CN110487054A - 一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置 - Google Patents

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胡苏安
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Abstract

本发明公开了一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，包括输送机构，所述输送机构的上端固定连接有支撑板，所述输送机构左端的支撑板的上端固定连接有下料机构，所述输送机构右端的支撑板的上端固定连接有上料机构，所述下料机构与上料机构之间安装有烘干机构，所述输送机构的右端安装有导料机构，所述导料机构的下端固定连接有支撑柱与振动电机，所述振动电机位于支撑柱之间，所述导料机构的左端安装有定量机构，所述导料机构的右端固定连接有接料机构，所述接料机构的下端放置有净水机构。该硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，不仅实现了生产过程中的连续上下料，还能连续生产，既降低了劳动强度，也提高了生产效率。

Description

一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置
技术领域
本发明涉及硅片加工设备设备技术领域，具体为一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置。
背景技术
硅片，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，在很多领域中都有涉及。硅片的生产需要经过切割、磨边、热处理、清洗、干燥、检测等工艺，干燥过程中，需要干燥设备进行配合使用。
然而，现在硅片的生产中对硅片的干燥，需要人工将硅片分散在干燥设备中进行干燥，干燥结束后，再由人工将其取出，无法自动上下料，劳动强度大，也无法连续生产，降低了硅片的干燥效率，同时干燥效果差，影响硅片下一工序的加工。
发明内容
本发明的目的在于提供一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，以解决上述背景技术中提出现在硅片的生产中对硅片的干燥，需要人工将硅片分散在干燥设备中进行干燥，干燥结束后，再由人工将其取出，无法自动上下料，劳动强度大，也无法连续生产，降低了硅片的干燥效率，同时干燥效果差，影响硅片下一工序的加工的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，包括输送机构，所述输送机构的上端固定连接有支撑板，所述输送机构左端的支撑板的上端固定连接有下料机构，所述输送机构右端的支撑板的上端固定连接有上料机构，所述下料机构与上料机构之间安装有烘干机构，所述输送机构的右端安装有导料机构，所述导料机构的下端固定连接有支撑柱与振动电机，所述振动电机位于支撑柱之间，所述导料机构的左端安装有定量机构，所述导料机构的右端固定连接有接料机构，所述接料机构的下端放置有净水机构。
优选的，所述输送机构包括机架，所述机架的左上端转动连接有主动轴，所述机架的右上端转动连接有从动轴，所述主动轴与从动轴通过输送带传动连接，且输送带采用网状结构设计，所述输送带的外侧等间距固定连接有六个防护条，所述机架的左下端固定连接有驱动电机，所述驱动电机与主动轴的一端通过皮带传动连接。
优选的，所述支撑板关于输送机构的竖直中心线对称设置有两个，且支撑板采用倒立的半包围结构设计。
优选的，所述下料机构包括下料电机，所述下料电机的上端传动连接有左连接杆的一端，所述左连接杆的另一端固定连接有左安装板，所述左安装板的上端固定连接有下料气缸，所述下料气缸的活动端穿过左安装板固定连接有左分流管，所述左分流管的下端等间距固定连接有五个下料吸盘，所述左分流管的右端固定连接有下料管的一端，所述下料管的另一端与下料风机相互接通。
优选的，所述上料机构包括上料电机，所述上料电机的上端传动连接有右连接杆的一端，所述右连接杆的另一端固定连接有右安装板，所述右安装板的上端固定连接有上料气缸，所述上料气缸的活动端穿过右安装板固定连接有右分流管，所述右分流管的下端等间距固定连接有五个上料吸盘，所述右分流管的右端固定连接有上料管的一端，所述上料管的另一端与上料风机相互接通。
优选的，所述烘干机构包括烘干箱，所述烘干箱的边侧对称固定连接有两个烘干风机，所述烘干风机的风口固定连接有上连接管的一端，所述上连接管的另一端固定连接有下连接管，所述下连接管之间固定连接有干燥管，且干燥管采用“O”型结构设计，所述干燥管的内侧对称固定连接有两组干燥风嘴，且干燥风嘴位于烘干箱的内部，所述输送带的上端穿过干燥管的内部。
优选的，所述导料机构包括底板，所述底板的上端等间距固定连接有六个侧挡板，且底板的左右两端水平设计，并且底板的中间采用倾斜结构设计，所述底板的左端固定连接有边挡板，所述定量机构的两侧与外侧的侧挡板通过调节螺栓相互锁紧，所述定量机构包括定量板，所述定量板与侧挡板卡合连接，所述定量板的右下端固定连接有弧形板。
优选的，所述支撑柱包括支撑杆，所述支撑杆的下端固定连接有弹簧和限位杆，且限位杆位于弹簧的内部，所述弹簧的下端固定连接有底座杆，且底座杆的上端与限位杆的下端活动连接。
优选的，所述接料机构包括接料斗，所述接料斗的内部固定连接有分离网，且分离网采用倾斜设计，所述接料斗的下端固定连接有导水管。
优选的，所述净水机构包括净水箱，所述净水箱内部的左右两端对称开设有两个卡槽，所述卡槽的内部卡合安装有卡块，所述卡块之间固定连接有过滤网，且过滤网为内部填充有活性炭颗粒的网，所述过滤网的上端对称固定连接有两个把手。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1、该硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，通过输送机构的添加，由驱动电机驱动皮带，带动硅片由一端移至另一端，实现硅片的连续干燥，提高了硅片的生产效率；
2、该硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，通过上料机构与下料结构的添加，利用电机的旋转、气缸的升降以及风机的吸附，将硅片进行转运，实现了硅片干燥过程中自动上下料，无需人工摆放与拿取，降低了硅片生产过程中的劳动强度；
3、该硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，通过烘干风机、干燥管与干燥风嘴的配合使用，可对硅片进行干燥，同时输送带采用网状结构设计增大了硅片与热风的接触面积，使得硅片的干燥效果大大提高；
4、该硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，通过导料机构、定量机构与接料机构的配合使用，可将清洗后的硅片直接进行整理，方便上料机构对硅片的上料；
5、该硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，通过净水机构的添加，可将分离后的清洗液进行过滤，确保清洗液可循环使用，降低了生产成本。
附图说明
图1为本发明整体结构示意图；
图2为本发明主视结构示意图；
图3为本发明俯视结构示意图；
图4为本发明输送机构结构示意图；
图5为本发明下料机构结构示意图；
图6为本发明上料机构结构示意图；
图7为本发明干燥风嘴分布结构示意图；
图8为本发明定量机构结构示意图；
图9为本发明净水机构结构示意图；
图10为本发明A处放大结构示意图。
图中：1、输送机构；2、支撑板；3、下料机构；4、上料机构；5、烘干机构；6、导料机构；7、支撑柱；8、振动电机；9、定量机构；10、接料机构；11、净水机构；12、机架；13、主动轴；14、从动轴；15、输送带；16、防护条；17、驱动电机；18、皮带；31、下料电机；32、左连接杆；33、左安装板；34、下料气缸；35、左分流管；36、下料吸盘；37、下料管；38、下料风机；41、上料电机；42、右连接杆；43、右安装板；44、上料气缸；45、右分流管；46、上料吸盘；47、上料管；48、上料风机；51、烘干箱；52、烘干风机；53、上连接管；54、下连接管；55、干燥管；56、干燥风嘴；61、底板；62、侧挡板；63、边挡板；64、调节螺栓；71、支撑杆；72、弹簧；73、限位杆；74、底座杆；91、定量板；92、弧形板；101、接料斗；102、分离网；103、导水管；111、净水箱；112、卡槽；113、卡块；114、过滤网；115、把手。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-10，本发明提供一种技术方案：一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，包括输送机构1，输送机构1的上端固定连接有支撑板2，输送机构1左端的支撑板2的上端固定连接有下料机构3，输送机构1右端的支撑板2的上端固定连接有上料机构4，下料机构3与上料机构4之间安装有烘干机构5，输送机构1的右端安装有导料机构6，导料机构6的下端固定连接有支撑柱7与振动电机8，振动电机8位于支撑柱7之间，导料机构6的左端安装有定量机构9，导料机构6的右端固定连接有接料机构10，接料机构10的下端放置有净水机构11。
进一步的，输送机构1包括机架12，机架12的左上端转动连接有主动轴13，机架12的右上端转动连接有从动轴14，主动轴13与从动轴14通过输送带15传动连接，且输送带15采用网状结构设计，输送带15的外侧等间距固定连接有六个防护条16，机架12的左下端固定连接有驱动电机17，驱动电机17与主动轴13的一端通过皮带18传动连接，便于硅片生产过程中的输送，实现硅片的连续生产。
进一步的，支撑板2关于输送机构1的竖直中心线对称设置有两个，且支撑板2采用倒立的半包围结构设计，确保下料机构3与上料机构4的稳定安装。
进一步的，下料机构3包括下料电机31，下料电机31的上端传动连接有左连接杆32的一端，左连接杆32的另一端固定连接有左安装板33，左安装板33的上端固定连接有下料气缸34，下料气缸34的活动端穿过左安装板33固定连接有左分流管35，左分流管35的下端等间距固定连接有五个下料吸盘36，左分流管35的右端固定连接有下料管37的一端，下料管37的另一端与下料风机38相互接通，确保硅片的自动下料。
进一步的，上料机构4包括上料电机41，上料电机41的上端传动连接有右连接杆42的一端，右连接杆42的另一端固定连接有右安装板43，右安装板43的上端固定连接有上料气缸44，上料气缸44的活动端穿过右安装板43固定连接有右分流管45，右分流管45的下端等间距固定连接有五个上料吸盘46，右分流管45的右端固定连接有上料管47的一端，上料管47的另一端与上料风机48相互接通，确保硅片的自动上料。
进一步的，烘干机构5包括烘干箱51，烘干箱51的边侧对称固定连接有两个烘干风机52，烘干风机52的风口固定连接有上连接管53的一端，上连接管53的另一端固定连接有下连接管54，下连接管54之间固定连接有干燥管55，且干燥管55采用“O”型结构设计，干燥管55的内侧对称固定连接有两组干燥风嘴56，且干燥风嘴56位于烘干箱51的内部，输送带15的上端穿过干燥管55的内部，确保硅片的充分烘干。
进一步的，导料机构6包括底板61，底板61的上端等间距固定连接有六个侧挡板62，且底板61的左右两端水平设计，并且底板61的中间采用倾斜结构设计，底板61的左端固定连接有边挡板63，定量机构9的两侧与外侧的侧挡板62通过调节螺栓64相互锁紧，定量机构9包括定量板91，定量板91与侧挡板62卡合连接，定量板91的右下端固定连接有弧形板92，确保对落下的硅片进行整理，确保每次只有单排硅片落下。
进一步的，支撑柱7包括支撑杆71，支撑杆71的下端固定连接有弹簧72和限位杆73，且限位杆73位于弹簧72的内部，弹簧72的下端固定连接有底座杆74，且底座杆74的上端与限位杆73的下端活动连接，确保导料机构6的振动。
进一步的，接料机构10包括接料斗101，接料斗101的内部固定连接有分离网102，且分离网102采用倾斜设计，接料斗101的下端固定连接有导水管103，将硅片与清洗液分离。
进一步的，净水机构11包括净水箱111，净水箱111内部的左右两端对称开设有两个卡槽112，卡槽112的内部卡合安装有卡块113，卡块113之间固定连接有过滤网114，且过滤网114为内部填充有活性炭颗粒的网，过滤网114的上端对称固定连接有两个把手115，对清洗液中的杂质进行过滤，确保清洗液的循环使用。
工作原理：首先，将装置移至清洗装置的处，将接料斗101放在清洗装置出料口的下方，将调节螺栓64旋出，调节定量板91与底板61之间的距离，确保定量板91与底板61之间的距离大于一个硅片的厚度，并且小于两个硅片的厚度，确保只能一个硅片经过，通过外接控制件启动装置，将清洗装置的出料口打开，硅片与清洗液落入接料机构10的内部，分离网102将硅片与清洗液分离，清洗液落入净水机构11的内部，净水机构11内的过滤网114将清洗液中的杂质进行过滤与吸附，便于清洗液的循环使用，振动电机8支撑杆71以上部分振动，在振动的作用下，硅片落在侧挡板62之间，依次由左至右有序下落，硅片在定量板91与弧形板92的作用下，只能允许单个硅片落至导料机构6的左端，上料机构4动作，上料电机41转动180°，上料气缸44将上料吸盘46下压，当上料吸盘46与硅片接触时，上料风机48吸风，通过上料吸盘46将硅片吸起，上料气缸44将硅片提起，上料电机41反向转动180°，上料气缸44将硅片下放至输送带15上，然后，上料机构4复位，驱动电机17通过皮带18带动主动轴13转动，在主动轴13与从动轴14的作用下，输送带15将硅片缓慢往输送带15的另一端输送，烘干风机52将热风通过干燥风嘴56送至硅片的两面，通过热风将硅片进行充分干燥，当硅片干燥结束移至输送带15的左端时，下料气缸34将下料吸盘36下压，当下料吸盘36与硅片表面接触时，下料风机38通过下料吸盘36将硅片吸起，下料气缸34将硅片提起，下料电机31转动180°，下料气缸34将硅片下放，下料风机38将硅片放下，硅片落至输送装置上，移至下一工序，下料机构3复位，按照上述过程，实现硅片的自动上下料，同时还能连续充分烘干。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，包括输送机构(1)，其特征在于：所述输送机构(1)的上端固定连接有支撑板(2)，所述输送机构(1)左端的支撑板(2)的上端固定连接有下料机构(3)，所述输送机构(1)右端的支撑板(2)的上端固定连接有上料机构(4)，所述下料机构(3)与上料机构(4)之间安装有烘干机构(5)，所述输送机构(1)的右端安装有导料机构(6)，所述导料机构(6)的下端固定连接有支撑柱(7)与振动电机(8)，所述振动电机(8)位于支撑柱(7)之间，所述导料机构(6)的左端安装有定量机构(9)，所述导料机构(6)的右端固定连接有接料机构(10)，所述接料机构(10)的下端放置有净水机构(11)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，其特征在于：所述输送机构(1)包括机架(12)，所述机架(12)的左上端转动连接有主动轴(13)，所述机架(12)的右上端转动连接有从动轴(14)，所述主动轴(13)与从动轴(14)通过输送带(15)传动连接，且输送带(15)采用网状结构设计，所述输送带(15)的外侧等间距固定连接有六个防护条(16)，所述机架(12)的左下端固定连接有驱动电机(17)，所述驱动电机(17)与主动轴(13)的一端通过皮带(18)传动连接。
3.根据权利要求1所述的一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，其特征在于：所述支撑板(2)关于输送机构(1)的竖直中心线对称设置有两个，且支撑板(2)采用倒立的半包围结构设计。
4.根据权利要求1所述的一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，其特征在于：所述下料机构(3)包括下料电机(31)，所述下料电机(31)的上端传动连接有左连接杆(32)的一端，所述左连接杆(32)的另一端固定连接有左安装板(33)，所述左安装板(33)的上端固定连接有下料气缸(34)，所述下料气缸(34)的活动端穿过左安装板(33)固定连接有左分流管(35)，所述左分流管(35)的下端等间距固定连接有五个下料吸盘(36)，所述左分流管(35)的右端固定连接有下料管(37)的一端，所述下料管(37)的另一端与下料风机(38)相互接通。
5.根据权利要求1所述的一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，其特征在于：所述上料机构(4)包括上料电机(41)，所述上料电机(41)的上端传动连接有右连接杆(42)的一端，所述右连接杆(42)的另一端固定连接有右安装板(43)，所述右安装板(43)的上端固定连接有上料气缸(44)，所述上料气缸(44)的活动端穿过右安装板(43)固定连接有右分流管(45)，所述右分流管(45)的下端等间距固定连接有五个上料吸盘(46)，所述右分流管(45)的右端固定连接有上料管(47)的一端，所述上料管(47)的另一端与上料风机(48)相互接通。
6.根据权利要求1所述的一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，其特征在于：所述烘干机构(5)包括烘干箱(51)，所述烘干箱(51)的边侧对称固定连接有两个烘干风机(52)，所述烘干风机(52)的风口固定连接有上连接管(53)的一端，所述上连接管(53)的另一端固定连接有下连接管(54)，所述下连接管(54)之间固定连接有干燥管(55)，且干燥管(55)采用“O”型结构设计，所述干燥管(55)的内侧对称固定连接有两组干燥风嘴(56)，且干燥风嘴(56)位于烘干箱(51)的内部，所述输送带(15)的上端穿过干燥管(55)的内部。
7.根据权利要求1所述的一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，其特征在于：所述导料机构(6)包括底板(61)，所述底板(61)的上端等间距固定连接有六个侧挡板(62)，且底板(61)的左右两端水平设计，并且底板(61)的中间采用倾斜结构设计，所述底板(61)的左端固定连接有边挡板(63)，所述定量机构(9)的两侧与外侧的侧挡板(62)通过调节螺栓(64)相互锁紧，所述定量机构(9)包括定量板(91)，所述定量板(91)与侧挡板(62)卡合连接，所述定量板(91)的右下端固定连接有弧形板(92)。
8.根据权利要求1所述的一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，其特征在于：所述支撑柱(7)包括支撑杆(71)，所述支撑杆(71)的下端固定连接有弹簧(72)和限位杆(73)，且限位杆(73)位于弹簧(72)的内部，所述弹簧(72)的下端固定连接有底座杆(74)，且底座杆(74)的上端与限位杆(73)的下端活动连接。
9.根据权利要求1所述的一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，其特征在于：所述接料机构(10)包括接料斗(101)，所述接料斗(101)的内部固定连接有分离网(102)，且分离网(102)采用倾斜设计，所述接料斗(101)的下端固定连接有导水管(103)。
10.根据权利要求1所述的一种硅片生产用可自动上下料的连续烘干装置，其特征在于：所述净水机构(11)包括净水箱(111)，所述净水箱(111)内部的左右两端对称开设有两个卡槽(112)，所述卡槽(112)的内部卡合安装有卡块(113)，所述卡块(113)之间固定连接有过滤网(114)，且过滤网(114)为内部填充有活性炭颗粒的网，所述过滤网(114)的上端对称固定连接有两个把手(115)。
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