CN110736860A - 探针卡更换后机构位置的补正方法及其测量装置 - Google Patents

探针卡更换后机构位置的补正方法及其测量装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种探针卡更换后机构位置的补正方法及其测量装置，其步骤包含有：更换一探针卡；提供一标准片，标准片设有复数个测量位置与复数个电性垫；提供探针卡更换前，标准片的测量位置的位置参数；移动探针卡至一水平测量位置；撷取至少一水平位置影像，由一影像撷取单元撷取至少一次水平位置的水平位置影像，水平位置影像包括至少一电性垫与至少一针尖的影像；计算水平差异量；以及补正水平测量位置参数，控制单元结合该水平位置参数与该水平差异量成为补正后的水平位置参数，再由该控制单元补正该探针的水平测量位置。

Description

探针卡更换后机构位置的补正方法及其测量装置
技术领域
本发明涉及一种探针卡更换后机构位置的补正方法及其测量装置，其系利用影像撷取单元所撷取的影像，控制单元由该影像计算出差异量，并结合位置参数，以补正探针的测量位置。
背景技术
现有的探针测量机台的探针卡需对应复数种的产品类别，而各产品电性测量的接触位置点都不同，因此各产品分别有其专属对应电性测量的位置参数。
当探针卡上的探针损伤，而进行整修装卸后，经装载后的探针卡的机构位置已有微量的偏移，而与原本拆卸前的机构位置不同。此时，需耗人力以手动校正的方式调整探针卡的机构位置，使探针的机构位置能再度对应至产品上电性测量的接触位置。但若探针卡所对应的产品超过一数量，则探针卡要进行校正调整的人力工时也随之而增加。
综合上述，现有的探针测量机台于更换探针卡后，需要针对各产品的类别进行电性测量制程中位置参数的调整，其系耗工费时。
发明内容
有鉴于此，本发明主要目的在于，提出一种探针卡更换后机构位置的补正方法及其测量装置，其系利用影像撷取单元所撷取的影像，而控制单元由该影像中得出水平差异量与垂直差异量，再结合水平位置参数与垂直位置参数，以补正探针的水平测量位置与垂直测量位置。以达到无须针对各产品的类别进行电性测量制程的位置参数调整，故能省工缩时。
为达上述目的，本发明所提出的一种探针卡更换后机构位置的补正方法，其步骤包含有：
更换一探针卡，该探针卡设有至少一探针，各探针具有一针尖；
提供一标准片，该标准片设有复数个测量位置，每一测量位置设有复数个电性垫；
提供复数个位置参数，提供该探针卡更换前，该标准片的该复数个测量位置的位置参数，各位置参数包含有一水平位置参数与一垂直位置参数；
移动该探针卡至一水平测量位置，选择任一测量位置的位置参数，由一控制单元依该位置参数的水平位置参数控制该探针卡移动至该水平测量位置；
撷取至少一水平位置影像，由一影像撷取单元撷取至少一次该水平位置的水平位置影像，该水平位置影像包括至少一电性垫与至少一针尖的影像；
计算水平差异量，该控制单元计算该水平位置影像中的至少一针尖相对于至少一电性垫中心的水平差异量；以及
补正水平测量位置参数，该控制单元结合该水平位置参数与该水平差异量成为补正后的水平位置参数，再由该控制单元补正该探针的水平测量位置。
所述的探针卡更换后机构位置的补正方法，其中：还包含有一计算垂直差异量的步骤，该控制单元控制该探针卡在垂直方向接近该电性垫，且在垂直移动过程中，该影像撷取单元对该电性垫与该针尖进行影像撷取，该影像传输给该控制单元，当该控制单元侦测该针尖于水平方向有相对位移时，判断该针尖已接触该电性垫，该控制单元计算此刻垂直位置相对于该垂直位置参数的差值而成为该垂直差异量。
所述的探针卡更换后机构位置的补正方法，其中：还包含有一补正垂直测量位置的步骤，该控制单元结合该垂直位置参数与该垂直差异量成为补正后的垂直位置参数，再由该控制单元补正该探针卡的垂直位测量位置。
所述的探针卡更换后机构位置的补正方法，其中：该探针卡的各探针分别对应各测量位置所设的该电性垫。
本发明还提供一种用于前述探针卡更换后机构位置的补正方法的测量装置，其包含有：
一移动单元，其电性连接该控制单元，且受控于该控制单元而移载该探针卡；以及
一载台，其承置该标准片。
所述的测量装置，其中：该移动单元包括有一龙门，该龙门跨设于该载台的两侧，该探针卡架设于该龙门，该控制单元控制该龙门相对于该载台移动。
所述的测量装置，其中：该移动单元包含有一探针座，该探针座设置于该龙门，该探针卡架设于该探针座，该控制单控制该探针座带动该探针卡相对于该载台移动。
所述的测量装置，其中：该影像撷取单元架设于该龙门，该控制单元控制该影像撷取单元相对于该探针卡移动。
所述的测量装置，其中：该影像撷取单元架设于该探针座。
综合上述，本发明的本发明的一种探针卡更换后机构位置的补正方法及其测量装置，其系利用影像撷取单元撷取探针的针尖相对于电性垫的影像，控制单元计算该影像，而得出水平差异量与垂直差异量，再结合水平位置参数与垂直位置参数，而补正探针的水平测量位置与垂直测量位置。
附图说明
图1是本发明的一种探针卡更换后机构位置的补正方法的测量装置的示意图。
图2是本发明的一种探针卡更换后机构位置的补正方法的流程图。
图3是本发明的一种探针卡更换后机构位置的补正方法的测量装置的示意图。
图4是一探针卡与一影像撷取单元的示意图。
图5是一探针与一电性垫于影像撷取单元在图4位置时所撷取的影像的示意图。
图6是探针卡与影像撷取单元的动作示意图。
图7是探针与电性垫于影像撷取单元在图6位置时所撷取的影像的示意图。
图8是探针与电性垫于影像撷取单元所撷取的影像的又一示意图。
图9探针与电性垫于影像撷取单元所撷取的影像的再一示意图。
附图标记说明：10-载台；100-标准片；101-测量位置；102-电性垫；11-移动单元；110-龙门；111-探针座；112-影像撷取单元；113-探针卡；114-探针；115-针尖；116-定位标记；12-控制单元；S1～S9-步骤。
具体实施方式
请配合参图1所示，本发明是一种探针卡更换后机构位置的补正方法的测量装置，其包含有一载台10、一移动单元11、一影像撷取单元112与一控制单元12。
载台10系供一标准片100设置。标准片100具有MN个测量位置101，M、N为常数。各测量位置设有电性垫102。
移动单元11电性连接控制单元12。移动单元11具有一龙门110与一探针座111。龙门110跨设于载台10的两侧，控制单元12控制龙门110相对于载台10移动。探针座111设置于龙门110。一探针卡113架设于探针座111。控制单元12控制探针座111带动探针卡113相对于载台10移动。探针卡113设有至少一探针114，各探针114具有一针尖115。
于一实施例中，一影像撷取单元112架设于龙门110。控制单元12控制影像撷取单元112相对于探针卡113移动。于一实施例，影像撷取单元112架设于探针座111。
请配合参考图2所示，本发明是一种探针卡更换后机构位置的补正方法，其步骤包含有：
步骤S1。更换一探针卡，请再配合参考图1所示，探针卡113设有至少一探针114，各探针114具有一针尖115。
步骤S2。提供一标准片，标准片100设有复数个测量位置101，各测量位置101设有复数个电性垫102。
步骤S3。提供复数个位置参数，提供探针卡113更换前，标准片100的测量位置101的位置参数，各位置参数包含有一水平位置参数与一垂直位置参数。
步骤S4，移动该探针卡至一水平测量位置，请配合参考图3所示，选择任一测量位置101的位置参数，由控制单元12依位置参数的水平位置参数控制探针卡113移动至水平测量位置。
步骤S5，撷取至少一水平位置影像，请配合参考图4至图7所示，影像撷取单元112撷取至少一次水平位置的水平位置影像，水平位置影像包括至少一电性垫102与至少一针尖115的影像。探针卡113的各探针114分别对应各测量位置101所设的电性垫102。
步骤S6，计算水平差异量，控制单元12计算水平位置影像中的至少一针尖115相对于至少一电性垫102中心的水平差异量。水平差异量为X轴向差异量、Y轴向差异量、旋转角度差异量或前述的至少任二者。若更进一步说明，影像撷取单元112具有一定位标记116，定位标记116系对准于电性垫102的中心位置。如图5与图7所示，当影像撷取单元112撷取水平位置影像时，若针尖115未与定位标记115重迭，控制单元12由水平位置影像计算针尖115相对于定位标记116之间的水平差异量。而此水平差异量即是探针卡更换前后的机构位置在水平方向的差异量。
步骤S7，补正水平测量位置参数，控制单元12结合水平位置参数与水平差异量成为补正后的水平位置参数，再由控制单元12补正探针114的水平测量位置。即是，将探针卡更换前的水平位置参数，结合步骤S6所得的水平差异量成为补正后的水平位置参数，该补正后的水平位置参数即是更换后探针卡的水平位置参数。
步骤S8，计算垂直差异量，请配合参考图8与图9所示，控制单元12控制探针卡113于垂直方向接近电性垫102，且于垂直移动过程中，影像撷取单元112对电性垫102与针尖115进行影像撷取，影像传输给控制单元12，当控制单元12侦测针尖115于水平方向有相对位移时，判断针尖115已接触电性垫102，控制单元12计算此刻垂直位置相对于垂直位置参数的差值而成为垂直差异量。垂直差异量为Z轴向差异量。如图8与图9所示，影像撷取单元112撷取对电性垫102与针尖115进行影像撷取，此时针尖115应重迭定位标记115，若移动单元11于垂直方向移动探针卡113，而使针尖115不再重迭定位标记115，判断针尖115已接触电性垫102，控制单元12计算此刻垂直位置相对于垂直位置参数的差值而成为垂直差异量。而此垂直差异量即是探针卡更换前后的机构位置在垂直方向的差异量。
步骤S9，补正垂直测量位置，控制单元12结合垂直位置参数与垂直差异量成为补正后的垂直位置参数，再由控制单元12补正探针卡113的垂直位测量位置。即是，将探针卡更换前的垂直位置参数，结合步骤S8所得的垂直差异量成为补正后的垂直位置参数，该补正后的垂直位置参数即是更换后探针卡的垂直位置参数。
凭借前述步骤S1～S9可自动计算出更换探针卡前后在机构位置上的水平差异量及垂直差异量，如此便可以该水平差异量及垂直差异量作为补正值，而将该补正值自动补正至更换探针卡前，该探针卡所对应电性测量的各类产品的位置参数。如此，在更换探针卡后，便无需再耗费人工针对不同产品进行探针卡位置参数校正。
又，前述利用标准片进行步骤S1～9的动作，其也可直接采用产品片。
综合上述，本发明的一种探针卡更换后机构位置的补正方法及其测量装置，其系利用影像撷取单元112撷取探针114的针尖115相对于电性垫102的影像，控制单元12计算该影像，而得出水平差异量与垂直差异量，再结合水平位置参数与垂直位置参数，而补正探针114的水平测量位置与垂直测量位置。

Claims (9)

1.一种探针卡更换后机构位置的补正方法，其步骤包含有：
更换一探针卡，该探针卡设有至少一探针，各探针具有一针尖；
提供一标准片，该标准片设有复数个测量位置，每一测量位置设有复数个电性垫；
提供复数个位置参数，提供该探针卡更换前，该标准片的该复数个测量位置的位置参数，各位置参数包含有一水平位置参数与一垂直位置参数；
移动该探针卡至一水平测量位置，选择任一测量位置的位置参数，由一控制单元依该位置参数的水平位置参数控制该探针卡移动至该水平测量位置；
撷取至少一水平位置影像，由一影像撷取单元撷取至少一次该水平位置的水平位置影像，该水平位置影像包括至少一电性垫与至少一针尖的影像；
计算水平差异量，该控制单元计算该水平位置影像中的至少一针尖相对于至少一电性垫中心的水平差异量；以及
补正水平测量位置参数，该控制单元结合该水平位置参数与该水平差异量成为补正后的水平位置参数，再由该控制单元补正该探针的水平测量位置。
2.根据权利要求1所述的探针卡更换后机构位置的补正方法，其特征在于：还包含有一计算垂直差异量的步骤，该控制单元控制该探针卡在垂直方向接近该电性垫，且在垂直移动过程中，该影像撷取单元对该电性垫与该针尖进行影像撷取，该影像传输给该控制单元，当该控制单元侦测该针尖于水平方向有相对位移时，判断该针尖已接触该电性垫，该控制单元计算此刻垂直位置相对于该垂直位置参数的差值而成为该垂直差异量。
3.根据权利要求2所述的探针卡更换后机构位置的补正方法，其特征在于：还包含有一补正垂直测量位置的步骤，该控制单元结合该垂直位置参数与该垂直差异量成为补正后的垂直位置参数，再由该控制单元补正该探针卡的垂直位测量位置。
4.根据权利要求2所述的探针卡更换后机构位置的补正方法，其特征在于：该探针卡的各探针分别对应各测量位置所设的该电性垫。
5.一种用于如权利要求1至4中任一项所述的探针卡更换后机构位置的补正方法的测量装置，其包含有：
一移动单元，其电性连接该控制单元，且受控于该控制单元而移载该探针卡；以及
一载台，其承置该标准片。
6.根据权利要求5所述的测量装置，其特征在于：该移动单元包括有一龙门，该龙门跨设于该载台的两侧，该探针卡架设于该龙门，该控制单元控制该龙门相对于该载台移动。
7.根据权利要求6所述的测量装置，其特征在于：该移动单元包含有一探针座，该探针座设置于该龙门，该探针卡架设于该探针座，该控制单控制该探针座带动该探针卡相对于该载台移动。
8.根据权利要求6所述的测量装置，其特征在于：该影像撷取单元架设于该龙门，该控制单元控制该影像撷取单元相对于该探针卡移动。
9.根据权利要求7所述的测量装置，其特征在于：该影像撷取单元架设于该探针座。
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