CN110815271B - 吸垫 - Google Patents

Abstract

一种吸附装置(10)，包括：具有供给有负压流体的供给通道(28)的适配器(12)，连接到适配器(12)的下端的波纹管(14)，以及形成在波纹管(14)的远端处的垫构件(16)。垫构件(16)在吸附表面上具有多个第一和第二肋(46,48)，吸附表面在吸附下吸引工件(W)。第一肋(46)设置在附接件(36)的外周侧上，附接件设置在垫构件(16)的中心中，并且朝向外周侧延伸。第二肋(48)设置在第一肋(46)的外周侧，并且相对于第一肋(46)以周向偏移的方式设置。另外，在裙部(38)的周向方向上彼此并排设置的各个第一肋(46)之间，形成有供给路径(52)，负压流体从附接件(36)被供给到该供给路径。

Description

吸垫

技术领域

本发明涉及一种在吸附装置中使用的吸垫，其能够在吸附下吸引工件并且在负压流体的供给作用下输送工件。

背景技术

迄今为止，已知一种吸附装置，其中包括用于在吸附下吸引工件并且通过供给的负压流体来输送工件的吸垫。在这种吸附装置中，在输送由膜形成为袋状并且填充有流体内容物的工件的情况下，当内容物在工件内移动并且工件变形时，吸垫不能跟随变形，并且施加在工件上的吸附变得有缺陷。

因此，为了解决上述问题，例如，在日本特开专利公报No.2018-065194中公开的吸垫中，提供了一种在其中心具有吸附路径的支撑体，以及设置在支撑体的下部并接触工件的裙部构件。裙部构件形成为截锥形状，并且在其内部空间中，设置有多个肋部分，多个肋部分从中心朝向外周侧径向延伸，并且朝向工件突出。

在裙部构件的内部空间中，供给有负压流体的吸附路径在其中心开口，并且形成横截面为扇形的凸面部分，以在肋部分的相应内侧上的面向吸附路径的位置处朝向工件突出。

另外，当内部填充有内容物的袋状工件在吸垫的吸附下被吸引时，通过将裙部构件的倾斜表面放置成与工件的表面紧密接触，并通过吸附路径向内部空间供给负压流体，裙部构件被弹性变形成与工件的表面紧密接触，并且通过在凸面部分之间经过的并在相应的肋部分之间被供给的负压流体，工件在吸附下被吸引。

发明内容

然而，利用上面讨论的吸垫，当工件在吸附下被吸引时工件由于其中的内容物等的流动而变形时，被供给到凸表面部分之间的裙部构件的外周侧并且在肋部分之间流动的负压流体以线性方式朝向外周侧流动，并且存在负压流体可能从开口的肋部分的外周侧向外部泄漏的担忧，因此导致吸力减小并引起吸附缺陷。

本发明的一般目的是提供一种吸垫，该吸垫能够通过使吸垫跟随具有袋形状的工件而在吸附下可靠且稳定地吸引工件，具有袋形状的工件通过其中的内容物的流动而经历变形。

本发明的一个方面的特征在于一种吸垫，该吸垫被构造成固定到本体的一端，在本体中具有供给有负压流体的通道，该吸垫包括在吸附构件的吸附表面上的肋，工件在吸附下被吸引到吸附表面，该肋包括：

多个第一肋部分，多个第一肋部分被构造成朝向工件突出，其中第一肋部分形成在通道的外周侧，并且径向向外延伸；和

多个第二肋部分，多个第二肋部分形成在第一肋部分的外周侧，并且相对于第一肋部分以周向偏移的方式设置；

其中，负压流体流过的供给路径形成在第一肋部分中的相邻的第一肋部分之间，并且第二肋部分的至少部分被设置成面向供给路径延伸的方向。

根据本发明，在吸附下吸引工件的吸垫的吸附表面包括朝向工件突出的肋。肋包括多个第一肋部分和多个第二肋部分，多个第一肋部分形成在形成于本体中的通道的外周侧，并且径向向外延伸，多个第二肋部分形成在第一肋部分的外周侧，并且相对于第一肋部分以周向偏移的方式设置。负压流体流过的供给路径形成在第一肋部分中的相邻的第一肋部分之间。

另外，例如，当包含流体内容物的袋状工件在吸附下被吸引并通过吸垫输送时，即使在工件的形状由于内容物的移动或在重力等的影响下而改变的情况下，吸垫也以跟随工件的形状的方式来变形，并且通过第一肋部分和第二肋部分保持与伴随这种变形的工件抵接，供给路径由第一肋部分和第二肋部分围绕，并且负压流体可以适当地保持在供给路径的内部。此外，由于负压流体的供给路径在吸垫的径向方向上通过第一肋部分和第二肋部分被构造成非线性形状，因此与根据传统技术的吸垫相比，可以防止负压流体泄漏到外部。

因此，即使在吸附下被吸引的工件的形状变化的情况下，吸垫也会变形以跟随变化的形状，并且通过保持在供给路径中的负压流体，工件在具有稳定吸力的吸附下被可靠地吸引。

结合附图，通过以下描述，本发明的上述和其他目的，特征和优点将变得更加明显，在附图中，通过说明性示例示出了本发明的优选实施例。

附图说明

图1是根据本发明第一实施例的包括吸垫的吸附装置的整体横截面视图；

图2是图1的吸附装置中的垫构件的放大横截面视图；

图3是从图2的垫构件的侧面观察的吸附装置的前视图；

图4是图1所示的吸附装置的外部立体视图；

图5A是操作的说明图，示出了吸附装置的垫构件与放置的工件抵接的状态；

图5B是操作的说明图，示出了工件在吸附下被吸引并且通过图5A的吸附装置向上移动的状态；

图6是在图5B的工件在吸附下被吸引的状态下的垫构件的前视图；

图7是根据本发明第二实施例的包括吸垫的吸附装置的整体横截面视图；

图8是图7所示的吸附装置的外部立体视图；

图9A是从垫构件的侧面观察的根据修改例的吸附装置的前视图；和

图9B是当通过图9A的吸附装置在吸附下吸引工件时的前视图。

具体实施方式

如图1至图4所示，吸附装置10包括：通过管连接到未示出的负压供给装置的适配器(本体)12，连接到适配器12的下端的波纹管(波纹管部分)14，和形成在波纹管14的远端(下端)处的垫构件(吸附构件)16。

适配器12例如由金属材料形成为柱形形状，并且在其下端形成连接部18，而在其上端形成螺纹部分22，波纹管14连接到连接部18，连结件20连接到螺纹部分22。在连接部18和螺纹部分22之间，形成凸缘部分24，凸缘部分24在垂直于轴向方向的方向上突出。另外，密封环26经由螺纹部分22的一侧上的端表面上的环形凹槽附接到凸缘部分24。此外，当连结件20连接到适配器12时，连结件20抵靠密封环26，从而防止负压流体在两个构件之间泄漏。

此外，供给通道(通道)28沿轴向方向(箭头A和B的方向)形成在适配器12的内部，以便穿透连接部18，凸缘部分24和螺纹部分22。从负压供给装置(未示出)供给到管和连结件20的负压流体被供给到供给通道28，连结件20连接到螺纹部分22。

波纹管14例如由弹性橡胶等形成为柱形形状，并且具有可扩大/可收缩的且可弯曲的波纹管结构。波纹管14在其上端具有柱形部分30，该柱形部分30形成为具有恒定直径的柱形形状，并且通过以覆盖适配器12的连接部18的方式被安装，柱形部分30同轴连接至适配器12的下端。

另外，在波纹管14上沿轴向方向(箭头A和B的方向)交替地形成直径扩大的环形峰部分32和直径收缩的环形谷部分34。垫构件16整体地形成在波纹管的下端上，垫构件16放置成与工件W(见图5A)接触并对其施加吸附。

此外，形成为中空形状的波纹管14的内部用作流动路径，负压流体通过流动路径供给和流动。

垫构件16设置在波纹管14的下端，并且包括基本上设置在中心的附接件36以及设置在附接件36的外周侧上的裙部38。

附接件36的上端形成为在向上方向(箭头A的方向)上直径逐渐扩大的锥形形状，并且与波纹管14中的最下面的环形峰部分32接合，从而整体地保持在波纹管14的下端的中心中。

此外，附接件36的下端的中心形成有圆弧形横截面，其朝向远离工件W的方向(箭头A的方向)凸出地成形，并且第一连通孔40和多个第二连通孔42形成为在轴向方向(箭头A和B的方向)上穿透附接件36。

如图3和4所示，第一连通孔40设置在附接件36的轴向中心中，并且六个第二连通孔42在以第一连通孔40为中心的预定直径的圆周上彼此等间隔地布置。换句话说，附接件36总共设有七个连通孔。应注意，如上所述，第二连通孔42的数量不必限于六个。

此外，在附接件36的下端，形成引导槽44，引导槽44从每个第二连通孔42在径向方向上向外延伸。引导槽44形成有朝向工件W(在箭头B的方向上)开口的U形横截面。引导槽44设置成允许第二连通孔42与设置在附接件36的外周侧上的裙部38连通。换句话说，引导槽44从附接件36的下表面向上(在箭头A的方向上)以凹陷的方式形成。

裙部38例如由具有类似于波纹管14的弹性的橡胶等形成为薄膜环形形状，并且形成为向下倾斜地展开，同时形成为自由柔韧的。此外，裙部38可以使用与波纹管14的材料不同的材料通过双色模制等形成。

此外，在裙部38上，在其远端形成与工件W接触的位置且在工件W的一侧(在箭头B的方向上)的内表面(吸附表面)38a上，设置有多个第一肋(第一肋部分)46以及多个第二肋(第二肋部分)48，多个第一肋(第一肋部分)46形成为面向附接件36的外边缘部分，多个第二肋(第二肋部分)48设置在相对于第一肋46的外周侧上。第一肋46和第二肋48形成为相对于裙部38的内表面38a朝向工件W以相应的预定高度突出。将描述在裙部38上设置十五个第一肋46和十五个第二肋48的情况。

如图3所示，从吸附装置10的轴向方向观察时，第一肋46形成有V形(凹形)横截面，其具有在内周侧上的底部分并且朝向裙部38的外周侧开口。在外周侧的分叉的外周侧端部分处，形成有朝向中央凹部46a倾斜的倾斜部分50。更具体地，每个第一肋46以一个倾斜部分50和另一个倾斜部分50以对称形状形成一对并且凹部46a插入其间的方式形成。

另外，多个第一肋46沿着裙部38的周向方向(箭头D的方向)以彼此相等的间隔布置，并且供给负压流体的供给路径52形成在第一肋46中的两个相邻的第一肋46之间。第一肋46和供给路径52沿裙部38的径向方向径向延伸。

此外，附接件36的引导槽44设置成面向第一肋46的内侧和供给路径52。

如图3所示，从吸附装置10的轴向方向观察时，第二肋48形成有V形(凹形)横截面，第二肋48弯曲以朝向裙部38的外周侧突出。在彼此相邻布置的两个第一肋46中，每个第二肋48被布置成跨过一个第一肋46的外周侧端部分和另一个第一肋46的外周侧端部分。更具体地说，关于第二肋48，其中央部分构成顶部分48a，该中央部分面向形成在第一肋46中的相邻的第一肋46之间的供给路径52，顶部分48a最大限度地朝向裙部38的外周侧突出，并且从朝向其两端的顶部分48a开始，第二肋48分别在径向方向上朝向内侧倾斜地形成，以便逐渐接近第一肋46的外周侧端部分。

以第二肋48的顶部分48a为中心的倾斜角度形成为与第一肋46的倾斜部分50的倾斜角度基本相同。

此外，如图3所示，第一肋46的内周侧端部(底部分)沿周向方向的长度L的总长度被设定在裙部38的内周(长度)C1的40％至70％的范围内，并且与此同时，设定为小于或等于通过顶部分48a的外接圆的圆周(长度)C2的40％，顶部分48a形成第二肋48上的最外周。

此外，从吸附装置10的轴向方向观察时，第一肋46和第二肋48的总面积被设定在裙部38的表面积的5％至40％的范围内。

根据本发明第一实施例的吸附装置10基本上如上所述地构造。接下来，将描述其操作和优点。在这种情况下，如图5A和5B所示，将给出关于如下情况的描述：其中由袋状薄膜形成且在其内部包含流体内容物的工件W在吸附下被吸引并且输送。

首先，吸附装置10附接到未示出的输送装置的臂等，并且以可移位的方式设置，同时适配器12经由管和连结件20连接到未示出的负压力供给装置。

在完成这样的准备操作之后，如图5A所示，基于未示出的输送装置的臂的操作，吸附装置10向下移位(在箭头B的方向上)，并且裙部38被放置成与工件W的上部紧密接触，同时经由管和连结件20将来自未示出的负压供给装置的负压流体供给到适配器12的供给通道28。

此时，由于工件W放置在地板表面等上，其面向吸附装置10的上表面基本上是平坦的，并且例如，即使在工件W倾斜的情况下，或者当工件W的上部不平坦时，通过对应于工件W的波纹管14的扩大/收缩操作，可以跟随工件W并牢固地将垫构件16放置成与其紧密接触。

因此，垫构件16的裙部38放置成与工件W的表面紧密接触，并且供给到适配器12的供给通道28的负压流体穿过波纹管14的内部并从附接件36的第一连通孔40和第二连通孔42被供给到垫构件16的内部空间。此外，供给到第二连通孔42的负压流体的一部分穿过引导槽44并且流动到在裙部38的外周侧上的裙部38的一侧，并且沿着相应的供给路径52流到外周侧。结果，放置成与裙部38紧密接触的工件W的上部通过负压流体在吸附下被吸引到垫构件16，同时，波纹管14在轴向方向上受到收缩。此时，由于裙部38的外边缘部分保持与工件W的扁平形状的上部紧密接触，因此沿着每个供给路径52供给到外周侧的负压流体不会泄漏到外部，并且相对于工件W被施加的吸力被保持。

然后，如图5B所示，在通过吸附装置10在吸附下吸引工件W的状态下，通过未示出的输送装置的臂使工件W向上(在箭头A的方向上)移动，由于内容物的重量，工件W变形以便在重力方向(箭头B的方向)上向下弯曲，因此，裙部38弹性变形以跟随在吸附下被吸引的工件W的上部的形状，并且变成向下弯曲的弯曲形状。

以这种方式，在工件W的输送期间工件W的形状改变的情况下，然后如图6所示，伴随裙部38的弹性变形，多个第一肋46在周向方向(箭头D的方向)上接近彼此，并且第二肋48接近第一肋46的外周侧端部分并且抵靠外周侧端部分，同时第一肋46和第二肋48在径向方向上彼此靠近，由此产生供给路径52的外周侧被第二肋48阻挡的状态。

此外，伴随裙部38的弹性变形，通过第二肋48的两端经受弯曲以便彼此接近，第二肋48可以抵靠第一肋46的倾斜部分50，从而阻挡供给路径52。

因此，通过裙部38中的每个供给路径52向外周侧供给的负压流体由于第二肋48而不会从供给路径52进一步再朝向外周侧流动，并且负压流体保持在由第二肋48和第一肋46围绕的供给路径52内，由此工件W的变形的上部通过被保持在相应的供给路径52内部的负压流体在吸附下被可靠且适当地吸引。

换句话说，裙部38根据工件W的形状变化而经历弹性变形，并且工件W通过相应的供给路径52内的负压流体在吸附下被吸引，从而可以防止减少吸力并避免发生吸附缺陷。

此外，即使在附接件36的下表面被吸引的工件W所覆盖的情况下，负压流体通过与第二连通孔42连通并且朝向外周侧延伸的引导槽44也被可靠地供给到裙部38的相应的供给路径52，从而能够保持相对于工件W被施加的吸力。

另外，在工件W在吸附下被吸引到其的吸附装置10已经通过输送装置的臂被输送到预定位置之后，停止相对于供给路径52供给负压流体，由此工件W通过吸附装置10的垫构件16的吸引状态被释放。

以上述方式，根据第一实施例，构成吸附装置10的垫构件16包括供给负压流体的附接件36，以及设置在附接件36的外周侧上且为薄膜形式的可弹性变形的裙部38，其中在工件W在吸附下被吸引到的裙部38的内表面38a上，设置有多个第一肋46以及多个第二肋48，多个第一肋46形成在附接件36的外周侧上且径向延伸，多个第二肋48形成在第一肋46的外周侧上并且相对于第一肋46以周向偏移的方式(在箭头D的方向上)设置，同时第一肋46和第二肋48形成为朝向工件W突出。

因此，例如，当包含流体内容物的袋状工件W在吸附下被吸引并通过吸附装置10被输送时，即使在其输送期间，工件W的形状由于内容物的移动或在重力等的影响下而改变的情况下，裙部38以跟随工件W的形状的方式而弹性变形，并且伴随这种弹性变形，第二肋48覆盖第一肋46的外周侧端部分。因此，防止供给到形成在第一肋46之间的供给路径52的负压流体流向裙部38的外周侧并泄漏到外部。

结果，即使在通过吸附装置10输送期间，工件W的形状改变的情况下，裙部38也经历与形状变化相对应的变形，从而可靠地将裙部放置成与工件W紧密接触，并且使负压流体能够以封闭空间的形式可靠地保持在供给路径52中，该封闭空间通过第二肋48被阻挡在其外周侧上。因此，可以保持相对于工件W的吸力，并且可以以稳定的方式继续在吸附下可靠地吸引工件W。

此外，在裙部38中，由于第一肋46和第二肋48设置成在径向方向上彼此重叠，因此在吸引和输送的工件W变形并且裙部38因此伴随工件W的变形而经历变形的情况下，第一肋46和第二肋48的外周侧端部分适当地彼此接触，从而可靠地阻挡设置在两个构件之间的供给路径52，并且能够使负压流体保持在供给路径52内。因此，即使在吸附下被吸引的工件W经历变形的情况下，吸力也不会减小，并且工件W可以可靠地在吸附下被吸引并输送。

此外，倾斜部分50设置在第一肋46的外周侧端部分上，第一肋46形成有V形横截面，并且面向第一肋46的第二肋48形成有朝向内周侧开口的V形横截面。由于该结构，在吸附下被吸引的工件W变形并且裙部38随之变形的情况下，第一肋46的倾斜部分50可以可靠地与第二肋48紧密接触，从而阻挡供给路径52。

因此，可以更可靠地防止负压流体从供给路径52的内部泄漏，并且可以增加相对于工件W被施加的吸力。

此外，第一肋46和第二肋48形成为具有V形横截面，使得裙部38在变形时变得容易弯曲。此外，通过沿周向方向(箭头D的方向)布置多个分开的第一肋46和第二肋48，与设置单一类型的第一肋和第二肋的情况相比，裙部38的变形可以容易地实现，并且可以平滑且自由地使裙部38经历变形，从而跟随工件W的形状变化。

此外，附接件36设置有具有U形横截面的引导槽44，引导槽44与相应的第二连通孔42连通并径向向外延伸。因此，当工件W在吸附下被吸引时，即使在薄膜工件W的一部分与附接件36紧密接触以覆盖附接件36，并且第二连通孔42也被阻挡的情况下，由于供给到第二连通孔42的负压流体可以通过引导槽44可靠且稳定地供给到外周侧的裙部38，因此可以保持工件W的吸力，并且可以避免发生吸附缺陷。

此外，通过在裙部38上设置多个第一肋46和第二肋48，可以增强裙部38的刚性，并因此可以防止相对于第一连通孔40和第二连通孔42卷入裙部38本身。

此外，通过在适配器12和垫构件16之间设置波纹管14，当吸附装置10放置成与工件W接触时，可以适当地减轻冲击。

此外，裙部38和波纹管14可以由不同材料分开形成，并且波纹管14的硬度可以设定为高于裙部38的硬度。

接下来，在图7和8中示出了根据第二实施例的吸附装置70。相同的附图标记用于表示与根据上述第一实施例的吸附装置10的构成元件相同的构成元件，并且省略对这些特征的详细描述。

根据第二实施例的吸附装置70与根据第一实施例的吸附装置10的不同之处在于，吸附装置70的吸垫72直接连接到适配器12的下端。

在吸附装置70中，由弹性材料制成的吸垫72连接到设置在适配器12的下端的连接部18。此外，关于适配器12，其具有与根据第一实施例的吸附装置10相同的构造，因此，将省略对适配器12的详细描述。

吸垫72在其上端包括柱形部分74，该柱形部分74形成为柱形形状，并且通过覆盖适配器12的连接部18的方式被安装，柱形部分74相对于适配器12的下端同轴连接。

此外，在吸附下吸引工件W的垫构件76形成在吸垫72的下端，垫构件76由基本上设置在中心的附接件36和设置在附接件36的外周侧上的裙部38构成。多个第一肋46和第二肋48设置在裙部38上。关于裙部38，其具有与根据第一实施例的吸附装置10相同的构造，因此，将省略裙部38的详细描述。

以上述方式，利用根据第二实施例的吸附装置70，与根据第一实施例的吸附装置10相比，由于其中不包括具有波纹管形状的波纹管14，因此可以使尺寸在轴向方向(箭头A和B的方向)上更小。

此外，设置在吸附装置10和70的裙部38上的第一肋46和第二肋48不限于具有上述形状。例如，如在图9A和9B所示的吸附装置100中，肋可以由多个第一肋102和多个第二肋104构成，多个第一肋102从位于裙部38的中心的附接件36的一侧以线性方式径向向外延伸，多个第二肋104布置在第一肋102的外周侧上，并且设置成面对形成在第一肋102中的相邻的第一肋102之间的供给路径52。

第一肋102和第二肋104以其部分在裙部38的径向方向上彼此重叠的方式设置。

即使在这种情况下，在通过吸附装置100的吸附下吸引工件W的状态下，如图9B所示，在裙部38随着工件W的形状变化而变形的情况下，通过第二肋104抵靠在第一肋102中的每两个相邻的第一肋102的外周侧端部分上，负压流体可以通过可靠地阻挡设置在第一肋102之间的并供给有负压流体供给路径52的外周侧，来被适当地保持在内部中。

结果，当工件W在吸附下被吸引并被输送时，即使在工件W的形状改变的情况下，也可以通过保持在供给路径52内的负压流体来稳定地保持吸力，并且在不发生吸附缺陷的情况下，能够以在吸附下被可靠地吸引的状态输送工件W。

更具体地，第一肋46和102以及第二肋48和104不限于上述形状，并且可以采用当裙部38根据工件W的形状变化而发生弹性变形时，能够通过被第二肋48和104所阻挡的第一肋46和102的外周侧端部分来保持供给路径52内的负压的任何构造。

根据本发明的吸垫不限于上述实施例。当然，在不脱离所附权利要求中阐述的本发明的实质和主旨的情况下，可以在此采用各种替代或附加构造。

Claims (8)

1.一种吸垫(10,70,100)，其特征在于，所述吸垫被构造成固定到本体(12)的一端，所述本体(12)中具有供给有负压流体的通道(28)，所述吸垫包括吸附构件(16)的吸附表面(38a)上的肋，工件(W)在吸附下被吸引到所述吸附表面(38a)，所述肋包括：

多个第一肋部分(46,102)，所述多个第一肋部分被构造成朝向所述工件突出，其中所述第一肋部分形成在所述通道的外周侧，并且径向向外延伸；和

多个第二肋部分(48,104)，所述多个第二肋部分形成在所述第一肋部分的外周侧，并且相对于所述第一肋部分以周向偏移的方式设置；

其中，所述负压流体流过的供给路径(52)形成在所述第一肋部分中的相邻的第一肋部分之间，并且至少所述第二肋部分的部件被设置成面向所述供给路径延伸的方向，并且

其中所述第一肋部分形成有朝向所述吸附构件的外周侧开口的凹形形状的横截面，并且所述第二肋部分形成有朝向所述第一肋部分侧的内周侧开口的凹形形状的横截面。

2.根据权利要求1所述的吸垫，其特征在于，其中所述第一肋部分的部件和所述第二肋部分的部件被布置成在所述吸附构件的径向方向上彼此重叠。

3.根据权利要求1所述的吸垫，其特征在于，其中所述第一肋部分和所述第二肋部分沿着所述吸附构件的周向方向彼此以相等的间隔设置。

4.根据权利要求1所述的吸垫，其特征在于，其中所述吸附构件进一步包括：

附接件(36)，所述附接件被设置在所述吸附构件的中心中，并且所述负压流体被供给到所述附接件；和

裙部(38)，所述裙部可弹性变形并被设置在所述附接件的外周侧，所述裙部具有吸附表面，所述吸附表面被构造成在吸附下吸引所述工件；

其中所述裙部被设置成绕着所述附接件是自由柔韧的，并且所述附接件用作支撑点。

5.根据权利要求4所述的吸垫，其特征在于，其中所述裙部形成为环形形状，所述多个第一肋部分沿着其周向方向的长度之和设定在所述裙部的内周的40％至70％的范围内，并且设定为小于或等于与所述第二肋部分的外周端部分接触的外接圆的圆周的40％，并且从所述本体和所述吸附构件的轴向方向观察时的所述第一肋部分和所述第二肋部分的总面积设定在所述裙部的面积的5％至40％的范围内。

6.根据权利要求4所述的吸垫，其特征在于，其中所述吸附构件包括波纹管部分(14)，所述波纹管部分(14)形成为波纹管形状并且在轴向方向上能够扩大且能够收缩，并且在吸附下吸引所述工件的所述裙部整体形成在所述波纹管部分的一端上，同时所述波纹管部分和所述裙部由不同的材料形成。

7.根据权利要求6所述的吸垫，其特征在于，其中所述波纹管部分的硬度设定为高于所述裙部的硬度。

8.根据权利要求4所述的吸垫，其特征在于，其中设置成与所述本体的所述通道连通的连通孔(40,42)形成在所述附接件中，并且朝向所述裙部侧的外周侧延伸的引导槽(44)形成为与所述连通孔连通。