CN110553803B - 一种研磨头离线测试平台及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种研磨头离线测试平台，包括控制箱，所述控制箱内安装有执行机构和检测机构，所述控制箱的内侧壁上分别对称安装有两个第一卡板和第二卡板，两个所述第一卡板和两个第二卡板上分别滑动插设有第一抽板和第二抽板，所述执行机构安装在第一抽板上，所述检测机构安装在第二抽板上；本发明还公开了一种研磨头离线测试方法，包括以下步骤：S1：通气；S2：检测；S3：控制；S4：判断。本发明通过研磨头悬挂安装模拟实际研磨状态测量研磨头的漏气和磨损情况，且在测量时选择多组不同气压进行测量，增加测量的准确性，且多个压力传感器设置在多个可扩展模组条上，减少单个压力传感器测量区域，增加测量的精确度。
Description
技术领域
本发明涉及芯片加工制造领域，尤其涉及一种研磨头离线测试平台及方法。
背景技术
加工制造芯片行业，研磨芯片时需要使用到研磨头，研磨头多次使用后会出现损耗、漏气造成压力分布不均，导致产品出现不良品，直到后期检测产品的时候才发现问题，使用的期间没有设备平台能够及时检测研磨头，在问题出现前进行预防检测，以及出现问题后及时排查出问题点。
现有检测技术在研磨头出现不良品后，只能在线检查，逐个导致排查问题点时非常不便，更无法提前预防，导致材料的浪费。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在只能在线逐个排查，无法提前预防，导致材料浪费的缺点，而提出的一种研磨头离线测试平台及方法。
为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
一种研磨头离线测试平台，包括控制箱，所述控制箱内安装有执行机构和检测机构，所述控制箱的内侧壁上分别对称安装有两个第一卡板和第二卡板，两个所述第一卡板和两个第二卡板上分别滑动插设有第一抽板和第二抽板，所述执行机构安装在第一抽板上，所述检测机构安装在第二抽板上。
优选地，所述执行机构从上到下依次分为气路连接器、金属头箍和研磨头。
优选地，所述气路连接器固定安装在控制箱的内顶壁上，所述气路连接器的上端开设有多个第一连接气孔，气路连接器的多个第一连接气孔可根据实际情况定制数量、形状和排列位置。
优选地，所述气路连接器的下端与研磨头的上端连接安装，且气路连接器与研磨头的连接处锁紧安装有金属头箍。
优选地，所述研磨头通过金属头箍和气路连接器悬挂在控制箱的内顶壁上，气体通过气路连接器进入研磨头后，气体从研磨头的下表面流出，测量研磨头下表面各处气压即可了解研磨头是否有漏气情况以及表面磨损情况。
优选地，所述检测机构包括压力传感器模组和控制器。
优选地，所述压力传感器模组包括多个可扩展模组条，所述压力传感器模组固定安装在第二抽板的上端，所述压力传感器模组上安装有第二连接气孔，所述控制器固定安装在控制箱的侧壁上，所述控制器上安装有第三连接气孔；
多个可扩展模组条可安装多个压力传感器扩展，扩展后每个压力传感器的监测区域减小，检测精度增加，即增加了离线检测的精确性。
优选地，所述控制箱的侧壁内开设有管线通道，所述管线通道的包括三个连通口，三个所述连通孔分别设置在控制箱的内顶壁和控制箱的内侧壁位于第二抽板上方的相邻两处，所述管线通道内布置有气管和串口线，所述第二连接气孔分别与第一连接气孔和第三连接气孔通过气管连接。
优选地，所述控制箱的上顶壁上嵌设安装有显示模组，所述显示模组上安装有触摸显示屏，所述显示模组通过串口线穿设在管线通道内与控制器连接。
一种研磨头离线测试方法，包括以下步骤：
S1：通气；气流从控制箱的外部压入控制器内，控制器将气流传输至压力传感器模组内，压力传感器模组将气流传输至气路连接器；
S2：检测；气路连接器将气流输送至研磨头，研磨头内部气体由上而下传输至研磨头的下表面，研磨头正下方处的压力传感器模组接收到研磨头下表面压力变化的信号并输出至控制器记录；
S3：控制；控制器调节气体压力变化并接收压力传感器模组检测到的变化后的压力信号并记录，多次调节记录后将数据输出至显示模组；
S4：判断；通过观察显示模组上的触摸显示屏显示出的各区域单位时间内的压力差值表来判断研磨头是否漏气。
本发明具有以下有益效果：
1、研磨头通过气路连接器和金属头箍固定悬挂在控制箱1的内顶壁上，模拟实际使用状态，在检测时，由于研磨头悬挂，则研磨头的下表面不与任何物品接触，则通气后能够检测到研磨头下表面各个区域的气压分布情况，便于排查研磨头漏气导致某个区域气压值波动较大以及研磨头下表面磨损严重导致的各区域气压值连续波动的情况。
2、通过压力传感器模组和控制器对气体压力进行调节，将不同气压压力值调节输送至气路连接器内并从研磨头排出，压力传感器模组检测到的各区域压力值情况，各组数据比较得出研磨头的漏气情况，多次检测增加检测结果的准确性。
3、压力传感器模组上安装多个可扩展模组条，每个可扩展模组条上可安装多个压力传感器，压力传感器的数量越多，使得单个压力传感器所测量区域减小，则使得压力传感器测量的精度增加，增加了检测的精确性。
综上所述，本发明通过研磨头悬挂安装模拟实际研磨状态测量研磨头的漏气和磨损情况，且在测量时选择多组不同气压进行测量，增加测量的准确性，且多个压力传感器设置在多个可扩展模组条上，减少单个压力传感器测量区域，增加测量的精确度。
附图说明
图1为本发明提出的一种研磨头离线测试平台的结构示意图；
图2为本发明提出的一种研磨头离线测试平台的执行机构的部分解构图；
图3为本发明提出的一种研磨头离线测试平台的检测机构的部分解构图。
图中：1控制箱、2控制器、3第一抽板、4管线通道、5显示模组、6气路连接器、7金属头箍、8研磨头、9第一卡板、10第二卡板、11第二抽板、12压力传感器模组、13可扩展模组条、14第二连接气孔、15第三连接气孔、16触摸显示屏。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-3，一种研磨头离线测试平台，包括控制箱1，控制箱1内安装有执行机构和检测机构，控制箱1的内侧壁上分别对称安装有两个第一卡板9和第二卡板10，两个第一卡板9和两个第二卡板10上分别滑动插设有第一抽板3和第二抽板11，执行机构安装在第一抽板3上，检测机构安装在第二抽板11上。
执行机构从上到下依次分为气路连接器6、金属头箍7和研磨头8。
气路连接器6固定安装在控制箱1的内顶壁上，气路连接器6的上端开设有多个第一连接气孔，气路连接器6的多个第一连接气孔可根据实际情况定制数量、形状和排列位置。
气路连接器6的下端与研磨头8的上端连接安装，且气路连接器6与研磨头8的连接处锁紧安装有金属头箍7。
研磨头8通过金属头箍7和气路连接器6悬挂在控制箱1的内顶壁上，气体通过气路连接器6进入研磨头8后，气体从研磨头8的下表面流出，测量研磨头8下表面各处气压即可了解研磨头8是否有漏气情况以及表面磨损情况。
检测机构包括压力传感器模组12和控制器2。
压力传感器模组12包括多个可扩展模组条13，压力传感器模组12固定安装在第二抽板11的上端，压力传感器模组12上安装有第二连接气孔14，控制器2固定安装在控制箱1的侧壁上，控制器2上安装有第三连接气孔15；
多个可扩展模组条13可安装多个压力传感器扩展，扩展后每个压力传感器的监测区域减小，检测精度增加，即增加了离线检测的精确性。
控制箱1的侧壁内开设有管线通道4，管线通道4的包括三个连通口，三个连通孔分别设置在控制箱1的内顶壁和控制箱1的内侧壁位于第二抽板11上方的相邻两处，管线通道4内布置有气管和串口线，第二连接气孔14分别与第一连接气孔和第三连接气孔15通过气管连接。
控制箱1的上顶壁上嵌设安装有显示模组5，显示模组5上安装有触摸显示屏16，显示模组5通过串口线穿设在管线通道4内与控制器2连接。
一种研磨头离线测试方法，包括以下步骤：
S1：通气；气流从控制箱1的外部压入控制器2内，控制器2将气流传输至压力传感器模组12内，压力传感器模组12将气流传输至气路连接器6；
S2：检测；气路连接器6将气流输送至研磨头8，研磨头8内部气体由上而下传输至研磨头8的下表面，研磨头8正下方处的压力传感器模组12接收到研磨头8下表面压力变化的信号并输出至控制器2记录；
S3：控制；控制器2调节气体压力变化并接收压力传感器模组12检测到的变化后的压力信号并记录，多次调节记录后将数据输出至显示模组5；
S4：判断；通过观察显示模组5上的触摸显示屏16显示出的各区域单位时间内的压力差值表来判断研磨头8是否漏气。
本发明在使用时，向控制器2通入气体，控制器2将气体传输至压力传感器模组12内，压力传感器模组12将气体调节好压力后输送至气路连接器6，气路连接器6将气体输送至研磨头8，研磨头8内部气体由上而下传输至研磨头8的下表面，研磨头8正下方处的压力传感器模组12接收到研磨头8下表面压力变化的信号并输出至控制器2记录，控制器2通过控制压力传感器模组12改变气体的压力并重复上述步骤继续测量得到压力变化信号并记录，然后控制器2将多次测量的变化信号输出至显示模组5上的触摸显示屏16上，在触摸显示屏16上显示出各个压力传感器测量的各区域单位时间内的压力差值，依照此差值判断研磨头8的情况，差值较小且稳定，则表示研磨头8较为完好，若某个区域差值较大，则可能出现漏气情况，若差值较小但差值上下浮动不稳定，则表示研磨头8的表面磨损较为严重。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (1)
1.一种研磨头离线测试平台，包括控制箱(1)，其特征在于，所述控制箱(1)内安装有执行机构和检测机构，所述控制箱(1)的内侧壁上分别对称安装有两个第一卡板(9)和第二卡板(10)，两个所述第一卡板(9)和两个第二卡板(10)上分别滑动插设有第一抽板(3)和第二抽板(11)，所述执行机构安装在第一抽板(3)上，所述检测机构安装在第二抽板(11)上；
所述执行机构从上到下依次分为气路连接器(6)、金属头箍(7)和研磨头(8)；
所述气路连接器(6)固定安装在控制箱(1)的内顶壁上，所述气路连接器(6)的上端开设有多个第一连接气孔；
所述气路连接器(6)的下端与研磨头(8)的上端连接安装，且气路连接器(6)与研磨头(8)的连接处锁紧安装有金属头箍(7)；
所述研磨头(8)通过金属头箍(7)和气路连接器(6)悬挂在控制箱(1)的内顶壁上；
所述检测机构包括压力传感器模组(12)和控制器(2)；
所述压力传感器模组(12)包括多个可扩展模组条(13)，所述压力传感器模组(12)固定安装在第二抽板(11)的上端，所述压力传感器模组(12)上安装有第二连接气孔(14)，所述控制器(2)固定安装在控制箱(1)的侧壁上，所述控制器(2)上安装有第三连接气孔(15)；
所述控制箱(1)的侧壁内开设有管线通道(4)，所述管线通道(4)包括三个连通孔，三个所述连通孔分别设置在控制箱(1)的内顶壁和控制箱(1)的内侧壁位于第二抽板(11)上方的相邻两处，所述管线通道(4)内布置有气管，所述第二连接气孔(14)分别与第一连接气孔和第三连接气孔(15)通过气管连接；
所述控制箱(1)的上顶壁上嵌设安装有显示模组(5)，所述显示模组(5)上安装有触摸显示屏(16)，所述显示模组(5)通过串口线穿设在管线通道(4)内与控制器(2)连接；
依据上述研磨头离线测试平台的离线测试方法，包括以下步骤：
S1：通气；气流从控制箱(1)的外部压入控制器(2)内，控制器(2)将气流传输至压力传感器模组(12)内，压力传感器模组(12)将气流传输至气路连接器(6)；
S2：检测；气路连接器(6)将气流输送至研磨头(8)，研磨头(8)内部气体由上而下传输至研磨头(8)的下表面，研磨头(8)正下方处的压力传感器模组(12)接收到研磨头(8)下表面气体压强变化的信号并输出至控制器(2)记录；
S3：控制；控制器(2)调节气体压力变化并接收压力传感器模组(12)检测到的变化后的气体压强信号并记录，多次调节记录后将数据输出至显示模组(5)；
S4：判断；通过观察显示模组(5)上的触摸显示屏(16)显示出的各区域单位时间内的气体压强差值表来判断研磨头(8)是否漏气。
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Citations (3)
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|---|---|---|---|---|
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| CN108723976A (zh) * | 2017-04-21 | 2018-11-02 | 株式会社荏原制作所 | 泄漏检测方法、以及记录有用于执行该泄漏检测方法的程序的计算机可读取记录介质 |
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