CN110836985A - 探针、探针模组、探针装置及使用该探针装置的电子元件检测方法及设备 - Google Patents

探针、探针模组、探针装置及使用该探针装置的电子元件检测方法及设备 Download PDF

Info

Publication number
CN110836985A
CN110836985A CN201910404374.2A CN201910404374A CN110836985A CN 110836985 A CN110836985 A CN 110836985A CN 201910404374 A CN201910404374 A CN 201910404374A CN 110836985 A CN110836985 A CN 110836985A
Authority
CN
China
Prior art keywords
probe
slot
module
seat
mounting surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
CN201910404374.2A
Other languages
English (en)
Inventor
黄清泰
林芳旭
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
All Ring Tech Co Ltd
Original Assignee
All Ring Tech Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by All Ring Tech Co Ltd filed Critical All Ring Tech Co Ltd
Publication of CN110836985A publication Critical patent/CN110836985A/zh
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06716—Elastic
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06705—Apparatus for holding or moving single probes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06716—Elastic
    • G01R1/06722—Spring-loaded
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/07357—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with flexible bodies, e.g. buckling beams

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)

Abstract

本发明提供一种探针、探针模组、探针装置及使用该探针装置的电子元件检测方法及设备，该探针模组包括：一罩壳，设有多个滑槽，该多个滑槽内各设有一销体；多支探针，各设有一第一长槽孔，该多支探针可分别在对应的滑槽内滑移，该销体可穿经该第一长槽孔；各探针的第一长槽孔内各设有一弹性件，其顶撑在该销体与该第一长槽孔的一上端表面之间，使该第一长槽孔的一下端表面顶触在该销体下方。

Description

探针、探针模组、探针装置及使用该探针装置的电子元件检测 方法及设备
技术领域
本发明有关于一种探针、探针模组、探针装置及使用该探针装置的电子元件检测方法及设备，尤指一种可对电子元件进行检测的探针、探针模组、探针装置及使用该探针装置的电子元件检测方法及设备。
背景技术
一般电子元件由于具有不同的物理特性，故常需经由检测、分类的程序来进行包装或分类，专利号第M452344号「电子元件检测装置」已揭示一种用于进行高电压、高电流与高频率检测的探针装置，其探针构造设有一呈片状的固定部、一呈条状且较粗、短的针部与一连结在两者之间呈片状且较细、长的连结部；该针部设于该固定部的斜上方，该连结部由该固定部的顶部向上斜向延伸至针部的底部，使该连结部的下侧缘与该固定部的上端缘间形成锐角的夹角，且该连结部的下侧缘与该固定部的上端缘间形成一镂空的缓冲区；在该针部与电子元件接触进行检测时，针部因承受了电子元件的重量而对倾斜的该连结部施加向下的压力，使该连结部向下弯曲产生些微变形并蓄积弹性回复力而达到缓冲的效果。
发明内容
已知探针装置在对电子元件进行检测时，是利用探针的连结部来达到缓冲的效果，但因电子元件的重量极为轻巧，故该连结部的下侧缘不仅须与该固定部的上端缘形成锐角，且该连结部须有一定程度的长度方能确保电子元件的重量可使该连结部产生些微变形而达到缓冲的效果；此种探针构造的针部通常位于该固定部的斜上方，如此会造成探针构造的整体水平宽度增加，又因电子元件通常极为微小，一颗电子元件又至少须同时以多支探针进行检测，故探针在探针装置内的空间配置变得较为复杂，常令设计者煞费苦心的进行空间规划，造成制造成本的增加；此外，此种探针构造通常为一体成型，该相同的连结部不能对应于不同重量的电子元件，故在对不同重量的电子元件进行检测时，设计者亦须重新设计该连结部可承载的重量且操作者须配合更换不同的新探针构造，如此亦造成使用成本的增加。
因此，本发明的目的，在于提供一种可减少成本的探针。
本发明的另一目的，在于提供一种可减少成本的探针模组。
本发明的又一目的，在于提供一种可减少成本的探针装置。
本发明的又另一目的，在于提供一种可减少成本的电子元件检测方法。
本发明的再一目的，在于提供一种可减少成本的电子元件检测设备。
依据本发明目的的探针，包括：一探针座，呈长条状，该探针座上设有一贯通两侧的第一长槽孔；该探针座的上端一侧设有一第一安装面；一针部件，呈薄片状，该针部件设于该第一安装面上。
依据本发明另一目的的探针模组，包括：一罩壳，设有多个滑槽，该多个滑槽内各设有一销体；多支探针，各设有一第一长槽孔，该多支探针可分别在对应的滑槽内滑移，该销体可穿经该第一长槽孔；各探针的第一长槽孔内各设有一弹性件，其顶撑在该销体与该第一长槽孔的一上端表面之间，使该第一长槽孔的一下端表面顶触在该销体下方。
依据本发明又一目的的探针装置，是使用如所述探针模组，包括：一座架，设有一移动区间与一驱动机构；一移动机构，设于该座架的该移动区间内，该移动机构设有一移动件与一支撑件；该移动机构可受该驱动机构驱动在该移动区间内上、下往复移动；该探针模组设于该支撑件上，可受该移动机构的连动而上、下往复移动。
依据本发明又另一目的的电子元件检测方法，是使用如所述探针装置，包括：使多支探针各在对应的滑槽内滑移，并各受滑槽内对应的弹性件顶撑；在电子元件受一间歇性旋转的转盘搬运至探针装置上方时，移动机构受驱动模组驱动而连动探针模组位移；使多支探针在接触电子元件进行特性检测时，多支探针各在对应的滑槽内位移压缩对应的弹性件。
依据本发明再一目的的电子元件检测设备，是使用如所述探针装置，包括：一工作台面；一转盘，设于该工作台面上，其周缘环列布设等间距且设有朝外开口的容槽，电子元件在该容槽内以一间歇旋转流路受该转盘搬送；该探针装置设于该工作台面的下方，用以对该容槽内的电子元件进行检测。
本发明实施例的探针、探针模组、探针装置及使用该探针装置的电子元件检测方法及设备，该探针在该探针模组内以其探针座在该滑槽内滑移，该探针装置在驱动该探针模组位移使该探针接触到电子元件时，该探针在该滑槽内可压缩该弹性件以缓冲该探针接触电子元件的压力，不仅可取代已知的连结部，且在对不同重量的电子元件进行检测时，仅须更换对应弹性系数的弹性件，不须重新设计并更换新的探针，可减少使用的成本；此外，该探针的针部件亦可独立自该探针座拆换，在对不同种类(不同体积、不同位置的电极片…等)的电子元件进行检测时，仅需要更换对应的针部件即可，不须重新设计并更换新的探针，亦可减少使用的成本。
附图说明
图1是本发明实施例中探针的侧面示意图。
图2是本发明实施例中探针的立体示意图。
图3是本发明实施例中探针模组的立体示意图。
图4是本发明实施例中探针模组的立体分解示意图。
图5是本发明实施例中图3的A-A剖面示意图。
图6是本发明实施例中探针模组使用于探针装置的示意图。
图7是本发明实施例中电子元件检测设备的探针装置与工作台面及转盘的立体分解示意图。
【符号说明】
A 探针 A1 探针座
A11 第一侧面 A12 第二侧面
A13 第三侧面 A14 第四侧面
A15 第一长槽孔 A151 上端表面
A152 下端表面 A16 第二长槽孔
A17 第一安装面 A171 定位部
A18 第二安装面 A2 针部件
A21 定位孔 A3 螺固件
A4 连接端子 A5 螺固件
B 探针模组 B1 罩壳
B11 外罩 B111 间隔部
B112 滑槽 B12 间隔件
B13 固定销 B14 螺固件
B15 销体 B151 抵靠面
B16 弹性件 C 探针装置
C1 座架 C11 移动区间
C12 驱动机构 C121 电磁驱动器
C122 驱动件 C13 探针架
C131 探针孔座 C132 探针孔
C2 移动机构 C21 移动件
C22 连结件 C23 簧片
C24 弹性件 D 电子元件检测设备
D1 工作台面 D11 镂口
D2 转盘 D21 容槽
W 电子元件
具体实施方式
请参阅图1、2，本发明实施例的探针A，设有包括：
一探针座A1，呈长条状且具有矩形截面，该探针座A1设有一第一侧面A11、一第二侧面A12、一第三侧面A13与一第四侧面A14，该第一侧面A11与该第二侧面A12相互平行，该第三侧面A13与该第四侧面A14相互平行，该第一侧面A11、该第二侧面A12与该第三侧面A13、第四侧面A14相互垂直；该探针座A1上开设有一贯通该第一侧面A11与该第二侧面A12的第一长槽孔A15，其下方另开设有开口方向相同的一贯通该第一侧面A11与该第二侧面A12的第二长槽孔A16，该第一长槽孔A15可作为限位之用，该第二长槽孔A16可作为减轻重量之用；该探针座A1于该第三侧面A13的上端凹设有一第一安装面A17，其上凸设有多个定位部A171；该探针座A1于该第四侧面A14的下端另一侧设有一第二安装面A18；
一针部件A2，呈薄片状，该针部件A2上开设有多个定位孔A21，其对应该第一安装面A17的定位部A171，该针部件A2可借由一螺固件A3固定于该第一安装面A17上，并可独立地自该探针座A1拆换；
一连接端子A4，呈薄片状，该连接端子A4的一端可借由一螺固件A5固定于该第二安装面A18上，另一端可外接至一电性量测器(图未示)。
请参阅图3、4、5，本发明实施例的探针A是使用于如图所示的探针模组B上，该探针模组B设有包括：
一罩壳B1，其设有两个外罩B11与一片状的间隔件B12，该外罩B11与该间隔件B12皆为绝缘材质；该外罩B11的内侧设有以一片状间隔部B111隔开的两个在垂直方向相互平行的滑槽B112；该间隔件B12被夹设在两个外罩B11之间并由两个固定销B13与四个螺固件B14穿经该外罩B11与该间隔件B12对应的销孔与螺孔将两者固定；各滑槽B112内皆设有一水平方向的销体B15，其两端可分别插入该外罩B11与该间隔件B12对应的销孔，使该销体B15固定于该外罩B11与该间隔件B12之间；
四支探针A，在两相邻的探针A具有镜射的对称特征下以各探针座A1相互靠拢的方型矩阵方式排列；各探针A的探针座A1可在对应的滑槽B112内滑移，且各销体B15穿经各探针座A1的第一长槽孔A15中，可限制该探针座A1的滑移范围，防止该探针A移出该罩壳B1外；各销体B15位于各第一长槽孔A15内的一端设有一水平的抵靠面B151，各第一长槽孔A15内设有一例如弹簧的弹性件B16抵撑在各销体B15的抵靠面B151与各第一长槽孔A15的一上端表面A151之间；各探针A受各弹性件B3的顶撑，使各第一长槽孔A15的一下端表面A152顶触在各销体B15的下方，使各探针A皆被限制能维持在同一水平高度上；该探针A设有该针部件A2与该连接端子A4的上、下两端皆显露出罩壳B1外；各探针A之间以该间隔件B12与该间隔部B111相隔使各探针A不会因接触而导致检测失误。
请参阅图5、6，本发明实施例的探针模组B是使用于如图所示的探针装置C上，该探针装置C设有包括：
一座架C1，设有一移动区间C11与一驱动机构C12，该移动区间C11设于该驱动机构C12的上方；该座架1上方设有一探针架C13，其设有一探针孔座C131，该探针孔座C131上设有对应该探针A数量的方型矩阵排列的探针孔C132；各探针A的针部件A2可伸经该探针孔座C131，以触抵电子元件W进行作检测；
一移动机构C2，设于该座架C1的该移动区间C11内，该移动机构C2设有一移动件C21与一连结件C22；该移动件C21可受该驱动机构C12的驱动在该移动区间C11内上、下往复移动，该连结件C22连结于该移动件C21与该探针模组B之间，使该探针模组B可受该移动机构C2的连动；该移动件C21的上、下两端分别与两个簧片C23的一端相连，该两簧片C23的另一端固设该移动区间C1一侧，且该位于下方的簧片C23上开设有一镂孔(图未示)；
该驱动机构C12设有一电磁驱动器C121与一受该电磁驱动器C121驱动的驱动件C122，该驱动件C122可穿经该下方簧片C23的镂孔顶触该移动件C21的下方，该移动件C21另受一例如弹簧的弹性件C24由上而下压抵，该驱动机构C12借由电磁驱动器C121的电磁吸附与松放，配合该簧片C23与该弹性件C24的回复作用力，使该探针模组B受该移动机构C2的连动而作上、下往复位移。
请参阅图7，本发明实施例的探针装置C是使用于如图所示的电子元件检测设备D上，该电子元件检测设备D设有包括：
一工作台面D1，呈水平设置，其上开设有一镂口D11；
一转盘D2，设于该工作台面D1上，其周缘环列布设等间距且设有朝外开口的容槽D21，该电子元件W在该容槽D21内以一间歇旋转流路受转盘D2搬送；
该探针装置C设于工作台面D1的下方，用以对容槽D21内的电子元件W进行物理特性检测，探针装置C的探针架C21可伸入镂口D11中使探针孔座C131约略与工作台面D1的上表面贴齐在同一水平。
本发明实施例的电子元件检测方法在实施上，四支探针A以方型矩阵方式排列使各探针A的探针座A1可在对应的各滑槽B112内滑移，在各滑槽B112内滑移的各探针A，其受抵撑于各销体B15与各第一长槽孔A15的上端表面A151间的弹性件B16顶撑；在电子元件W受一间歇性旋转的转盘D2搬运至探针装置C上方时，移动机构C3受驱动机构C12驱动而连动探针模组B向上位移；使各探针A在其针部件A2上端顶触该容槽D21内的电子元件W底部的电极片进行物理特性检测时，各探针A会因电子元件W的重量而以其探针座A1在对应的滑槽B112内向下位移压缩对应的弹性件B16以达缓冲的效果。
本发明实施例的探针、探针模组、探针装置及使用该探针装置的电子元件检测方法及设备，该探针A在该探针模组B内以其探针座A1在该滑槽B112内滑移，该探针装置C在驱动该探针模组B位移使该探针A接触到电子元件W时，该探针A在该滑槽B112内可压缩该弹性件B16以缓冲该探针A接触电子元件W的压力，不仅可取代已知的连结部，且在对不同重量的电子元件W进行检测时，仅须更换对应弹性系数的弹性件B16，不须重新设计并更换新的探针A，可减少使用的成本；此外，该探针A的针部件A2亦可独立自该探针座A1拆换，在对不同种类(不同体积、不同位置的电极片…等)的电子元件W进行检测时，仅需要更换对应的针部件A2即可，不须重新设计并更换新的探针A，亦可减少使用的成本。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，当不能以此限定本发明实施的范围，即大凡依本发明申请专利范围及发明说明内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本发明专利涵盖的范围内。

Claims (16)

1.一探针座，呈长条状，该探针座上设有一贯通两侧的第一长槽孔；该探针座的上端一侧设有一第一安装面；
一针部件，呈薄片状，该针部件设于该第一安装面上。
2.如权利要求1所述的探针，其中，该第一安装面上凸设有多个定位部，该针部件上开设有多个定位孔，其对应该多个定位部。
3.如权利要求1所述的探针，其中，该探针座的下端另一侧设有一第二安装面，该第二安装面上设有一连接端子。
4.如权利要求3所述的探针，其中，该第一长槽孔贯通该探针座的一第一侧面与一第二侧面；该第一安装面设于该探针座的一第三侧面上端，该第二安装面设于该探针座的一第四侧面下端；该第一侧面、该第二侧面与该第三侧面、第四侧面相互垂直。
5.如权利要求1所述的探针，其中，该探针座于该第一长槽孔下方设有一第二长槽孔，该第一长槽孔与该第二长槽孔的开口方向相同。
6.一种探针模组，包括：
一罩壳，设有多个滑槽，该多个滑槽内各设有一销体；
多支探针，各设有一第一长槽孔，该多支探针可分别在对应的滑槽内滑移，该销体可穿经该第一长槽孔；各探针的第一长槽孔内各设有一弹性件，其顶撑在该销体与该第一长槽孔的一上端表面之间，使该第一长槽孔的一下端表面顶触在该销体下方。
7.如权利要求6所述的探针模组，其中，该探针设有一探针座与一针部件，该第一长槽孔设于该探针座上，该探针座具有矩形截面。
8.如权利要求7所述的探针模组，其中，该探针座上设有一第二长槽孔于该第一长槽孔的下方。
9.如权利要求7所述的探针模组，其中，该探针座的上端一侧设有一第一安装面，可供该针部件固定于其上；该探针座的下端另一侧设有一第二安装面，可供一连接端子固定于其上。
10.如权利要求9所述的探针模组，其中，该第一长槽孔贯通该探针座的一第一侧面与一第二侧面；该第一安装面设于该探针座的一第三侧面上端，该第二安装面设于该探针座的一第四侧面下端；该第一侧面、该第二侧面与该第三侧面、第四侧面相互垂直。
11.如权利要求9所述的探针模组，其中，该针部件与该连接端子皆显露出该罩壳外。
12.如权利要求6所述的探针模组，其中，该罩壳设有两个外罩与一片状的间隔件；该外罩的内侧设有以一片状间隔部隔开的两个相互平行的滑槽；该间隔件被夹设在两个外罩之间；该销体两端分别插入该外罩与该间隔件对应的销孔，使该销体固定于该外罩与该间隔件之间。
13.如权利要求6所述的探针模组，其中，该销体位于该第一长槽孔内的一端设有一水平的抵靠面，该弹性件抵撑在该销体的抵靠面与该第一长槽孔的上端表面之间。
14.一种探针装置，使用如权利要求6至13中任一权利要求所述的探针模组，包括：
一座架，设有一移动区间与一驱动机构；
一移动机构，设于该座架的该移动区间内，该移动机构设有一移动件与一支撑件；该移动机构可受该驱动机构驱动在该移动区间内上、下往复移动；
该探针模组设于该支撑件上，可受该移动机构的连动而上、下往复移动。
15.一种电子元件检测方法，使用如权利要求14所述的探针装置，包括：
使多支探针各自在对应的滑槽内滑移，并各自受滑槽内对应的弹性件顶撑；
在电子元件受一间歇性旋转的转盘搬运至探针装置上方时，移动机构受驱动模组驱动而连动探针模组位移；
使多支探针在接触电子元件进行特性检测时，多支探针各自在对应的滑槽内位移压缩对应的弹性件。
16.一种电子元件检测设备，使用如权利要求14所述的探针装置，包括：
一工作台面；
一转盘，设于该工作台面上，其周缘环列布设等间距且设有朝外开口的容槽，电子元件在该容槽内以一间歇旋转流路受该转盘搬送；
该探针装置设于该工作台面的下方，用以对该容槽内的电子元件进行检测。
CN201910404374.2A 2018-08-15 2019-05-15 探针、探针模组、探针装置及使用该探针装置的电子元件检测方法及设备 Withdrawn CN110836985A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW107128484 2018-08-15
TW107128484A TWI690709B (zh) 2018-08-15 2018-08-15 探針模組、探針裝置及使用該探針裝置之電子元件檢測方法及設備

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN110836985A true CN110836985A (zh) 2020-02-25

Family

ID=69574491

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910404374.2A Withdrawn CN110836985A (zh) 2018-08-15 2019-05-15 探针、探针模组、探针装置及使用该探针装置的电子元件检测方法及设备

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN110836985A (zh)
TW (1) TWI690709B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114966142A (zh) * 2022-06-13 2022-08-30 法特迪精密科技（苏州）有限公司 一种电磁驱动旋转探针及固定插座的匹配方法

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI725821B (zh) * 2020-04-20 2021-04-21 躍澐科技股份有限公司 測試探針座結構
TWI835267B (zh) * 2022-08-29 2024-03-11 中國探針股份有限公司 高頻訊號測試用探針裝置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20140028341A1 (en) * 2012-07-25 2014-01-30 Kabushiki Kaisha Nihon Micronics Probe card and testing apparatus
KR20140067227A (ko) * 2012-11-26 2014-06-05 (주)에이치엔티 전지 충방전용 프로브
CN203949986U (zh) * 2014-06-11 2014-11-19 泰艺电子股份有限公司 电子元件检测装置及其治具
CN204116399U (zh) * 2014-09-17 2015-01-21 大族激光科技产业集团股份有限公司 飞针测试装置及其测试探针
CN106489078A (zh) * 2014-06-16 2017-03-08 欧姆龙株式会社 探针和使用探针的电子设备
CN206178060U (zh) * 2016-10-27 2017-05-17 东莞市众宏通智能卡有限公司 智能卡芯片测试机
CN107037244A (zh) * 2016-02-04 2017-08-11 万润科技股份有限公司 电子元件检测装置的探针固定导接方法及构造

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103238078B (zh) * 2010-12-03 2015-08-05 安达概念公司 顺应式电接点与组件
TWM452344U (zh) * 2012-12-13 2013-05-01 Shin Yo Feng Precise Technology Corp Ltd 電子元件檢測裝置
JP5985447B2 (ja) * 2013-08-21 2016-09-06 オムロン株式会社 プローブピン、および、これを用いた電子デバイス

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20140028341A1 (en) * 2012-07-25 2014-01-30 Kabushiki Kaisha Nihon Micronics Probe card and testing apparatus
KR20140067227A (ko) * 2012-11-26 2014-06-05 (주)에이치엔티 전지 충방전용 프로브
CN203949986U (zh) * 2014-06-11 2014-11-19 泰艺电子股份有限公司 电子元件检测装置及其治具
CN106489078A (zh) * 2014-06-16 2017-03-08 欧姆龙株式会社 探针和使用探针的电子设备
CN204116399U (zh) * 2014-09-17 2015-01-21 大族激光科技产业集团股份有限公司 飞针测试装置及其测试探针
CN107037244A (zh) * 2016-02-04 2017-08-11 万润科技股份有限公司 电子元件检测装置的探针固定导接方法及构造
CN206178060U (zh) * 2016-10-27 2017-05-17 东莞市众宏通智能卡有限公司 智能卡芯片测试机

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114966142A (zh) * 2022-06-13 2022-08-30 法特迪精密科技（苏州）有限公司 一种电磁驱动旋转探针及固定插座的匹配方法
CN114966142B (zh) * 2022-06-13 2023-01-31 法特迪精密科技（苏州）有限公司 一种电磁驱动旋转探针及固定插座的匹配方法

Also Published As

Publication number Publication date
TWI690709B (zh) 2020-04-11
TW202009490A (zh) 2020-03-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110836985A (zh) 探针、探针模组、探针装置及使用该探针装置的电子元件检测方法及设备
CA2119816C (en) Test strip analysis system
US4866374A (en) Contactor assembly for testing integrated circuits
US4419626A (en) Broad band contactor assembly for testing integrated circuit devices
TWI464420B (zh) 電容測試夾具及具有該電容測試夾具之電容測試裝置
CN203012063U (zh) 一种用于批量电子元器件测试的测试板
KR101176776B1 (ko) 자체-세척 하향 접촉부
US20130297227A1 (en) Background peak monitoring for ion mobility spectrometry
WO1999032895A1 (en) Apparatus and method for testing a device
CN108344771B (zh) 试片读取装置
TWI645194B (zh) 探針模組、探針裝置及使用該探針裝置之電子元件檢測方法及設備
US7852193B2 (en) Push-button testing system
EP1753100A1 (en) Contactor and electrical connector
US9383252B2 (en) Windshield for a precision balance
CN110401412B (zh) 探针和太阳能电池单元用测量装置
US8981801B2 (en) Positioning device for testing resistance of camera module
WO2020038085A1 (zh) 生化分析仪
CN103907024B (zh) 用于流体测试条的盒和计量装置
CN107817337B (zh) 一种分析物量测模块
US5160268A (en) Floating stackable connector
JP6867828B2 (ja) 静電容量センサの検査機及び検査方法
TWI607217B (zh) 一種分析物量測模組
JP5734783B2 (ja) 静電容量式タッチパネルの検査・評価装置
CN212364486U (zh) 一种二极管电性测试结构
US20200357254A1 (en) Air monitoring device including a housing with communication port access

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WW01 Invention patent application withdrawn after publication
WW01 Invention patent application withdrawn after publication

Application publication date: 20200225