CN110480408A - 加工设备 - Google Patents

加工设备 Download PDF

Info

Publication number
CN110480408A
CN110480408A CN201910820618.5A CN201910820618A CN110480408A CN 110480408 A CN110480408 A CN 110480408A CN 201910820618 A CN201910820618 A CN 201910820618A CN 110480408 A CN110480408 A CN 110480408A
Authority
CN
China
Prior art keywords
vacuum
processing storehouse
process equipment
storage bin
subassembly
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201910820618.5A
Other languages
English (en)
Inventor
张宗超
韩硕
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Wald Beijing Diamond Tool Ltd Co
Original Assignee
Wald Beijing Diamond Tool Ltd Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wald Beijing Diamond Tool Ltd Co filed Critical Wald Beijing Diamond Tool Ltd Co
Priority to CN201910820618.5A priority Critical patent/CN110480408A/zh
Publication of CN110480408A publication Critical patent/CN110480408A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q11/00Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

本发明提供了一种加工设备,该加工设备包括:壳体,壳体具有加工仓;刀具,设置在加工仓内,刀具用于对工件进行加工处理;真空组件,与加工仓连接,真空组件用于对加工仓进行真空处理;控制装置,与真空组件电连接,控制装置用于控制真空组件工作,以调节加工仓内的真空度。通过本申请提供的技术方案,能够解决现有技术中的刀具易损耗的问题。

Description

加工设备
技术领域
本发明涉及加工设备技术领域,具体而言,涉及一种加工设备。
背景技术
通常,利用机床对工件进行加工时,刀具的刀尖处的切削温度高达几百度,甚至上千度,若此时刀具与空气中的氧气等腐蚀气体接触,刀具会被腐蚀,对刀具造成损耗。
在现有技术中,通常采用切削液冷却的方式降低刀具的温度,以避免刀具在高温状态被氧气腐蚀。但是,采用切削液的方式,刀具仍会与腐蚀气体接触,存在刀具易损耗的问题。
发明内容
本发明提供一种加工设备,以解决现有技术中的刀具易损耗的问题。
本发明提供了一种加工设备,加工设备包括:壳体,壳体具有加工仓;刀具,设置在加工仓,刀具用于对工件进行加工处理;真空组件,与加工仓连接,真空组件用于对加工仓进行真空处理;控制装置,与真空组件电连接,控制装置用于控制真空组件工作,以调节加工仓内的真空度。
进一步地,真空组件包括:真空泵,设置在壳体外,真空泵与加工仓连通,真空泵与控制装置电连接,真空泵用于对加工仓进行真空处理;第一真空计,设置在加工仓内,第一真空计与控制装置电连接,第一真空计用于测量加工仓内的真空度。
进一步地,真空组件还包括第一阀门,真空泵与加工仓之间具有第一管路,真空泵通过第一管路与加工仓连通,第一阀门设置在第一管路上。
进一步地,壳体具有储料仓,储料仓与加工仓之间设置有运送通道,运送通道具有使储料仓与加工仓连通的连通状态和封闭状态。
进一步地,真空组件还包括第二阀门,真空泵与储料仓之间具有第二管路,真空泵通过第二管路与储料仓连通,第二阀门设置在第二管路上。
进一步地,加工设备还包括运送件,运送件可移动地设置在壳体内,运送件用于使工件在加工仓与储料仓之间移动。
进一步地,真空组件还包括仓门,仓门设置在储料仓的外壁上,仓门用于拿取或存放工件。
进一步地,真空组件还包括第二真空计,第二真空计设置在储料仓内,第二真空计用于测量储料仓内的真空度。
进一步地,加工设备还包括过滤组件,过滤组件设置在加工仓与真空组件连通的管路上。
进一步地,加工设备还包括密封件。
进一步地,加工设备还包括注入组件,注入组件与加工仓和/或储料仓连通,注入组件与控制装置电连接,注入组件用于向加工仓和/或储料仓注入惰性气体。
进一步地,加工设备还包括冷却组件,冷却组件与加工仓连通,冷却组件用于对加工仓进行冷却。
应用本发明的技术方案,该加工设备包括壳体、刀具、真空组件以及控制装置。其中,壳体具有加工仓,刀具设置在加工仓内,利用刀具用于对工件进行加工处理。通过将真空组件与加工仓连接,可以利用真空组件对加工仓进行真空处理,以使加工仓内部形成真空的加工空间,从而可以将刀具与氧气等腐蚀气体隔绝,避免刀具被腐蚀而发生损耗。并且,将控制装置与真空组件电连接,利用控制装置控制真空组件工作,可以调节加工仓内的真空度,保证加工仓内的真空效果。
附图说明
构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解,本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明,并不构成对本发明的不当限定。在附图中:
图1示出了根据本发明实施例提供的加工设备的示意图。
其中,上述附图包括以下附图标记:
10、壳体;11、加工仓;12、储料仓;
21、真空泵;22、第一真空计;23、第一阀门;24、第二阀门;25、第二真空计;
30、第一管路;
40、第二管路。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的,决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
如图1所示,本发明实施例提供一种加工设备,该加工设备包括壳体10、刀具、真空组件以及控制装置。其中,壳体10具有加工仓11。具体的,刀具设置在加工仓11内,可以利用刀具对工件进行加工处理。通过将真空组件与加工仓11连接,利用真空组件对加工仓11进行真空处理,以使加工仓11内部形成真空空间,当利用刀具对工件进行加工时,处于高温状态的刀具不会与氧气等腐蚀气体发生反应,可以降低刀具的氧化磨损。其中,控制装置与真空组件电连接,控制装置用于控制真空组件工作,操作人员可以利用控制装置调节加工仓11内的真空度,能够根据不同工况调节加工仓11内的真空度,使加工仓11内的真空度维持在某一数值或范围内。
应用本实施例提供的加工设备,通过将真空组件与加工仓11连接,利用真空组件对加工仓11进行真空处理,以使加工仓11内部形成真空的加工空间。当利用刀具对工件进行加工时,真空的加工空间可以将刀具与氧气等腐蚀气体隔绝,避免刀具被腐蚀发生氧化磨损。并且,操作人员可以利用控制装置调节加工仓11内的真空度,从而提升装置的使用灵活性。采用上述方式,相比于现有技术中采用切削液的方式,由于切削液对生态环境和人类自身会造成诸多不良影响,现有方式难以适应清洁生产和绿色制造的要求,利用真空组件对加工仓11进行真空处理,具有环保以及对人体没有伤害等优点。
具体的,真空组件包括真空泵21和第一真空计22。在本实施例中,真空泵21设置在壳体10外,第一真空计22设置在加工仓11内,通过将真空泵21与加工仓11连通,可以利用真空泵21对加工仓11进行真空处理。并且,真空泵21和第一真空计22均与控制装置电连接,在加工过程中,利用第一真空计22测量加工仓11内的真空度,控制装置根据第一真空计22测量的真空度,可以对真空泵21进行控制,以调节加工仓11内的真空度。
在本实施例中,真空组件还包括第一阀门23,真空泵21与加工仓11之间设置有第一管路30,真空泵21通过第一管路30与加工仓11连通。具体的,第一阀门23设置在第一管路30上,可以利用第一阀门23控制真空泵21与加工仓11的连通状态。其中,第一阀门23可以与控制装置电连接,当第一真空计22检测到加工仓11内的真空度与预设值不符时,可以利用控制装置打开第一阀门23,并控制真空泵21对加工仓11进行真空处理,以调整加工仓11内的真空度。其中,第一阀门23可以为电磁阀。
为了提高加工效率,避免频繁对设备进行抽真空处理,壳体10还具有储料仓12,可以利用储料仓12对工件进行储存。其中,储料仓12与加工仓11之间设置有运送通道,运送通道具有使储料仓12与加工仓11连通的连通状态和封闭状态。具体的,可以将储料仓12的真空度设置为与加工仓11的真空度相同,当工件在加工仓11内进行加工时,可以将储料仓12与加工仓11设置为封闭状态,当需要对加工仓11内的工件进行更换时,再将储料仓12与加工仓11设置为连通状态,以使工件可以在加工仓11和储料仓12之间进行运送。采用上述设置,若加工仓11和储料仓12其中一个的真空度发生变化时,只需要针对性地对其进行真空处理即可,如此既可以提高加工效率,又可以降低设备的能耗。在本实施例中,运送通道上设置有运送阀门,当运送阀门处于打开状态时,运送通道处于连通状态,当运送阀门处于封闭状态时,运送通道处于封闭状态。其中,运送阀门包括电磁阀。
其中,真空组件还包括第二阀门24,真空泵21与储料仓12之间具有第二管路40,真空泵21通过第二管路40与储料仓12连通。具体的,第二阀门24设置在第二管路40上,可以利用第二阀门24控制真空泵21与储料仓12的连通状态。当需要对储料仓12进行真空处理时,可以将第二阀门24打开,以使真空泵21与储料仓12处于连通状态,然后利用控制装置控制真空泵21对储料仓12进行真空处理。其中,第二阀门24可以为电磁阀。
具体的,加工设备还包括运送件,运送件可移动地设置在壳体10内,运送件用于使工件在加工仓11与储料仓12之间移动。利用运送件可以将未被加工的工件从储料仓12运送至加工仓11内,并将工件装载至加工仓11内的夹具上,利用刀具对工件进行加工。当完成对工件的加工后,利用运送件可以将加工完成的工件从加工仓11内的夹具上卸载下来,并将工件运送至储料仓12内。通过设置储料仓12,并在储料仓12与加工仓11之间设置运送件,在对工件进行更换时,无需破坏加工仓11或储料仓12的真空环境,能够持续对工件进行加工,可以提高加工效率。其中,在本实施例中,运送件为机械手。
在本实施例中,真空组件还包括仓门,通过将仓门设置在储料仓12的外壁上,能够利用仓门拿取或存放工件。当需要对设备内的工件进行批量更换时,可以先将加工仓11与储料仓12设置为封闭状态,并将仓门打开,以对工件进行拿取或存放。采用上述方式,在对设备内的工件进行批量更换时,无需破坏加工仓11内的真空环境,在完成对工件的更换后,只需要单独对储料仓12进行真空处理即可,如此可以降低设备的能耗。
具体的,真空组件还包括第二真空计25,第二真空计25设置在储料仓12内,利用第二真空计25可以测量储料仓12内的真空度。并且,可以将第二真空计25和第二阀门24均与控制装置电连接,使控制装置根据第二真空计25测量的数值对第二阀门24和真空泵21的工作状态进行调整,以调节储料仓12内的真空度。
其中,加工设备还包括过滤组件,过滤组件设置在加工仓11与真空组件连通的管路上。具体的,可以将过滤组件设置在在加工仓11与真空组件的连通处,如此能够防止加工仓11内的切屑等物质进入管路内,避免堵塞管路。
为了提升设备的密封性能,加工设备还包括密封件。在本实施例中,加工设备的各部件的连接处均设置有密封件,尤其是壳体10与真空组件之间。具体的,可以将密封件设置在壳体10与管路的连接处、壳体10与主轴的连接处、管路与阀门的连接处以及管路与真空泵21的连接处。采用上述结构,由于加工设备的各部件之间均设置有密封件,密封件可以将各部件之间的缝隙封堵住,外界的空气不会通过各部件之间的缝隙进入加工设备内部,从而可以保证设备的真空度。
其中,加工设备还包括注入组件,注入组件与加工仓11和储料仓12连通,且注入组件与控制装置电连接。当利用真空泵21对加工仓11和储料仓12完成真空处理后,可以通过控制装置控制注入组件向加工仓11和储料仓12注入惰性气体,利用惰性气体将刀具和工件与氧气等腐蚀气体隔绝,可以对刀具和工件起到保护作用。其中,惰性气体包括氮气。具体的,控制装置可以控制注入组件的气体注入速度和注入压力,以根据加工需求选择合适的注入速度和注入压力。
在本实施例中,加工设备还包括冷却组件,冷却组件与加工仓11连通,冷却组件用于对加工仓11进行冷却。通过冷却组件可以向加工仓11内的刀具的刀尖和工件加工位置喷射液氮等冷却气体,如此既可以对刀具和工件进行冷却,又可以进一步降低刀具周围的氧气等腐蚀气体的含量,以对刀具和工件起到保护作用。
并且,当利用注入组件或冷却组件向加工仓11和储料仓12内注入惰性气体或冷却气体后,如果需要将设备门打开,使加工仓11或储料仓12与外界连通,需要先对设备抽真空,并将设备内的惰性气体或冷却气体并排到室外,然后破除设备内部真空状态后再将设备门打开,避免设备内的惰性气体或冷却气体对操作人员造成窒息等危害。
其中,该加工设备可以为车床、铣床、加工中心、专机等加工设备。并且,该加工设置可以根据加工需求设计成单工序加工,也可以设计为多工序加工,如此能够提升装置的使用多样性。
本实施例提供的装置,通过对装置的壳体10、阀门、主轴等位置进行密封处理,并将真空组件与壳体10内的加工仓11和储料仓12连通,以对装置进行真空处理,使得装置在加工过程中保持真空状态。在真空状态下由于刀具与氧气等腐蚀气体隔绝,刀具材料的耐高温性会得到很大的提升,从而可以减少热损伤对刀具的耗损,降低加工成本,提高加工效率,改善加工工件的表面效果。并且,由于在真空状态下气体的密度降低,不利于热量的传输。当加工设备内部为真空时,可以阻止加工产生的热量传输到机床主轴、刀塔和轨道,避免各部件因热胀冷缩而产生热变形,从而可以提升机床的加工精度。
需要注意的是,这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式,而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的,除非上下文另外明确指出,否则单数形式也意图包括复数形式,此外,还应当理解的是,当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时,其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
除非另外具体说明,否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本发明的范围。同时,应当明白,为了便于描述,附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论,但在适当情况下,所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中,任何具体值应被解释为仅仅是示例性的,而不是作为限制。因此,示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
在本发明的描述中,需要理解的是,方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,在未作相反说明的情况下,这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明保护范围的限制;方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。
为了便于描述,在这里可以使用空间相对术语,如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等,用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是,空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如,如果附图中的器件被倒置,则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而,示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位),并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。
此外,需要说明的是,使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件,仅仅是为了便于对相应零部件进行区别,如没有另行声明,上述词语并没有特殊含义,因此不能理解为对本发明保护范围的限制。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (12)

1.一种加工设备,其特征在于,所述加工设备包括:
壳体(10),所述壳体(10)具有加工仓(11);
刀具,设置在所述加工仓(11)内,所述刀具用于对工件进行加工处理;
真空组件,与所述加工仓(11)连接,所述真空组件用于对所述加工仓(11)进行真空处理;
控制装置,与所述真空组件电连接,所述控制装置用于控制所述真空组件工作,以调节所述加工仓(11)内的真空度。
2.根据权利要求1所述的加工设备,其特征在于,所述真空组件包括:
真空泵(21),设置在所述壳体(10)外,所述真空泵(21)与所述加工仓(11)连通,所述真空泵(21)与所述控制装置电连接,所述真空泵(21)用于对所述加工仓(11)进行真空处理;
第一真空计(22),设置在所述加工仓(11)内,所述第一真空计(22)与所述控制装置电连接,所述第一真空计(22)用于测量所述加工仓(11)内的真空度。
3.根据权利要求2所述的加工设备,其特征在于,所述真空组件还包括第一阀门(23),所述真空泵(21)与所述加工仓(11)之间具有第一管路(30),所述真空泵(21)通过所述第一管路(30)与所述加工仓(11)连通,所述第一阀门(23)设置在所述第一管路(30)上。
4.根据权利要求2所述的加工设备,其特征在于,所述壳体(10)具有储料仓(12),所述储料仓(12)与所述加工仓(11)之间设置有运送通道,所述运送通道具有使所述储料仓(12)与所述加工仓(11)连通的连通状态和封闭状态。
5.根据权利要求4所述的加工设备,其特征在于,所述真空组件还包括第二阀门(24),所述真空泵(21)与所述储料仓(12)之间具有第二管路(40),所述真空泵(21)通过所述第二管路(40)与所述储料仓(12)连通,所述第二阀门(24)设置在所述第二管路(40)上。
6.根据权利要求4所述的加工设备,其特征在于,所述加工设备还包括运送件,所述运送件可移动地设置在所述壳体(10)内,所述运送件用于使工件在所述加工仓(11)与所述储料仓(12)之间移动。
7.根据权利要求4所述的加工设备,其特征在于,所述真空组件还包括仓门,所述仓门设置在所述储料仓(12)的外壁上,所述仓门用于拿取或存放工件。
8.根据权利要求4所述的加工设备,其特征在于,所述真空组件还包括第二真空计(25),所述第二真空计(25)设置在所述储料仓(12)内,所述第二真空计(25)用于测量所述储料仓(12)内的真空度。
9.根据权利要求1所述的加工设备,其特征在于,所述加工设备还包括过滤组件,所述过滤组件设置在所述加工仓(11)与所述真空组件连通的管路上。
10.根据权利要求1所述的加工设备,其特征在于,所述加工设备还包括密封件。
11.根据权利要求4所述的加工设备,其特征在于,所述加工设备还包括注入组件,所述注入组件与所述加工仓(11)和/或所述储料仓(12)连通,所述注入组件与所述控制装置电连接,所述注入组件用于向所述加工仓(11)和/或所述储料仓(12)注入惰性气体。
12.根据权利要求1所述的加工设备,其特征在于,所述加工设备还包括冷却组件,所述冷却组件与所述加工仓(11)连通,所述冷却组件用于对所述加工仓(11)进行冷却。
CN201910820618.5A 2019-08-29 2019-08-29 加工设备 Pending CN110480408A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910820618.5A CN110480408A (zh) 2019-08-29 2019-08-29 加工设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910820618.5A CN110480408A (zh) 2019-08-29 2019-08-29 加工设备

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN110480408A true CN110480408A (zh) 2019-11-22

Family

ID=68555929

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910820618.5A Pending CN110480408A (zh) 2019-08-29 2019-08-29 加工设备

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110480408A (zh)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5645382A (en) * 1995-09-13 1997-07-08 Cargill Detroit Corporation Controlled atmosphere machining
JP2009274193A (ja) * 2008-05-19 2009-11-26 Kazuya Hirose 密閉室内作業機構
CN104275623A (zh) * 2014-08-01 2015-01-14 张然 金属切削加工中提高工具寿命,降低切削阻力的方法
CN105552001A (zh) * 2015-12-10 2016-05-04 武汉华星光电技术有限公司 一种真空系统
CN208744326U (zh) * 2018-04-04 2019-04-16 昆山市欧凡达精密汽车零件有限公司 一种cnc加工中心用抗氧化放置柜
CN210756686U (zh) * 2019-08-29 2020-06-16 北京沃尔德金刚石工具股份有限公司 加工设备

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5645382A (en) * 1995-09-13 1997-07-08 Cargill Detroit Corporation Controlled atmosphere machining
JP2009274193A (ja) * 2008-05-19 2009-11-26 Kazuya Hirose 密閉室内作業機構
CN104275623A (zh) * 2014-08-01 2015-01-14 张然 金属切削加工中提高工具寿命,降低切削阻力的方法
CN105552001A (zh) * 2015-12-10 2016-05-04 武汉华星光电技术有限公司 一种真空系统
CN208744326U (zh) * 2018-04-04 2019-04-16 昆山市欧凡达精密汽车零件有限公司 一种cnc加工中心用抗氧化放置柜
CN210756686U (zh) * 2019-08-29 2020-06-16 北京沃尔德金刚石工具股份有限公司 加工设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105722634B (zh) 用于高输出的激光修整的系统和方法
CN102379035A (zh) 被处理体的冷却方法和被处理体处理装置
WO2002005313A3 (en) Automated processing system
CN210756686U (zh) 加工设备
CN110480408A (zh) 加工设备
CN106665561A (zh) 一种用于精准医疗的人体细胞样本储存装置
CN106044030B (zh) 一种自锁式插拔挡杆对接机构
CN210654208U (zh) 一种用于存储生物样本的系统
CN209747480U (zh) 工件传输系统及激光退火设备
CN110174258B (zh) 热力膨胀阀静止过热度调节测试设备
KR101639398B1 (ko) 절삭유와 냉기를 동시에 분사하는 무전원 분사장치
CN112614799B (zh) 一种晶圆传输装置及传输方法
CN211916597U (zh) 一种半导体封装用治具夹紧机构
CN107490227A (zh) 一种液氮冷却设备
CN111590642A (zh) 一种搬运机械手的安全防护方法及其搬运机械手
CN109468437B (zh) 一种恒速降温真空退火炉
CN212886531U (zh) 一种数控机床冷却系统
CN210069488U (zh) 气体供给系统
CN214031721U (zh) 二次油气回收在线监测的反馈控制装置
CN209811864U (zh) 机械数控加工中心液压防护天窗
CN220749833U (zh) 一种防爆型压力容器
CN219474274U (zh) 一种节能型箱式电阻炉
CN216806867U (zh) 一种基于自动识别方式的瓶装气智能输送装置
CN220515727U (zh) 一种用于硅片切割的冷却装置
CN207006716U (zh) 带断电保护的酒柜

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination