CN110777422A - 电镀装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种电镀装置，其具备：槽，其具有电解液，所述电解液浸渍有多个基材和多个金属，所述多个基材至少表面具有导电性且沿着一个方向配置，所述多个金属沿着该一个方向与该各基材对置配置；电源，其向该基材与该金属之间施加电压；配管，其在该基材的下方侧沿该一个方向延伸，供气体流动；以及该气体的排出口，其与该各基材对应地形成有多个，形成于该配管的靠下侧的部分。

Description

电镀装置

技术领域

本公开涉及一种电镀装置。

背景技术

在日本国特开2009-030118号公报中公开了如下方法：在收纳有含有有机添加剂的硫酸镀铜液的电镀槽中，使用可溶性或不溶性阳极，将被电镀物作为阴极，在使电镀液从电镀槽流出至溢流槽的同时，使溢流槽中的电镀液返回至电镀槽，并且设置氧化分解槽，从氧化分解槽经由溢流槽向电镀槽返还电镀液，使电镀液在电镀槽与氧化分解槽之间循环，在氧化分解槽中的电镀液中浸渍金属铜，对金属铜实施空气鼓泡，由此对电镀铜时生成的分解/改性有机生成物进行氧化分解处理，在被电镀物上连续地电镀铜。

本公开的目的在于提供一种与将排出气体的排出口形成在配管的截面的上方侧的情况相比，较多地排出配管内部的电解液的电镀装置。

发明内容

根据本公开的第1方案，提供一种电镀装置，其中，具备：槽，其具有电解液，所述电解液浸渍有多个基材和多个金属，所述多个基材至少表面具有导电性且沿着一个方向配置，所述多个金属沿着该一个方向与该各基材对置配置；电源，其向该基材与该金属之间施加电压；配管，其在该基材的下方侧沿着该一个方向延伸，供气体流动；以及该气体的排出口，其与该各基材对应地形成有多个，形成于该配管的靠下侧的部分。

根据本公开的第2方案，该排出口相对于从该配管的截面中心向下方延伸的垂线而形成在0～50度的范围内。

根据本公开的第3方案，该排出口相对于从该配管的截面中心向下方延伸的垂线而形成在20～50度的范围内。

根据本公开的第4方式的方案，具备该电镀装置，其中，具有：液管，其沿着该配管延伸，供该电解液流动；容器，其设置在该槽的该一个方向上的一端侧，从该槽回收该电解液；泵，其从该容器向该液管加压输送该电解液；以及喷出口，它是该电解液的喷出口，与该各基材对应地在该液管形成有多个，相对于所对应的该基材位于该一个方向上的靠另一端的位置。

根据本公开的第5方案，该各排出口相对于所对应的该基材位于该一个方向上的靠该另一端的位置，该排出口设置在比该喷出口靠近该基材的位置。

根据本公开的第6方案，在俯视观察该槽时，该液管设置在该基材与该金属之间，与一个该基材对应的该喷出口分别形成在该基材侧和该金属侧。

根据本公开的第7方案，在该液管中，该一个方向两端的该喷出口的开口面积大于该一个方向中央侧的该喷出口的开口面积。

根据本公开的第8方案，该液管配置有多个，各液管的终端部被连结在一起。

根据本公开的第9方案，针对多个该液管分别设有用于调整该电解液的流量的调整阀。

根据本公开的第10方案，该气体从该配管的该一个方向上的两端被加压输送。

根据本公开的第11方案，在与该配管的该一个方向上的两端连接的导入管上分别设有用于调整该气体的压力的调压阀。

根据本公开的第12方式的电镀装置，还具备追加口，该追加口分别设置在配管上的比该一个方向上的两端的该排出口靠外侧的位置，并形成在该配管的截面的下方。

根据本公开的第13方案，具备该电镀装置，其中，具备：阳极，其设置于该电源，使电流朝向该金属流动；以及控制部，其连接在该电源的阴极与该基材之间，将从该基材返回到该电源的该电流控制为预先规定的值。

根据本公开的第14方案，该控制部针对每个该基材控制该电流。

根据本公开的第15方案，具备使该基材旋转的旋转部。

根据本公开的第16方案，该旋转部具备刷，该刷具有多个触点。

(效果)

根据所述第1方案的电镀装置，与将排出气体的排出口形成在配管的截面的上方的情况相比，能够较多地排出配管内部的电解液。

根据所述第2方案的电镀装置，与将排出口形成在相对于从配管的截面中心向下方延伸的垂线50～90度的范围内的情况相比，能够较多地排出配管内部的电解液。

根据所述第3方案的电镀装置，与将排出口形成在相对于从配管的截面中心向下方延伸的垂线0～20度的范围内的情况相比，能够更多地排出配管内部的电解液。

根据所述第4方案的电镀装置，与各喷出口相对于所对应的基材配置在靠容器的位置的情况相比，能够抑制每个基材的电镀层的厚度的偏差。

根据所述第5方案的电镀装置，与各排出口相对于所对应的基材配置在靠容器的位置、或者配置在比同组的喷出口距基材更远的位置的情况相比，能够抑制在各基材形成的电镀层在上下方向上的厚度的偏差。

根据所述第6方案的电镀装置，与从各喷出口仅向基材侧供给电解液的情况相比，能够抑制每个基材的电镀层的厚度的偏差。

根据所述第7方案的电镀装置，与各喷出口的开口面积均相等的情况相比，能够抑制液管的两端的喷出口的电解液的喷出量与液管的中央侧相比而降低的情况。

根据所述第8方案的电镀装置，与在配置有多根液管的情况下将液管的终端部密封的情况相比，能够抑制各液管中的电解液的流量的偏差。

根据所述第9方案的电镀装置，与设置各液管共用的调整阀的情况相比，能够调整由于液管的形状或路径的差异而引起的电解液的流量的偏差。

根据所述第10方案的电镀装置，与将配管的终端部密封并从一端加压输送气体的情况相比，能够在一个方向上的端部与中央部之间，抑制各基材的电镀层的厚度的偏差。

根据所述第11方案的电镀装置，与设置各导入管共用的调压阀的情况相比，能够调整由于配管和导入管的形状或路径的差异而引起的气体的压力的偏差。

根据所述第12方案的电镀装置，与在配管上仅设有排出口的情况相比，能够进一步减少残留在配管内的电解液的量。

根据所述第13方案的电镀装置，与控制从电源输出至金属的电流的情况相比，能够抑制在基材表面形成的电镀层的厚度的偏差。

根据所述第14方案的电镀装置，与对流过每个基材的电流一起进行控制的情况相比，能够抑制每个基材的电镀层的厚度的偏差。

根据所述第15方案的电镀装置，与基材在周向上静止的情况相比，能够抑制在基材表面形成的电镀层在周向上的厚度的偏差。

根据所述第16方案的电镀装置，与刷的触点为一个的情况相比，能够抑制触点腐蚀的情况下的电流值的变化。

附图说明

图1是实施方式的电镀装置的俯视图。

图2是实施方式的电镀装置的侧方剖视图(图1的2-2线的剖视图)。

图3是实施方式的电镀装置，并且是旋转单元的剖视图。

图4是实施方式中的设置于旋转单元的刷的主视图。

图5是实施方式的设置于阳极篮的端子的(A)立体图以及(B)俯视剖视图。

图6是实施方式的电镀装置，(A)是电源电路的概念图，(B)是控制部的概念图。

图7是说明实施方式的电镀装置，并且是说明循环装置的俯视图。

图8是实施方式的循环装置中包含喷出口的液管的剖视图(图7的8-8线的剖视图)。

图9是说明实施方式的电镀装置并且是说明曝气装置的俯视图。

图10是在实施方式的曝气装置的(A)包含排气口的配管的剖视图(图9的10A-10A线的剖视图)、以及(B)包含追加口的配管的剖视图(图9的10B-10B线的剖视图)。

图11是说明实施方式的电镀装置中的循环装置和曝气装置的作用的图，(A)是放大了俯视图的图，(B)是放大了侧方剖视图的图。

图12是实施方式的电镀装置的变形例，是旋转单元的从动部的剖视图。

具体实施方式

使用附图对本公开的实施方式的电镀装置的一例进行说明。另外，各图中所示的箭头H表示装置上下方向，箭头W表示装置宽度方向，箭头D表示装置进深方向。此外，在装置进深方向上，将配置有后述的溢流罐13的一侧作为里侧，将与溢流罐13相对的一侧作为近前侧。另外，装置进深方向相当于本公开中的一个方向。

此外，在使用“～”来记载数值范围的情况下，“～”前后的数值包含下限值和上限值。

(结构)

本实施方式的电镀装置10例如针对图像形成装置的定影装置用的聚酰亚胺带(以下称为“带”。)B的表面通过电镀而形成金属层(在以下称为“电镀层”。)。带B是基材的一例。

如图1、图2及图6(A)所示，电镀装置10具备电镀槽12、旋转单元20、阳极篮40、电源装置100、控制部120、循环装置60以及曝气装置80。这里，电镀槽12是槽的一例，旋转单元20是旋转部的一例，阳极篮40是筐的一例，电源装置100是电源的一例。

电镀槽12储存有作为电解液的一例的电镀液L。在该电镀槽12中浸渍有带B和收纳有后述的金属M的阳极篮40。如图1所示，在电镀槽12的装置进深方向上的一端侧的外壁面上设有比电镀槽12小的容器：溢流罐13。该溢流罐13和电镀槽12通过形成于电镀槽12的壁部的矩形的开口14被连接。当电镀槽12的电镀液L的液面到达开口14时，会流入到溢流罐13中。即，溢流罐13具有规定电镀槽12中的电镀液L的液面的上限并且回收从电镀槽12溢出的电镀液L的功能。溢流罐13的底部与后述的循环管66连接。

此外，在电镀槽12的装置上方，沿着电镀槽12的装置宽度方向外侧的内壁面设有在装置进深方向上延伸的棱柱棒状的阳极总线16。该阳极总线16设置在电镀槽12的装置宽度方向两侧。在该阳极总线16上悬吊有具有导电性且呈网状的阳极篮40。

旋转单元20是旋转部的一例。如图2所示，旋转单元20在电镀槽12的装置宽度方向上设有2列，在装置进深方向上设有5列，共计设有10个。如图1所示，旋转单元20在装置宽度方向的一侧(附图的上侧)，从近前侧朝向里侧按照规定的间隔依次配置有旋转单元20A、20B、20C、20D、20E。此外，旋转单元20在装置宽度方向另一侧(附图的下侧)，从近前侧朝向里侧按照规定的间隔依次配置有旋转单元20F、20G、20H、20I、20J。另外，在以后的说明中，在不需要区分旋转单元20的情况下，省略标号末尾的“A”～“J”(与阳极篮40、喷出口70、排出口90、第一输入部132和第二输入部134相同)。

如图3所示，旋转单元20在装置上下方向上延伸，具备固定有带B的从动部22、和用于对从动部22进行旋转驱动的驱动部30。带B在被固定于旋转单元20上的状态下，被形成为在装置上下方向上延伸的圆筒体。

从动部22具备：圆筒形状的保持部24；支承保持部24的上部的上部支承部25；支承保持部24的下部的下部支承部26；在装置上下方向上延伸的圆柱状的金属棒27；以及设置在上部支承部25的上端的保持件29。保持部24是绝缘体的管，在本实施方式中是氯乙烯制或聚碳酸酯制。保持部24的装置上下方向上的长度等于带B的长度、或者比带B稍长。保持部24在其外周部保持带B。从动部22的至少包含保持部24的部分被浸渍在电镀液L中。

上部支承部25是导电体部件，在本实施方式中是不锈钢制成的。该保持部24在剖视观察时是倒T字状且圆筒状的部件。上部支承部25的靠装置下方的主体部210的外径比保持部24的外径稍大，上部支承部25的靠装置上方的延长部212的外径比保持部24的外径小。上部支承部25在轴心部分形成有沿装置上下方向贯通的贯通孔214。在被保持在保持部24上的带B的装置上方端部，以横跨主体部210的外周部与带B的边界部分的方式卷绕有绝缘性的粘接带T。

此外，在主体部210的外周部设有朝向保持部24延伸的多个板簧部216。该板簧部216是导电体，由与上部支承部25相同的不锈钢制成。板簧部216的靠装置上方侧端部的环部分固定于主体部210，板簧部216的靠装置下方侧的部分能够在径向上移位。在上部支承部25支承着保持部24的状态下，板簧部216的靠装置下方侧的部分按压着带B。由此，带B与上部支承部25电连接。上部支承部25是设置在带B的端部的电极的一例。

下部支承部26是导电体部件，在本实施方式中是不锈钢制成的。该下部支承部26在剖视观察时为呈T字状且圆柱状的部件。下部支承部26的靠装置上方的主体部220的外径比保持部24的外径稍大，下部支承部26的靠装置下方的延长部222的外径比保持部24的外径小。下部支承部26在主体部220的靠装置上方的面上朝向装置下方而形成有插入孔224。在被保持部24保持的带B的靠装置下方端部处，以横跨主体部220的外周部与带B的边界部分的方式卷绕有粘接带T。

此外，在主体部220的外周部设有朝向保持部24延伸的多个板簧部226。该板簧部226是导电体，由与下部支承部26相同的不锈钢制成。板簧部226的靠装置下方侧端部的环部分固定于主体部220，板簧部226的靠装置上方侧能够在径向上移位。在下部支承部26支承着保持部24的状态下，板簧部226的靠装置上方侧的部分按压着带B。由此，带B与下部支承部26电连接。下部支承部26是设置于带B的端部的电极的一例。

金属棒27是沿装置上下方向贯通上部支承部25和保持部24的轴心部分的导电体的棒。这里，本实施方式的金属棒27是铜制成的。该金属棒27是配线的一例。由于金属棒27的外径比贯通孔214的内径以及保持部24的内径小，因此金属棒27不会与上部支承部25和保持部24接触。另外，在从动部22的靠装置上方侧的、金属棒27与上部支承部25之间设有作为绝缘体的树脂制的套环28。此外，金属棒27嵌入于下部支承部26的插入孔224中。因此，金属棒27不与上部支承部25电连接，而与下部支承部26电连接。

保持件29是大致圆筒状的部件。保持件29的装置上方侧的端部相对于后述的轴部31的外轴部310固定。

驱动部30具备：大致圆柱状的轴部31；多个轴承32，它们将轴部31支承成能够旋转；齿轮部33，其传递旋转动力；刷34，其与后述的控制部120的输入部130电连接；以及夹持部36，它是与从动部22连接的连接部。此外，驱动部30具备箱状的壳体38，轴部31、轴承32、齿轮部33以及刷34收纳在该壳体38中。该壳体38固定在电镀槽12的装置上方。

轴部31具有：圆筒状的外轴部310，其设置在径向外侧；圆柱状的内轴部312，其设置在径向内侧，在剖视观察时呈大致T字状；以及中间部314，其设置在外轴部310与内轴部312之间。这里，外轴部310和内轴部312为导电体，中间部314为绝缘体。作为一例，外轴部310和内轴部312均为不锈钢制，中间部314为树脂制。因此，外轴部310与内轴部312被绝缘。轴部31的内轴部312露出于装置上方侧的外周，外轴部310露出于装置下方侧的外周。

轴承32将轴部31支承成能够相对于壳体38旋转。轴承32具有：第一轴承320，它是径向轴承，对轴部31的装置上方侧进行支承；和第二轴承322，它是径向轴承，对轴部31的装置下方侧进行支承。此外，轴承32具有第三轴承324，它是推力轴承，在比第二轴承322靠装置下方侧的位置支承轴部31的装置下方侧端部。

齿轮部33在装置上下方向上设置在第一轴承320与第二轴承322之间。该齿轮部33具有：蜗杆330，其与未图示的驱动装置连接；和蜗轮332，其固定在外轴部310的外周部。当驱动装置进行动作时，齿轮部33使轴部31和与轴部31连接的从动部22旋转。

刷34具有：第一刷340，其在装置上下方向上设置在第一轴承320与蜗轮332之间；和第二刷342，其设置在第一轴承320的装置上方侧。第一刷340与外轴部310的外周部接触，第二刷342与内轴部312的外周部接触。如图4所示，各刷34通过在大致E字形状的铜板的表面实施镀铂而形成。即，各刷34相对于轴部31分别具有多个(在本实施方式中为3个)触点35。

如图3所示，夹持部36是设置在内轴部312的下端的、剖视观察时呈大致倒U字状的部件，收纳在保持件29的内部。夹持部36的靠装置下方侧的部分与大致圆柱状的连接器37嵌合。金属棒27从装置下方嵌入于该连接器37中。

如图2所示，阳极篮40在装置上下方向上比带B长，与带B一同浸渍在电镀液L中。如图1所示，阳极篮40在电镀槽12的装置宽度方向上设有2列，在装置进深方向上设有5列，共计设有10个。补充说明一下，阳极篮40在装置宽度方向一侧(附图的上侧)从近前侧朝向里侧以规定的间隔依次配置有阳极篮40A、40B、40C、40D、40E。此外，阳极篮40在装置宽度方向另一侧(附图的下侧)从近前侧朝向里侧以规定的间隔依次配置有阳极篮40F、40G、40H、40I、40J。各阳极篮40在装置宽度方向上与旋转单元20(从动部22)对置设置。例如，在装置宽度方向上，阳极篮40A与旋转单元20A的从动部22对置，阳极篮40F与旋转单元20F的从动部22对置。

如图2所示，该阳极篮40具有：圆筒状且网状的收纳部41，其收纳离子化的金属M；和用于将收纳部41悬吊于阳极总线16的大致倒J字状的钩部42。在钩部42上固定有后述的端子50(参照图5(A))。

这里，收纳于收纳部41的金属M根据实施电镀的金属的不同而不同。例如，在对带B实施镀铜的情况下，在收纳部41中收纳铜球。此外，例如，在对带B实施镀镍的情况下，在收纳部41中收纳镍球。在收纳部41中，金属M被层叠得比带B的长度长。

此外，在本实施方式的阳极篮40中，收纳部41的外周部被作为聚酯制的布的阳极袋43覆盖。另外，为了进行说明，在图2中所示的阳极袋43的一部分中，被阳极篮40A透过。而根据本实施方式，作为杂质的阳极泥是不会从阳极篮40流出到电镀槽12内的，因此，与没有用阳极袋43覆盖收纳部41的情况相比，抑制了带B的电镀层的粗糙。这里，阳极泥是指在使金属为阳极进行了电解时，没有电化学性地溶解的残渣。此外，粗糙是指，电镀槽中的固体异物颗粒进入电到镀层中而形成的粗糙(凹凸状的瑕疵)。

此外，在本实施方式的阳极篮40中，通过利用作为绝缘体的阳极罩44覆盖被阳极袋43覆盖的收纳部41的一部分而将该一部分遮蔽。例如，本实施方式的阳极罩44是氯乙烯制成的。阳极罩44是绝缘物的一例。阳极罩44具有：圆筒状的上部罩46，其覆盖收纳部41的装置上方侧的部分；和圆筒状的下部罩48，其覆盖收纳部41的装置下方侧的部分。上部罩46被设置成跨电镀液L的液面，下部罩48的筒状的下端部封闭。

收纳部41的未被阳极罩44覆盖的露出部分在装置上下方向上与带B处于相同范围(参照图2的虚线部)。即，装置上下方向上的上部罩46的靠装置下方侧的端部的位置与带B的靠装置上方侧的端部的位置同等，下部罩48的靠装置上方侧的端部的位置与带B的靠装置下方侧的端部的位置同等。即，在本实施方式的阳极篮40的收纳部41中，装置宽度方向上的不与带B对置的装置上下方向两侧被阳极罩44覆盖。在收纳部41的被阳极罩44覆盖的遮蔽部分的周围，针对露出部分抑制了电流辐射。

端子50是为了确保电源装置100的阳极102与阳极篮40的电连接而设置的导电性部件。本实施方式的端子50是铜制成的。如图5(A)所示，在本实施方式中，在从阳极102延伸的线缆150的末端设有压接端子152，端子50形成为能够对压接端子152进行固定。如图5(B)所示，端子50在装置进深方向一侧(附图的左侧)的壁面上具有沿着装置上下方向设置的槽部51。此外，端子50具有:第一内螺纹部52，其形成在从装置宽度方向一侧(附图的下侧)的壁面朝向槽部51的贯通孔中；和第二内螺纹部53，其与第一内螺纹部52并列形成。

实施了镀铂的固定螺栓54被拧入第一内螺纹部52。本实施方式的固定螺栓54形成为，在被拧入第一内螺纹部52时，末端部55与构成钩部42的金属板接触。在槽部51中，构成钩部42的金属板夹在端子50的壁部与固定螺栓54的末端部55之间，由此将端子50固定于钩部42。

实施了镀铂的压接螺钉56被拧入第二内螺纹部53。本实施方式的压接螺钉56通过使轴部57穿过压接端子152的孔之后拧入第二内螺纹部53中从而将压接端子152固定于端子50。

在将钩部42勾挂于阳极总线16而使阳极总线16与阳极篮40导通的情况下，当阳极总线16和钩部42由于电镀液L的影响而腐蚀时，从阳极总线16到阳极篮40的电阻会增加。对此，通过设置本实施方式的端子50，减小了从电源装置100的阳极102到阳极篮40的电阻，与将钩部42勾挂于阳极总线16而进行导通的情况相比，能够实现导通的稳定化。

电源装置100向固定于旋转单元20的带B与收纳在阳极篮40的收纳部41中的金属M之间施加电压。电源装置100是电源的一例。

如图6(A)所示，在电源装置100中，阳极102经由线缆150和端子50与阳极篮40连接，阴极104与控制部120的输出部136连接。此外，从各旋转单元20延伸的线缆151分别与控制部120的输入部130连接。详细地说，上部支承部25经由第一刷340和线缆151与输入部130的第一输入部132连接，下部支承部26经由第二刷342和线缆151与输入部130的第二输入部134连接。针对每个旋转单元20而形成第一输入部132和第二输入部134。虽然在图6(A)中省略，第一输入部132包括第一输入部132A～第一输入部132J，第二输入部134包括第二输入部134A～第二输入部134J。

在如上述方式连接的电镀装置10中，形成电流按照以下括号的顺序而流过的电源电路。另外，从带B到控制部120形成有两个系统。

(1)电源装置100、(2)阳极102、(3)线缆150、(4)端子50、(5)阳极篮40、(6)金属M、(7)电镀液L、(8)带B、

(9-1)上部支承部25、(10-1)保持件29、(11-1)外轴部310、(12-1)第一刷340、(13-1)线缆151、(14-1)第一输入部132

(9-2-1)下部支承部26、(9-2-2)金属棒27、(10-2-1)连接器37、(10-2-2)夹持部36、(11-2)内轴部312、(12-2)第二刷342、(13-2)线缆151、(14-2)第二输入部134

(15)控制部120、(16)输出部136、(17)阴极104、(18)电源装置100

控制部120在电源电路中设置在阴极104与带B之间，将从带B返回到电源装置100的电流控制为预先确定的值。如上所述，本实施方式的控制部120与各带B的装置上下方向上的两端部分别连接。

此外，本实施方式的控制部120能够分别单独地控制第一输入部132A～132J、和第二输入部134A～134J中的电流值。例如，如图6(B)所示，通过在从各输入部130到输出部136的电路上分别设置可变电阻(包括使用半导体的电流控制电路)，能够分别单独地控制电流值。由此，例如，能够使各带B中的电流值一致、或者对多个带B的每一个设定不同的电流值。另外，虽然在图6(B)中省略，控制电流值的电路不限于第一输入部132A和第二输入部134A，还分别设置于第一输入部132B～第一输入部132J、以及第二输入部134B～第二输入部134J。

此外，在本实施方式中，在电源装置100和控制部120上，连接有用于执行电镀处理的处理执行部140。处理执行部140能够通过使电源装置100进行动作而在带B与金属M之间施加电压，执行电镀处理。此外，处理执行部140在控制部120中分别单独地设定被输入到控制部120的各输入部130、从控制部120的输出部136输出并返回到电源装置100的电流的电流值。即，处理执行部140能够管理固定于各旋转单元20的带B的电镀层的厚度。

循环装置60使作为电解液的电镀液L在电镀槽12中循环。如图2所示，循环装置60在旋转单元20的装置下方侧、即带B的装置下方侧具有沿装置进深方向设置的液管62。如图7所示，在俯视观察时，该液管62设置在固定于旋转单元20的带B与阳极篮40之间。此外，液管62具有：第一液管62P，其设置在旋转单元20A～旋转单元20E的装置下方侧；和第二液管62S，其设置在旋转单元20F～旋转单元20J的装置下方侧。在各液管62上分别设有朝向电镀槽12内喷出电镀液L的喷出口70。

第一液管62P和第二液管62S的里侧的端部被连接管63连结，在第一液管62P和第二液管62S的近前侧的端部上分别连接有向电镀槽12的外侧延伸的流入管64。流入管64具有：第一流入管64P，其与第一液管62P连接；和第二流入管64S，其与第二液管62S连接。

在各流入管64上设有调整阀65，该调整阀65用于调整流动于液管62的电镀液L的流量。例如，采用树脂制成的球阀或针阀作为调整阀65。此外，调整阀65具有：为了调整第一液管62P的流量而设置于第一流入管64P的第一调整阀65P；和为了调整第二液管62S的流量而设置于第二流入管64S的第二调整阀65S。

循环管66连接在流入管64与溢流罐13之间。循环管66在第一调整阀65P处与第一流入管64P连接，在第二调整阀65S处与第二流入管64S连接。此外，在循环管66上的溢流罐13与流入管64之间处设有用于加压输送电镀液L的泵67。在该泵67上设有用于去除电镀液L中的杂质的过滤器。

以上，根据本实施方式的循环装置60，形成电镀液L的以下的循环系统。即，电镀液L按照(1)电镀槽12、(2)溢流罐13、(3)循环管66(泵67)、(4)流入管64、(5)液管62、(6)电镀槽12的顺序循环。在电镀槽12中，从整体来看，作为近前侧的流入管64侧成为电镀液L的液流F的上游，作为里侧的溢流罐13侧成为液流F的下游。

另一方面，在各液管62上设有朝向电镀槽12内喷出电镀液L的一对喷出口70。具体而言，在第一液管62P上，与固定于旋转单元20A～旋转单元20E的各带B对应地设有喷出口70A～喷出口70E。此外，在第二液管62S中，与固定于旋转单元20F～旋转单元20J的各带B对应地设有喷出口70F～喷出口70J。

各喷出口70相对于所对应的带B配置在近前侧、即配置在俯视观察电镀槽12时靠电镀液L的液流F的上游侧。例如，喷出口70B在装置进深方向上位于旋转单元20A与旋转单元20B之间，喷出口70C在装置进深方向上位于旋转单元20B与旋转单元20C之间。

此外，喷出口70具有：内侧喷出口72，其形成在旋转单元20(带B)侧；和外侧喷出口74，其形成在阳极篮40(金属M)侧。如图8所示，各喷出口70在各液管62的截面上形成在靠装置上方处。作为一例，内侧喷出口72和外侧喷出口74分别形成在如下位置：内侧喷出口72和外侧喷出口74的中心线的角度X相对于从各液管62的截面中心向上方延伸的垂线为45度的位置。

此外，在各液管62中，装置进深方向两端的喷出口70的内径比装置进深方向中央侧的喷出口70的内径大。详细地说，在第一液管62P中，喷出口70A和70E的内径比喷出口70B、70C和70D的内径大。此外，在第二液管62S中，喷出口70F和70J的内径比喷出口70G、70H和70I的内径大。补充说明一下，装置进深方向的两端的喷出口70的开口面积被设定得比装置进深方向中央侧的喷出口70的开口面积大10％至20％左右。

曝气装置80向电镀液L的内部供给作为气体的空气A。如图2所示，曝气装置80在旋转单元20的装置下方侧、即带B的装置下方侧具有沿装置进深方向设置的配管82。如图9所示，该配管82包括：第一配管82P，其设置在旋转单元20A～旋转单元20E的装置下方侧；和第二配管82S，其设置在旋转单元20F～旋转单元20J的装置下方侧。此外，第一配管82P沿着第一液管62P配置，第二配管82S沿着第二液管62S配置(参照图1和图2)。在各配管82上分别设有朝向电镀槽12内的电镀液L排出空气A的排出口90。

在第一配管82P和第二配管82S的装置进深方向两端连接有导入管84。具体而言，在第一配管82P和第二配管82S的近前侧的端部连接有向电镀槽12的外侧延伸的第一导入管84P，在第一配管82P和第二配管82S的里侧的端部连接有向电镀槽12的外侧延伸的第二导入管84S。第二导入管84S绕过电镀槽12的外侧向近前侧延伸。

在各导入管84上设有用于调整配管82中的空气A的压力的调压阀86。例如，采用树脂制的球阀或针阀作为调压阀86。此外，调压阀86具有：设置于第一导入管84P的第一调压阀86P；和设置于第二导入管84S的第二调压阀86S。

此外，各导入管84经由连结管87与未图示的空气的供给源(作为一例，压缩机)连接。因此，根据本实施方式的曝气装置80，按照以下的顺序排出空气A。即，空气A按照(1)压缩机、(2)连结管87、(3)导入管84、(4)配管82、(5)电镀槽12的顺序流动。利用导入管84在第一配管82P和第二配管82S中从装置进深方向两端加压输送空气A。

另一方面，在各配管82上设有向电镀槽12内喷出空气A的一对排出口90。具体而言，在第一配管82P中，与旋转单元20A～旋转单元20E的各带B对应地设有排出口90A～排出口90E。此外，在第二配管82S中，与旋转单元20F～旋转单元20J的各带B对应地设有排出口90F～排出口90J。

各排出口90相对于所对应的带B配置在近前侧、即配置在俯视观察电镀槽12时的电镀液L的液流F的上游侧。此外，当以各带B为基准时，排出口90设置在比喷出口70靠近带B的位置。例如，排出口90B在装置进深方向上位于旋转单元20A与旋转单元20B之间，并且配置在比喷出口70B靠近旋转单元20B的位置(参照图1)。此外，排出口90C在装置进深方向上位于旋转单元20B与旋转单元20C之间，并且配置在比喷出口70C靠近旋转单元20C的位置(参照图1)。

此外，排出口90具有：内侧排出口92，其形成在旋转单元20(带B)侧；和外侧排出口94，其形成在阳极篮40(金属M)侧。如图10(A)所示，各排出口90在各配管82的截面上形成在靠装置下方处。作为一例，内侧排出口92和外侧排出口94分别形成为位于如下位置：内侧排出口92和外侧排出口94的中心线分别相对于从各配管82的截面中心向下方延伸的垂线位于0～50度的范围内(角度Y)，优选位于20～50度的范围内(角度Z)。

此外，各配管82具有追加口96，该追加口96设置比装置进深方向两端部的排出口90靠外侧的位置，并且在各配管82的截面上形成在装置下方。具体而言，追加口96具有：追加口96P1，其形成在比排出口90A靠近前侧的位置；和追加口96P2，其形成在比排出口90E靠里侧的位置。此外，追加口96具有：追加口96S1，其形成在比排出口90F靠近前侧的位置；和追加口96S2，其形成在比排出口90J靠里侧的位置。

如图10(B)所示，追加口96与内侧排出口92同样，相对于从配管82的截面中心向下方延伸的垂线形成在0～50度的范围内(角度Y)，优选形成在20～50度的范围内(角度Z)。此外，追加口96的开口面积被设定为，内侧排出口92的开口面积和外侧排出口94的开口面积的总和的一半以下。

(作用)

在本实施方式的电镀装置10中，利用以下的各工序对带B实施电镀以制造电镀部件。

带B在前处理工序中被实施了针对聚酰亚胺基材的无电镀镍和预镀铜。然后，使用电镀装置10实施电镀铜和电镀镍。通过经过该前处理工序，带B具有导电性。

首先，将经过前处理工序的带B固定在旋转单元20A～旋转单元20J上。具体而言，作业员利用上部支承部25和下部支承部26将覆盖了带B的保持部24夹持。然后，作业员利用粘接带T将带B固定于上部支承部25和下部支承部26。此外，对于上部支承部25，作业员将板簧部216固定于主体部210，对于下部支承部26，作业员将板簧部226固定于主体部220。由此组装成从动部22。

接下来，作业员将从动部22的保持件29固定于驱动部30的外轴部310(参照图3)。这时，与金属棒27的末端连接的连接器37嵌入于夹持部36中。由此，将从动部22安装于驱动部30，组装成旋转单元20。

固定有带B的旋转单元20最初被收纳在镀铜用的电镀槽12中。即，各带B浸渍在镀铜液中。接下来，各旋转单元20开始旋转，循环装置60开始动作，曝气装置80开始动作。然后，电源装置100启动，通过在收纳有铜球以作为金属M的阳极篮40与固定有带B的旋转单元20之间施加电压，开始进行作为电镀工序的镀铜。在电镀工序中，在连接于电源装置100的阴极104与带B之间的控制部120中，利用预先规定的值来控制电流值。此外，循环装置60使电镀槽12内的电镀液L循环，并且在曝气装置80中，通过从排出口90排出空气A而对带B进行鼓泡。

当镀铜结束时，将旋转单元20从镀铜用的电镀槽12中取出，接着转移到镀镍用的电镀槽12中。通过收纳到镀镍用的电镀槽12中而将各带B浸渍在镀镍溶液中。然后，与镀铜同样地开始进行作为电镀工序的镀镍。工序的详细情况与镀铜的情况相同。

以上，总结本实施方式的电镀装置10产生的作用效果如下。

(1)电流控制产生的作用效果

在电镀中，流过带B的电流值受电镀液L的动量和金属离子的摩尔浓度影响。因此，当流过带B的电流值因电镀液L的状态而变动时，电镀层的厚度会有偏差。

因此，在本实施方式的电镀装置10中，为了控制从带B返回到电源装置100的电流，在电流电路中设置了控制部120。在如专利文献1的电镀装置那样，采用在恒流电源的输出侧(阳极侧)控制电流的电源的情况下，如上所述，电镀液的环境变化会对电流值产生影响。与此相对，根据本实施方式，与在从电源朝向金属的输出侧控制电流的情况相比，能够抑制流过带B的电流值的变化。由此，能够抑制在基材表面上形成的电镀层的厚度的偏差。

此外，在本实施方式的电镀装置10中，能够对多个带B实施电镀。并且，控制部120能够针对每个带B来控制电流。即，根据本实施方式，与对流过每个带B的电流一起进行控制的情况相比，能够抑制每个带B的电镀层的厚度的偏差。

此外，在本实施方式的电镀装置10中，带B在装置上下方向的两端与控制部120连接，其电流值在控制部120中被各自单独地得到控制。根据本实施方式，和与控制部120连接的部位为一处的情况相比，能够抑制带B表面上形成的电镀层在带B的厚度在长度方向上的偏差。另外，在本实施方式中，是用带B的两端与电极连接的，但是不限于此，还可以利用带B的长度方向上的多处与电极连接。

这里，在本实施方式的电镀装置10中，对圆筒形状的带B实施电镀。因此，从控制部120到带B的下端的配线能够穿过带B的内部。具体而言，在本实施方式中，通过将金属棒27穿过带B的内部，使从带B的上端朝向控制部120的电路和从带B的下端朝向控制部120的电路成为不同的系统。根据本实施方式，与对实心部件的表面实施电镀的情况相比，能够容易地增加与带B的端部连接的电极。

(2)阳极罩的作用效果

在本实施方式的阳极篮40中，装置宽度方向上不与带B对置的装置上下方向两侧的部分被阳极罩44覆盖。这里，在阳极篮40(阳极袋43)的露出部分比带B的长度长的情况下，在带B的上下两端部，电流辐射比中央部大。因此，认为在带B的端部，电镀层会比中央部生长得更多。与此相对，根据本实施方式，与在阳极篮40中使与带B对置的部分的装置上下方向两侧露出的情况相比，能够抑制带B的两端部的电镀层比其它部分厚的情况。

此外，在本实施方式中，上部罩46被设置成横跨电镀液L的液面，下部罩48的筒状的下端部封闭。因此，在上部罩46中抑制了来自阳极篮40的装置上方侧的电流辐射，在下部罩48中抑制了来自阳极篮40的装置下方侧的电流辐射。即，通过使带B沿水平方向从阳极篮40受到电流辐射，从而能够在带B中抑制端部处的电流密度的增加(边缘效应)，因此能够抑制带B的端部与其它部分相比较电镀层的厚度变厚的情况。

(3)旋转单元的作用效果

在本实施方式中，具备使带B旋转的旋转单元20。在电镀中，在电镀液L中移动的金属离子的速度受该金属离子的摩尔浓度影响。因此，通过使电镀对象物的表面积增加，使得在电镀对象物的周边，金属离子的摩尔浓度降低。例如，如本实施方式那样，在旋转单元20A的带B中，在阳极篮40A侧和旋转单元20F侧产生金属离子的浓度差。并且，当在电镀槽12内金属离子产生浓度差时，电流密度也产生差。

因此，如本实施方式那样，通过利用旋转单元20使带B旋转，起到了以下的效果。即，根据本实施方式，与带B在周向上静止的情况相比，抑制了带B接收到的电流密度的偏差。由此，能够抑制在带B的表面形成的电镀层的厚度在周向上的偏差。

此外，在本实施方式中，为了在使带B旋转的同时流过电流，在旋转单元20上设有刷34。该刷34具有与轴部31接触的多个触点35。根据本实施方式的刷34，通过将触点35分割成多个，抑制了一个触点35发生腐蚀而波及到其它触点35的情况。由此，与刷34的触点为一个的情况相比，能够抑制触点35腐蚀的情况下的电流值的变化。

(4)循环装置的作用效果

本实施方式的电镀槽12中的电镀液L从整体来看在装置进深方向上是朝向溢流罐13侧流动的。在溢流罐13中被回收的电镀液L经由泵67被加压输送至液管62，在液管62中，从针对每个旋转单元20而设置的喷出口70再次被喷出至电镀槽12内。在本实施方式中，喷出口70相对于在所对应的旋转单元20上固定的各带B而言位于近前侧，即，在俯视观察电镀槽12时，位于电镀液L的液流F的上游侧。

在液流F的最上游侧的带B、即旋转单元20A的带B以及旋转单元20F的带B的周边，如果不从更靠上游侧的位置喷出电镀液L，则这些最上游侧的带B附近的金属离子的浓度会降低。对此，根据本实施方式的电镀装置10，与各喷出口70相对于所对应的带B配置在作为里侧的靠溢流罐13的位置的情况相比，能够抑制提供给各带B的金属离子的浓度的偏差。由此，抑制了每个带B的电镀层的厚度的偏差。

另外，装置进深方向上的喷出口70的位置优选按照电镀液L的液流F的矢量而相应地设定在上游侧。

此外，在本实施方式的循环装置60中，在俯视观察电镀槽12时，液管62设置在固定于旋转单元20的带B与收纳在阳极篮40中的金属M之间，与一个带B对应的喷出口70具有靠旋转单元20(带B)侧的内侧喷出口72和靠阳极篮40(金属M)侧的外侧喷出口74。如图11(A)和(B)所示，局部地产生有从内侧喷出口72朝向带B的液流f1、以及从外侧喷出口74朝向阳极篮40的液流f2。

因此，根据本实施方式的电镀装置10，从各喷出口70不仅向带B侧，而且还向金属M侧供给电镀液L，从而能够抑制由各阳极篮40的金属M生成的金属离子的浓度的偏差。由此，与从各喷出口70仅向带B侧供给电镀液L的情况相比，抑制了每个带B的电镀层的厚度的偏差。

此外，在本实施方式的各液管62中，装置进深方向两端的喷出口70的开口面积比装置进深方向中央侧的喷出口70大10％至20％左右。详细地说，在第一液管62P中，喷出口70A和70E的内径比喷出口70B、70C和70D的内径大。此外，在第二液管62S中，喷出口70F和70J的内径比喷出口70G、70H和70I的内径大。

在第一液管62P中，从第一流入管64P流入的电镀液L依次从喷出口70A到达喷出口70E。此外，在第二液管62S中，从第二流入管64S流入的电镀液L依次从喷出口70F到达喷出口70J。这里，在最上游侧的喷出口70(喷出口70A、70F)中，有时会由于电镀液L的流速而产生喷射效应。此外，在最下游侧的喷出口70(喷出口70E、70J)中，在液管62的端部处会产生压力反射。

因此，在各液管62中喷出口70直径全部相同的情况下，在装置进深方向两端的喷出口70中，与装置进深方向中央侧的喷出口70相比，喷出量有可能降低。对此，根据本实施方式的电镀装置10，与各喷出口70的开口面积均相等的情况相比，能够抑制液管62的两端的喷出口70中的电镀液L的喷出量比液管62的中央侧降低的情况。

此外，在本实施方式的循环装置60中，相对于电镀槽12配置有两根液管62，各液管62的终端部由连接管63连结。

根据本实施方式的电镀装置10，与在配置有多根液管62的情况下将液管62的终端部密封住的情况相比，能够通过连接管63抑制各液管62中的电镀液L的流量的偏差。另外，即使在液管62为3根以上的情况下，通过利用一个连接管来连结端部，也能够获得与本实施方式相同的作用效果。

此外，在本实施方式的电镀装置10中，针对与各液管62对应的流入管64分别设有流量调整用的调整阀65。由此，在本实施方式中，能够通过第一液管62P和第二液管62S分别单独地调整电镀液L的流量。并且，根据本实施方式的电镀装置10，与设置各液管62共用的调整阀的情况相比，能够调整由于液管62和流入管64的形状或路径的差异而引起的电镀液L的流量的偏差。

另外，在追加了液管62的情况下，通过设置与该追加的液管62对应的调整阀65，能够获得与本实施方式相同的作用效果。此外，也可以通过省略与一个液管62对应的调整阀65并在与剩余的液管62对应的调整阀65中调整流量、来调整各液管62的流量的偏差。

(5)曝气装置的作用效果

在本实施方式的曝气装置80中，空气A流动的配管82沿装置进深方向延伸，并且配置在旋转单元20的下方、即带B的下方。在该配管82的截面的下方，作为多个排出口90而包含有：内侧排出口92，其形成在旋转单元20(带B)侧；和外侧排出口94，其形成在阳极篮40(金属M)侧。

在使配管82沉入到电镀液L中的情况下，在加压输送空气A之前，配管82的内部充满电镀液L。这里，在排出口形成在配管的截面的上方的情况下，在充满电镀液的配管的内部滞留有没有被压缩的空气挤出的电镀液。此外，在该情况下的配管中，装置进深方向两侧的排出口附近的空气的流速比装置进深方向中央侧的排出口附近的流速快。这是因为要确保从装置进深方向中央侧的排出口排出空气，以及流路由于电镀液而变窄。并且，在空气的流速比装置进深方向中央侧快的装置进深方向两侧，有时由于空气的流速增加而产生喷射效应。于是，在装置进深方向两侧的排出口中，与装置进深方向中央侧的排出口相比，存在鼓泡时的气泡的产生减弱的担忧。

因此，在本实施方式中，通过将排出口90形成在配管82的截面的下方，与形成在截面的上方的情况相比，能够排出配管82的内部的电镀液L。由此，能够抑制每个排出口90的空气A的气泡的量、即鼓泡的强度的偏差，能够抑制电镀槽12的装置上下方向上的金属离子浓度的偏差。由此，能够抑制在各带B上形成的电镀层在装置上下方向上的厚度的偏差。

这里，各配管82的排出口90可以形成为位于如下位置：排出口90的中心线相对于从配管82的截面中心向下方延伸的垂线位于0～50度的范围内。在这样的范围内形成排出口90的情况下，会起到以下的效果。即，与排出口90被形成为排出口90的中心线相对于从配管82的截面中心向下方延伸的垂线位于50～90度的范围内的情况相比，能够较多地排出配管82内部的电镀液L。

此外，在电镀槽12的深度没有裕量的情况下，排出口90以如下方式形成更好：排出口90的中心线相对于从配管82的截面中心向下方延伸的垂线位于20～50度的范围内。在这样的范围内形成排出口90的情况下，除了上述效果外，还起到以下的效果。即，与将排出口形成为，排出口的中心线相对于从配管的截面中心向下方延伸的垂线位于0～20度的范围内的情况相比，能够抑制从槽的底面受到的压力反射。由此，能够更多地排出配管82内部的电镀液L。

此外，本实施方式的电镀装置10的排出口90相对于固定于所对应的旋转单元20的带B而位于近前侧，即，在俯视观察电镀槽12时位于电镀液L的液流F的上游侧。另外，排出口90设置在比喷出口70靠近带B的位置。例如，排出口90A相对于固定于所对应的旋转单元20A的带B位于液流F的上游侧，并且设置在比喷出口70A靠近带B的位置。

根据以此方式而配置了排出口90的电镀装置10，如图11(A)和(B)所示，在电镀液L从喷出口70到带B的局部的液流f1的中途，从排出口90进行鼓泡。因此，在带B的周向上空气A的供给不会有偏差，带B从装置下方到装置上方整体被空气A的气泡覆盖。根据本实施方式，与排出口90相对于所对应的带B配置于靠液流F的下游侧、或配置在比同组的喷出口70距带B更远的位置的情况相比，能够抑制供给至带B的空气A的气泡的偏差。由此，能够抑制在各带B形成的电镀层在装置上下方向上的厚度的偏差。

另外，优选为将排出口90的位置对应着电镀液L的局部的液流f1的矢量和空气A的泡的上升矢量被合成后的矢量而相应地设定于上游侧，在本实施方式中，能够使排出口90的位置接近该优选的位置。

此外，在本实施方式的曝气装置80中，空气A从与配管82的装置宽度方向两侧的端部连接的导入管84被加压输送而来。这里，在进行加压输送的配管的终端部被密封的情况下，由于压力反射的影响，在最靠近被密封的端部的排出口，气泡的产生比装置进深方向中央侧的排出口弱。

对此，根据本实施方式的电镀装置10，与将配管82的终端部密封并从一端加压输送空气A的情况相比，能够抑制终端部处的压力反射的影响。即，在各配管82中，能够使每个排出口90的空气A的排出量均匀化。由此，在装置进深方向上的端部与中央部之间抑制了各带B的电镀层的厚度偏差。另外，即使在配管82为3根以上的情况下，通过将端部分别与导入管84连接，也能够获得与本实施方式相同的作用效果。

此外，在本实施方式的曝气装置80中，在各导入管84上分别设有压力调整用的调压阀86。因此，在本实施方式中，能够利用第一调压阀86P和第二调压阀86S分别单独地调整空气A的压力。

根据本实施方式的电镀装置10，与设置各导入管84共用的调压阀的情况相比，能够调整因配管82和导入管84的形状或路径的差异而引起的空气A的压力的偏差。

此外，在本实施方式的曝气装置80中，还具备追加口96，该追加口96在各配管82中分别设置在比装置进深方向两端的排出口90靠外侧的位置，形成在配管82的截面的下方。追加口96与内侧排出口92相同，可以形成为，追加口96的中心线相对于从配管82的截面中心向下方延伸的垂线而位于0～50度的范围内，优选位于20～50度的范围内。根据本实施方式的电镀装置10，与在配管82上仅设有排出口90的情况相比，能够进一步减少残留在配管82内的电镀液L的量。

在鼓泡过程中，在电镀液L中上升的空气A的气泡分别彼此吸引并合并而变大。因此，在不设置追加口96的情况下，从排出口90A、90F排出的空气A由于在近前侧不存在合并的气泡，因而上升并向里侧流动，从排出口90E、90J排出的空气A由于在里侧不存在合并的气泡，因而上升并向近前侧流动。对此，根据本实施方式，通过设置追加口96，从排出口90A、90E、90F、90J排出的空气A分别向装置进深方向外侧被吸引。由此，抑制了覆盖各带B的空气A的气泡的偏差，从而抑制了每个带B的电镀层的厚度的偏差。

另外，追加口96的开口面积被设定在内侧排出口92的开口面积和外侧排出口94的开口面积的总和的一半以下。通过这样的设定，能够在各配管82中抑制装置进深方向两侧的排出口90中的空气A的压力的降低。即，能够在各配管82中使每个排出口90的空气A的排出量更均匀化。

(变形例)

在本实施方式的旋转单元20中，在上部支承部25处是利用板簧部216使带B与第一输入部132电连接，在下部支承部26处是利用板簧部226将带B与第二输入部134电连接。但是，连接方法不限于此。作为本实施方式的变形例，如图12所示，能够使用作为导电体的铜制的粘接带即铜带Tc来代替粘接带T进行电连接。具体而言，在上部支承部25处，能够以横跨主体部210的外周部与由保持部24保持的带B的边界部分的方式卷绕铜带Tc，从而将带B与第一输入部132电连接。此外，在下部支承部26处，能够以横跨主体部220的外周部与由保持部24保持的带B的边界部分的方式卷绕铜带Tc，从而将带B与第二输入部134电连接。

(备注)

本实施方式的电镀装置10的特征在于，通过针对每个带B控制电流来抑制在各带B形成的电镀层的厚度的偏差。另一方面，根据本实施方式，通过针对每个带B设定不同的电流值，从而能够在一个电镀装置10中，同时形成电镀层的厚度不同的多种带B。

在本实施方式的电镀装置10中，对于一个带B，在装置宽度方向上以与该一个带B对置的方式配置一个作为阳极的阳极篮40。另一方面，如本实施方式那样，可以认为，在将成对的带B以及阳极篮40浸渍在多组电镀槽12中的情况下，在装置进深方向两侧的带B和装置进深方向中央侧的带B中，电流密度会产生偏差。具体而言，固定于旋转单元20A的带B主要流过来自阳极篮40A的电流，并且还流过来自阳极篮40B的电流。与此相对，固定于旋转单元20B的带B主要流过来自阳极篮40B的电流，并且还流过来自阳极篮40A和40C的电流。即，在装置进深方向两侧的带B中，由于与该带B对置的阳极篮40相邻的阳极篮40只有一侧，因此，与装置进深方向中央侧的带B相比，电流密度变小。

这样，为了不使装置进深方向上的电流密度有偏差，可以在阳极篮40的装置进深方向外侧设置与阳极102连接的追加的阳极篮。该情况下，追加的阳极篮和阳极篮40A之间的间隔可以与阳极篮40A和阳极篮40B之间的间隔一致。对于在阳极篮40E、40F和40J的装置进深方向外侧设置追加阳极篮的情况也相同。在本实施方式中，由于在控制部120中控制电流，因此，即使电流密度产生偏差也能够抑制对电镀层的影响，但是，即使在不利用控制部120控制电流的情况下，也能够抑制上述的电流密度的偏差。

在本实施方式的电镀装置10中，只要能够抑制电镀槽12中的金属离子的浓度或电流密度的偏差即可，控制部120不一定必须针对每个带B控制电流，可以以相同方式对全部带B控制电流。此外，该情况下，带B可以在装置上下方向上的任意一端与控制部120连接。

本实施方式的电镀装置10是对2列×5列共计10个带B实施电镀的装置，但是能够施工的带B的排列方式不限于此。只要能够设置与带B对应的旋转单元20、阳极篮40、喷出口70、排出口90、第一输入部132以及第二输入部134，带B的排列和数量是任意的。也可以对一个带B实施电镀。

在本实施方式中，说明了对聚酰亚胺带实施电镀层的情况，但是，能够进行电镀处理的基材不限于此。例如，作为进行电镀处理的基材，可以举出树脂制或金属制的管、轴、活塞等部件。

Claims (16)

1.一种电镀装置，其中，具备：

槽，其具有电解液，所述电解液浸渍有多个基材和多个金属，所述多个基材至少表面具有导电性且沿着一个方向配置，所述多个金属沿着该一个方向与该各基材对置配置；

电源，其向该基材与该金属之间施加电压；

配管，其在该基材的下方侧沿着该一个方向延伸，供气体流动；以及

该气体的排出口，与该各基材对应地形成有多个所述排出口，所述排出口形成于该配管的靠下侧的部分。

2.根据权利要求1所述的电镀装置，其中，

该排出口相对于从该配管的截面中心向下方延伸的垂线而形成在0～50度的范围内。

3.根据权利要求2所述的电镀装置，其中，

该排出口相对于从该配管的截面中心向下方延伸的垂线形成在20～50度的范围内。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的电镀装置，其中，具有：

液管，其沿着该配管延伸，供该电解液流动；

容器，其设置在该槽的该一个方向上的一端侧，从该槽回收该电解液；

泵，其从该容器向该液管加压输送该电解液；以及

喷出口，它是该电解液的喷出口，与该各基材对应地在该液管形成有多个所述喷出口，所述喷出口相对于所对应的该基材位于该一个方向上的靠另一端的位置。

5.根据权利要求4所述的电镀装置，其中，

该各排出口相对于所对应的该基材位于该一个方向上的靠该另一端的位置，

该排出口设置在比该喷出口靠近该基材的位置。

6.根据权利要求4或5所述的电镀装置，其中，

在俯视观察该槽时，该液管设置在该基材与该金属之间，

与一个该基材对应的该喷出口分别形成在该基材侧和该金属侧。

7.根据权利要求4至6中的任一项所述的电镀装置，其中，

该液管的该一个方向两端的该喷出口的开口面积大于该一个方向中央侧的该喷出口的开口面积。

8.根据权利要求4至7中的任一项所述的电镀装置，其中，

该液管配置有多个，各液管的终端部被连结在一起。

9.根据权利要求8所述的电镀装置，其中，

针对多个该液管分别设有用于调整该电解液的流量的调整阀。

10.根据权利要求1至9中的任一项所述的电镀装置，其中，

该气体从该配管的该一个方向上的两端被加压输送。

11.根据权利要求10所述的电镀装置，其中，

在与该配管的该一个方向上的两端连接的导入管中分别设有用于调整该气体的压力的调压阀。

12.根据权利要求1至11中的任一项所述的电镀装置，其中，

还具备追加口，该追加口分别设置在配管的比该一个方向上的两端的该排出口靠外侧的位置，并形成在该配管的截面的靠下侧的部分。

13.根据权利要求1至12中的任一项所述的电镀装置，其中，具有：

阳极，其设置于该电源，使电流朝向该金属流动；以及

控制部，其连接在该电源的阴极与该基材之间，将从该基材返回到该电源的该电流控制为预先规定的值。

14.根据权利要求13所述的电镀装置，其中，

该控制部针对该各基材控制该电流。

15.根据权利要求1至14中的任一项所述的电镀装置，其中，

具备使该基材旋转的旋转部。

16.根据权利要求15所述的电镀装置，其中，

该旋转部具备刷，该刷具有多个触点。

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