CN110697694A - 一种液态金属气相沉积制备石墨烯的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种液态金属气相沉积制备石墨烯的方法,包括以下步骤:1)将基体铜、镍或铜镍合金清洗后,置于气相沉积炉的石墨坩埚中,通入氮气保持压力为0.1Mpa以上;2)升温加热熔融为铜、镍或铜镍熔融液;3)向熔融液中通入气态烷烃,石墨烯随气体飘浮至熔融液面上,4)停止通入气态烷烃后,停止加热,直到熔融液冷却凝固后停止通入氮气,所得产品经三氯化铁和盐酸混合溶液进行酸洗去除基体,清洗后干燥得石墨烯成品。本发明创造性的在熔融的液态金属中鼓泡生产石墨烯,实现高品质连续生产,大大提高生产效率。
Description
技术领域
本发明涉及一种液态金属气相沉积制备石墨烯的方法。
背景技术
CVD气相沉积法是目前生产高品质石墨烯的最佳方法,其通过封闭环境下在高温铜箔上通入含碳气体,高温分解碳原子在铜箔表面有序排列生成石墨烯,其生产的石墨烯品质高,但存在着效率低、成本高、无法规模化生产等缺点。
发明内容
发明目的:本发明的目的是为了解决以上现有技术的不足,提供一种液态金属气相沉积制备石墨烯的方法,创造性的在熔融的液态金属中鼓泡生产石墨烯,实现高品质连续生产,大大提高生产效率。
技术方案:本发明所述的一种液态金属气相沉积制备石墨烯的方法,包括以下步骤:
1)将基体铜、镍或铜镍合金清洗后,置于气相沉积炉的石墨坩埚中,将气相沉积炉抽真空,再向系统中通入氮气至正压,反复操作三次至系统氮气压力保持为0.1Mpa以上;
2)按800-1200Nm3/h速度通入氮气,启动电加热系统,将铜、镍或铜镍合金加热熔融为铜、镍或铜镍熔融液,并升温至1100-1500度;
3)向熔融液中按20-100Nm3/h通入气态烷烃,石墨烯随气体飘浮至熔融液面上,其中,每小时通入气态烷烃的体积为熔融液体积的200-300%;
4)停止通入气态烷烃后,停止加热,直到熔融液冷却凝固后停止通入氮气,所得产品经三氯化铁和盐酸混合溶液进行酸洗去除基体,再清洗后干燥得石墨烯成品。
优选地,所述的气态烷烃为天燃气、甲烷、乙炔或丙烷。
优选地,所述的基体铜、镍或铜镍合金依次采用丙酮、去离子水清洗。
优选地,气相沉积炉采用循环水冷却。
优选地,所述的气相沉积炉的石墨坩埚底部分布有若干进气孔,气态烷烃采用底部进气的方式通入铜液中,或者,所述的气相沉积炉的石墨坩埚内设置有气体分布器,气态烷烃通过气体分布器通入铜液中。
有益效果:
1、液态金属气相沉积法开创性的使用熔融的液态金属代替固态金属,将含碳气体通入熔融的液态金属,在气泡表面发生碳裂解沉积、有序排列生成石墨烯,生产的石墨烯漂浮于液体金属表面,通过气流连续采出,从而实现连续生产,本方法可实现石墨烯的连续生产,极大提高生产效率(达250g-1200g/h),大大降低生产成本,并可实现规模化工业生产。
2、与传统气相沉积法相比,产品生产效率非常高;和氧化石墨还原法相比,石墨烯产品缺陷小很多,品质更高。
附图说明
图1为石墨烯产品的电子显微镜扫描图谱;
图2为石墨烯产品拉曼光谱分析图;
图3为石墨烯产品原子力显微镜扫描图谱。
具体实施方式
为了加深对本发明的理解,下面将结合实施例对本发明作进一步详述,该实施例仅用于解释本发明,并不构成对本发明保护范围的限定。
实施例1
1)将150L基体铜颗粒清洗后,置于气相沉积炉300L石墨坩埚(石墨坩埚底部分布有大量0.3mm进气孔)中,将气相沉积炉抽真空至10-3pa,再向系统中通入氮气至正压,反复操作三次至系统氮气压力保持为0.1Mpa;
2)按1000Nm3/h速度通入氮气,启动电加热系统,将铜颗粒加热熔融为铜熔融液,并升温至1200度;
3))向熔融液中按36Nm3/h通入天然气,石墨烯随气体飘浮至熔融液面上,其中,每小时通入气态烷烃的体积为铜、镍或铜镍熔融液体积的240倍;
4)停止通入天燃气后,停止加热,直到铜熔融液冷却凝固后停止通入氮气,所得产品经三氯化铁和盐酸混合溶液进行酸洗去除基体,再清洗后干燥得石墨烯成品。
实施例2
1)将150L基体镍颗粒清洗后,置于气相沉积炉300L石墨坩埚(石墨坩埚底部分布有大量0.3mm进气孔)中,将气相沉积炉抽真空至10-3pa,再向系统中通入氮气至正压,反复操作三次至系统氮气压力保持为0.1Mpa;
2)按1000Nm3/h速度通入氮气,启动电加热系统,将镍颗粒加热熔融为镍熔融液,并升温至1500度;
3)向熔融液中按30Nm3/h通入天然气,石墨烯随气体飘浮至熔融液面上,其中,每小时通入气态烷烃的体积为铜、镍或铜镍熔融液体积的200倍
4)停止通入丙烷后,停止加热,直到镍熔融液冷却凝固后停止通入氮气,所得产品经三氯化铁和盐酸混合溶液进行酸洗去除基体,再清洗后干燥得石墨烯成品。
所述的石墨烯成品的电子显微镜扫描图如图1所示,可见产品为薄层片状结构,且高度褶皱;拉曼光谱分析图如图2所示,产品D峰非常小,说明产品缺陷小,品质高;原子力显微镜扫描如图3所示,石墨烯在AFM下观测到的厚度在5nm;石墨烯原子层数在3-40层,并高度褶皱。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种液态金属气相沉积制备石墨烯的方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)将基体铜、镍或铜镍合金清洗后,置于气相沉积炉的石墨坩埚中,将气相沉积炉抽真空,再向系统中通入氮气至正压,反复操作三次至系统氮气压力保持为0.1Mpa以上;
2)按800-1200Nm3/h速度通入氮气,启动电加热系统,将铜、镍或铜镍合金加热熔融为铜、镍或铜镍熔融液,并升温至1100-1500度;
3)向熔融液中按20-100Nm3/h通入气态烷烃,石墨烯随气体飘浮至熔融液面上,其中,每小时通入气态烷烃的体积为熔融液体积的200-300%;
4)停止通入气态烷烃后,停止加热,直到熔融液冷却凝固后停止通入氮气,所得产品经三氯化铁和盐酸混合溶液进行酸洗去除基体,再清洗后干燥得石墨烯成品。
2.根据权利要求1所述的一种液态金属气相沉积制备石墨烯的方法,其特征在于,气态烷烃为天燃气、甲烷、乙炔或丙烷。
3.根据权利要求1所述的一种液态金属气相沉积制备石墨烯的方法,其特征在于,步骤1)中,所述的基体铜、镍或铜镍合金依次采用丙酮、去离子水清洗。
4.根据权利要求1所述的一种液态金属气相沉积制备石墨烯的方法,其特征在于,气相沉积炉采用循环水冷却。
5.根据权利要求1所述的一种液态金属气相沉积制备石墨烯的方法,其特征在于,所述的气相沉积炉的石墨坩埚底部分布有若干进气孔,气态烷烃采用底部进气的方式通入铜液中。
6.根据权利要求1所述的一种液态金属气相沉积制备石墨烯的方法,其特征在于,所述的气相沉积炉的石墨坩埚内设置有气体分布器,气态烷烃通过气体分布器通入铜液中。
7.根据权利要求1所述的一种液态金属气相沉积制备石墨烯的方法,其特征在于,所述的三氯化铁与盐酸的混合溶液中三氯化铁与盐酸的质量比为3:1。
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