CN110841970A - 适用于表面附着物为Anodized部品的清洗方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种适用于表面附着物为Anodized部品的清洗方法，该方法包括下述步骤：S1、低温纯水浸泡；S2、湿式研磨：工件表面采用手持气动抛光机进行研磨抛光，手持气动抛光机的抛光头采用工业百洁布，研磨抛光采用湿式研磨法，研磨抛光时用工业百洁布沾着丙酮进行研磨；S3、低压冲洗：采用低压纯水水枪对工件表面进行低压冲洗；S4、纯水浸泡；S5、超声波震荡清洗；S6、纯水浸泡；S7、工件表面PH测试：对工件表面的残留水进行PH值测试，如果其PH值满足6‑7，则转入下一工序，如果其PH值小于6或大于7，则返回步骤S6，重新浸泡清洗；S8、采用CDA对工件表面吹干；S9、超声波震荡清洗；S10、CDA吹干；S11、自然冷却。

Description

适用于表面附着物为Anodized部品的清洗方法
技术领域
本发明公开一种Anodized部品的清洗方法，特别是一种适用于表面附着物为Anodized部品的清洗方法，属于特种清洗技术领域。
背景技术
AMAT DPS部品中的Upper Liner、Lower Liner、Screen、Slit Valve Door，AMATPRODUCER部品中的Cathode Liner Left、Cathode Liner Right、Cathode Sleeve、DoorSlit，AMAT eMax CT+部品中的Wall Liner、Slit Door Liner、Cathode Liner、SGD OuterPlate、SGD Inner Plate、TEL SCCM部品中的Inner Cooling Plate、Outer CoolingPlate、Plate Exhaust、Plate Shield、Ring Bottom Shield、Depo Shield、Window Depo、ESC、Liner Cover、Liner Manifront Large、Liner Manileft Large等诸多工件中的表面均为Al-Anodizing作为表面附着物，在长时间使用后，工件表面难免会附着些杂质，因此定期清洗就成了此类工件必不可少的工作，然而常规的工件表面清洗手段不能很好的去除工件表面的杂质，清洗效果不好。
发明内容
针对上述提到的现有技术中的Anodized部品工件表面清洗效果不好的缺点，本发明提供一种适用于表面附着物为Anodized部品的清洗方法，其采用湿式研磨法配合超声振荡清洗的方法对工件进行清洗，不仅清洗效果好，而且，对工件损伤较小。
本发明解决其技术问题采用的技术方案是：一种适用于表面附着物为Anodized部品的清洗方法，该方法包括下述步骤：
S1、低温纯水浸泡：采用12M超纯水对工件进行浸泡处理，浸泡时间为15～20分钟；
S2、湿式研磨：工件表面采用手持气动抛光机进行研磨抛光，手持气动抛光机的抛光头采用工业百洁布，研磨抛光采用湿式研磨法，研磨抛光时用工业百洁布沾着丙酮进行研磨；
S3、低压冲洗：采用低压纯水水枪对工件表面进行低压冲洗；
S4、纯水浸泡：将工件在DI Water中常温浸泡10分钟；
S5、超声波震荡清洗：将部品放进带有超音波的DI Water槽中，进行超声波震荡清洗5分钟以上；
S6、纯水浸泡：将工件在DI Water中常温浸泡30分钟以上；
S7、工件表面PH测试：对工件表面的残留水进行PH值测试，如果其PH值满足6-7，则转入下一工序，如果其PH值小于6或大于7，则返回步骤S6，重新浸泡清洗；
S8、CDA吹干：采用CDA对工件表面吹干；
S9、超声波震荡清洗：在无尘车间内进行，将部品放进带有超音波的DI Water槽中，进行超声波震荡清洗5分钟以上；
S10、CDA吹干：采用CDA对工件表面吹干；
S11、自然冷却：将加热干燥后的工件自然冷却至室温即可。
本发明解决其技术问题采用的技术方案进一步还包括：
所述的步骤S1中水温为30±5℃。
所述的步骤S3中冲洗时的水枪压力为：0.5-1bar。
所述的步骤S4中DI Water的电阻率为5MΩ以上，PH值：6-7。
所述的步骤S6中采用有效功率为1.2Kw的超声波进行超声波震荡清洗，超声波震荡清洗时要向超声波清洗槽中持续通入去离子水，保持水槽中的水从水槽上面不断溢流。
所述的步骤S8中压缩空气的压力为2kgf/cm2，干燥温度为100±5℃，干燥时间为30分钟以上。
所述的步骤S9中的无尘车间采用1000级无尘室。
所述的步骤S9中采用有效功率为1.2Kw的超声波进行超声波震荡清洗，超声波震荡清洗时要向超声波清洗槽中持续通入去离子水，保持水槽中的水从水槽上面不断溢流。
所述的步骤S10中压缩空气的压力为2kgf/cm2，干燥温度为100±5℃，干燥时间为120分钟以上。
本发明的有益效果是：本发明采用湿式研磨法配合超声振荡清洗的方法对工件进行清洗，不仅清洗效果好，而且，对工件损伤较小。
具体实施方式
本实施例为本发明优选实施方式，其他凡其原理和基本结构与本实施例相同或近似的，均在本发明保护范围之内。
本发明为一种适用于表面附着物为Anodized部品的清洗方法，该方法主要包括下述步骤：
S1、低温纯水浸泡：本实施例中，采用12M超纯水对工件进行浸泡处理，浸泡时间为15～20分钟，水温为30±5℃；
S2、湿式研磨：工件表面采用手持气动抛光机进行研磨抛光，手持气动抛光机的抛光头采用7447#工业百洁布，本实施例中，研磨抛光采用湿式研磨法，研磨抛光时用工业百洁布沾着丙酮进行研磨，即用丙酮浸泡工业百洁布后，进行研磨抛光，至工件表面光滑，本实施例中，丙酮清洗剂采用市售的丙酮清洗剂，丙酮纯度为大于或等于99.8％。
S3、低压冲洗：采用低压纯水水枪对工件表面进行低压冲洗，本实施例中，冲洗时的水枪压力为：0.5-1bar。
S4、纯水浸泡：将工件在DI Water(即去离子水，其电阻率为5MΩ以上，PH值：6-7)中常温浸泡10分钟；
S5、超声波震荡清洗：将部品放进带有超音波的DI Water(即去离子水，其电阻率为5MΩ以上，PH值：6-7)槽中，进行超声波震荡清洗5分钟，本实施例中，采用有效功率为1.2Kw的超声波进行超声波震荡清洗，以去除工件表面的残存的颗粒物质，超声波震荡清洗时要向超声波清洗槽中持续通入去离子水，保持水槽中的水从水槽上面不断溢流，以带走震荡下来的颗粒物质。
S6、纯水浸泡：将工件在DI Water(即去离子水，其电阻率为5MΩ以上，PH值：6-7)中常温浸泡30分钟；
S7、工件表面PH测试：对工件表面的残留水进行PH值测试，如果其PH值满足6-7，则转入下一工序，如果其PH值小于6或大于7，则返回步骤S6，重新浸泡清洗；
S8、CDA吹干：采用CDA(去油去水压缩空气)对工件表面吹干，压缩空气的压力为2kgf/cm2，干燥温度为100±5℃，干燥时间为30分钟以上，可去除表面残留水分；
S9、超声波震荡清洗：此次清洗需在无尘车间(本实施例中，无尘车间采用1000级无尘室)内进行，将部品放进带有超音波的DI Water(即去离子水，其电阻率为5MΩ以上，PH值：6-7)槽中，进行超声波震荡清洗5分钟，本实施例中，采用有效功率为1.2Kw的超声波进行超声波震荡清洗，以去除工件表面的残存的颗粒物质，超声波震荡清洗时要向超声波清洗槽中持续通入去离子水，保持水槽中的水从水槽上面不断溢流，以带走震荡下来的颗粒物质。
S10、CDA吹干：采用CDA(去油去水压缩空气)对工件表面吹干，压缩空气的压力为2kgf/cm2，干燥温度为80±5℃，干燥时间为120分钟以上，可去除表面残留水分；
S11、自然冷却：将加热干燥后的工件自然冷却至室温即可。
本发明采用湿式研磨法配合超声振荡清洗的方法对工件进行清洗，不仅清洗效果好，而且，对工件损伤较小。

Claims (9)

1.一种适用于表面附着物为Anodized部品的清洗方法，其特征是：所述的方法包括下述步骤：
S1、低温纯水浸泡：采用12M超纯水对工件进行浸泡处理，浸泡时间为15～20分钟；
S2、湿式研磨：工件表面采用手持气动抛光机进行研磨抛光，手持气动抛光机的抛光头采用工业百洁布，研磨抛光采用湿式研磨法，研磨抛光时用工业百洁布沾着丙酮进行研磨；
S3、低压冲洗：采用低压纯水水枪对工件表面进行低压冲洗；
S4、纯水浸泡：将工件在DI Water中常温浸泡10分钟；
S5、超声波震荡清洗：将部品放进带有超音波的DI Water槽中，进行超声波震荡清洗5分钟以上；
S6、纯水浸泡：将工件在DI Water中常温浸泡30分钟以上；
S7、工件表面PH测试：对工件表面的残留水进行PH值测试，如果其PH值满足6-7，则转入下一工序，如果其PH值小于6或大于7，则返回步骤S6，重新浸泡清洗；
S8、CDA吹干：采用CDA对工件表面吹干；
S9、超声波震荡清洗：在无尘车间内进行，将部品放进带有超音波的DI Water槽中，进行超声波震荡清洗5分钟以上；
S10、CDA吹干：采用CDA对工件表面吹干；
S11、自然冷却：将加热干燥后的工件自然冷却至室温即可。
2.根据权利要求1所述的适用于表面附着物为Anodized部品的清洗方法，其特征是：所述的步骤S1中水温为30±5℃。
3.根据权利要求1所述的适用于表面附着物为Anodized部品的清洗方法，其特征是：所述的步骤S3中冲洗时的水枪压力为：0.5-1bar。
4.根据权利要求1所述的适用于表面附着物为Anodized部品的清洗方法，其特征是：所述的步骤S4中DI Water的电阻率为5MΩ以上，PH值：6-7。
5.根据权利要求1所述的适用于表面附着物为Anodized部品的清洗方法，其特征是：所述的步骤S6中采用有效功率为1.2Kw的超声波进行超声波震荡清洗，超声波震荡清洗时要向超声波清洗槽中持续通入去离子水，保持水槽中的水从水槽上面不断溢流。
6.根据权利要求1所述的适用于表面附着物为Anodized部品的清洗方法，其特征是：所述的步骤S8中压缩空气的压力为2kgf/cm2，干燥温度为100±5℃，干燥时间为30分钟以上。
7.根据权利要求1所述的适用于表面附着物为Anodized部品的清洗方法，其特征是：所述的步骤S9中的无尘车间采用1000级无尘室。
8.根据权利要求1所述的适用于表面附着物为Anodized部品的清洗方法，其特征是：所述的步骤S9中采用有效功率为1.2Kw的超声波进行超声波震荡清洗，超声波震荡清洗时要向超声波清洗槽中持续通入去离子水，保持水槽中的水从水槽上面不断溢流。
9.根据权利要求1所述的适用于表面附着物为Anodized部品的清洗方法，其特征是：所述的步骤S10中压缩空气的压力为2kgf/cm2，干燥温度为100±5℃，干燥时间为120分钟以上。
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