CN110561293A - 半导体设备装夹工程车 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种半导体设备装夹工程车，包括：水平底座，其设有脚轮和止动部件；旋转驱动机构，固定设于水平底座上，并位于水平底座的一侧边部；旋转驱动机构水平设有转轴，转轴面向水平底座的另一侧设置，且转轴的旋转中心重合位于水平底座中轴线的上方；旋转机构，其水平设有横梁，横梁通过其中心转动连接转轴，横梁的两端对称连接有悬臂，悬臂面向水平底座的另一侧设置；固定机构，包括对称设于两个悬臂内侧的固定板，固定板用于将半导体设备悬空夹持并固定在其之间；其中，半导体设备的质心和固定板的质心都与转轴的旋转中心等高。本发明能有效保证旋转时的稳定性，减小占地面积，并保证人员在操作时的安全。

Description

半导体设备装夹工程车

技术领域

本发明涉及半导体测试设备技术领域，更具体地，涉及一种用于半导体集成电路测试设备的装夹工程车。

背景技术

半导体集成电路领域，在许多工艺节点都需要使用测试机进行测试。由于测试机本身的体积较大，通常需要采用装夹工程车将测试机的测试头固定住，以便在多轴度的方向上，进行一定距离的移动，达到与其他设备进行配合的目的。

由于测试机本身的重量较重，对于装夹工程车而言，为了保证测试机的测试头可以在多维度的方向上进行一定程度的位移，就需要配置稳固的底座，所以占地面积就较大。同时，为了使测试机的测试头可以在多维度方向上进行一定的位移，装夹工程车的关节处也很多，难以通过电动方式进行控制；而在使用人力调节时，容易伤到作业员，所以存在一定的安全隐患。此外，装夹工程车上还拥有配重块，所以整体重量就相对很重，对工厂的地面要求也很高。

现阶段市场上的装夹工程车中，要么就是结构复杂，价格高昂；要么就是功能单一，不能满足用户使用环境的需求。且这些装夹工程车占地面积都较大。由于用户实际可提供的场地很小，因而现阶段市场上装夹工程车产品都不能配套满足客户场地的需求。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种半导体设备装夹工程车。

为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种半导体设备装夹工程车，包括：

水平底座，其设有脚轮和止动部件；

旋转驱动机构，固定设于所述水平底座上，并位于所述水平底座的一侧边部；所述旋转驱动机构水平设有转轴，所述转轴面向所述水平底座的另一侧设置，且所述转轴的旋转中心重合位于所述水平底座中轴线的上方；

旋转机构，其水平设有横梁，所述横梁通过其中心转动连接所述转轴，所述横梁的两端对称连接有悬臂，所述悬臂面向所述水平底座的另一侧设置；

固定机构，包括对称设于两个所述悬臂内侧的固定板，所述固定板用于将半导体设备悬空夹持并固定在其之间；

其中，所述半导体设备的质心和所述固定板的质心都与所述转轴的旋转中心等高。

进一步地，所述旋转驱动机构还设有减速机、减速机齿轮、传动齿轮和轴承底座；其中，所述减速机转动连接减速机齿轮，所述减速机齿轮与传动齿轮相转动啮合，所述传动齿轮固定套设于所述转轴上，所述轴承底座用于支承所述转轴。

进一步地，所述减速机设有驱动其运动的旋转摇柄。

进一步地，所述轴承底座包括分设于所述传动齿轮两侧的第一轴承底座和第二轴承底座。

进一步地，所述底座为一端开口的水平矩形框架结构，所述旋转驱动机构设于所述水平矩形框架结构相对其开口的一侧边部框架上。

进一步地，所述旋转驱动机构设于垂直矩形框架的上端面上，所述垂直矩形框架的下端固定设于所述水平矩形框架结构相对其开口的一侧边部框架上。

进一步地，所述垂直矩形框架包括平行设置的第一框架和第二框架，所述第二框架位于所述第一框架相对所述水平底座的内侧；其中，所述第一框架和所述第二框架的上端同时支撑在所述旋转驱动机构下方，所述第一框架的下端固定设于所述水平矩形框架结构相对其开口的一侧边部框架上，所述第二框架的下端通过水平支架搭接在所述水平矩形框架的两个相对侧边的上表面上并相固定。

进一步地，所述旋转驱动机构设于保护箱中，所述保护箱设于所述垂直矩形框架的上端面上。

进一步地，所述横梁相对所述水平底座的内侧固定贴合有连接板，所述连接板上对称设有多个螺纹孔，所述悬臂具有L形转折部，所述L形转折部上设有多个腰形安装孔，所述悬臂通过所述腰形安装孔与所述连接板螺纹连接。

进一步地，所述止动部件为脚撑，所述脚轮和脚撑分设于所述底座的水平矩形框架结构的四个角部；其中，所述脚撑相对位于所述脚轮外侧设置，并且，其中两个脚撑分设于对应所述第一框架位置的所述水平矩形框架结构的一侧边部框架的下方，其中两个脚轮分设于对应所述水平支架位置的所述水平矩形框架的两个相对侧边的下方。

本发明具有以下优点：

(1)通过使用高强度的螺栓和两块固定板，将产品(测试机的测试头)安装固定住，固定板可按照测试机的测试头尺寸设计，可以保证产品的质心在固定板的中心点，固定板可通过螺纹固定在悬臂上，保证了质心和主轴(转轴)在同一个水平面上。从而在工程车扭转时，能有效保证产品在运动过程中质心的相对位置波动很小。

(2)主轴选用形变量小的高强度材料制作，通过主轴材料的选择及其与两个轴承底座的位置配合来保证旋转稳定性。

(3)通过对轴承材料和两个轴承底座之间的间距设计，有效减小占地面积。使得本发明的实际占地大小可缩减为1050×1400mm，而其他产品的占地面积一般至少为1200×1800mm。

(4)作业员只需旋转摇柄，即可使产品按照所需的方向旋转；正交设计的框架结构，可方便工程车的移动。因此本发明充分保证了人员在操作时的安全。

附图说明

图1-图2是本发明一较佳实施例的一种半导体设备装夹工程车结构示意图。

图3是图2中A-A部局部结构放大示意图。

具体实施方式

下面结合附图，对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明。

需要说明的是，在下述的具体实施方式中，在详述本发明的实施方式时，为了清楚地表示本发明的结构以便于说明，特对附图中的结构不依照一般比例绘图，并进行了局部放大、变形及简化处理，因此，应避免以此作为对本发明的限定来加以理解。

在以下本发明的具体实施方式中，请参考图1-图2，图1-图2是本发明一较佳实施例的一种半导体设备装夹工程车结构示意图。其中，图1显示半导体设备装夹工程车的外形结构，图2显示出打开保护箱后旋转驱动机构的结构。如图1-图2所示，本发明的一种半导体设备装夹工程车，可包括：水平底座，旋转驱动机构，旋转机构以及固定机构等主要结构组成部分。半导体设备例如可以是测试机的测试头等。本发明不限于此。

请参考图1-图2。水平底座的下表面上设有多个脚轮2和多个止动部件3。作为一优选的实施方式，底座可采用一端为开口(图示的右侧为开口)的水平矩形框架1和5形式，例如可以是钢结构框架，框架可采用矩形空心结构。本发明不限于此。其中，水平矩形框架1和5具有一个底边框架5，以及按正交方向与底边框架5固定连接的两个侧边框架1，两个侧边框架1的自由端定义水平矩形框架1和5的开口位置。

旋转驱动机构设于水平矩形框架1和5结构相对其开口的一侧边部框架上。例如，旋转驱动机构可通过垂直矩形框架6和13固定设于水平底座上，并位于水平底座非开口的一侧边部上。即旋转驱动机构可设于垂直矩形框架6和13的上端面15上，垂直矩形框架6和13的下端固定设于水平矩形框架1和5结构相对其开口的一侧边部框架上。

作为一优选的实施方式，垂直矩形框架6和13可包括两个在竖直方向上相平行设置的第一框架6和第二框架13。其中，第二框架13位于第一框架6相对水平底座的内侧位置。第一框架6和第二框架13的上端同时支撑在旋转驱动机构下方，用于对旋转驱动机构提供稳定的支撑作用。第一框架6的下端可固定安装在水平矩形框架1和5结构相对其开口的一侧边部框架上，即位于水平底座的底边框架5的上表面上。第二框架13的下端可通过一个水平支架4搭接在水平矩形框架1和5的两个相对侧边的上表面上，即搭接位于水平底座的两个侧边框架1上，并进行固定安装。第一框架6和第二框架13的上端可以相连接形成一个水平的安装面(上端面)15，供与旋转驱动机构进行固定。第一框架6和第二框架13的下端可以直接分别与底边框架5和水平支架4对接。

为了对旋转驱动机构进行保护，可将旋转驱动机构设于保护箱9中，并将保护箱9安装在垂直矩形框架6和13上端的安装面15上。

请参考图1-图2。旋转驱动机构按水平方向设有一个转轴18，转轴18面向水平底座的另一侧设置，即转轴18的轴心线与水平底座的中轴线平行，且转轴18的旋转中心重合位于水平底座中轴线的上方。

旋转机构按水平方向设有一个横梁7；横梁7通过其中心(质心)转动连接转轴18。

横梁7的两端对称连接有一个悬臂11，悬臂11面向水平底座的另一侧、即开口侧设置。

作为一优选的实施方式，两个悬臂11按正交方式与横梁7连接，形成与水平底座的水平矩形框架1和5平行，对称，且开口方向一致的布局形式。

进一步地，横梁7相对水平底座开口方向的内侧固定贴合有一块连接板10；连接板10上对称设有多个螺纹孔。同时，每个悬臂11与横梁7的连接端可具有L形转折部；L形转折部上可设有多个腰形安装孔。这样，悬臂11即可通过螺栓穿过腰形安装孔与连接板10进行螺纹连接。并且，可以方便地调整两个悬臂11在横梁7上的相对安装位置。

L形转折部的上下两侧可通过加强垫片21进行加固。

请继续参考图1-图2。固定机构包括对称设于两个悬臂11内侧的固定板12；固定板12用于将测试头(图略)悬空夹持并固定在其之间。例如，固定板12可采用矩形板状结构，固定板12可通过螺纹安装孔与悬臂11连接。固定板12上还可加工多组螺纹孔，用于与测试头之间形成位置可调整的固定连接，以保证产品的质心在固定板12的中心点。

固定板12通过螺纹固定在悬臂11上，保证了质心和主轴(转轴18)在同一个水平面上。并且，测试头的质心和固定板12的质心都与转轴18的旋转中心等高。从而在工程车扭转时，能有效保证产品在运动过程中质心的相对位置波动很小。

请参考图3并结合参考图1-2。除转轴18外，旋转驱动机构还设有减速机16、减速机齿轮14、传动齿轮19和轴承底座17、20等组件。其中，减速机16转动连接减速机齿轮14，减速机齿轮14与传动齿轮19相转动啮合，传动齿轮19可按正交方向固定套设于转轴18上，轴承底座17、20用于支承转轴18。减速机16上还设有驱动其运动的旋转摇柄8，作业员只需转动摇柄8，即可使产品按照所需的方向旋转。

进一步地，轴承底座17、20可包括分设于传动齿轮19两侧的第一轴承底座17和第二轴承底座20。并且，可将第一框架6和第二框架13分别对应置于第一轴承底座17和第二轴承底座20的下方，以均衡支承力。

主轴18可选用形变量小的高强度材料制作，通过主轴材料的选择及其与两个轴承底座17、20的位置配合可有效保证旋转稳定性。

同时，通过对轴承材料和两个轴承底座17、20之间的间距设计，可有效减小占地面积。本发明的实际占地大小可缩减为1050×1400mm，而其他产品的占地面积一般至少为1200×1800mm。

请参考图1。止动部件3可采用脚撑3。脚轮2和脚撑3各使用四个，分设于底座的水平矩形框架1和5结构的四个角部。其中，脚撑3相对位于脚轮2的外侧进行设置；并且，四个脚撑3中的其中两个脚撑3(图示左侧)可分设于对应第一框架6位置的水平矩形框架1和5结构的一侧边部框架5的下方，而四个脚轮2中的其中两个脚轮2(图示左侧)可分设于对应水平支架4位置的水平矩形框架1和5的两个相对侧边的下方。

正交设计的整体框架结构，可方便工程车的移动，有效防止倾倒发生。因此本发明充分保证了人员在操作时的安全。

使用本发明时，先将测试头安装到工程车上，并移动工程车至预定位置后放下脚撑3固定位置。然后，作业员通过转动摇柄8带动减速机16运动。减速机16通过减速机齿轮14传递力到主轴传动齿轮19上。主轴传动齿轮19带动使主轴在两个轴承底座17、20上转动。主轴18再带动相连的横梁7跟着旋转。当横梁7旋转时，悬臂11也会做相对运动，也会带着固定板12位移。这样，即可实现固定在固定板12上的测试头按预定角度进行旋转。

以上的仅为本发明的优选实施例，实施例并非用以限制本发明的保护范围，因此凡是运用本发明的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种半导体设备装夹工程车，其特征在于，包括：

水平底座，其设有脚轮和止动部件；

旋转驱动机构，固定设于所述水平底座上，并位于所述水平底座的一侧边部；所述旋转驱动机构水平设有转轴，所述转轴面向所述水平底座的另一侧设置，且所述转轴的旋转中心重合位于所述水平底座中轴线的上方；

旋转机构，其水平设有横梁，所述横梁通过其中心转动连接所述转轴，所述横梁的两端对称连接有悬臂，所述悬臂面向所述水平底座的另一侧设置；

固定机构，包括对称设于两个所述悬臂内侧的固定板，所述固定板用于将半导体设备悬空夹持并固定在其之间；

其中，所述半导体设备的质心和所述固定板的质心都与所述转轴的旋转中心等高。

2.根据权利要求1所述的半导体设备装夹工程车，其特征在于，所述旋转驱动机构还设有减速机、减速机齿轮、传动齿轮和轴承底座；其中，所述减速机转动连接减速机齿轮，所述减速机齿轮与传动齿轮相转动啮合，所述传动齿轮固定套设于所述转轴上，所述轴承底座用于支承所述转轴。

3.根据权利要求2所述的半导体设备装夹工程车，其特征在于，所述减速机设有驱动其运动的旋转摇柄。

4.根据权利要求2所述的半导体设备装夹工程车，其特征在于，所述轴承底座包括分设于所述传动齿轮两侧的第一轴承底座和第二轴承底座。

5.根据权利要求1-4任一所述的半导体设备装夹工程车，其特征在于，所述底座为一端开口的水平矩形框架结构，所述旋转驱动机构设于所述水平矩形框架结构相对其开口的一侧边部框架上。

6.根据权利要求5所述的半导体设备装夹工程车，其特征在于，所述旋转驱动机构设于垂直矩形框架的上端面上，所述垂直矩形框架的下端固定设于所述水平矩形框架结构相对其开口的一侧边部框架上。

7.根据权利要求6所述的半导体设备装夹工程车，其特征在于，所述垂直矩形框架包括平行设置的第一框架和第二框架，所述第二框架位于所述第一框架相对所述水平底座的内侧；其中，所述第一框架和所述第二框架的上端同时支撑在所述旋转驱动机构下方，所述第一框架的下端固定设于所述水平矩形框架结构相对其开口的一侧边部框架上，所述第二框架的下端通过水平支架搭接在所述水平矩形框架的两个相对侧边的上表面上并相固定。

8.根据权利要求7所述的半导体设备装夹工程车，其特征在于，所述旋转驱动机构设于保护箱中，所述保护箱设于所述垂直矩形框架的上端面上。

9.根据权利要求1所述的半导体设备装夹工程车，其特征在于，所述横梁相对所述水平底座的内侧固定贴合有连接板，所述连接板上对称设有多个螺纹孔，所述悬臂具有L形转折部，所述L形转折部上设有多个腰形安装孔，所述悬臂通过所述腰形安装孔与所述连接板螺纹连接。

10.根据权利要求7所述的半导体设备装夹工程车，其特征在于，所述止动部件为脚撑，所述脚轮和脚撑分设于所述底座的水平矩形框架结构的四个角部；其中，所述脚撑相对位于所述脚轮外侧设置，并且，其中两个脚撑分设于对应所述第一框架位置的所述水平矩形框架结构的一侧边部框架的下方，其中两个脚轮分设于对应所述水平支架位置的所述水平矩形框架的两个相对侧边的下方。