CN101372748A - 清洗铝合金零件的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种清洗铝合金零件的方法,首先用超纯水喷淋铝合金零件的表面;然后用金属抛光专用研磨液研磨,并用无尘纸蘸IPA擦拭;再用超声清洗;最后用氮气吹干,并进行洁净烘干。可有效去除裸铝表面的水痕,同时避免零件在清洗中再产生水痕,操作简便、清洗效果明显。主要适用于半导体加工设备中铝合金零部件的清洗,也适用于对其它铝合金器件的清洗。
Description
技术领域
本发明涉及一种清洗方法,尤其涉及一种清洗铝合金零件的方法。
背景技术
铝合金是半导体刻蚀设备使用的重要材料,其反应室的关键零部件多为铝合金制造。根据设计要求,这些零部件表面有的需要经过表面处理,比如硬质阳极氧化、等离子喷涂、导电氧化、刷度镍等,有的则直接采用铝金属表面。在集成电路制造过程中,铝合金零部件需经常周期性地进行清洗,零部件清洗质量的好坏关系到刻蚀工艺是否可以正常进行。
目前,在铝合金零件清洗中,水痕(water mark)是经常出现的问题。
现有技术一:采用IPA擦拭,再用菜瓜布沾热水擦拭。
上述现有技术一至少存在以下缺点:不能根本去除水痕,并且费力费时,清洗效果不明显。
现有技术二:采用1%~5%的醋酸铵、1%~10%的醋酸、1%~8%的硫酸铝溶液浸泡,再用菜瓜布擦拭。
上述现有技术二至少存在以下缺点:化学液配制麻烦,整个过程操作复杂费时,并且整体效果不够明显。
发明内容
本发明的目的是提供一种操作简便、能有效除去水痕、清洗效果明显的清洗铝合金零件的方法。
本发明的目的是通过以下技术方案实现的:
本发明的清洗铝合金零件的方法,包括步骤:
A、用金属抛光研磨液研磨铝合金零件表面;
B、用无尘纸蘸有机溶剂擦拭铝合金零件表面;
C、采用超声清洗铝合金零件表面。
由上述本发明提供的技术方案可以看出,本发明所述的清洗铝合金零件的方法,由于先用金属抛光研磨液研磨,再用无尘纸蘸有机溶剂擦拭,再采用超声清洗铝合金零件表面。操作简便、能有效除去水痕、清洗效果明显。
具体实施方式
本发明的清洗铝合金零件的方法,其较佳的具体实施方式是,包括,
步骤1、用金属抛光研磨液研磨铝合金零件表面;
步骤2、用无尘纸蘸有机溶剂擦拭铝合金零件表面,所述的有机溶剂可以是异丙醇、乙醇或丙酮中的一种或多种,也可以是其它的有机溶剂。
步骤3、采用超声清洗铝合金零件表面。
所述的步骤1之前,首先用超纯水对铝合金零件表面进行喷淋,并用氮气将铝合金零件表面吹干。
其中,步骤1和步骤2可以重复进行一次或多次,然后用超纯水对铝合金零件表面进行喷淋,并用氮气将铝合金零件表面吹干。
用超纯水对铝合金零件表面进行喷淋的时间大于等于5分钟。
所述的步骤3中,采用超声清洗铝合金零件表面时,首先用20—30千赫的超声清洗20—30分钟,再用35—45千赫的超声清洗20—30分钟。超声能量密度小于等于20瓦/加仑。可以在水温为20—25℃的18兆去离子水中进行。
最后,用超纯水对铝合金零件表面进行喷淋,并用氮气将铝合金零件表面吹干,再进行烘干。烘干的温度为80~120℃,时间为1~1.5小时。
一个具体实施例:
准备金属抛光专用研磨液、M-3无尘纸、无尘室专用防护胶带以及电子级IPA(异丙醇)。
在室温下使用超纯水喷淋零件表面至少5分钟,以去除表面一些吸附性较低的颗粒污染物,然后用洁净N2枪吹干表面。
使用电子级异丙醇来去除裸铝表面的有机杂质,其他的有机溶剂如果符合要求也可以使用如乙醇、丙酮等,但前提是不能造成裸铝表面的再次污染;再用超纯水冲洗,并用N2枪吹干。
用防护胶带覆盖无需进行清洗的表面部分。
将适量研磨液涂抹在M-3无尘纸上,顺着裸铝原本的抛光纹路轻轻均匀擦拭,避免过于用力或力度不均,从而导致擦拭过多的表面产生新的纹路或破坏原有纹路。
用蘸有IPA的M-3无尘纸擦拭被研磨过的表面,除去研磨中留下的污物,擦拭直到无尘纸上看不出污染颜色。
重复上述研磨和擦拭的步骤5—6次,直到去除裸铝表面所有水痕并使其光亮。
揭去防护胶带。
在室温下使用超纯水喷淋零件表面至少5分钟,然后用洁净N2枪吹干表面。
放入超声槽中,更换新的18兆去离子水,水温为室温25℃,以较低频率(25KHz)进行大颗粒的去除,超声20-30分钟,超声能量密度小于20瓦/加仑,零件与托板之间垫有无尘布以防止水印。时间不要过长,以免损害表面。
放入超声槽中,更换新的18兆去离子水,水温为室温25℃,以较高频率(40KHz)进行小颗粒的去除,超声20-30分钟,超声能量密度小于20瓦/加仑,零件与托板之间垫有无尘布以防止水印。时间不要过长,以免损害表面。
超纯水喷淋零件表面至少5分钟,并用带有过滤器的N2枪吹干零部件表面,直到看不见明显的水滴。积聚于凹部的残留液,可用无尘纸吸附后,再用N2吹扫。对于孔槽,特别是较深的螺纹孔应特别注意吹扫干净,这些孔槽的水分会使烘干变得困难,并且在烘干过程中,大量的水分溢流到裸铝表面,导致水痕产生。
把零件置于洁净烘箱中,在80~120℃,烘烤1~1.5小时。
本发明使用金属抛光专用研磨液、专用无尘纸和常温超声清洗的方法去除零部件裸铝表面的水痕,是一种快速而简便的水痕去除和避免水痕的有效方法,而且对零件表面的损伤也是极为微量的,在零部件允许规格范围内。主要适用于半导体加工设备中铝合金零部件的清洗,也适用于对其它铝合金器件的清洗。
以上所述,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,可轻易想到的变化或替换,都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种清洗铝合金零件的方法,其特征在于,包括步骤:
A、用金属抛光研磨液研磨铝合金零件表面;
B、用无尘纸蘸有机溶剂擦拭铝合金零件表面;
C、采用超声清洗铝合金零件表面。
2.根据权利要求1所述的清洗铝合金零件的方法,其特征在于,所述的步骤A之前,首先用超纯水对铝合金零件表面进行喷淋,并用氮气将铝合金零件表面吹干。
3.根据权利要求1所述的清洗铝合金零件的方法,其特征在于,所述的有机溶剂包括以下至少一种溶剂:
异丙醇、乙醇、丙酮。
4.根据权利要求1所述的清洗铝合金零件的方法,其特征在于,所述的步骤C之后还包括,用超纯水对铝合金零件表面进行喷淋,并用氮气将铝合金零件表面吹干,再进行烘干。
5.根据权利要求4所述的清洗铝合金零件的方法,其特征在于,对铝合金零件表面进行烘干的温度为80~120℃,时间为1~1.5小时。
6.根据权利要求1所述的清洗铝合金零件的方法,其特征在于,所述的步骤A和步骤B重复进行一次或多次,然后用超纯水对铝合金零件表面进行喷淋,并用氮气将铝合金零件表面吹干。
7.根据权利要求2、4或6所述的清洗铝合金零件的方法,其特征在于,所述用超纯水对铝合金零件表面进行喷淋的时间大于等于5分钟。
8.根据权利要求1所述的清洗铝合金零件的方法,其特征在于,所述的步骤C中,首先用20—30千赫的超声清洗20—30分钟,再用35—45千赫的超声清洗20—30分钟。
9.根据权利要求1或8所述的清洗铝合金零件的方法,其特征在于,所述的步骤C中,采用超声清洗时,超声能量密度小于等于20瓦/加仑。
10.根据权利要求1或8所述的清洗铝合金零件的方法,其特征在于,所述的步骤C中,采用超声清洗时,在水温为20—25℃的18兆去离子水中进行。
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