该智能栈板箱1的运送过程中即时侦测该箱体3内温湿度，及该栈板座2所承受的重量状态，来辅助确认并改善该箱体3内的环境状态，并在该容置空间300中设置该定位缓冲单元5来增强其内部防撞与减震，而该周壁31可折叠的设计也能平放在该上盖32与该栈板座2之间，以进行收纳，该周壁31、该上盖32及该栈板座2具有彼此相配合的防呆结构，使整体结构而能快速且确实的组装，此外，通过该夹取槽72的设置，能自动化的使用该机器手臂8来感应开启，便于后续机器手臂8直接夹取所述洁净基板容器100，还可增加设置防盗装置7以确保安全，所以确实能达成本发明的各项目的。
Claims (41)
1.一种智能栈板箱，适用于承载并容装至少一洁净基板容器；其特征在于：
所述智能栈板箱包含栈板座、箱体，及感测装置，所述箱体包括可分离地组合在所述栈板座上四周的周壁，及可分离地结合在所述周壁上的上盖，所述栈板座与所述周壁共同界定出用来容装所述至少一洁净基板容器的容置空间，且所述容置空间的上、下端分别为所述上盖及所述栈板座封闭，所述感测装置包括至少一设置在所述栈板座或所述箱体上以感测所述容置空间中或所述栈板座的状态的感测器。
2.根据权利要求1所述的智能栈板箱，其特征在于：还包含设置在所述容置空间中的定位缓冲单元，所述定位缓冲单元包括设置在所述栈板座上的缓冲底板及邻近所述上盖设置的缓冲顶板。
3.根据权利要求2所述的智能栈板箱，其特征在于：所述定位缓冲单元还包含设置在所述缓冲底板与所述缓冲顶板之间的缓冲隔板，所述缓冲隔板分别与所述缓冲底板及所述缓冲顶板将所述容置空间区隔出用于分别容置至少一所述洁净基板容器的第一空间区及第二空间区。
4.根据权利要求2所述的智能栈板箱，其特征在于：所述定位缓冲单元还包括设置在所述上盖与所述缓冲顶板之间的缓冲基材。
5.根据权利要求2或3所述的智能栈板箱，其特征在于：所述定位缓冲单元的材料是选自发泡材料构成。
6.根据权利要求5所述的智能栈板箱，其特征在于：所述发泡材料可选自聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)或乙烯-醋酸乙烯酯共聚物(EVA)。
7.根据权利要求5所述的智能栈板箱，其特征在于：所述发泡材料的发泡比介于10至60倍之间。
8.根据权利要求5所述的智能栈板箱，其特征在于：所述发泡材料是为抗静电发泡材料，且所述发泡材料的阻抗值小于1012Ω/sq。
9.根据权利要求2所述的智能栈板箱，其特征在于：所述栈板座包括基体，及设在所述基体与所述缓冲底板之间的承载模组。
10.根据权利要求9所述的智能栈板箱，其特征在于：所述承载模组包括防震片。
11.根据权利要求10所述的智能栈板箱，其特征在于：所述承载模组包括两个间隔设置的所述防震片。
12.根据权利要求11所述的智能栈板箱，其特征在于：所述承载模组包括多个阵列位于所述防震片之间的防震块。
13.根据权利要求10、11或12所述的智能栈板箱，其特征在于：各所述防震片具有内层、外层，及位于所述内层与所述外层之间的多孔结构。
14.根据权利要求9所述的智能栈板箱，其特征在于：所述栈板座还包括多个由所述基体的上表面往远离所述容置空间方向凹陷的凹槽。
15.根据权利要求14所述的智能栈板箱，其特征在于：所述栈板座还包括多个分别设置在所述多个凹槽中用于支撑所述承载模组的防震件。
16.根据权利要求15所述的智能栈板箱，其特征在于：任意一个所述防震件是防震胶块。
17.根据权利要求15所述的智能栈板箱，其特征在于：任意一个所述防震件是螺旋状防震器。
18.根据权利要求15所述的智能栈板箱，其特征在于：所述多个防震件包括多个防震胶块与多个螺旋状防震器，且所述多个防震胶块与所述多个螺旋状防震器分别交互设置在所述多个凹槽中。
19.根据权利要求17或18所述的智能栈板箱，其特征在于：当所述栈板座包括多个所述螺旋状防震器时，所述多个螺旋状防震器朝同方向设置。
20.根据权利要求10、11或12所述的智能栈板箱，其特征在于：所述防震片是由聚丙烯构成。
21.根据权利要求13所述的智能栈板箱，其特征在于：所述防震片是由聚丙烯构成。
22.根据权利要求1所述的智能栈板箱，其特征在于：所述周壁具有内层、外层，及位于所述内层与所述外层之间的多孔结构。
23.根据权利要求1所述的智能栈板箱，其特征在于：所述栈板座及所述上盖是由气体辅助射出成型、吹气成型或双层吸塑成型。
24.根据权利要求22所述的智能栈板箱，其特征在于：所述周壁还包括至少一贯穿所述内层、所述多孔结构与所述外层的可透光视窗。
25.根据权利要求1所述的智能栈板箱，其特征在于：所述周壁具有四个彼此相连的周板，其中两个相对的所述周板分别具有至少一沿所述周板的高度方向延伸的弯折部，当所述周壁与所述栈板座分离时，可通过弯折所述弯折部以带动另两个相对的所述周板相向移动，使所述周壁呈收合状态。
26.根据权利要求25所述的智能栈板箱，其特征在于：至少一所述周板具有邻近所述上盖而与所述容置空间连通的侧开口及用于封闭或露出所述侧开口的掀板部，所述箱体还包括多个连接件，所述连接件分别对应设置在所述箱体与所述掀板部上，当所述掀板部封闭或露出所述侧开口时，通过所述连接件固定所述掀板部。
27.根据权利要求25所述的智能栈板箱，其特征在于：由所述周壁的上周缘至所述周壁的下周缘的高度小于等于所述栈板座的长与宽。
28.根据权利要求1所述的智能栈板箱，其特征在于：所述周壁的上周缘与下周缘分别具有与所述上盖及所述栈板座相配合定位的凹部。
29.根据权利要求1所述的智能栈板箱，其特征在于：所述感测装置包括多个感测器，且所述感测器可选自温度感测器、湿度感测器、压力感测器、位置感测器，或前述各种感测器的任一组合。
30.根据权利要求1所述的智能栈板箱，其特征在于：所述感测装置包括位在所述容置空间中的温度感测器及温度控制器。
31.根据权利要求1所述的智能栈板箱，其特征在于：所述感测装置包括位在所述容置空间中的湿度感测器，及湿度控制器。
32.根据权利要求1所述的智能栈板箱，其特征在于：所述感测装置包括压力感测器，且所述智能栈板箱具有用于显示或提示所述智能栈板箱的重量状态的重量提示器，所述压力感测器电连接所述重量提示器。
33.根据权利要求1所述的智能栈板箱，其特征在于：所述上盖、所述周壁或所述栈板座外侧面上设置有太阳能充电装置，且所述太阳能充电装置电连接所述感测装置。
34.根据权利要求1所述的智能栈板箱，其特征在于：还包含辨识手段。
35.根据权利要求34所述的智能栈板箱，其特征在于：所述辨识手段是为条码或无线射频辨识标签。
36.根据权利要求1所述的智能栈板箱，其特征在于：还包含用于将所述感测装置感测到的资料输出的传输装置，所述传输装置与所述感测装置电连接。
37.根据权利要求36所述的智能栈板箱，其特征在于：所述传输装置是为无线传输装置。
38.根据权利要求1所述的智能栈板箱，其特征在于：还包含多个设置在所述上盖的夹取槽。
39.根据权利要求38所述的智能栈板箱，其特征在于：还包含多个分别位于所述夹取槽的弹性件，及多个分别与所述弹性件连接且各有至少部分分别位于所述夹取槽中的卡固件，所述周壁具有多个分别对应所述多个卡固件的穿孔或卡槽，各所述卡固件能在卡固进对应的所述穿孔或所述卡槽的关闭位置，及在远离对应的所述穿孔或所述卡槽的开启位置之间移动。
40.根据权利要求39所述的智能栈板箱，其特征在于：还包含设置在所述上盖的防盗装置。
41.根据权利要求40所述的智能栈板箱，其特征在于：所述防盗装置包括电磁锁，所述电磁锁能通过所述多个弹性件顶抵或释放所述多个卡固件，使各所述卡固件在所述关闭位置及所述开启位置间移动。
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