CN209999503U - 一种多线切片机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及多线切割机构领域,具体涉及一种多线切片机,包括切割仓箱体组件、粘料板组件、断线检测组件、排线组件、升降台进刀机构;所述切割仓箱体组件包括切割仓主框架、主辊单元、喷砂管组件、接料盒组件;所述主辊单元、喷砂管组件、接料盒组件设置在切割仓主框架上;所述主辊单元包括两个切割主辊,所述喷砂管组件位于主辊单元的上部,所述升降台进刀机构设置在切割仓主框架上,所述粘料板组件设置在升降台进刀机构下端;所述排线组件设置在绕线仓中,用于收放切割线;所述断线检测组件设置在切割仓主框架上。本实用新型提出一种多线切片机,其可以提高切割效率高,减少硅棒损耗。
Description
技术领域
本实用新型涉及多线切割机构领域,具体涉及一种多线切片机。
背景技术
传统的砂浆切片机采用游离磨料多线切削的方式进行切片,使用直径为 0.09~0.12mm的光滑钢线高速运动,带动SiC和聚乙二醇的混合切削液进入硅棒加工表面,通过钢线的压力使硅棒表面产生破裂的磨削加工。
砂浆切割对砂浆切削液要求较高,需要保证SiC磨粒的颗粒大小和锋利度、 PEG砂浆粘度、砂浆搅拌的均匀性等,同时钢线也需要保证较高的抗拉强度、表面镀层均匀、无损伤点,具有较高的循环疲劳强度和延伸率等。砂浆切割采用磨削加工,钢线走丝速度低,通常≤10m/s,切割效率低,钢线使用寿命短,切割大尺寸坯料时磨料难以进入到长而深的切缝,磨浆的处理和回收成本高,对环境污染大。同时现有的硅棒切片机的宽切缝也使硅棒损耗增高,单位长度硅棒的出片率低。
发明内容
为解决上述背景技术中存在的问题,本实用新型提出一种多线切片机,其可以提高切割效率高,减少硅棒损耗。
本实用新型解决上述问题的技术方案是:一种多线切片机,其特殊之处在于:
包括切割仓箱体组件、粘料板组件、断线检测组件、排线组件、升降台进刀机构和绕线仓;
所述切割仓箱体组件包括切割仓主框架、主辊单元、喷砂管组件、接料盒组件;所述主辊单元、喷砂管组件、接料盒组件设置在切割仓主框架上;所述主辊单元包括两个切割主辊,两个切割主辊平行设置,所述喷砂管组件位于主辊单元的上部,
所述升降台进刀机构设置在切割仓主框架上,并位于两个切割主辊的上部,所述粘料板组件设置在升降台进刀机构下端,其作用是粘贴硅棒,当升降台进刀机构下行至线网时,进行切割硅棒;
所述接料盒组件位于两个切割主辊之间的下部,通过两端支撑固定安装在两端轴承箱上,接料盒组件的作用是当硅料向下切割时,被切割下来的硅料碎片会随线网作水平移动,慢慢会落在接料盒内,起承接掉落下来的硅片的作用;
所述排线组件设置在绕线仓中,用于收放切割线;
所述断线检测组件设置在切割仓主框架上,作用是当切割线断线后,检测断线后急时报警,停机。
进一步地,上述切割主辊的直径为190~210mm,切割主辊的间距为390mm。
进一步地,上述粘料板包括第一底板以及设置在第一底板上的多个用于固定硅棒的制动块。
进一步地,上述排线组件包括排线电机、排线定位承载和排线护罩,所述排线护罩安装在排线电机和排线定位承载外围,防止切割液和灰尘进入。
进一步地,上述喷砂管组件包括流砂管、砂浆管体、前支座和后支座;
所述砂浆管体包括方管、底板和中间导流板;所述底板包括L型板和折弯板,所述L型板包括竖板和横板,所述折弯板固定在竖板的上表面;所述方管固定在竖版的内表面上,所述方管的下表面和横板之间存在间隙;所述中间导流板设置在方管内;所述中间导流板由钣金件折弯而成,所述中间导流板包括两个导流面,所述导流面上设有多个导流孔;所述方管的上部设有切割液入口,所述方管的下部设有切割液出口;
所述流砂管的出口与方管上的切割液入口连接,所述前支座和后支座分别设置在方管的两侧。
进一步地,上述前支座和后支座上分别设置有前搭板和后搭板。
进一步地,上述流砂管通过固定座固定在方管上。
进一步地,上述流砂管的出口通过连接座与方管上的切割液入口连接。
本实用新型的优点:
与现有技术相比,本实用新型提供的多线切片机采用固结磨料多线切割的方式,将金刚石磨粒附着在钢线表面,在水基切削液的润滑和冷却下,利用金刚线高速往复转动,采用犁铧的形式将硅晶体切割成片;相对于传统砂浆切割,切割丝线速度提高很多,传统的线切速度一般最高速度是1000m/min,经过改造提速后的设备最高速度是1800m/min;针对156的硅棒,主辊的直径降低到了190~210mm,主辊间距压缩到最小,为390mm,有利于减少高速运转过程中线网的不稳定性,即降低出现跳线的几率;考虑到目前开方棒长和双棒拼接方式,主辊可切割硅棒长度为770mm。
附图说明
图1是本实用新型的总结构图;
图2是图1的后视图;
图3是图1中切割仓箱体组件结构图;
图4是本实用新型的接料盒组件结构图;
图5是本实用新型的粘料板组件结构图;
图6是本实用新型的升降台进刀机构结构图;
图7是本实用新型的粘料板组件图;
图8是本实用新型的喷砂管组件图;
图9是图8中A-A方向处剖视图;
图10是本实用新型中的底板结构图;
图11是图10中B处放大图;
图12是本实用新型中的中间导流板结构图;
图13是本实用新型中的方管结构图;
图14是图13的仰视图。
1-切割仓箱体组件;2-粘料板组件;201-第一底板;202-制动块;3-断线检测组件;4-排线组件;5-升降台进刀机构;6-滑板;7-进刀基座;8-绕线仓;11- 切割仓主框架;12-主辊单元;13-喷砂管组件;1301-流砂管;1302-砂浆管体; 1303-前支座;1304-后支座;1305-方管;1306-底板;1307-中间导流板;1308-L 型板;1309-折弯板;1310-导流孔;1311-切割液入口;1312-切割液出口;1313- 前搭板;1314-后搭板;1315-固定座;1316-连接座;14-接料盒组件;1401-无盖箱体;1402-连接耳;41-排线电机;42-排线定位承载;43-排线护罩。
具体实施方式
为使本实用新型实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施方式中的附图,对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施方式是本实用新型一部分实施方式,而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式,都属于本实用新型保护的范围。因此,以下对在附图中提供的本实用新型的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围,而是仅仅表示本实用新型的选定实施方式。基于本实用新型中的实施方式,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式,都属于本实用新型保护的范围。
参见图1-图9,一种多线切片机,包括切割仓箱体组件1、粘料板组件2、断线检测组件3、排线组件4、升降台进刀机构5和绕线仓8。
所述切割仓箱体组件1包括切割仓主框架11、主辊单元12、喷砂管组件13、接料盒组件14;所述主辊单元12、喷砂管组件13、接料盒组件14设置在切割仓主框架11上;所述主辊单元12包括两个切割主辊,两个切割主辊平行设置,所述喷砂管组件13设置在主辊单元12的上部,两个切割主辊通过轴承安装在轴承座上,轴承座安装在轴承箱上。所述升降台进刀机构5设置在切割仓主框架11上,并位于两个切割主辊的上部;升降台进刀机构5包括滑板6和进刀基座7,滑板6上安装有滚珠丝杠和夹紧缸,夹紧下端粘料板组件2工作。
所述粘料板组件2设置在升降台进刀机构5下端进刀基座7上,其作用是粘贴硅棒;升降台进刀机构5下行至主辊单元12切割线上进行切割。
接料盒组件14位于两个切割主辊之间的下部,通过两端支撑固定安装在两端轴承箱上,接料盒组件14的作用是当硅料向下切割时,被切割下来的硅料碎片会随线网作水平移动,慢慢会落在接料盒内,起承接掉落下来的硅片的作用;排线组件4设置在绕线仓8中,用于收放切割线,通过排线定位承载上下移动,使切割线均匀的排布在收放线轮上。
断线检测组件3设置在切割仓主框架11上,作用是当切割线断线后,检测断线后急时报警,停机。断线检测组件3安装在切割仓箱体组件1前、后轴承座上,该组件采用断线检测控制器检测钢线断开与否,当钢线的断线与机体接触后,立即断线接地,并且把接地信号反馈给断线检测控制器,使切片机当即停机,以保证生产的安全。
作为本实用新型的一个优选实施例,所述接料盒组件14包括一个无盖箱体 1401,所述无盖箱体两侧设有连接耳1402,参见图4。
作为本实用新型的一个优选实施例,参见图5,所述粘料板组件2包括第一底板201以及设置在第一底板201上的四个用于固定硅棒的制动块202。
作为本实用新型的一个优选实施例,参见图7,所述排线组件4包括排线电机41、排线定位承载42和排线护罩43,所述排线护罩43设置在排线电机41 和排线定位承载42外围。
作为本实用新型的一个优选实施例,所述切割主辊的直径为190~210mm,切割主辊的间距为390mm。
作为本实用新型的一个优选实施例,参见图8-图14,所述喷砂管组件13 包括流砂管1301、砂浆管体1302、前支座1303和后支座1304。
所述砂浆管体1302包括方管1305、第二底板1306和中间导流板1307;所述第二底板1306包括L型板1308和折弯板1309,所述L型板1308包括竖板和横板,所述折弯板1309固定在竖板的上表面;所述方管1305通过螺钉固定在竖版的内表面上,所述方管1305的下表面和横板之间存在间隙;所述中间导流板1307设置在方管1305内;所述中间导流板1307由钣金件折弯而成,所述中间导流板1307包括两个导流面,每个导流面上各设有一排导流孔1310;所述方管1305的上部设有切割液入口1311,所述方管1305的下部设有切割液出口1312;所述流砂管1301的出口与方管1305上的切割液入口1311连接,所述前支座1303和后支座1304分别设置在方管1305的两侧。
优选地,所述前支座1303和后支座1304上分别设置有前搭板1313和后搭板1314,前搭板1313、后搭板1314和切割仓主框架11进行连接。
优选地,所述流砂管1301通过固定座1315固定在方管1305上。
优选地,所述流砂管1301的出口通过连接座1316与方管1305上的切割液入口1311连接。
所述喷砂管组件13工作时,切割液从流砂管1301流入方管1305的切割液入口1311后,切割液再从中间导流板1307上的导流孔1310流出,然后从切割液出口1312流到底板上的横板上,切割液聚集到一定量再从折弯板1309溢出后均匀流出,流向钢丝,钢丝用于切割硅棒。
以上所述仅为本实用新型的实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的系统领域,均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (9)
1.一种多线切片机,其特征在于:
包括切割仓箱体组件(1)、粘料板组件(2)、断线检测组件(3)、排线组件(4)和升降台进刀机构(5);
所述切割仓箱体组件(1)包括切割仓主框架(11)、主辊单元(12)、喷砂管组件(13)、接料盒组件(14);所述主辊单元(12)、喷砂管组件(13)、接料盒组件(14)设置在切割仓主框架(11)上;所述主辊单元(12)包括两个切割主辊,两个切割主辊平行设置,所述喷砂管组件(13)设置在主辊单元(12)的上部,
所述升降台进刀机构(5)设置在切割仓主框架(11)上,并位于两个切割主辊的上部;所述粘料板组件(2)设置在升降台进刀机构(5)下端;接料盒组件(14)位于两个切割主辊之间的下部;排线组件(4)用于收放切割线;断线检测组件(3)设置在切割仓主框架(11)上。
2.根据权利要求1所述的一种多线切片机,其特征在于:所述接料盒组件(14)包括一个无盖箱体(1401),所述无盖箱体两侧设有连接耳(1402)。
3.根据权利要求2所述的一种多线切片机,其特征在于:所述粘料板组件(2)包括第一底板(201)以及设置在第一底板(201)上的多个用于固定硅棒的制动块(202)。
4.根据权利要求1-3任一所述的一种多线切片机,其特征在于:所述排线组件(4)包括排线电机(41)、排线定位承载(42)和排线护罩(43),所述排线护罩(43)设置在排线电机(41)和排线定位承载(42)外围。
5.根据权利要求4所述的一种多线切片机,其特征在于:所述切割主辊的直径为190~210mm,切割主辊的间距为390mm。
6.根据权利要求4所述的一种多线切片机,其特征在于:所述喷砂管组件(13)包括流砂管(1301)、砂浆管体(1302)、前支座(1303)和后支座(1304);
所述砂浆管体(1302)包括方管(1305)、第二底板(1306)和中间导流板(1307);所述第二底板(1306)包括L型板(1308)和折弯板(1309),所述L型板(1308)包括竖板和横板,所述折弯板(1309)固定在竖板的上表面;所述方管(1305)固定在竖版的内表面上,所述方管(1305)的下表面和横板之间存在间隙;所述中间导流板(1307)设置在方管(1305)内;所述中间导流板(1307)由钣金件折弯而成,所述中间导流板(1307)包括两个导流面,所述导流面上设有多个导流孔(1310);所述方管(1305)的上部设有切割液入口(1311),所述方管(1305)的下部设有切割液出口(1312);
所述流砂管(1301)的出口与方管(1305)上的切割液入口(1311)连接,所述前支座(1303)和后支座(1304)分别设置在方管(1305)的两侧。
7.根据权利要求6所述的一种多线切片机,其特征在于:所述前支座(1303)和后支座(1304)上分别设置有前搭板(1313)和后搭板(1314)。
8.根据权利要求7所述的一种多线切片机,其特征在于:所述流砂管(1301)通过固定座(1315)固定在方管(1305)上。
9.根据权利要求8所述的一种多线切片机,其特征在于:所述流砂管(1301)的出口通过连接座(1316)与方管(1305)上的切割液入口(1311)连接。
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CN201920709405.0U CN209999503U (zh) | 2019-05-17 | 2019-05-17 | 一种多线切片机 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN111421685A (zh) * | 2020-05-20 | 2020-07-17 | 李秀碧 | 一种单晶硅棒截断装置 |
CN113146869A (zh) * | 2021-05-18 | 2021-07-23 | 重庆电子工程职业学院 | 一种芯片制作用硅晶棒切片装置 |
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2019
- 2019-05-17 CN CN201920709405.0U patent/CN209999503U/zh active Active
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CN113146869A (zh) * | 2021-05-18 | 2021-07-23 | 重庆电子工程职业学院 | 一种芯片制作用硅晶棒切片装置 |
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