CN110785221A - 气体供应系统 - Google Patents

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CN110785221A CN201880039077.6A CN201880039077A CN110785221A CN 110785221 A CN110785221 A CN 110785221A CN 201880039077 A CN201880039077 A CN 201880039077A CN 110785221 A CN110785221 A CN 110785221A
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金志勋
姜泰旭
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Abstract

本发明的气体供应系统配备有气罐装置，该气罐装置具有将处理气体供应到处理室的气动阀，和通过向所述气动阀供应或停止阀致动气体的流来打开或关闭所述气动阀的电磁阀；和控制电磁阀的致动的气体供应控制装置。另外，所述气体供应控制装置包括主控制器，其在正常操作期间控制所述电磁阀的致动；和子控制器，其感测所述主控制器的异常状态，并且如果感测到异常，则代替所述主控制器控制所述电磁阀的致动。

Description

气体供应系统
相关申请的交叉引用
本申请要求于2017年6月15日提交的KR申请号：10-2017-0075558的优先权，所述申请通过引用并入本文。
技术领域
本发明涉及用于将处理气体供应到半导体设施的气体供应系统和方法。
背景技术
通常，半导体通过重复执行多种工艺来制造，包括光刻、蚀刻和薄膜形成。大多数这样的制造工艺是通过封闭的处理室内的处理气体执行的。为此，气体供应装置被用于各种工业设施中，例如半导体制造设备。
气体供应系统包括：在其中存储高压气体的储存罐，其可以是气罐；通过连接管连接到储存罐的气体供应控制装置；且气体供应控制装置控制从储罐流出的气体流，以便通过工艺管线供应气体。
气体供应控制装置可以通过打开和关闭气动阀来控制流入处理室中的处理气体。在这种情况下，可以通过电磁阀来开启(打开)/关掉(关闭)气动阀。
在半导体制造工艺中，气体的连续供应是至关重要的。如果出现问题(即控制装置的故障)，例如气体供应控制装置的异常状态，例如主电源中断导致电磁阀故障，则可能由于在气动阀关闭时突然中断处理气体供应而发生工艺缺陷。
本申请人提交的KR专利号10-0347227提出了一种方法，该方法通过感测控制装置的故障并生成单独的处理信号来将阀保持在打开状态，从而避免如上文所描述的气体供应的突然停止。
然而，在所述专利中，尽管在感测到控制装置中的故障时气动阀可以保持打开，但是不可能启动能够防止处理气体液化的加热器。另外，所述专利的缺点在于，由于不能接收模拟信号，所以无法获知处理气体的压力和气罐的重量等。
另外，在所述专利中，当控制装置中发生故障时，气体供应控制装置与中央控制室之间的通信变为不可能。结果，通过中央控制室的气体监测变为不可能，并且中央控制室也不可能了解气体供应系统的准确状态。
发明内容
因此，由于本发明设计为解决现有技术中的上述问题，本发明的目的是提供一种气体供应系统，该气体供应系统控制气体供应以使得即使在控制装置中存在故障时气体供应也不会被中断；感测处理气体压力和气罐重量等；并且使得能够启动和控制加热器。
本发明的另一个目的是提供一种气体供应系统，使得当在控制装置中感测到故障时，压力、重量和加热器信息被传输到气体监测系统，使得可以准确地了解气体供应装置的状况。
为了实现上述目的，本发明的气体供应系统配备有气罐装置，该气罐装置具有一个或多个控制将处理气体供应到处理室或一个或多个处理室的气动阀，所述气动阀位于将储存罐或气罐流体连接至处理室的供应管线中，以及电磁阀(或一个或多个电磁阀)，所述电磁阀通过向各个所述气动阀(或一个或多个气动阀)供应或停止阀致动气体的流来打开或关闭所述气动阀(或分别地一个或多个气动阀)；以及气体供应控制装置，其控制电磁阀(或一个或多个电磁阀)的致动。另外，所述气体供应控制装置包括主控制器，其在正常操作期间控制电磁阀(或一个或多个电磁阀)的致动，和子控制器，其感测所述主控制器的异常状态，并且在感测到异常时，代替主控制器控制所述电磁阀(或一个或多个电磁阀)的致动。此处，所述主控制器和所述子控制器通过数字接口共享数字感测信息，和/或所述主控制器和子控制器通过模拟接口共享模拟感测信息。
在本发明的气体供应系统中，所述数字感测信息可以包括以下的一种或多种：从火焰感测光学传感器输入的火焰感测信息，从高温传感器输入的高温感测信息，和从气体泄漏传感器输入的气体泄漏感测信息；所述火焰感测光学传感器、高温传感器和气体泄漏传感器安装在气罐装置中。(术语“高温传感器”用于与另外的一种或多种类型的测量处理气体或可用于气罐装置中的加热器的温度的温度传感器区分开，尽管传感器的类型可以相同或不同。)
在本发明的气体供应系统中，所述主控制器在正常操作期间基于来自另外的一个或多个温度传感器(被称为“处理气体温度传感器”)的加热温度感测信息来控制加热器(或一个或多个加热器)的启动以防止处理气体的液化，而当发生所述异常感测时，所述子控制器基于来自一个或多个处理气体温度传感器的加热温度感测信息来控制加热器(或一个或多个加热器)的启动，以防止处理气体的液化。
在本发明的气体供应系统的一个实施方式中，所述模拟感测信息可包括以下的一种或多种或两种或更多种：从压力传感器(或一个或多个压力传感器)输入的气体供应压力感测信息，从重量传感器(或一个或多个重量传感器)输入的气罐重量感测信息，以及从一个或多个处理气体温度传感器输入的处理气体温度感测信息；所述压力传感器(或一个或多个压力传感器)和重量传感器(或一个或多个重量传感器)安装在气罐装置中。
在替代实施方式中，以任意组合，所有或一些以上列出的传感器可以是模拟的，或者所有或一些以上列出的传感器可以是数字的。例如，在替代实施方式中，所述一个或多个重量传感器、所述一个或多个处理气体温度传感器和所述一个或多个压力传感器可以是数字的，和/或所述一个或多个火焰感测光学传感器、所述一个或多个高温传感器和所述一个或多个气体泄漏传感器可以是模拟的。或者，如果需要的话，可以使用模拟和数字压力传感器的混合、模拟和数字重量传感器的混合和模拟和数字温度传感器的混合，以及用于其它类型的传感器等。
在本发明的气体供应系统中，所述气体供应控制装置还包括：监测系统，其选择性地与所述主控制器和子控制器通信以连续地监测处理气体供应状态；和转换开关，其在正常操作中通过通信线路将所述主控制器和监测系统互连，并且当检测到异常时，通过所述通信线路将所述子控制器和监测系统互连。
本发明还提供一种使用本发明的气体供应系统来执行以下步骤的方法：通过所述主控制器与所述子控制器之间的数字或模拟或数字和模拟接口来共享数字或模拟或数字和模拟感测信息；和将对所述气体供应系统的控制切换到所述子控制器(其感测所述主控制器的异常状态)；其中所述子控制器代替所述主控制器控制所述一个或多个电磁阀的致动。该方法可以进一步包括以下步骤：在将控制切换到所述子控制器时，保持所述一个或多个电磁阀的阀位(valve position)。
本发明的优点在于控制气体供应以使得即使在控制装置处于故障状态时也不中断气体供应；感测处理气体压力和气罐重量等；并且可以操作和控制加热器(或一个或多个加热器)。
本发明的优点在于，当在控制装置中检测到故障时，压力、重量和加热器信息和/或温度信息被传输到气体监测系统，使得可以准确地了解气体供应装置的状况，控制和继续供应处理气体，或者如果感测信息指示传送给子控制器的任何感测信息的不安全水平时，所述系统可在子控制器的控制下关闭。
附图说明
图1示出了根据本发明的气体供应系统的示意性构造。
图2示意性地示出了图1的气体供应控制装置的内部构造。
图3示意性地示出了通过数字接口的主控制器和子控制器的互连。
图4示意性地示出了通过模拟接口的主控制器和子控制器的互连。
图5示意性地示出了气体供应控制装置的主控制器和子控制器与气体监测系统之间的连接的构型。
图6示意性地示出了本发明的气罐装置的一个实施方式。
图7示意性地示出了气体供应控制装置的主控制器和子控制器与电磁阀和加热器之间的连接的构型。
具体实施方式
以下将参考附图详细描述本发明的优选实施方式。
图1示出了根据本发明的气体供应系统的示意性构造。
参照图1，根据本发明的气体供应系统包括气体供应控制装置100和气罐装置200。图2示出了气体控制装置100的一个实施方式的图示。图6示出了气罐装置200的图示。注意，气罐装置的一些方面未示出，也未在本文中描述。
气罐装置200将处理气体供应到一个或多个处理室300。气罐装置200具有一个或多个存储处理气体的气罐。在一个实施方式中，如图6所示，气罐装置200交替地操作两个气罐602A、602B以经由管道675将处理气体供应至处理室300。通过交替的方式，A侧以气罐602A供应的处理气体运行，而B侧气罐602B不运行。一旦A侧气罐602A为空，则气罐装置200的B侧运行，而A侧不运行。如果子控制器120接管控制，则其知晓哪个气罐602A或602B以及电磁阀和气动阀在其接管时正在运行，并且子控制器120继续在气罐装置200的该A或B侧操作气罐装置200。在下面的描述中应理解，处理气体流过气罐装置200的A侧或B侧。当气体在A侧流动时，使用带有A标记的元件。或者，当气体在B侧流动时，使用带有B标记的元件。A侧和B侧都包括管道675和其他不带有A或B标记的元件。处理室300使用处理气体来通过半导体制造工艺处理半导体衬底。
气罐装置200将存储在气罐中的处理气体调节至与工艺配方对应的规定压力和流速(通过任选的调节器605A、605B)，并将处理气体供应至处理室300。为此，气罐装置200可以配备有一个或多个或更多个气动阀604A1、604A2、604A3、604B1、604B2和604B3，每个气动阀通过连接到加压气体源(未示出)的电磁阀(未示出)控制。气动阀604A1、604A2、604A3、604B1、604B2和604B3控制通过分别连接到各个气罐602A和602B的管道622A或622B以及连接到管道622A和622B的管道675的向处理室300的处理气体的供应。如图所示，管道675离开气罐装置并将处理气体输送到处理室300。与加压气体源流体连通的每个电磁阀用于通过供应或阻断阀致动气体向气动阀的供应来打开或关闭相应的气动阀。致动气体通常是通过从制造设施(机房)的加压空气源(未显示)连接的管道(未显示)供应的加压空气(清洁干燥的空气)；然而，可以使用替代气体，例如加压氮气。
气罐装置200可以配备有位于主控制器100中的提供主电源的电源单元；以及多个位于气罐装置200中的传感器。传感器包括多个(一个或多个)压力传感器306A1和306B1，其分别测量分别在调节器605A和605B下游的管线622A和622B中处理气体的压力，和/或压力传感器306A2和306B2，其分别测量在气罐602A和602B处的处理气体的压力；以及多个(一个或多个)重量传感器307A、307B，其分别测量气罐602A和602B的重量。另外，传感器包括感测火焰的火焰感测光学传感器(UVIR)301、感测气体泄漏的气体泄漏传感器303和高温传感器302。高温传感器感测系统内部的异常温度；如果达到规定温度，则它将警报信号提供给气体供应控制装置100。如果达到或超过特定的预设温度(例如85摄氏度)，则高温传感器可以在着火的情况下致动。火焰传感器、气体泄漏传感器和温度传感器(如果被激活)也发出警报和/或导致气体供应装置关闭。另外，所述传感器还可包括EMO传感器(未示出)，其感测紧急按钮的按压以便从外部通知紧急情况；以及电源传感器(未示出)，其感测主电源状态。在一个实施方式中，电源传感器通过子控制器和主控制器之间的接口。如果主控制器发生电源损失，则子控制器会在主控制器发生电源损失(并且关闭)时检测到电源损失。当主控制器发生电源损失时，子控制器将接管对气罐装置的控制，即使仅是有限的控制。
气体供应控制装置100与所述传感器结合实时地监测气罐装置200的操作状态，并且如果主电源被中断，则它将控制气罐装置200的操作以使处理气体连续地供应直到完成处理室300中当前正在进行的处理。例如，气体供应控制装置100使用子控制器向气罐装置200的传感器供电，直到处理室300中当前正在进行的处理通过控制一个或多个电磁阀的操作而继续通过一个或多个气动阀向处理室300供应处理气体来完成，该电磁阀在打开时供应加压空气以打开相应的气动阀。加压空气(在供应时)打开气动阀。优选地，，将主电源中断时的工艺条件和供应到处理室的处理气体的量在开始处理之前编程到气体控制装置中。该过程将在子控制器的控制下继续进行，直到将预编程量的处理气体供应到处理室。如果主控制器在完成该处理时仍未起作用，则子控制器可发出警报并关闭气罐装置。
图2示出了图1的气体供应控制装置的内部构造。
参照图2，气体供应控制装置100包括在正常状态下操作的主控制器110和在异常状态下操作的子控制器120以及数字和/或模拟接口402。
主控制器110控制一个或多个电磁阀S604A1、S604A2、S604A3、S604B1、S604B2、S604B3(图6中未示出，图7中示出)的独立致动，该电磁阀在正常操作期间控制在图6中分别示为604A1、604A2、604A3、604B1、604B2、604B3的一个或多个对应气动阀中的每一个。
子控制器120感测主控制器的异常状态，并且当感测到异常时，它代替主控制器110控制一个或多个电磁阀的致动，该电磁阀控制向图6中示为604A1、604A2、604A3、604B1、604B2、604B3的一个或多个气动阀的致动气体流。
主控制器110和子控制器120如图3所示通过数字接口403相互共享数字感测信息，并且如图4所示通过模拟接口404共享模拟感测信息。
例如，主控制器110的PLC(可编程逻辑控制器)数字输出和子控制器120的数字输入可以通过数字接口403共享。在这种情况下，当在主控制器110中检测到异常时，子控制器120可以控制一个或多个电磁阀的致动，该一个或多个电磁阀控制向相应气动阀604A1、604A2、604A3、604B1、604B2、604B3的致动气体流，从而避免处理气体向处理室300的供应的中断。在装置由主控制器110控制而感测到异常时，无论每个电磁阀处于什么位置(打开或关闭)，每个电磁阀在子控制器的控制下保持该位置(打开或关闭)，直到正在进行的工艺完成。
作为另外的示例，PLC(可编程逻辑控制器)数字输入和子控制器120的数字输出可以通过数字接口403共享。在这种情况下，当在主控制器110中检测到异常时，由于子控制器120代替主控制器110控制一个或多个电磁阀(未示出)的致动，而该一个或多个电磁阀控制气动阀604A1、604A2、604A3、604B1、604B2、604B3(如图6所示)，处理气体可以继续正常地供应到处理室300。另外，当感测到主控制器110的异常时，子控制器120代替主控制器110监测通过温度传感器304测量的加热温度，其控制一个或多个与各个气罐602A、602B接触和/或与一个或多个气罐下游的管道接触(优选地靠近供应管道675离开气罐装置200去往处理室300处)的加热器633A、633B、633C的启动，从而防止处理气体液化。如果需要，使与管道675接触的加热器633C和/或与正在供应气体的气罐接触的加热器633A或633B启动。
主控制器110和子控制器120通过模拟接口相互共享模拟感测信息。例如，在感测到主控制器110中的异常时，子控制器120可以代替主控制器110连续地监测以下一种或多种：来自处理气体温度传感器304的温度，和/或来自一个或多个压力传感器306A1、306A2、306B1、306B2(在图4中仅显示为306)的气体供应压力，和/或来自307A或307B(在图4中仅显示为307)的气罐重量等。应注意，尽管在图6中仅示出了一个处理气体温度传感器304，但另外的温度传感器可以在气罐装置200中任选地设置，其如温度传感器304一样与主控制器和子控制器通信。另外的温度传感器可以位于管线622A或622B上和/或气罐602A、602B上。
图3示出了主控制器和子控制器通过数字接口403的互连。
参照图3，由于通过数字接口403互连，主控制器110和子控制器120可以共享数字感测信息。
数字感测信息可以包括从火焰感测光学传感器301输入的火焰感测信息、从高温传感器302输入的高温感测信息以及从气体泄漏传感器303输入的气体泄漏感测信息。火焰感测光学传感器301、高温传感器302和气体泄漏传感器303可以安装在图6的实施方式中示意性地示出的气罐装置200中。每个传感器可以检测预编程的不安全水平，其使得气罐装置发出警报和/或关闭。
在正常操作中，主控制器110可基于来自一个或多个温度传感器(例如304)的温度感测信息来控制一个或多个加热器633A、633B、633C的启动以防止处理气体的液化。另外，当检测到异常时，子控制器120可以基于来自一个或多个温度传感器(例如304)的加热温度感测信息来控制一个或多个加热器633A、633B、633C的启动，以防止处理气体的液化。
图4示出了主控制器和子控制器通过模拟接口的互连。
参照图4，由于通过模拟接口互连，主控制器110和子控制器120可以共享模拟感测信息。
模拟感测信息可包括从一个或多个温度传感器304、一个或多个压力传感器306A1、306A2、306B1、306B2输入的气体供应压力感测信息，以及从一个或多个重量传感器307A、307B输入的气罐重量感测信息。在这种情况下，压力传感器和重量传感器可以安装在如图6所示的气罐装置中。
图5示出了气体供应控制装置的主控制器110和子控制器120与气体监测系统130之间的连接的构型。
参考图5，根据本发明的气体供应控制装置100还可以包括监测系统130和转换开关140。因此，在根据本发明的气体供应控制装置100中，当在主控制器110中发生异常状态时，连接到通信线路502的子控制器120替代地运行以使得气罐装置继续供应处理气体，监测系统130可以连续地监测气体供应状态，并且通过子控制器或主控制器，基于压力(由一个或多个压力传感器306A1、306A2或306B1、306B2测量的)和气罐的重量(由一个或多个重量传感器307A或307B测量的)控制在气罐装置200中的一个或多个加热器633A、633B、633C，并且保持电磁阀的阀位(打开或关闭)，其保持相应气动阀的位置。“气体供应状态”或“处理气体供应状态”是指气罐装置200中的传感器的实际测量的温度和压力，以及任选地流入和已经提供到处理室中的处理气体的量(该量可通过时间和流速和/或气罐的重量变化来确定)。可以将处理气体供应状态与预编程的温度和/或压力和/或流速进行比较，并且可由此和/或对于特定工艺通过重量的变化和/或处理气体流向处理室300的时间来确定供应的量，并且可以基于该信息来控制气体供应装置。在替代实施方式中，该装置继续该流程，直到由技术人员手动将其关闭或主控制器恢复控制。
具体而言，监测系统130选择性地与主控制器110和子控制器120通信以连续地监测处理气体供应状态。换句话说，在正常操作中，监测系统130通过电通信线路501与主控制器110通信以连续监测处理气体供应状态；但是在异常操作中，它通过电通信线路502与子控制器120通信以连续监测处理气体供应状态。
在正常操作中，转换开关140经由通信线路501将主控制器110和监测系统130互连。与此相反，在异常操作中，转换开关140经由通信线路502将子控制器120和监测系统130互连。
图7示出了在一个实施方式中，主控制器110和子控制器120与电磁阀S604A1、S604A2、S604A3或S604B1、S604B2、S604B3和加热器633C和633A或633C和633B之间经由电连接701互连通信，并保持处理气体供应状态直到预编程过程完成或关闭或者主控制器恢复控制。每个电磁阀控制相应的气动阀604A1、604A2、604A3、604B1、604B2、604B3。
本发明具有以下效果。
首先，可以从一开始就避免由于处理气体流的中断引起的工艺失败，因为即使主控制器发生故障，也可以由子控制器连续地控制处理气体供应。
第二，本发明的优点在于可以监测气体压力和/或处理气体的温度和/或气罐的重量等，并且可以操作和控制一个或多个加热器，甚至在主控制器发生故障时。
第三，根据本发明，即使当存在主控制器故障时，通过切换到通过监测系统与控制室(未显示)之间的电通信而从中央控制室监测的气体监测系统，有可能连续监测以下一种或多种：压力、处理气体的温度、重量、加热器信息等，而不发生通信故障；因此，本发明具有可以精确地了解气体供应系统的状况的优点。
从以上描述中，本领域技术人员将理解，可以在不改变本发明的技术思想或基本特征的情况下以各种方式修改和改变本发明。因此，本发明的技术范围不应限于说明书的详细说明中所描述的内容，而应由权利要求书限定。

Claims (17)

1.一种气体供应系统，其配备有气罐装置，所述气罐装置具有一个或多个控制向处理室供应处理气体的气动阀，以及一个或多个电磁阀，所述电磁阀通过向所述气动阀供应或停止阀致动气体的流来打开或关闭所述气动阀；和
气体供应控制装置，其控制所述一个或多个电磁阀的操作；其中所述气体供应控制装置包括：
主控制器，其在正常操作期间控制所述一个或多个电磁阀的致动，和
子控制器，其感测所述主控制器的异常状态，并且在感测到异常时，代替所述主控制器控制所述一个或多个电磁阀的致动；
其中所述主控制器和所述子控制器通过数字或模拟或数字和模拟接口来共享数字或模拟或数字和模拟感测信息。
2.根据权利要求1所述的气体供应系统，其中所述主控制器和子控制器通过模拟接口共享模拟感测信息。
3.根据权利要求1所述的气体供应系统，其中所述主控制器和子控制器通过数字接口共享数字感测信息。
4.根据权利要求3所述的气体供应系统，进一步地其中所述主控制器和子控制器通过模拟接口共享模拟感测信息。
5.根据前述权利要求中任一项所述的气体供应系统，
其中所述数字感测信息包括选自以下的至少一种：
从火焰感测光学传感器输入的火焰感测信息，
从高温传感器输入的高温感测信息，和
从气体泄漏传感器输入的气体泄漏感测信息；
其中所述火焰感测光学传感器、所述高温传感器和所述气体泄漏传感器安装在所述气罐装置中。
6.根据权利要求1-4中任一项所述的气体供应系统，其中所述模拟感测信息包括选自以下的至少一种：
从一个或多个压力传感器输入的气体供应压力感测信息，
从一个或多个重量传感器输入的气罐重量感测信息，和
从一个或多个处理气体温度传感器输入的处理气体温度信息；
并且其中如果存在的话，所述一个或多个压力传感器和一个或多个温度传感器以及一个或多个重量传感器安装在气罐装置中。
7.根据权利要求1-4中任一项所述的气体供应系统，其中所述气罐装置还包括一个或多个加热器和一个或多个处理气体温度传感器，并且所述主控制器基于来自所述一个或多个处理气体温度传感器的加热温度感测信息来控制所述一个或多个加热器的启动以防止所述处理气体的液化，
并且其中当所述异常感测发生时，所述子控制器基于所述加热温度感测信息来控制所述一个或多个加热器的启动，以防止所述处理气体的液化。
8.根据权利要求1-4中的任一项所述的气体供应系统，其中所述数字感测信息包括选自以下的至少两种：
从火焰感测光学传感器输入的火焰感测信息，
从高温传感器输入的高温感测信息，和
从气体泄漏传感器输入的气体泄漏感测信息。
9.根据权利要求1-4中任一项所述的气体供应系统，其中所述模拟感测信息包括选自以下的至少两种：
从一个或多个压力传感器输入的气体供应压力感测信息，
从一个或多个重量传感器输入的气罐重量感测信息，和
从一个或多个处理气体温度传感器输入的处理气体温度信息。
10.根据权利要求1-4中任一项所述的气体供应系统，其中所述气体供应控制装置还包括：
监测系统，其选择性地与所述主控制器和子控制器通信以连续地监视所述处理气体供应状态，和
转换开关，其在正常操作中通过所述通信线路将所述主控制器和监测系统互连，并且当检测到异常时，通过所述通信线路将所述子控制器和监测系统互连。
11.根据权利要求10所述的气体供应系统，其中所述气体供应控制装置还包括监测系统，该监测系统通过所述监测系统与控制室之间的电通信与中央控制室通信。
12.一种控制气体供应系统的方法，所述气体供应系统包括：一个或多个控制向处理室供应处理气体的气动阀，以及一个或多个电磁阀，所述电磁阀通过向各个所述气动阀供应或停止阀致动气体的流来打开或关闭各个所述气动阀；和
气体供应控制装置，其控制所述一个或多个电磁阀的操作；其中所述气体供应控制装置还包括：
主控制器，其在正常操作期间控制所述一个或多个电磁阀的致动，和子控制器，所述方法包括以下步骤：
通过所述主控制器和所述子控制器之间的数字或模拟或数字和模拟接口来共享数字或模拟或数字和模拟感测信息；和
将对所述气体供应系统的控制切换到感测所述主控制器的异常状态的所述子控制器；其中所述子控制器代替所述主控制器控制所述一个或多个电磁阀的致动。
13.根据权利要求12所述的方法，所述方法还包括以下步骤：
在将控制切换到所述子控制器时，保持所述一个或多个电磁阀的阀位。
14.根据权利要求12或13所述的方法，所述方法还包括以下步骤：
响应于处理气体温度信息，通过所述子控制器启动一个或多个加热器。
15.根据权利要求12或13所述的方法，所述方法还包括以下步骤：
将处理气体的供应状态通报给中央控制室。
16.根据权利要求12或13所述的方法，所述方法还包括以下步骤：
当感测信息指示已感测到任何感测信息的不安全水平时，将紧急情况通报给中央控制室。
17.根据权利要求12或13所述的方法，所述方法还包括以下步骤：
当任何感测信息指示已经感测到任何感测信息的不安全水平时，关闭所述气体供应装置。
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