CN110655048A - 一种氮化硅纳米片的制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明的目的在于提供一种氮化硅纳米片的制备方法,通过该方法制备的氮化硅纳米片具有形貌均匀,尺寸可控以及制备方法简单、成本低廉的特点。包括以下步骤:S1、将SiO粉末和石墨烯粉末在球磨机中球磨混合均匀;S2、取出S1中的混合粉末,再向其中加入适量的碳酸氢氨,使用研钵研磨后待用;S3、将S2中混合有碳酸氢铵的混合物平铺在石墨坩埚中,控制其厚度,然后盖上坩埚盖;S4、将S3中的坩埚放置在烧结炉中,依次经过抽气和充气的过程后,开始程序升温,升温至反应温度后,保温2‑3h后反应完成即可得到最终产物。
Description
技术领域
本发明涉及一种纳米材料的制备领域,具体是一种氮化硅纳米片的制备方法。
背景技术
氮化硅(Si3N4)是一种具有优良性质并广泛应用材料。其具有很好的强度、模量、抗热冲击、耐磨损和抗化学腐蚀的性能,在高温结构领域、光电子领域、机械制造以及复合材料制备等领域中都有很好的应用。
氮化硅(Si3N4)还是一种宽禁带的半导体材料,在其四面体的基本结构单元中,硅原子位于基本结构单元的中心位置,而氮原子位于四个顶点上,同时每三个四面体结构共用一个氮原子,这样使得其具有了稳定的化学结构,从而带来了一系列优异的性能。通常而言,氮化硅有两种晶型,即α-Si3N4和β-Si3N4,由于其晶胞堆积方式不同,使得其基本性能存在一定的区别。如α-Si3N4的晶格常数(c轴)为0.521-0.570nm,而β-Si3N4则为0.271-0.292nm。
目前制备氮化硅纳米材料的方法已经发展了一些,如碳热还原法、直接氮化法、激光烧蚀法以及模板法等等。具体如中国专利CN107337186A公开了一种低维氮化硅纳米材料的制备方法,其使用氧化硅和碳材料为反应原料,将其分别放置在石墨坩埚的底部和中部,从而在烧结炉中进行高温氮化烧结,制备出了尺寸形貌可控的Si3N4纳米颗粒、纳米纤维、纳米管和纳米片等低维纳米材料。还比如西安科技大学的研究人员在2013年发表的题为“Preparation of silicon nitride nanowires and dielectric properties”文章中,提出以碳纳米管为模板,对其进行酸化提纯,然后以SiO2和Si粉为原料,将其混合后在氧化铝坩埚中于1500K下的管式炉中保温1h,并通入氨气为氮源,反应结束后即可制得氮化硅纳米线。
发明内容
本发明的目的在于提供一种氮化硅纳米片的制备方法,通过该方法制备的氮化硅纳米片具有形貌均匀,尺寸可控以及制备方法简单、成本低廉的特点。
为了使本领域技术人员清楚了解本发明的技术方案,现对本发明的技术方案进行如下详细描述。
一种氮化硅纳米片的制备方法,包括以下步骤:
S1、将SiO粉末和石墨烯粉末在球磨机中球磨混合均匀;
S2、取出S1中的混合粉末,再向其中加入适量的碳酸氢氨,使用研钵研磨后待用;
S3、将S2中混合有碳酸氢铵的混合物平铺在石墨坩埚中,控制其厚度,然后盖上坩埚盖;
S4、将S3中的坩埚放置在烧结炉中,依次经过抽气和充气的过程后,开始程序升温,升温至反应温度后,保温2-3h后反应完成即可得到最终产物。
本发明进一步的包括,步骤S1中,球磨机的转速为200-300rpm,时间为5-10min。
本发明进一步的包括,步骤S2中,碳酸氢氨的加入量为SiO粉末和石墨烯粉末总质量的10-20%。
本发明进一步的包括,步骤S3中,使用震动台进行混合粉末的平铺,并控制其厚度在1-3mm。
本发明进一步的包括,步骤S4中,抽气后控制烧结炉的气压在0.1-0.01Pa,使用氮气进行充气,氮气的含量大于99.999%,且充气后烧结炉的气压在0.1-0.2MPa。
本发明进一步的包括,步骤S4中,所述的程序升温是指从室温开始在60min内升温至300℃后并保温30min,然后再在30min内升温至900℃并保温20min,最后再在30min内升温至1500℃并保温2-3h。
本发明进一步的还包括对反应后的产物进行研磨和离心洗涤过程。
本发明进一步的还包括对制备的氮化硅纳米片进行性能测试。
本发明进一步的还包括对制备的氮化硅纳米片测试其介电损耗性能。
与现有技术相比,本发明具有以下优点:
1)通过在反应物质中引入了碳酸氢氨,使得其在第一步升温过程中进行分解,产生的气体一方面可以作为反应原料的疏松剂,避免了在抽气和充气过程中对反应原料的积压,使得反应更加充分;另一方面还可以提供氮源和碳源,促使反应的进行。
2)通过对反应过程中升温程序的调控,实现了对反应产物的精确控制。
3)本发明制备的氮化硅纳米片具有形貌均一、介电损耗小的优势。
附图说明
图1 本发明制备的氮化硅纳米片的TEM照片;
图2 本发明制备的氮化硅纳米片的介电损耗图。
具体实施方式
下面对本发明的技术方案进行详细的说明,但并不局限于此,凡是对本发明技术方案进行修改或等同替换,而不脱离本发明技术方案的精神和范围,均应包含在本发明权利要求书的保护范围中。
一种氮化硅纳米片的制备方法,包括以下步骤:
S1、将SiO粉末和石墨烯粉末在球磨机中球磨混合均匀;
S2、取出S1中的混合粉末,再向其中加入适量的碳酸氢氨,使用研钵研磨后待用;
S3、将S2中混合有碳酸氢铵的混合物平铺在石墨坩埚中,控制其厚度,然后盖上坩埚盖;
S4、将S3中的坩埚放置在烧结炉中,依次经过抽气和充气的过程后,开始程序升温,升温至反应温度后,保温2-3h后反应完成即可得到最终产物。
实施例1
称取适量的SiO和石墨烯粉末,将其混合后置于球磨罐中,以200rpm的转速球磨混合10min,然后再向其中加入占前述粉末总质量10%的碳酸氢氨,使用玛瑙研钵进行研磨,研磨均匀后,将混合粉末防止在石墨坩埚中,置于震动机上后,使用震动机进行粉末的均匀铺展,并控制粉末层的厚度在2mm。之后,该上石墨坩埚盖,将其转移到烧结炉中,先抽气至气压为0.01pa,再用高纯氮气充气至气压为0.1MPa,然后开启升温程序,从室温开始在60min内升温至300℃后并保温30min,然后再在30min内升温至900℃并保温20min,最后再在30min内升温至1500℃并保温2h。待自然冷却后,对反应产物进行研磨并离心洗涤即可。
实施例2
称取适量的SiO和石墨烯粉末,将其混合后置于球磨罐中,以200rpm的转速球磨混合10min,然后再向其中加入占前述粉末总质量15%的碳酸氢氨,使用玛瑙研钵进行研磨,研磨均匀后,将混合粉末防止在石墨坩埚中,置于震动机上后,使用震动机进行粉末的均匀铺展,并控制粉末层的厚度在2mm。之后,该上石墨坩埚盖,将其转移到烧结炉中,先抽气至气压为0.01pa,再用高纯氮气充气至气压为0.2MPa,然后开启升温程序,从室温开始在60min内升温至300℃后并保温30min,然后再在30min内升温至900℃并保温20min,最后再在30min内升温至1500℃并保温2h。待自然冷却后,对反应产物进行研磨并离心洗涤即可。
实施例3
称取适量的SiO和石墨烯粉末,将其混合后置于球磨罐中,以300rpm的转速球磨混合5min,然后再向其中加入占前述粉末总质量10%的碳酸氢氨,使用玛瑙研钵进行研磨,研磨均匀后,将混合粉末防止在石墨坩埚中,置于震动机上后,使用震动机进行粉末的均匀铺展,并控制粉末层的厚度在1.5mm。之后,该上石墨坩埚盖,将其转移到烧结炉中,先抽气至气压为0.05pa,再用高纯氮气充气至气压为0.1MPa,然后开启升温程序,从室温开始在60min内升温至300℃后并保温30min,然后再在30min内升温至900℃并保温20min,最后再在30min内升温至1500℃并保温2h。待自然冷却后,对反应产物进行研磨并离心洗涤即可。
实施例4
称取适量的SiO和石墨烯粉末,将其混合后置于球磨罐中,以200rpm的转速球磨混合10min,然后再向其中加入占前述粉末总质量15%的碳酸氢氨,使用玛瑙研钵进行研磨,研磨均匀后,将混合粉末防止在石墨坩埚中,置于震动机上后,使用震动机进行粉末的均匀铺展,并控制粉末层的厚度在3mm。之后,该上石墨坩埚盖,将其转移到烧结炉中,先抽气至气压为0.1pa,再用高纯氮气充气至气压为0.15MPa,然后开启升温程序,从室温开始在60min内升温至300℃后并保温30min,然后再在30min内升温至900℃并保温20min,最后再在30min内升温至1500℃并保温2h。待自然冷却后,对反应产物进行研磨并离心洗涤即可。
实施例5
称取适量的SiO和石墨烯粉末,将其混合后置于球磨罐中,以250rpm的转速球磨混合10min,然后再向其中加入占前述粉末总质量10%的碳酸氢氨,使用玛瑙研钵进行研磨,研磨均匀后,将混合粉末防止在石墨坩埚中,置于震动机上后,使用震动机进行粉末的均匀铺展,并控制粉末层的厚度在3mm。之后,该上石墨坩埚盖,将其转移到烧结炉中,先抽气至气压为0.01pa,再用高纯氮气充气至气压为0.2MPa,然后开启升温程序,从室温开始在60min内升温至300℃后并保温30min,然后再在30min内升温至900℃并保温20min,最后再在30min内升温至1500℃并保温2h。待自然冷却后,对反应产物进行研磨并离心洗涤即可。
对比例1
其他条件同实施例1,区别仅在于未使用碳酸氢氨,从最终的产物结构分析来看,其制备的产物中不但含有氮化硅纳米片,且还含有纳米线、纳米棒等杂质,形貌较为复杂。
Claims (8)
1.一种氮化硅纳米片的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、将SiO粉末和石墨烯粉末在球磨机中球磨混合均匀;
S2、取出S1中的混合粉末,再向其中加入适量的碳酸氢氨,使用研钵研磨后待用;
S3、将S2中混合有碳酸氢铵的混合物平铺在石墨坩埚中,控制其厚度,然后盖上坩埚盖;
S4、将S3中的坩埚放置在烧结炉中,依次经过抽气和充气的过程后,开始程序升温,升温至反应温度后,保温2-3h后反应完成即可得到最终产物。
2.根据权利要求1所述的一种氮化硅纳米片的制备方法,其特征在于,步骤S1中,球磨机的转速为200-300rpm,时间为5-10min。
3.根据权利要求1所述的一种氮化硅纳米片的制备方法,其特征在于,步骤S2中,碳酸氢氨的加入量为SiO粉末和石墨烯粉末总质量的10-20%。
4.根据权利要求1所述的一种氮化硅纳米片的制备方法,其特征在于,步骤S3中,使用震动台进行混合粉末的平铺,并控制其厚度在1-3mm。
5.根据权利要求1所述的一种氮化硅纳米片的制备方法,其特征在于,步骤S4中,抽气后控制烧结炉的气压在0.1-0.01Pa,使用氮气进行充气,氮气的含量大于99.999%,且充气后烧结炉的气压在0.1-0.2MPa。
6.根据权利要求1所述的一种氮化硅纳米片的制备方法,其特征在于,步骤S4中,所述的程序升温是指从室温开始在60min内升温至300℃后并保温30min,然后再在30min内升温至900℃并保温20min,最后再在30min内升温至1500℃并保温2-3h。
7.根据权利要求1所述的一种氮化硅纳米片的制备方法,其特征在于,步骤S4后还包括对反应后的产物进行研磨和离心洗涤过程。
8.根据权利要求1-7任一项所述的一种氮化硅纳米片的制备方法制备的氮化硅纳米片。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006160548A (ja) * | 2004-12-06 | 2006-06-22 | Japan Atomic Energy Agency | 単結晶窒化ケイ素ナノシートとその製造方法 |
CN103787288A (zh) * | 2014-01-22 | 2014-05-14 | 山东大学 | 一种氮化硼烯纳米片的制备方法 |
US20160254528A1 (en) * | 2015-02-26 | 2016-09-01 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Two-dimensional nanosheets and methods of making and use thereof |
CN107337186A (zh) * | 2017-06-20 | 2017-11-10 | 西安交通大学 | 一种低维氮化硅纳米材料的制备方法 |
CN110203896A (zh) * | 2019-06-16 | 2019-09-06 | 深圳市中科墨磷科技有限公司 | 一种球磨增强剥离制备二维材料纳米片的方法 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006160548A (ja) * | 2004-12-06 | 2006-06-22 | Japan Atomic Energy Agency | 単結晶窒化ケイ素ナノシートとその製造方法 |
CN103787288A (zh) * | 2014-01-22 | 2014-05-14 | 山东大学 | 一种氮化硼烯纳米片的制备方法 |
US20160254528A1 (en) * | 2015-02-26 | 2016-09-01 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Two-dimensional nanosheets and methods of making and use thereof |
CN107337186A (zh) * | 2017-06-20 | 2017-11-10 | 西安交通大学 | 一种低维氮化硅纳米材料的制备方法 |
CN110203896A (zh) * | 2019-06-16 | 2019-09-06 | 深圳市中科墨磷科技有限公司 | 一种球磨增强剥离制备二维材料纳米片的方法 |
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