CN110614730A - 一种金刚线多线切片机的钢线动态监控装置及监控方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种金刚线多线切片机的钢线动态监控装置及监控方法,所述装置由固定基座、水平方向监控镜头和竖直方向监控镜头组成,其中,所述固定基座为四通视镜结构,所述固定基座的竖直方向的上部透镜处为压缩空气入口,所述水平方向监控镜头设置在所述固定基座的前后方向的管道外侧,所述竖直方向监控镜头设置在所述固定基座的竖直方向的下部管道内。该装置可以从水平方向与竖直方向同时对运行中的钢线表面质量进行监控;通过压缩空气入口吹入的压缩空气将高速运行中钢线带入的各种颗粒物、粉尘、液滴等污染镜头的脏污排除在装置之外,保证镜头表面清洁,从而避免由于镜头表面污染导致的成像图像不清晰。
Description
技术领域
本发明属于金刚线切割技术领域,具体涉及一种金刚线多线切片机的钢线动态监控装置及监控方法。
背景技术
近年来伴随着蓝宝石(Al2O3)、碳化硅(SiC)等超硬(莫氏硬度为9,仅次于金刚石)半导体衬底材料的广泛应用,金刚线多线切片设备也随之得到广泛应用。
在金刚线多线切片设备运行过程中,一般利用金刚线的往复运动与被切割材料表面进行磨削,来实现超硬材料的切割,这个过程中金刚线表面电镀金刚石微粉会随着切割过程的进行而逐渐磨损、脱落,金刚线表面质量直接决定了切割后材料的品质,如何实现高速运行中的金刚线表面状态动态监控是目前急需解决的技术难题。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明提供一种金刚线多线切片机的钢线动态监控装置及监控方法,可以从水平方向与竖直方向同时对运行中的钢线表面质量进行监控;同时,通过压缩空气入口吹入的压缩空气将高速运行中钢线带入的各种颗粒物、粉尘、液滴等污染镜头的脏污排除在装置之外,保证镜头表面清洁,从而避免由于镜头表面污染导致的成像图像不清晰。
本发明是通过以下技术方案实现的:
一种金刚线多线切片机的钢线动态监控装置,所述装置由固定基座、水平方向监控镜头和竖直方向监控镜头组成,其中,所述固定基座为四通视镜结构,所述固定基座的竖直方向上的上部透镜处为压缩空气入口,所述水平方向监控镜头设置在所述固定基座的前后方向上的管道外侧,所述竖直方向监控镜头设置在所述固定基座的竖直方向上的下部管道内。
一种金刚线多线切片机的钢线动态监控方法,包括以下步骤:
步骤1)将钢线从固定基座水平方向的管道内穿过,并调整固定基座,使钢线位于固定基座的中心位置;
步骤2)调整水平方向监控镜头、竖直方向监控镜头与钢线之间的距离,使其能够得到清晰的钢线表面图像;
步骤3)将压缩空气通过固定基座上部的压缩空气入口通入其内,确保固定基座水平方向的管道口有气流吹出;
步骤4)设置程序内各项与金刚线表面质量相关的参数,并设置相应的自动修正参数及报警极限参数;启动多线切片设备,进行材料切割。
优选地,步骤1)所述钢线位于固定基座的中心位置的误差不大于0.5mm。
优选地,步骤3)所述压缩空气的压力为0.5~0.8Mpa,流量为30~60L/min。
优选地,步骤4)所述与金刚线表面质量相关的参数包括金刚石密度、粒径度、母线直径。
本发明的有益效果如下:
本发明的监控装置及监控方法,利用金刚线高速运行中正、反向(往复运动)换向时的短暂停顿时间(时长小于0.5s),实现对金刚线表面状态的抓拍,利用机台内置的图像处理程序对抓拍图像进行处理、计算,得到金刚线表面的金刚石密度、粒径度、母线直径等参数,从而将数据与程序设定参数进行比较,自动对机台运行程序进行修正,保证单位切割面积的供线量;当检测到的金刚石密度、粒径度、母线直径等参数超过机台程序设定报警参数时,触发报警及自动停机功能,从而避免由于金刚线品质异常而导致的切割后材料各项参数超标及表面质量不合格。
附图说明
图1为钢线动态监控装置的结构示意图;
图2为钢线动态监控装置的侧视图。
图中:1、固定基座;2、水平方向监控镜头;3、竖直方向监控镜头;4、钢线;5、压缩空气入口。
具体实施方式
以下结合附图与具体实施例对本发明做进一步详细说明。
实施例1
一种金刚线多线切片机的钢线动态监控装置,如图1所示,所述装置由固定基座1、水平方向监控镜头2和竖直方向监控镜头3组成,其中,所述固定基座1为四通视镜结构,所述固定基座1的竖直方向上的上部透镜处为压缩空气入口5,如图2所示,所述水平方向监控镜头2设置在所述固定基座1的前后方向上的管道外侧,所述竖直方向监控镜头3设置在所述固定基座1的竖直方向上的下部管道内。
一种金刚线多线切片机的钢线动态监控方法,如图1、2所示,具体步骤如下:
(1)将钢线4从固定基座1水平方向的管道内穿过,并调整固定基座1,使钢线4位于固定基座1的中心位置(误差不大于0.5mm)。
(2)调整水平方向监控镜头2、竖直方向监控镜头3与钢线4之间的距离,使其能够得到清晰的钢线表面图像。
(3)将压力为0.5~0.8Mpa,流量为30~60L/min的压缩空气通过固定基座1上部的压缩空气入口5通入其内,确保固定基座1水平方向的管道口有气流吹出。
(4)设置程序内各项与金刚线表面质量相关的参数(金刚石密度25~35颗/cm,粒径度35~45μm,母线直径0.16~0.20mm),并设置相应的自动修正参数(误差范围不超过±5%)及报警极限参数(当测量值超过设置容许的±5%时,触发报警并停机)。
(5)启动多线切片设备,进行材料切割。机台运行过程中,钢线动态监控装置处于自动工作状态,依据设置的采样频率进行图像采集,并将测量值与程序内设置的参数进行比较,达到相应的设置参数就会触发相应的动作。
需要说明的是:虽然上述实施例已经详细描述了本发明的结构及实施方法,但本发明并不限于上述实施例,凡是本领域技术人员从上述实施例中不经创造性劳动就可以想到的替换结构,均属于本发明的保护范围。
Claims (5)
1.一种金刚线多线切片机的钢线动态监控装置,其特征在于,所述装置由固定基座、水平方向监控镜头和竖直方向监控镜头组成,其中,所述固定基座为四通视镜结构,所述固定基座的竖直方向的上部透镜处为压缩空气入口,所述水平方向监控镜头设置在所述固定基座的前后方向的管道外侧,所述竖直方向监控镜头设置在所述固定基座的竖直方向的下部管道内。
2.基于权利要求1所述的一种金刚线多线切片机的钢线动态监控装置的监控方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1)将钢线从固定基座水平方向的管道内穿过,并调整固定基座,使钢线位于固定基座的中心位置;
步骤2)调整水平方向监控镜头、竖直方向监控镜头与钢线之间的距离,使其能够得到清晰的钢线表面图像;
步骤3)将压缩空气通过固定基座上部的压缩空气入口通入其内,确保固定基座水平方向的管道口有气流吹出;
步骤4)设置程序内各项与金刚线表面质量相关的参数,并设置相应的自动修正参数及报警极限参数;启动多线切片设备,进行材料切割。
3.根据权利要求2所述的一种金刚线多线切片机的钢线动态监控方法,其特征在于,步骤1)所述钢线位于固定基座的中心位置的误差不大于0.5mm。
4.根据权利要求2所述的一种金刚线多线切片机的钢线动态监控方法,其特征在于,步骤3)所述压缩空气的压力为0.5~0.8Mpa,流量为30~60L/min。
5.根据权利要求2所述的一种金刚线多线切片机的钢线动态监控方法,其特征在于,步骤4)所述与金刚线表面质量相关的参数包括金刚石密度、粒径度、母线直径。
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