CN110548710B - 基板清洗装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及基板清洗装置，更具体地涉及以可倾斜的方式设置刷子，从而能够精密地清洗基板的弯曲表面的基板清洗装置。本发明提供一种基板清洗装置，其特征在于，包括：刷单元，包括用于清洗基板的刷子和配置刷子的刷主体；驱动电机，用于驱动刷子；支撑框架，支撑驱动电机，与刷主体相连；驱动力传送单元，包括驱动力传送轴，驱动力传送轴与驱动电机相连并用于将驱动电机的旋转力传递到刷子；倾斜电机，设置在支撑框架的一侧，用于倾斜刷主体；以及倾斜力传送单元，一侧与倾斜电机相连，另一侧与刷主体相连，将倾斜电机的旋转力传递到刷主体，以便以对应基板的弯曲表面的方式倾斜刷主体。

Description

基板清洗装置

技术领域

本发明涉及基板清洗装置，更具体地，涉及以可倾斜的方式设置刷子，从而能够精密地清洗基板的弯曲表面的基板清洗装置。

背景技术

通常，平板显示装置包括实质上显示图像的平板显示面板，在平板显示面板的制造中使用由玻璃或石英材质构成的大面积基板。

平板显示面板是对基板反复进行各种工序而制成的，但在这些工序中，必须包括用于除去附着在基板上的灰尘、有机物等的清洗工序。

作为用于清洗基板的方法之一，具有利用刷子的方式。利用刷子的方式包括利用辊刷和利用圆盘型的盘刷的基板清洗方法。盘刷是通过将圆盘面接触到基板的状态下进行旋转来进行对基板的清洗。

此时，利用刷子的基板清洗方法通常是使用传送部件向一个方向传送基板的同时进行清洗。另外，由于盘刷的圆盘直径相对于基板的宽度是相当小的，因此，使用沿着垂直于基板传送方向的方向以列的形式配置多个刷子来对传送的基板进行清洗的方式。

但是，当利用这种以往的盘刷来对基板的弯曲表面进行清洗时，存在基板的弯曲表面无法很好地接触盘刷而无法均匀地清洗基板的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献：韩国公开专利公报第10-2009-005143号(2009.05.22公开公告，发明名称：基板清洗装置)

发明内容

发明要解决的问题

本发明要解决的问题在于提供一种基板清洗装置，其通过以对应于基板的曲面的方式倾斜刷子，能够精密地清洗具有曲面的基板。

用于解决问题的手段

为了解决上述问题，本发明提供一种基板清洗装置，包括：刷单元，包括用于清洗基板的刷子和配置上述刷子的刷主体；驱动电机，用于驱动上述刷子；支撑框架，支撑上述驱动电机，与上述刷主体相连；驱动力传送单元，包括驱动力传送轴，上述驱动力传送轴与上述驱动电机相连，用于将上述驱动电机的旋转力传递到上述刷子；倾斜电机，设置在上述支撑框架的一侧，用于倾斜上述刷主体；以及倾斜力传送单元，一侧与上述倾斜电机相连，另一侧与上述刷主体相连，将上述倾斜电机的旋转力传递到上述刷主体，以便以对应上述基板的弯曲表面的方式倾斜上述刷主体。

上述刷主体可包括：基座框架，用于设置上述刷子；以及设置框架，设置在上述基座框架的上面，与上述驱动力传送单元、上述倾斜力传送单元结合。

上述驱动力传送单元还可包括：第一锥齿轮，结合到上述驱动力传送轴的一侧；第二锥齿轮，与上述第一锥齿轮啮合；第二齿轮轴，结合到上述第二锥齿轮，可旋转地设置在上述支撑框架的两侧；第三锥齿轮，配置为从上述第一锥齿轮隔开一定间隔，与上述第二锥齿轮啮合；以及驱动滑轮，一侧结合到上述刷子，另一侧结合到上述第三锥齿轮，以旋转上述刷子。

上述刷子可包括与上述驱动力传送轴相连的第一刷子，和分别配置在上述第一刷子的两侧并与上述第一刷子一起旋转的多个第二刷子。

上述驱动滑轮可包括与上述第一刷子结合的第一驱动滑轮和与上述第二刷子结合的第二驱动滑轮。

上述驱动力传送单元还可包括将上述第一驱动滑轮的旋转力传递到上述第二驱动滑轮的驱动力传送带。

另外，上述驱动力传送单元还可包括张力调节滑轮，其可旋转地设置在上述刷主体上，并设置为与上述驱动力传送带的外侧面紧密接触，以调节上述驱动力传送带的张力。

根据本发明的另一实施方式，上述驱动力传送单元还可包括：第一锥齿轮，结合到上述驱动力传送轴的一端；第二锥齿轮，与上述第一锥齿轮啮合；第二齿轮轴，结合到上述第二锥齿轮，可旋转地设置在上述支撑框架的两侧；驱动齿轮，结合到上述第二齿轮轴，通过上述第二齿轮轴的旋转而旋转；以及刷齿轮，一侧结合到上述刷子，另一侧与上述驱动齿轮啮合，以旋转上述刷子

上述刷子可包括第一刷子和多个第二刷子，上述多个第二刷子分别配置在上述第一刷子的两侧，与上述第一刷子一起旋转。

上述刷齿轮可包括与上述第一刷子结合的第一刷齿轮和与上述第二刷子结合的第二刷齿轮。

上述驱动齿轮可包括与上述第一刷齿轮啮合的第一驱动齿轮和与上述第二刷齿轮啮合的第二驱动齿轮。

上述刷主体的下面具有曲率部，沿着上述曲率部设置上述第二刷子，并且，能够以相对于上述第二驱动齿轮倾斜一定角度的方式配置上述第二刷齿轮。

根据本发明的基板清洗装置还可包括支撑部件，上述支撑部件设置在上述刷主体上，并与上述第二齿轮轴可旋转地结合，以在上述刷主体上支撑上述第二齿轮轴。

上述倾斜力传送单元可包括：倾斜力传送轴，被配置为与上述驱动力传送轴偏心；连接部件，一侧与上述倾斜电机轴结合，另一侧与上述倾斜力传送轴的一侧铰接；倾斜支架，设置在上述刷主体上，以通过上述倾斜力传送轴的移动而倾斜上述刷主体；以及支架结合部，一侧结合到上述倾斜支架，另一侧铰接到上述倾斜力传送轴的另一侧。

上述第一刷子以上述驱动力传送轴的旋转中心为基准偏心地配置在上述刷主体上，上述第二刷子以Z字形排列在上述第一刷子的两侧。

附图说明

图1是示意性地示出根据本发明的一实施例的基板清洗装置的前方结构的立体图。

图2是示意性地示出根据本发明的一实施例的基板清洗装置的后方结构的立体图。

图3是用于说明根据本发明的一实施例的基板清洗装置的驱动力传送单元的图。

图4是用于说明根据本发明的一实施例的基板清洗装置的刷单元倾斜的状态的图。

图5是示意性地示出根据本发明的一实施例的基板清洗装置的左右方向传送装置和上下方向传送装置的图。

图6是示意性地示出根据本发明的另一实施例的基板清洗装置的前方结构的立体图。

图7是示意性地示出根据本发明的另一实施例的基板清洗装置的后方结构的立体图。

图8是用于说明根据本发明的另一实施例的基板清洗装置的驱动力传送单元的图。

具体实施方式

以下，将参照本发明的优选实施例的附图进行说明，上述实施例可以具体实现上述要解决的问题。在说明本实施例时，对相同的结构使用相同的名称和相同的符号，并在下文中省略对此的附加说明。

图1是示意性地示出根据本发明的一实施例的基板清洗装置的前方结构的立体图，图2是示意性地示出根据本发明的一实施例的基板清洗装置的后方结构的立体图，图3是用于说明根据本发明的一实施例的基板清洗装置的驱动力传送单元的图。

另外，图4是用于说明根据本发明的一实施例的基板清洗装置的刷单元倾斜的状态的图，图5是示意性地示出根据本发明的一实施例的基板清洗装置的左右方向传送装置和上下方向传送装置的图。其中，图4中的(a)示出了刷主体倾斜前的状态，图4中的(b)示出了刷主体已倾斜的状态，图5中的虚线示出了通过左右方向传送装置使清洗装置移动到基板的弯曲表面方向的状态。

参照图1至图5，根据本发明的一实施例的基板清洗装置包括刷单元100、驱动电机200、驱动力传送单元400、倾斜电机700、以及倾斜力传送单元800。

如图1和图2所示，刷单元100可包括刷子110和刷主体120。

刷子是用于清洗基板(图5中的10)的结构，在本实施例中呈现了使用圆盘形的盘刷为刷子的情况，刷子110可包括第一刷子111和第二刷子112。

此时，第一刷子111可设置在后述的刷主体120上，并设置为以刷主体120的宽度方向中心为基准偏向于任一侧，而且，可与驱动力传送轴410相连从而旋转。即，第一刷子111以驱动力传送轴410的旋转中心为基准在刷主体120上偏心地配置。

多个第二刷子112可以设置在第一刷子111的两侧，并且可与第一刷子111一起旋转。

第二刷子112以第一刷子111为基准配置在第一刷子111的两侧，并且，可沿着刷主体120的长度方向配置为Z字形。

这里，配置刷主体120为Z字形的原因是：在刷主体120上以第一刷子111为基准均衡地配置第二刷子112，从而能够将后述的驱动力传送轴410的旋转力均匀地传递到各刷子111、112。

刷主体120可包括基座框架121和形成在基座框架121的上部的设置框架122，基座框架121和设置框架122可形成为一体。

此时，第一刷子111和第二刷子112可设置在基座框架121的下部。

设置框架122与驱动力传送单元400、倾斜力传送单元800结合。另外，在设置框架122上设置有后述的支撑部件600，并且，支撑框架300以支撑部件600为媒介与刷主体120相连。

即，当刷主体120倾斜时，相对于固定状态的支撑框架300，支撑部件600以设置在支撑部件600和支撑框架300之间的第一轴承310为基准，和刷主体120一起旋转。

第二刷轴112a可被配置为与第一刷轴111a平行。

另外，在刷主体120倾斜之前，第一刷轴111a和第二刷轴112a相对于驱动力传送轴410呈平行配置的状态，当刷主体120倾斜时，第一刷轴111a和第二刷轴112a可相对于驱动力传送轴410呈倾斜配置的状态。

另外，第一刷轴111a和第二刷轴112a可设置为贯通基座框架121和设置框架122，第一刷子111的轴可与后述的第一驱动滑轮461结合，第二刷子112的轴可与第二驱动滑轮462结合。

因此，第一刷子111和第二刷子112配置在基座框架121的下方，第一驱动滑轮461和第二驱动滑轮462配置在设置框架122的上方。

驱动电机200可将驱动力供应到后述的驱动力传送单元400，以驱动刷子110。

支撑框架300可以设置并固定于后述的上下方向传送装置1000。

此时，驱动电机200可设置在支撑框架300的上部。

驱动力传送单元400和驱动电机200相连，因而能够将驱动电机200的旋转力传递到刷子110。

如图3所示，驱动力传送单元400可包括驱动力传送轴410、第一锥齿轮420、第二锥齿轮430、第二齿轮轴440、第三锥齿轮450、以及驱动滑轮460。

驱动力传送轴410可配置在支撑框架300的内部，并且，可沿垂直于基板(图5中的10)的第一方向配置，而且，与驱动电机200相连，因而能够通过驱动电机200的操作而旋转。

此时，驱动电机200和驱动力传送轴410之间的连接可通过连接联轴器220来实现。

即，连接联轴器220的一侧和驱动电机轴210结合，另一侧和驱动力传送轴410的一侧结合，从而能够连接驱动电机200和驱动力传送轴410。

第一锥齿轮420和驱动力传送轴410的另一侧结合，因而能够和驱动力传送轴410一起旋转。

第二锥齿轮430能够和第一锥齿轮420啮合，并且，可与第一锥齿轮420联动从而旋转。

可沿第二方向设置第二齿轮轴440。第二齿轮轴440结合到第二锥齿轮430，因而可通过第二锥齿轮430的旋转来旋转第二齿轮轴440，上述第二方向垂直于设置驱动力传送轴410的第一方向。

此时，第二齿轮轴440的两端能够可旋转地设置在支撑框架300的下端的两侧。

另外，在支撑框架300的两侧可设置有第一轴承310，以使第二齿轮轴340在支撑框架300上进行旋转，在上述支撑框架300上设置有第二齿轮轴440。

因此，当第二锥齿轮430旋转时，第二齿轮轴440可在支撑框架300上进行旋转。

另外，在刷主体120上可具备用于支撑第二齿轮轴440的支撑部件600。

支撑部件600可包括：一对垂直支撑部件610，设置在设置框架122上；水平支撑部件620，安装在一对垂直支撑部件610的上部并与一对垂直支撑部件610结合；以及一对第二齿轮轴支撑部件630，以从水平支撑部件620的两端向下方突出的方式形成。

此时，第二齿轮轴440的两端能够可旋转地结合到一对第二齿轮轴支撑部件630。

另外，在一对第二齿轮轴支撑部件630上可设有第二轴承631，使得第二齿轮轴440能够可旋转地结合。

结果，第二齿轮轴440通过支撑构件600可旋转地支撑在刷主体120上，上述支撑构件600包括一对第二齿轮轴支撑部件630。支撑框架300可由第二齿轮轴440和第一轴承310支撑。

以从第一锥齿轮420间隔一定距离的方式配置第三锥齿轮450，而且，第三锥齿轮450能够和第二锥齿轮430啮合。

此时，第三锥齿轮450能够和第二锥齿轮430联动而旋转。

驱动滑轮460的一侧与第一刷子111结合，另一侧结合到第三锥齿轮450，因此，可通过第三锥齿轮450的旋转来旋转第一刷子111。

驱动滑轮460可包括与第一刷子111结合的第一驱动滑轮461和与第二刷子112结合的第二驱动滑轮462。

根据本发明的一实施例的驱动力传送单元400还可包括驱动力传送带470，驱动力传送带470在卷绕于第一驱动滑轮461和第二驱动滑轮462的状态下，将第一驱动滑轮461的旋转力传递到第二驱动滑轮462。

即，当第一驱动滑轮461旋转时，与第一驱动滑轮461结合的第一刷子111旋转，而且，第一驱动滑轮461的旋转力通过驱动力传送带470传递到第二驱动滑轮462，因而随着第二驱动滑轮462的旋转，第二刷子112旋转。

另外，驱动力传送单元400还可包括用于调节驱动力传送带470的张力的张力调节滑轮480。

张力调节滑轮480可旋转地设置在设置框架122上，并且，可设置为与驱动力传送带470的外侧面紧密接触。

此时，对应于各驱动滑轮461、462，在刷主体120上可设置有多个张力调节滑轮480。

即，当第一驱动滑轮461和第二驱动滑轮462旋转时，张力调节滑轮480通过调节卷绕在第一驱动滑轮461和第二驱动滑轮462的驱动力传送带470的张力，能够防止驱动力传送带470从第一驱动滑轮461和第二驱动滑轮462脱离。

倾斜电机700可设置在支撑框架300的一侧，而且，能够移动后述的倾斜力传送轴810以倾斜刷主体。

倾斜力传送单元800能够以对应于基板的弯曲表面11的方式倾斜刷主体120。这种倾斜力传送单元800可包括倾斜力传送轴810、连接部件820、倾斜支架830、以及支架结合部840。

倾斜力传送轴810被配置为与驱动力传送轴410偏心。

可通过连接部件820连接倾斜电机700和倾斜力传送轴810。

连接部件820的一侧与倾斜电机700的轴结合，另一侧与倾斜力传送轴810铰接，从而连接倾斜电机700和倾斜力传送轴810。

当倾斜电机700正旋转或逆旋转时，连接部件820向上部方向或下部方向移动，由此，倾斜力传送轴810向上部方向或下部方向移动。

倾斜支架830设置在刷主体120上，通过倾斜力传送轴810的移动而旋转，从而能够倾斜刷主体120。

支架结合部840的一侧可以结合到倾斜支架830，另一侧可以铰接到倾斜力传送轴810的另一侧。

此时，支架结合部840可包括：支架结合部主体841，与倾斜支架830结合；以及传送轴结合部842，形成为从支架结合部主体841的两侧朝向倾斜力传送轴810突出，与倾斜力传送轴810的另一侧铰接。

此时，在传送轴结合部842上可形成有旋转槽842a，以便使倾斜力传送轴810的另一侧在铰接的状态下进行旋转。

如图4中的(a)和图4中的(b)所示，当倾斜力传送轴810通过倾斜电机700的正反方向的旋转而沿上下方向移动时，倾斜支架830通过倾斜力传送轴810倾斜，从而使刷主体120以第二齿轮轴440的旋转中心为基准倾斜。

此时，在刷主体120连接到支撑框架300的状态下，刷主体120相对于支撑框架300倾斜。

倾斜支架830可设置在设置框架122的上面，而且，倾斜支架830的两侧能够与一对垂直支撑部件610结合。

如图5所示，根据本发明的一实施例的基板清洗装置还可以包括：左右方向传送装置900，设置在腔室C的内部，用于沿左右方向传送刷单元100，上述腔室C具有清洗基板10的空间；以及上下方向传送装置1000，设置在左右方向传送装置900上，用于沿上下方向传送刷单元100。

左右方向传送装置900可使用龙门型的传送装置。

支撑框架300可设置在上下方向传送装置1000上，通过上下方向传送装置1000的操作操作，支撑框架300沿上下方向移动，从而能够调节基板10和刷子110之间的间隔。

此外，通过左右方向传送装置900的操作，支撑框架300和上下方向传送装置1000一起向左右方向移动。

结果，具有如下优点：通过左右方向传送装置900使支撑框架300沿左右方向移动，通过上下方向传送装置1000来调节基板10和刷子之间的间隔，通过以对应于基板的弯曲表面11的方式倾斜刷子来进行清洗，能够精细地清洗包括基板的弯曲表面11在内的基板10的整个表面。

在下文中，将说明根据本发明的一实施例的基板清洗装置的操作过程。

首先，将基板10安装在诸如托盘P的基板传送装置，并将基板10传送到腔室C的内部，以清洗基板10。

先说明对基板10的表面相对平坦的基板10区域进行清洗的情况，即，操作上下方向传送装置1000，使第一刷子111和第二刷子112接触基板10的表面。

接着，操作驱动电机200以清洗基板10。

当驱动电机200操作时，驱动力传送轴410旋转，而且，第一锥齿轮420和驱动力传送轴410联动，因而旋转。

当第一锥齿轮420旋转时，第二锥齿轮430旋转，并且，第二齿轮轴440旋转。

当第二锥齿轮430旋转时，第三锥齿轮450旋转，而且，第一驱动滑轮461通过第三锥齿轮450进行旋转，从而使第一刷子111旋转。

此时，第一驱动滑轮461的旋转力通过驱动力传送带470传递到第二驱动滑轮462，从而使第二驱动滑轮462旋转。

当第二驱动滑轮462旋转时，第二刷子112旋转，使得第一刷子111和第二刷子112同时旋转以清洗相对平坦的基板10的表面。

接着，通过左右方向传送装置900将支撑框架300移动到基板的弯曲表面11侧以清洗基板的弯曲表面11。

此时，通过上下方向传送装置1000来调节基板的弯曲表面11和刷子之间的间隔，该间隔是随着第一刷子111和第二刷子112移动到基板的弯曲表面11而产生的。

为了以对应于基板的弯曲表面11的方式倾斜刷主体120，操作倾斜电机700。

当倾斜电机700操作时，倾斜力传送轴810移动，并且，以倾斜支架830为媒介倾斜刷主体120。

此时，刷主体120以第二齿轮轴440的旋转中心为基准倾斜。

当刷主体120倾斜时，操作驱动电机200以旋转第一刷子111和第二刷子112。

这样，第一刷子111、第二刷子112就会和基板的弯曲表面11紧密接触，从而实现清洗。

当然，本发明不限于此，也可以同时驱动倾斜电机700和驱动电机200。这样，在第二齿轮轴440旋转的状态下，相对于支撑框架300，刷主体120以第二齿轮轴440的旋转中心为基准倾斜。

以下，将参照图6至图8来说明根据本发明的另一实施例的基板清洗装置。

图6是示意性地示出根据本发明的另一实施例的基板清洗装置的前方结构的立体图，图7是示意性地示出根据本发明的另一实施例的基板清洗装置的后方结构的立体图，图8是用于说明根据本发明的另一实施例的基板清洗装置的驱动力传送单元的图。

参照图6至图8，根据本发明另一实施例的基板清洗装置包括刷单元100、驱动电机200、支撑框架300、驱动力传送单元400、倾斜电机700、以及倾斜力传送单元800。

在说明根据本发明的另一实施例的基板清洗装置时，对与上述的本发明的一实施例的基板清洗装置相同的结构标注相同的附图标记，并省略详细的说明。

刷单元100可包括刷子110和刷主体120。

根据本发明的另一实施例的刷子110和上述的本发明的一实施例相同，可包括第一刷子111和以第一刷子111为基准分别配备在两侧的多个第二刷子112。

第一刷子111以驱动力传送轴410的旋转中心轴为基准偏心地配置在刷主体120的一侧。第二刷子112以第二齿轮轴440为基准可以以Z字形配置在两侧。

刷主体120可包括：基座框架121，设置有第一刷子111和第二刷子112；以及设置框架122，设置在基座框架121的上面，与驱动力传送单元400、倾斜力传送单元800结合。

此时，在基座框架121的下面可具有曲率部121a，而且，可以沿着曲率部121a设置第二刷子112。

即，通过沿着曲率部121a来设置第二刷子112，第二刷子112的中心轴被配置为倾斜于驱动力传送轴410的旋转中心轴。

结果，通过沿着曲率部121a配置第二刷子112以及第二刷子112被设置为倾斜于驱动力传送轴410的旋转中心轴，对应于基板的弯曲表面11，第二刷子112能够更紧密地接触基板的弯曲表面11。

由于根据本发明的另一实施例的驱动电机200、支撑框架300的结构与本发明的一实施例中说明的驱动电机200、支撑框架300的结构相同，因而省略详细的说明。

如图8所示，驱动力传送单元400可包括驱动力传送轴410、第一锥齿轮420、第二齿轮轴430、第二齿轮轴440、驱动齿轮490、以及刷齿轮510。

驱动力传送轴410、第一锥齿轮420、以及第二锥齿轮430的结构与本发明的一实施例中说明的驱动力传送轴410、第一锥齿轮420、以及第二锥齿轮430的结构相同，因而省略详细的说明。

另外，与本发明的一实施例不同，第二齿轮轴440沿着刷主体120的长度方向较长地形成。

多个第二驱动齿轮492能够沿着第二齿轮轴440的长度方向以一定的间隔进行结合。

另外，在刷主体120上可具有用于支撑第二齿轮轴440的支撑部件600。

此时，多个支撑部件600能够以一定的间隔设置在设置框架122上，而且，在设置框架122上可具有用于固定支撑部件的固定槽122a。

驱动齿轮490结合到第二齿轮轴440，因而，可通过第二齿轮轴440的旋转而旋转。

刷齿轮510的一侧结合到刷子110，另一侧与驱动齿轮490结合，从而旋转刷子110。

驱动齿轮490可包括第一驱动齿轮491和第二驱动齿轮492，刷齿轮510可包括第一刷齿轮511和第二刷齿轮512。

更具体地，第一刷齿轮511的一侧可与第一刷子111结合，另一侧可与第一驱动齿轮491结合。

此外，第二刷齿轮512的一侧可与第二刷子112结合，另一侧可与第二驱动齿轮492结合。

此时，由于沿着曲率部121a设置第二刷子112，因而优选的是，相对于第二驱动齿轮492，第二刷子112以倾斜一定角度的方式配置。

倾斜电机700和倾斜力传送单元800的结构与上述的本发明的一实施例中的倾斜电机700的结构相同，因而省略详细的说明。

在下文中，对根据本发明的另一实施例的第一刷子111和第二刷子112的操作过程进行说明。

操作驱动电机200以清洗基板10。

当驱动电机200操作时，驱动力传送轴410旋转，而且，第一锥齿轮420和驱动力传送轴410联动，因而旋转。

当第一锥齿轮420旋转时，第二锥齿轮430旋转，并且，第二齿轮轴440旋转。

此时，第一驱动齿轮491、第二驱动齿轮492与第二齿轮轴440一起旋转。

当第一驱动齿轮491旋转时，第一刷子111齿轮旋转以使第一刷子111旋转。而且，当第二驱动齿轮492旋转时，第二刷子112的齿轮旋转以使第二刷子112旋转。因此，能够清洗基板10的表面。

如上所述，根据本发明的基板清洗装置，通过以对应于基板的弯曲表面的方式倾斜刷子，能够使基板的弯曲表面和刷子紧密接触而进行清洗，因此，具有最大限度地提高基板的清洗力的效果。

另外，根据本发明的基板清洗装置具备上下方向传送装置，因而具有能够调节刷子和基板之间的间隔的效果。

另外，根据本发明的基板清洗装置在刷主体上形成有曲率部，并且，沿着曲率部配置刷子，因而具有能够将刷子紧密接触于基板的弯曲表面的效果。

如上所述，参照附图对本发明的优选实施例进行了说明，但是，所属领域的技术人员在不脱离上述的权利要求范围中所记载的本发明的构思和领域的范围内，能够对本发明进行各种修改或变更。

Claims (6)

1.一种基板清洗装置，其特征在于，包括：

刷单元，包括用于清洗基板的刷子和配置所述刷子的刷主体；

驱动电机，用于驱动所述刷子；

支撑框架，支撑所述驱动电机，以支撑部件为媒介与所述刷主体相连；

上下方向传送装置，使所述支撑框架沿上下方向移动并沿上下方向传送所述刷单元；

左右方向传送装置，使所述上下方向传送装置与所述支撑框架一起沿左右方向移动并沿左右方向传送所述刷单元；

驱动力传送单元，包括驱动力传送轴，所述驱动力传送轴与所述驱动电机相连并用于将所述驱动电机的旋转力传递到所述刷子；

倾斜电机，设置在所述支撑框架的一侧，用于倾斜所述刷主体；以及

倾斜力传送单元，具备倾斜力传送轴，所述倾斜力传送轴的一侧与所述倾斜电机相连，另一侧与所述刷主体相连，将所述倾斜电机的旋转力传递到所述刷主体，以便以对应沿所述左右方向弯曲的所述基板的表面的方式倾斜所述刷主体，

所述驱动力传送单元还包括：第一锥齿轮，结合到所述驱动力传送轴的一侧；第二锥齿轮，与所述第一锥齿轮啮合；以及第二齿轮轴，两端部可旋转地设置在所述支撑框架和所述支撑部件上并结合到所述第二锥齿轮以将所述驱动力传送轴的旋转力传递到所述刷子，

所述倾斜力传送单元还包括：连接部件，一侧与所述倾斜电机轴结合，另一侧与所述倾斜力传送轴的一侧铰接；倾斜支架，设置在所述刷主体上，通过所述倾斜力传送轴的移动而使所述刷主体和所述支撑部件以所述第二齿轮轴为中心倾斜；以及支架结合部，一侧结合到所述倾斜支架，另一侧铰接到所述倾斜力传送轴的另一侧，

所述刷主体沿长度方向较长地形成，并以对应沿所述长度方向弯曲的所述基板的表面的方式在下面设置有曲率部，

所述刷子包括第一刷子和多个第二刷子，所述多个第二刷子对应所述曲率部具有一定角度倾斜配置，以便可以相对于所述长度方向以Z字形配置在所述第一刷子的两侧并与沿所述长度方向弯曲的所述基板的表面紧密接触，

倾斜前所述刷子与沿所述长度方向弯曲的所述基板的表面紧密接触，并随着所述左右方向传送装置和所述上下方向传送装置的移动，在对应沿所述左右方向弯曲的所述基板的表面倾斜的同时与弯曲的所述基板的表面紧密接触。

2.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，所述刷主体包括：

基座框架，用于设置所述刷子；以及

设置框架，设置在所述基座框架的上面，与所述驱动力传送单元、所述倾斜力传送单元结合。

3.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，所述驱动力传送单元还包括：

驱动齿轮，结合到所述第二齿轮轴，通过所述第二齿轮轴的旋转而旋转；以及

刷齿轮，一侧结合到所述刷子，另一侧与所述驱动齿轮啮合，以旋转所述刷子。

4.根据权利要求3所述的基板清洗装置，其特征在于，

所述刷齿轮包括与所述第一刷子结合的第一刷齿轮和与所述第二刷子结合的第二刷齿轮，

所述驱动齿轮包括与所述第一刷齿轮啮合的第一驱动齿轮和与所述第二刷齿轮啮合的第二驱动齿轮。

5.根据权利要求4所述的基板清洗装置，其特征在于，

以相对于所述第二驱动齿轮倾斜一定角度的方式配置所述第二刷齿轮。

6.根据权利要求4所述的基板清洗装置，其特征在于，

所述第一刷子以所述驱动力传送轴的旋转中心为基准偏心地配置在所述刷主体上。

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