JP6705129B2 - 基板のブレーク方法 - Google Patents
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Description
図1および図2は、本発明の実施の形態に係るブレーク装置100の要部を示す図である。ブレーク装置100は、基板Wを水平姿勢にて載置するための載置部1と、基板Wに押し当てられることで基板Wを分断するブレーク刃2と、載置部1を下方から支持するための支持部3とを備える。ブレーク装置100は、あらかじめスクライブライン(けがき線)SLが形成された基板Wに対しブレーク刃2を用いてブレーク処理を施すことによって該スクライブラインSLから基板Wの厚み方向へとクラック(垂直クラック)を伸展させることで、基板WをスクライブラインSLに沿って分断する装置である。より詳細には、図1はブレーク刃2の長手方向に垂直な断面を含む側断面図であり、図2はブレーク刃2の長手方向に沿った側面図である。
次に、上述のブレーク装置100において載置部1として用いる載置部用部材1αの作製について説明する。以下においては特に、カメラ4による載置部1および支持部3を介した撮像を可能とするべく、載置部用部材1αとして透明な弾性体を用いる場合について説明する。図3は、係る場合における載置部用部材1αを得るための手順を概略的に示す図である。
上述の実施の形態においては、載置部1の全体(下面全面)が支持部3によって下方支持されるようになっているが、これは必須の態様ではない。載置部1の水平性が確保される限りにおいて、支持部3によって支持されない箇所が存在してもよい。例えば、載置部1の下方にカメラ4を設けた構成において、載置部1とカメラ4の間の領域(特にカメラ4の画角内)において支持部3が存在しない態様であってもよい。係る場合、載置部1のみが透明であれば、支持部3が透明でなくとも、カメラ4は、載置部1のみを介して載置部1に載置された基板Wを撮像することが可能となる。
1α 載置部用部材
1β 初期弾性体
1a (載置部の)上面
2 ブレーク刃
2a 刃先
3 支持部
4 カメラ
5 照明手段
100 ブレーク装置
201 吸着テーブル
202 粗研磨手段
203 研磨剤
204 バフ
S0 被吸着面
SL スクライブライン
W 基板
Wa (基板の)スクライブライン形成面
Wb (基板の)スクライブライン非形成面
Claims (3)
- 一方主面側にスクライブラインが形成されてなる基板を前記スクライブラインに沿ってブレークする方法であって、
載置部の上に、前記スクライブラインの延在方向と、前記載置部の上方に前記載置部に対して進退自在に設けられてなるブレーク刃の刃先の延在方向とが一致するように、前記基板を水平姿勢にて載置する工程と、
前記基板が前記載置部の上に載置された状態で前記ブレーク刃を所定の下降停止位置まで下降させることによって、前記基板を前記スクライブラインに沿って分断する工程と、
を備え、
前記載置部として、硬度が50°以上90°以下であり、厚みばらつきが30μm以下であり、前記基板が載置される被載置面の表面粗さが30nm以下である板状の弾性体を用い、
前記弾性体が、加熱成型によって形成された、厚みばらつきが100μm以上である初期弾性体の表面を、研磨したものである、
ことを特徴とする、基板のブレーク方法。 - 請求項1に記載の基板のブレーク方法であって、
前記弾性体が透明弾性体である、
ことを特徴とする基板のブレーク方法。 - 請求項2に記載の基板のブレーク方法であって、
前記透明弾性体がシリコーンゴムである、
ことを特徴とする基板のブレーク方法。
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