CN110446666A - 玻璃板用衬垫纸及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明是一种以木材纸浆为原料的玻璃板用衬垫纸，一侧表面上滑石粉的存在比率为10个/100m2以下，在一侧的表面的滑石粉的存在比率与另一侧的表面的滑石粉的存在比率的差为5个/100m2以下。本发明的玻璃板用衬垫纸能解决正反面的状态不同造成的问题。

Description

玻璃板用衬垫纸及其制造方法
技术领域
本发明涉及一种在将多块液晶显示器、等离子体显示器、有机电致发光(有机EL)显示器等平板显示器用玻璃板层叠保存、运输过程中，包装玻璃板的纸及夹在玻璃板之间的纸以及这些纸的制造方法。
背景技术
通常，为了防止在将多块平板显示器用的玻璃板层叠保存的保存和用货车等运输的货流过程中玻璃板之间接触碰撞产生刮痕，或者玻璃表面被外界的污染物质污染，而在玻璃板之间夹一层被称为衬垫纸的纸。
平板面板/显示器用玻璃/板因为是用于高精细显示器中，所以与通常的建築用窗玻璃板、车辆用窗玻璃板等相比，要求玻璃表面保持纸表面所含的杂质尽可能没有的洁净表面，以及为了保持高速回应性和扩大视角，要求平板面板/显示器用玻璃/板平坦度优异。
作为这种用途中所使用的衬垫纸，已经提出有几种可以防止玻璃板破碎和表面划痕的衬垫纸以及不污染玻璃表面的衬垫纸。例如专利文献1中公开了在衬垫纸表面形成一种氟包覆被膜的工艺。另外，专利文献2中公开了一种由聚乙烯类树脂制发泡片材和聚乙烯类树脂制膜贴合而成的衬垫纸，专利文献3中公开了一种由含有漂白化学纸浆按质量计50％以上的纸浆制成的纸，含有特定的烯化氧添加物及水溶性聚醚变性硅胶的玻璃用衬垫纸，而且，专利文献4中公开了一种规定纸中树脂成分的量，使用玻璃表面不被污染的原料制成的玻璃板用衬垫纸。
【现有技术文献】
【专利文献】
【专利文献1】日本专利特开2012-188785号公报
【专利文献2】日本专利特开2010-242057号公报
【专利文献3】日本专利特开2008-208478号公报
【专利文献4】日本专利特开2006-44674号公报
发明内容
发明要解决的课题
例如在TFT液晶显示器的生产工艺之一的阵列工艺中制作滤色器基板时，污染玻璃板表面的情况会发生断路等问题。因为虽然滤色器基板是用溅镀或真空蒸镀方法等在玻璃板上形成半导体膜、ITO膜(透明导电膜)、绝缘膜、铝金属膜等薄膜，但是一旦玻璃板表面存在污染物质时，就会在由薄膜形成的电路板上发生断线或因绝缘膜的缺陷发生短路。另外，在滤色器基板的制作中，通过光刻在玻璃板上形成图案，但是一旦在这个工艺中涂布光刻胶时玻璃板面上存在污染物质，就会在曝光和显影后的光刻胶膜上产生针孔，其结果会发生断路或短路。还在制造有机EL显示器时确认到同样的问题。有机EL显示器是通过溅镀或蒸镀或印刷在玻璃板上形成ITO阳极、有机发光层、阴极等的薄膜，在玻璃板表面存在阻碍薄膜的异物，会发生不发光的问题。
虽然这种玻璃板的污染原因难以确定，但是已查明其原因之一是从玻璃板用衬垫纸的表面转移到玻璃板的表面的微细异物。
而且，已确定这样的杂质之一是滑石粉。
但是，在将玻璃板用衬垫纸夹在玻璃板之间时，当衬垫纸正反面的表面的物理状态存在差异时，有时需要考虑将衬垫纸的特定表面与玻璃板的表面接触。例如，为了在平面显示器用的玻璃板的表面形成有微细电路，要特别避讳哪怕是微量异物的附着，但是，因为一旦这样的玻璃板用衬垫纸的一个表面比另一表面存在更多的异物，则该异物向玻璃板表面转移的危险性就会增大，所以应考虑使玻璃板的表面与衬垫纸的异物少的表面而不是存在许多异物的表面接触。这时，在玻璃板之间夹进两张衬垫纸，我们一般考虑将各衬垫纸的表面中异物存在量较少的一个表面朝向玻璃板，但是因为衬垫纸的使用量增大，衬垫纸和玻璃板层叠体的重量增大，所以从操作方面来看，不优选。
本发明的课题是解决玻璃板用衬垫纸的正反面状态不同造成的上述问题。尤其是本发明的课题是提供一种正反面都可以与玻璃板接触的玻璃板用衬垫纸。
解决课题的手段
为此，经深入探讨，本发明者们降低了玻璃板用衬垫纸滑石粉的含量，并且，通过控制该衬垫纸正反面的滑石粉的存在比率的差异，从而控制了玻璃板用衬垫纸正反面状态的差异，提供了一种正反面都能与玻璃板接触的玻璃板用衬垫纸，完成了本发明。
本发明的第一方面，一种以木材纸浆为原料的玻璃板用衬垫纸，一侧表面上滑石粉的存在比率为10个/100m2以下，在一侧的表面的滑石粉的存在比率与另一侧的表面的滑石粉的存在比率的差为5个/100m2以下。
优选的，所述滑石粉的平均粒径为1～10μm。
所述滑石粉可以与疏水性物质复合。或者，优选的，所述疏水性物质可以包括有机硅。
优选所述滑石粉和疏水性物质的复合形式的平均粒径为大于30μm。
优选为所述玻璃板用衬垫纸的厚度在20～200μm之间。
优选为所述玻璃板用衬垫纸的根据KES法获得的表面摩擦系数的平均偏差(MMD)为0.022以下。
所述玻璃板优选为用于显示器中，更优选为用于TFT液晶显示器用或有机EL显示器中。
本发明的第二实施方式涉及一种玻璃板用衬垫纸的制造方法，制造上述玻璃板用衬垫纸，至少包含：
浆料制备工序，制备木材纸浆的浆料；
片材形成工序，将所述浆料制成片材状；
湿纸调制工序，对所述片材进行脱水形成湿纸；及
干燥工序，将所述湿纸干燥获得所述衬垫纸，
其中在所述湿纸调制工序中从所述片材的两面进行脱水。
优选为通过抽吸进行所述脱水。
优选为，所述片材的一个表面的所述抽吸的脱水比例与另一表面的所述抽吸的脱水比例的差是该另一表面的所述抽吸的脱水比例的10％以下。
优选为所述制造方法包含一追加抽吸工序，对所述干燥工序后的衬垫纸的两面进一步进行抽吸。
另外，本发明还涉及一种层叠体，所述层叠体是本发明的第一实施方式的玻璃板用衬垫纸以及玻璃板的层叠体。
还有，本发明还涉及一种玻璃板保护方法，包含一将本发明的第一实施方式的玻璃板用衬垫纸配置于玻璃板之间工序。
发明效果
本发明的玻璃板用衬垫纸因为所含滑石粉的量较少，而且，控制了该衬垫纸的正反面中滑石粉的存在比率的差异，也抑制玻璃板用衬垫纸的正反面的滑石粉的存在状态的差异。因此，本发明的玻璃板用衬垫纸的正反面都可以与玻璃板接触。由此，本发明的玻璃板用衬垫纸的操作性优异。
另外，玻璃板用衬垫纸原本被卷绕成辊状后进行发货，但是因为在这种卷绕状态下衬垫纸的正面和反面接触，例如，在表面存在的滑石粉较少但反面存在较多滑石粉时，即便欲使衬垫纸的表面与玻璃板的表面接触，在卷绕状态下衬垫纸的反面的滑石粉会移动到表面，该背面的清洁度可能会下降。
但是，因为本发明的玻璃板用衬垫纸即使处于卷绕成辊状状态，也会抑制滑石粉从衬垫纸的一个表面转移到另一表面，因此无需担心卷绕成辊状会导致衬衬垫纸表面的清洁度的下降。
而且，本发明的玻璃板用衬垫纸，因为在表面滑石粉的存在量较少，所以能够有效地抑制甚至避免滑石粉从该衬垫纸转移到玻璃板上的问题。这样，通过控制甚至避免了滑石粉移动到玻璃板上的问题，可以防止TFT液晶显示器等的制备工序中彩色薄膜等的电路断路。
具体实施方式
本发明的第一方面，一种以木材纸浆为原料的玻璃板用衬垫纸，一侧表面上滑石粉的存在比率为10个/100m2以下，在一侧的表面的滑石粉的存在比率与另一侧的表面的滑石粉的存在比率的差为5个/100m2以下。
将针叶树漂白牛皮纸浆(NBKP)、阔叶树漂白牛皮纸浆(LBKP)、针叶树漂白亚硫酸盐纸浆(NBSP)、阔叶树漂白亚硫酸盐纸浆(LBSP)、热磨机械(TMP)等木材纸浆单独制成本发明中可使用的木材纸浆或将它们混合制成本发明中可使用的木材纸浆。以这种木材纸浆为主体，根据需要可以单独使用麻、竹、秸秆、洋麻、桑树、三桠或木棉等非木材纸浆，阳离子化浆料、丝光化浆料等改性浆料、人造丝、维尼纶、尼龙、丙烯、聚酯等合成纤维和化学纤维或微纤维化纸浆。但是，因为一旦纸浆中含有许多树脂成分，该树脂成分有可能会产生污染玻璃板表面的不良影响，所以优选为尽量单独使用树脂成分少的化学浆料，例如针叶树漂白牛皮纸浆。另外，碎木纸浆那样高产率的浆料因为含有许多树脂成分，所以不优选。另外，因为一旦混合合成纤维和化学纤维，虽然磨削性会提升，将衬垫纸制成平版时时的操作性会提升，但是在废弃物处理方面再利用性变差，所以需要注意。
所述木材纸浆的形态没有特别限定，可以是片材状、块状或框状的任意形态。可以使用例如包括线路部分、压榨部分、干燥部分、修整部分的四个工序的浆料机得到片材状纸浆。线路部分使用长网和真空过滤器等对纸浆纤维造纸，压榨部分使用辊压机进行脱水。干燥部分使用圆筒干燥机和破碎干燥机等进行干燥，最后剪掉片材状纸浆的两端卷绕成辊。在纸浆技术协会出版的《纸浆制造技术类列》和《纸浆的制造技术全书》中详细记载这种方法。另外，例如，可以将上述片材状纸浆层叠来获得块状纸浆，另外，例如，可以将上述片材状纸浆粉碎来获得片状纸浆。
所述片材状浆料的厚度优选为0.7～1.5mm，更加优选为0.9～1.3mm，进一步优选为1.0～1.2mm。
所述片材状纸浆的单位面积质量优选为400～1300g/m2，更加优选为500～1200g/m2，进一步优选为500～1100g/m2，进一步优选为500～1000g/m2，进一步优选为700～1000g/m2。
本发明的玻璃板用衬垫纸，对一侧表面上的滑石粉的存在比率限制在10个/100m2以下。在本发明的玻璃板用衬垫纸中，优选在一个表面上的滑石粉的存在比率7个/100m2或更低，更优选5个/100m2或更低，进一步优选3个/100m2或更低，进一步优选1个/100m2或更低，进一步优选0.8个/100m2或更低，进一步优选0.5个/100m2或更低。
在本发明的玻璃板用衬垫纸中，一侧表面上的滑石粉的存在比例与另一侧表面上的滑石粉的存在比例之差优选在5个/100m2以内，优选在4个/100m2以内，更优选在3个/100m2以内，进一步优选在2个/100m2以内，更优选在1个/100m2以内。也就是说，在本发明的玻璃板用衬垫纸中，优选为，一个表面上的滑石粉的比例从另一侧的表面上的滑石粉的存在比例起在上述具体范围内没有大的变化。在此，"存在比例"是指在衬垫纸的表面上的单位面积的滑石粉的数量，例如可以通过用电子显微镜对玻璃板用衬垫纸的表面的多处进行放大观察，并对在该部位观察到的滑石粉的数量进行平均计算来确定。或者，作为另一方法，用水或浓硫酸等酸性溶液充分地洗涤玻璃板用衬垫纸的规定面积的表面，对脱落的滑石粉进行计数，由此也能够决定滑石粉的存在比例。
本发明的玻璃板用衬垫纸的表面，因为所含滑石粉的量较少，而且，控制了该衬垫纸的正反面中滑石粉的存在比率的差异，也抑制玻璃板用衬垫纸的正反面的物理状态的差异。因此，本发明的玻璃板用衬垫纸，表面滑石粉的存在比率，在衬垫纸的正反面没有大的差异。因此，可以使本发明的玻璃板用衬垫纸的正反面的任一面与玻璃板接触。
本发明中的滑石粉没有特别限定。滑石粉被称为“含水硅酸镁”，其化学式可以由4SiO2·3MgO·H2O表示。化学组成因产地而略有不同，理论值为SiO2 64.4％，MgO 31.8％，烧失量(水分)4.7％的重量比。滑石粉也被称为滑石。
所述滑石粉的平均粒径没有特别限定，优选为1～10μm，更优选为1～8μm，进一步更优选为1～6μm，特别优选为1～4μm。所述平均粒径可以是体积平均粒径，例如可以通过激光衍射散射法进行测定。
所述滑石粉的表面积没有特别限定，但优选为根据BET法所得的比表面积为大于1m2/g，更优选为大于10m2/g，进一步更优选为大于20m2/g。
所述滑石粉的密度没有特别限定，优选为基于JIS K5101所得的表观密度为小于1g/ml，更优选为小于0.8g/ml，进一步更优选为小于0.6g/ml，进一步更优选为小于0.4g/ml，进一步更优选为小于0.2g/ml。
滑石粉的表面较亲脂性，比如，吸附了有机硅等疏水性的物质，可以与疏水性物质复合。滑石粉比如在水中可以吸附有机硅等疏水性物质。本发明的滑石粉可以与疏水性物质复合。滑石粉与疏水性物质，特别是有机硅的复合化形态没有特别限定，可以是滑石粉的至少一部分被疏水性物质覆盖，或滑石粉的至少一部分浸透疏水性物质。
优选为所述滑石粉和疏水性物质的复合形式的平均粒径为大于30μm，更优选为大于40μm，进一步更优选为大于50μm。
所述疏水性物质并没有特别限定。疏水性物质优选为非挥发性，油(硅油除外。更优选为选自例如脂肪族烃、植物油、动物油、合成甘油、脂肪族醇、脂肪酸、脂肪族醇及/或脂肪酸酯)、树脂(有机硅除外)、有机硅、沥青、橡胶以及这些混合物成的群中，进一步更优选的为有机硅。
作为脂肪族烃，可以列举例如直链状或支链状烃、尤其是矿物油(液体石蜡等)、石蜡、凡士林也就是矿脂、萘等；氢化聚异丁烯、异二十烷、癸烯、PARLEAM等氢化聚异丁烯及癸烯/丁烯共聚物；以及这些的混合物。
作为其他脂肪族烃的例子，还可以列举直链状或支链状、或根据情况环状C6～C16低级烷烃。可以列举的例子包含己烷、十一烷、十二烷、十三烷及异石蜡例如异十六烷及异癸烷。
作为植物油的例子，可以列举例如亚麻籽油、山茶油、澳洲坚果油、向日葵油、杏油、大豆油、阿拉拉(arara)油、榛子油、玉米油、橄榄油、鳄梨油、山茶花油、蓖麻油、红花油、霍霍巴油、杏仁油、葡萄种子油、胡麻油、花生油及这些的混合物。
作为动物油的例子，可以列举例如水貂油、角鲨烷、全氢角鲨烷及角鲨烯。
作为合成甘油的例子，可以列举例如辛酸/癸酸三甘油。
脂肪酸应采取酸性形态(也就是说，为了避免形成肥皂，不能是盐的形态)，可以饱和，也可以不饱和，含有6～30个碳原子、尤其是9～30个碳原子，被任意选择的尤其是一个或多个羟基(尤其是1～4个)取代过。当脂肪酸不饱和时，这个化合物可以含有1～3个共轭或非共轭碳-碳双键。从例如肉豆蔻酸、棕榈酸、硬脂酸、山萮酸、油酸、亚油酸、亚麻酸及异硬脂酸中选择脂肪酸。
“脂肪族醇”用语在本说明书中意指任意的饱和且是直链状或支链状C8～C30醇，被任意选择的尤其是一个或多个羟基(尤其是1～4个)取代过。
脂肪族醇中，优选为C12～C22脂肪族醇，更优选为C16～C18饱和脂肪族醇。这些脂肪族醇中，可以列举月桂醇、鲸蜡醇、硬脂醇、异硬脂醇、油醇、山萮醇、十一醇、肉豆蔻醇及这些脂肪族醇的混合物。
作为脂肪酸及/或脂肪族醇的酯的例子，尤其是可以列举饱和或不饱和的直链状或支链状C1～C26脂肪族一元酸或多元酸的酯、及饱和或不饱和的直链状或支链状C1～C26脂肪族一元醇或多元醇的酯，优选为酯的总碳数是10以上。
树脂(有机硅除外)只要是疏水性树脂，就没有特别限定。作为树脂，可以列举例如聚烯烃、聚苯乙烯、聚(甲基)丙烯酸酯、聚丙烯酰胺、聚氯乙烯、聚偏氯乙烯、聚丙烯腈、聚酯、聚碳酸酯、聚酰胺、聚酰亚胺等热塑性树脂、聚氨酯、三聚氰胺树脂、尿素树脂等热固化性树脂及这些树脂的混合物。
作为有机硅，可以列举硅油。硅油具有疏水性，它的分子结构可以是环状、直链状、支链状中任一种。25℃下的硅油的动态黏度通常在0.65～100000mm2/s的范围内，也可以在0.65～10000mm2/s的范围内。
作为硅油，可以列举例如直链状有机聚硅氧烷、环状有机聚硅氧烷及支链状有机聚硅氧烷。
作为直链状有机聚硅氧烷、环状有机聚硅氧烷及支链状有机聚硅氧烷，可以列举例如由下述通式(1)、(2)及(3)：
R1 3SiO-(R1 2SiO)a-SiR1 3 (1)
【化1】
R1 (4-c)Si(OSiR1 3)c (3)
(式中，R1分别独立为氢原子、羟基或选自被取代或未被取代的一价烃基、烷氧基所示的基团中的基团，
a是0～1000の整数，
b是3～100的整数，
c为1～4的整数，优选为2～4的整数)
所表示的有机聚硅氧烷。
被取代或未被取代的一价烃基典型的是被取代或未被取代的碳原子数1～30，优选为碳原子数1～10，更优选为碳原子数1～4的一价饱和烃基；被取代或未被取代的碳原子数2～30，优选为碳原子数2～10，更优选为碳原子数2～6的一价不饱和烃基；碳原子数6～30，更优选为碳原子数6～12的一价芳香族烃基。
作为碳原子数1～30的一价饱和烃基，可以列举例如甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基等直链或支链状烷基以及环戊基、环己基、环庚基、环辛基等环烷基。
作为碳原子数2～30的一价不饱和烃基，可以列举例如乙烯基、1-丙烯基、烯丙基、异丙烯基、1-丁烯基、2-丁烯基、戊烯基、己烯基等直链或支链状烯基；环戊烯基、环己烯基等环烯基；环戊烯基乙基、环己烯基乙基、环己烯基丙基等环烯基烷基；及乙炔基、丙炔基等炔基。
作为碳原子数6～30的一价芳香族烃基，可以列举例如苯基、甲苯基、二甲苯基、均三甲苯基等芳基。优选为苯基。另外，在本说明书中，芳香族烃基除仅由芳香族烃基组成的基团以外，还包含芳香族烃和脂肪族饱和烃复合所得的基团。作为芳香族烃和饱和烃复合所得的基团的例子，可以列举例如苄基、苯乙基等芳烷基。
上述一价烃基上的氢原子可以被1个以上的取代基取代，该取代基选自由例如卤素原子(氟原子、氯原子、溴原子及碘原子)、包含羟基、甲醇基、环氧基、缩水甘油基、酰基、羧基、胺基、甲基丙烯酸基、巯基、酰胺基、氧基亚烷基等在内的有机基组成的群。具体地说，可以列举3,3,3-三氟丙基、3-氯丙基、3-羟基丙基、3-(2-羟基乙氧基)丙基、3-羧基丙基、10-羧基癸基、3-异氰酸酯丙基等。
作为烷氧基，列举甲氧基、乙氧基、丙氧基等，优选为甲氧基或乙氧基，更优选为甲氧基。
更具体地说，作为直链有机硅氧烷，例示分子链两末端被三甲基甲硅烷氧基封端的二甲基聚硅氧烷(2m Pa·s或6m Pa·s等低黏度～1,000000mPa·s等高黏度的二甲基有机硅)、有机氢聚硅氧烷分子链两末端被三甲基甲硅烷氧基封端的甲基苯基聚硅氧烷、分子链两末端被三甲基甲硅烷氧基封端的二甲基硅氧烷-甲基苯基硅氧烷共聚物、分子链两末端被三甲基甲硅烷氧基封端的二苯基聚硅氧烷、分子链两末端被三甲基甲硅烷氧基封端的二甲基硅氧烷-二苯基硅氧烷共聚物、三甲基五苯基三硅氧烷、苯基(三甲基甲硅烷氧基)硅氧烷、分子链两末端被三甲基甲硅烷氧基封端的甲基烷基聚硅氧烷、分子链两末端被三甲基甲硅烷氧基封端的二甲基聚硅氧烷-甲基烷基硅氧烷共聚物、分子链两末端被三甲基甲硅烷氧基封端的二甲基硅氧烷-甲基(3,3,3-三氟丙基)硅氧烷共聚物、α,ω-二羟基聚二甲基硅氧烷、α,ω-二乙氧基聚二甲基硅氧烷、1,1,1,3,5,5,5-七甲基-3-辛基三硅氧烷、1,1,1,3,5,5,5-七甲基-3-十二烷基三硅氧烷、1,1,1,3,5,5,5-七甲基-3-十六烷基三硅氧烷、三-三甲基甲硅烷氧基甲基硅烷、三-三甲基甲硅烷氧基烷基硅烷、四-三甲基甲硅烷氧基硅烷、四甲基-1,3-二羟基二硅氧烷、八甲基-1,7-二羟基四硅氧烷、六甲基-1,5-二乙氧基三硅氧烷、六甲基二硅氧烷、八甲基三硅氧烷、高级烷氧基改性的硅氧烷、高级脂肪酸改性有机硅、聚二甲基硅氧烷醇。
作为环状有机聚硅氧烷，例示六甲基环三硅氧烷(D3)、八甲基环四硅氧烷(D4)、十甲基环五硅氧烷(D5)、十二甲基环六硅氧烷(D6)、1,1-二乙基六甲基环四硅氧烷、苯基七甲基环四硅氧烷、1,1-二苯基六甲基环四硅氧烷、1,3,5,7-四乙烯基四甲基环四硅氧烷、1,3,5,7-四甲基环四硅氧烷、1,3,5,7-四环己基四甲基环四硅氧烷、三(3,3,3-三氟丙基)三甲基环三硅氧烷、1,3,5,7-四(3-甲基丙烯酰氧基丙基)四甲基环四硅氧烷、1,3,5,7-四(3-丙烯酰氧基丙基)四甲基环四硅氧烷、1,3,5,7-四(3-羧基丙基)四甲基环四硅氧烷、1,3,5,7-四(3-乙烯氧基丙基)四甲基环四硅氧烷、1,3,5,7-四(对乙烯基苯基)四甲基环四硅氧烷、1,3,5,7-四[3-(对乙烯基苯基)丙基]四甲基环四硅氧烷、1,3,5,7-四(正丙烯酰基-正甲基-3-胺基丙基)四甲基环四硅氧烷、1,3,5,7-四(N,N双(月桂酰基)-3-氨基丙基)四甲基环四硅氧烷等。
支链有机聚硅氧烷的实例包括甲基三三甲基甲硅烷氧基硅烷、乙基三三甲基甲硅烷氧基硅烷、丙基三甲硅烷氧基硅烷、四三甲基甲硅烷氧基硅烷和苯基三三甲基甲硅烷氧基硅烷。
作为本发明中的硅油，优选二甲基聚硅氧烷、二乙基聚硅氧烷、甲基苯基聚硅氧烷、聚二甲基-聚二苯基硅氧烷共聚物、聚甲基-3,3,3-三氟丙基硅氧烷等。作为本发明中的有机硅，通常是二甲基聚硅氧烷。
本发明中的硅油也可以是改性硅油。作为改性硅油，列举聚氧乙烯改性硅油。
聚氧乙烯改性硅油是通过硅-碳键在分子中键结有聚氧乙烯基的硅油，优选在常温具体地说是在25℃下显示水溶性的硅油，更优选为非离子型硅油。
具体地说，聚氧乙烯改性硅油是例如由直链状或支链状硅氧烷组成的硅油和聚氧乙烯的共聚物，有各种聚氧乙烯改性硅油，特别优选为由下述式(4)所表示的聚氧乙烯改性硅油。
R2 3SiO-(R1 2SiO)d-(R1ASiO)e-SiR2 3 (4)
(式中，R1分别独立与上述同样，
R2分别独立为R1或A，
A分别独立为由R3G所表示的基，R3是被取代或未被取代的二价烃基，G表示至少一种环氧乙烷、环氧丙烷等碳数2～5的环氧烷构成的聚氧基亚烷基，
d表示1～500的整数，
e表示1～50的整数)。
作为被取代或未被取代的二价烃基，列举例如碳原子数1～30的直链状或支链状二价烃基，具体地说，可以列举亚甲基、二亚甲基、三亚甲基、四亚甲基、五亚甲基、六亚甲基、七亚甲基、八亚甲基等碳原子数1～30的直链状或支链状亚烷基；亚乙烯基、亚芳基、亚丁烯基、亚己烯基、亚辛烯基等碳原子数2～30的亚烯基；亚苯基、二亚苯基等碳原子数6～30的亚芳基；二亚甲基亚苯基等碳原子数7～30的亚烷基亚芳基；及至少一部分与这些基团的碳原子键结的氢原子被氟等卤素原子、羟基、或有机基取代所得的基团，所述有机基包含羟甲基、环氧基、缩水甘油基、酰基、羧基、氨基、甲基丙烯酸基、巯基、酰胺基、氧基亚烷基等。二价烃基优选为碳原子数1～30的亚烷基，优选为碳原子数1～6的亚烷基，更优选为碳原子数3～5的亚烷基。
例如，作为聚氧乙烯改性硅油的具体例，可以列举下述物质。
【化2】
(式中，x为20～160，y为1～25，x/y的值为50～2，
A是例如－(CH2)3O－(CH2CH2O)m－(CH2CH2CH2O)n－R4，m是7-40，n是0-40，m+n的值是至少为1，可接枝聚合也可随机聚合，R4表示氢原子或上述取代或未取代的一价烃基。优选为m为7～30，n为0～30)
另外，作为改性硅油，列举例如氨基烷基改性硅油。
氨基烷基改性硅油是通过硅-碳键在分子中键结有氨基烷基的硅油，优选为在常温具体地说是25℃下显示10～100000cs的黏度的氨基烷基改性硅油。
作为所述氨基烷基硅油，可以列举在上述式(4)中用式：列举了-(NR4CH2CH2)zNR42(式中，R4分别独立地如上所述，z是0≦z≦4的数)取代所得的物质。
本发明的玻璃板用衬垫纸，当该衬垫纸中所含的有机硅的量优选为以该衬垫纸的绝对干燥质量为基准限制在0.5ppm以下，更优选为0.4ppm以下，进一步更优选为0.3ppm以下，进一步更优选为0.2ppm以下，特别优选为0.1ppm以下。
另一方面，在本发明的玻璃板用衬垫纸中，如果是不成问题的极其微量，有机硅也可以存在，所以有机硅含量也可以不为0。例如：有机硅含量也可为0.1ppb。
所述有机硅含量以衬垫纸绝对干燥重量为基准。在本发明中，“绝对干燥”是指通过干燥被干燥对象物中实际上不存在水分的状态。
例如可以通过在衬垫纸在可以提取有机硅的有机溶剂中进行提取工序，对被提取的有机硅的量进行定量来决定所述有机硅含量。
在本发明的玻璃板用衬垫纸中，一侧的表面上的大于30μm的直径的硅含量的不连续区域与另一侧表面上的大于30μm的直径的有机硅含量的不连续区域之差优选为小于5个/1000m2，更优选的小于4个/1000m2，较优选的为小于3个/1000m2，优选的小于2个/1000m2，更加优选的小于1个/1000m2。即，在本发明的玻璃板用衬垫纸，优选的，在一侧表面上的有机硅含量的不连续区域的存在量与另一侧表面上的不连续区域的存在量在上述具体的范围内而没有大的变动。这里的“存在量”是指，衬垫纸的表面的每单位面积的所述有机硅含量不连续区域的数量，比如：通过电子显微镜扩大观察玻璃板用衬垫纸的多处表面，被观察的该处的有机硅含量不连续区域的数量可以由每单位面积的平均数来决定。
本发明中有机硅含量的不连续区域的形状为任意形状，可以为例如圆形、椭圆形、四方形等各种形状，优选为圆形或椭圆形。具体地说，所述不连续区域能够以点或斑点的形态分散存在。
本发明中不连续区域的“直径”是指与面积圆形相当的直径(与不连续区域的面积相等的圆形面积的直径)。所述不连续区域的直径优选为大于25μm，更加优选为大于20μm，进一步更优选为大于15μm，进一步更加优选为大于10μm，进一步更优选为大于5μm，进一步更优选为大于1μm，特别优选为大于0.5μm。所述不连续区域为圆形时，其直径为“径”。并且，所述不连续区域为非圆形时，优选的，与面积圆相当的直径(与不连续区域面积相等的面积的圆的直径)大于25μm，优选的大于20μm，较优选的大于15μm，更加优选的大于10μm，进一步优选的大于5μm，进一步优选的为大于1μm，特别优选的为大于0.55μm。所述不连续区域的直径及面积可以通过例如显微镜法测定。
所述不连续区域的直径优选为小于10mm，更加优选为小于10mm，进一步更加优选为小于3mm，进一步更加优选为小于1mm，进一步更加优选为小于500μm，进一步更加优选为小于100μm，特别优选为小于50μm。当所述不连续区域为圆形时，优选为其直径小于10mm，优选为小于5mm，进一步更加优选为小于3mm，进一步更加优选为小于1mm，进一步更优选为小于500μm，进一步更优选为小于100μm，特别优选为小于50μm。当所述不连续区域为非圆形时，等效面积圆直径，优选为小于10mm，优选为小于5mm，更优选为小于3mm，进一步更加优选为小于1mm，进一步更优选为小于500μm，进一步更优选为小于100μm，特别优选为小于50μm。
优选为本发明的玻璃板用衬垫纸的表面不存在直径超过10mm的有机硅含量不连续区域。
在上述的情况中，衬垫纸的表面有机硅含量的不连续区域，比如：在该衬垫纸的表面涂覆一方面具有与有机硅的亲和性，另一方面与衬垫纸没有亲和性的(典型的疏水性的)着色剂或发色剂，可以决定，测量该表面上的着色区域或发色区域，或该衬垫纸的表面上涂覆一方面具有与衬垫纸的亲和性，另一方面与有机硅没有亲和性的(典型的亲水性的)着色剂或发色剂，测量该表面上的非着色区域或非发色区域。
在本发明的玻璃板用衬垫纸中，该衬垫纸的有机硅含量以该衬垫纸为基准，限制为0.5ppm以下，且，在一侧的表面上的大于30μm的直径的有机硅含量的不连续区域数与另一侧表面上的大于30μm的直径的有机硅含量的不连续区域数之差为5个/1000m2以内时，本发明的玻璃板用衬垫纸，有机硅的含量少，且，抑制了该衬垫纸的正反面中有机硅含量的不连续区域的存在量的波动，因此，也抑制了玻璃板用衬垫纸的正反面的有机硅的物理状态的差异。因此，上述的情况，滑石粉与有机硅复合，可降低有机硅中含杂质的可能性，另外，若有机硅中生成了杂质，其存在量也是很少的，且，在衬垫纸的正反面上其存在比率不会有很大差异。因此，上述的情况，本发明的玻璃板用衬垫纸的正反面的任一面都能与玻璃板接触。
本发明的玻璃板用衬垫纸的厚度优选为20～200μm，更优选为30～150μm，进一步优选为40～200μm。如此一来，通过制成相对较薄的衬垫纸，可以进一步抑制该衬垫纸正反面的物理状态的不同。
本发明的玻璃板用衬垫纸的单位面积质量优选为20～80g/m2，更优选为25～70g/m2，进一步优选为30～60g/m2。
本发明的玻璃板用衬垫纸的根据KES法获得的表面的摩擦系数的平均偏差(MMD)优选为低于0.022，优选为低于0.020，更优选为低于0.019，更优选为低于0.018，进一步优选为低于0.0 17。使用摩擦感试验机(katotech株式会社制造的KES-SE)使由直径0.5mm的钢琴线束组成的10mm见方的摩擦件与被20g/cm的张力固定住的纸的表面在50g/cm2的接触压下接触，并且使其沿与赋予张力的方向相同的方向以0.1cm/秒的样品移动速度移动2cm，所测定的摩擦系数的平均偏差值是MMD。一旦这个MMD大，就意味着纸面的摩擦系数会根据纸面的位置发生较大变动，从微观上来说，意味着纸彼此表面的微小凹凸变多。如此一来，通过在衬垫纸的表面设置微细凹凸，玻璃板的表面与衬垫纸的表面的摩擦类数减小，从玻璃板表面去除衬垫纸时的去除作业变容易。一旦MMD超过0.022，纸彼此表面的微小凹凸增大，纸彼此的刮擦感增加，因此不优选。MMD例如优选为0.001～0.022，更优选为0.002～0.020，进一步优选为0.004～0.019。
本发明的玻璃板用衬垫纸可以含有200μm以下纤维长度的短纤维，但由于该短纤维有可能抽吸异物，该短纤维的含量相对衬垫纸的绝对干燥质量，优选的低于按质量计10.5％，较优选的低于按质量计10.0％，更加优选的低于按质量计9.5％，特别优选的低于按质量计9.0％。在这里，“纤维长”不是平均纤维长。因此，具有200μm以下的纤维长的短纤维全部具有200μm以下的纤维长。换言之，所述短纤维的最大纤维长是200μm以下。在这里，纤维长意指在将纤维拉直状态下该纤维的长度。
所述短纤维的平均纤维直径优选为10μm～50μm，更优选为12μm～40μm，进一步更优选为15μm～30μm。在此，"平均纤维直径"是指通过电子显微镜对玻璃板用衬垫纸的表面的多处进行放大观察，从各电子显微镜图像中随机挑选规定数量的纤维，测定所选择的该纤维的直径并进行平均计算而得到的平均纤维直径。所选纤维的数量为100以上，优选为150以上，更优选为200以上，进一步优选为300以上。
本发明的玻璃板用衬垫纸的表面上的所述短纤维的存在量优选为300根～850根/cm2，更优选为330根～800根/cm2，更优选为0根～750根/cm2。若短纤维的存在量比较少，则能够减少被短纤维吸引过来的异物的量。
在本发明的玻璃板用衬垫纸中，一个表面的所述短纤维的存在量与另一表面的所述短纤维的存在量的差优选为该另一表面的所述短纤维的存在量的15％以下，更优选为12％以下，进一步优选为10％以下。也就是说，在本发明的玻璃板用衬垫纸中，优选为一个表面的短纤维的存在量从另一表面的短纤维的存在量起在上述具体范围内的程度没有大的变动。在这里，“存在量”意指衬垫纸的表面的单位面积中的平均所述短纤维数量，例如，可以通过利用电子显微镜对玻璃板用衬垫纸的表面的多个部位放大观察，按单位面积对该部位中所观察到的短纤维数量进行平均来决定存在量。另外，还可以将衬垫纸的表面朝向下方用片材摩擦特定面积，从落下的纤维中获取单位面积中200μm以下的短纤维的数量来决定存在量。还可以通过在厚度方向的中央平分衬垫纸制成非常薄的两张纸，将各纸制成浆料测定该浆料中的200μm以下的短纤维的数量来决定存在量。或者，作为另一种方法，通过用水充分地洗涤玻璃板用衬垫纸的表面，将脱落的纤维用纤维长度测定机测量，也能够确定短纤维的存在量。
本发明的玻璃板用衬垫纸可以以造纸法等通常的方法为基础进行制造。
本发明的第二实施方式是一种玻璃板用衬垫纸的制造方法，制造玻璃板用衬垫纸，所述制造方法至少包含
一浆料制备工序，制备木材纸浆的浆料；
片材形成工序，将所述浆料制成片材状；
湿纸调制工序，对所述片材进行脱水形成湿纸；及
干燥工序，将所述湿纸干燥获得所述衬垫纸，
在所述湿纸调制工序中从片材状浆料的两面进行脱水。
在上述浆料制备工序中，可以通过现有公知的方法来制备木材纸浆的浆料。例如，在所述浆料制备工序中，使构成木材纸浆的纤维素纤维浸软制成水性悬浮液来制备浆料。
另外，可以在无损本发明的性能的范围内，根据需要对上述浆料添加粘合剂、防霉剂、消泡剂、填料、湿润纸力增强剂、干燥纸力增强剂、施胶剂、着色剂、固定剂、增效剂、黏质控制剂等。另外，优选为添加这些药品时需要仔细留意不要混入虫和垃圾等。
但是，通常大多是在木材纸浆和衬垫纸中含有滑石粉。这是因为在木材纸浆和衬垫纸的制造过程中，多使用滑石粉作为沥青控制剂。另外，滑石粉不仅用作沥青控制剂，还用作填料、纸涂布用颜料，发挥提升纸的白色度和印刷特性的效果。
在通过本发明的第二方面得到的衬垫纸的一侧表面上的滑石粉的存在比例为10个/100m2以下的情况下，可以使用非滑石粉类的树脂控制剂、填料、颜料等。
通常，多数情况下木材纸浆及衬垫纸中含有有机硅。这是因为，在木材纸浆及衬垫纸的制造过程尤其是清洗工序中，多用有机硅类消泡剂作为防止产生泡沫导致的清洗能力下降所使用的消泡剂，这个来自于有机硅类消泡剂的有机硅会残存于纸浆及衬垫纸中。例如向硅油及疏水性二氧化硅的混合物中混合改性有机硅、界面活性剂等来制造有机硅类消泡剂。
因此，将玻璃板用衬垫纸中所含的有机硅的含量降低到0.5ppm以下，在使用消泡剂的情况下，优选的可以使用非有机硅类消泡剂。此外，优选为使用采用以非有机硅消泡剂获得的木材纸浆。
在制备所述浆料时，可以期待在进行木材纸浆的打浆后纸层间强度的效果会增大。但是，通过进行打浆来增加短纤维后，就有可能会产生吸引异物或者在用作衬垫纸时产生纸粉等不良情况，所以不优选过度进行打浆。在本发明中，优选为打浆度为300～650mlc.s.f。
在将所述浆料制成片材状的片材形成工序中，可以利用先前公知的方法形成片材。例如，将所述浆料喷出至平面状线路上(例如长网造纸机)或通过缠绕在圆筒状轴上的线路从浆料中获取片材(例如圆网造纸机)，可以获得片材。
本发明的第二实施方式在对所述片材进行脱水形成湿纸的湿纸调制工序中从片材的两面进行脱水。由此，能够有效地从片材的两面除去所述片材中含有的滑石粉。而且，也可以将根据本发明的第二方面得到的玻璃板用衬垫纸的一侧表面上的滑石粉的存在比例与另一侧表面上的滑石粉的存在比例之差设为5个/100m2以内。
另外，将所述片材脱水而形成湿纸的湿纸调制工序中，通过从片材的两面进行脱水，能够有效地从所述片材的两面除去所述片材中所含的有机硅中的杂质。并且，可以将通过本发明的第二方面得到的玻璃板用衬垫纸的一侧表面上的直径为30μm以上的含有机硅不连续区域数与另一侧表面上的直径为30μm以上的含有机硅不连续区域数之差设为5个/1000mm2以内。
所述脱水的方法可以任意选择，可以使用现有公知的方法。例如，可以通过用辊对所述片材进行压榨来脱水。但是，为了有效地去除滑石粉，优选为通过抽吸进行所述脱水。
从片材的两面进行脱水的工序例如可以用网上下夹住沿水平方向延伸的片材的状态下，利用抽吸装置从上下方向进行抽吸脱水，因为重力的影响，向上方的抽吸力和向下方的抽吸力产生差，沿上方向抽吸的一侧的片材表面比沿下方向抽吸的一侧的片材表面残存更多的短纤维，因此优选为用网夹住沿竖直方向延伸的片材沿左右方向进行抽吸脱水。此时，优选为将所述湿纸的移动方向维持在垂直方向或从垂直方向倾斜30°以内的范围。
优选为，所述片材的一个表面的所述抽吸的脱水比例与另一表面的所述抽吸的脱水比例的差是该另一表面的所述抽吸的脱水比例的10％以下。也就是说，在本发明的玻璃板用衬垫纸的制造方法中，优选为用几乎同样的抽吸力从片材的两面实施抽吸。
所述片材形成工序及湿纸调制工序可以使用单独的装置分别进行，也可以在同一装置中连续实施或者部分重复实施。例如，也可以在造纸机的线路部分将浆料放于线路(网)上制成片材，并且进行脱水形成湿纸。
在所述干燥工序中，可以通过使用烘缸辊等的现有公知的方法将湿纸干燥获得所述衬垫纸。
为了进一步除去可能残留在衬垫纸表面上的滑石粉，本发明的玻璃板用衬垫纸的制备方法，优选的，包括追加抽吸工序，以对干燥工序后的衬垫纸的两侧表面进一步抽吸。
另外，也可以在玻璃板用衬垫纸的造纸过程中及/或造纸后进行砑光处理、超级砑光处理、柔性钳砑光处理、压花等加工。可以通过加工处理调整表面性和厚度。
通过本发明的第二实施方式中的制造方法，能够有效地制造本发明的第一实施方式中的玻璃板用衬垫纸。
将本发明的玻璃板用衬垫纸插入玻璃板之间进行使用。例如，在多个玻璃板之间典型的是每1个玻璃板中插入所述玻璃板用衬垫纸，将它们作为一个整体制成一个层叠体，该层叠体成为保存、搬运的对象。另外，也可以使用本发明的玻璃板用衬垫纸来包装玻璃板单体或所述层叠体。因此，本发明具有如下玻璃板的保护方法的实施例，所述玻璃板的保护方法包含一在玻璃板之间配置(尤其是插入)上述玻璃板用衬垫纸的工序。
作为玻璃板，并没有特别限定，优选为等离子体显示器面板、液晶显示器面板(尤其是TFT液晶显示器面板)、有机EL显示器面板等平板面板/显示器用玻璃板。平板面板/显示器用玻璃板的表面形成有微细电极、间隔壁等，通过使用本发明的玻璃板用衬垫纸，抑制甚至避免成为问题的微细异物转移到玻璃板上，因此即使在玻璃板的表面形成微细电极、间隔壁等，也可以抑制甚至避免该异物造成的不良影响，结果可以抑制甚至避免显示器的缺陷。
尤其是随着显示器大型化，平板面板/显示器用玻璃板的大小及重量增大，本发明的玻璃板用衬垫纸可以良好地保护这种大型甚至大重量的玻璃板的表面。特别是，本发明的玻璃板用衬垫纸，由于滑石粉类杂质的含量极少，因此即使被大重量的玻璃板按压，也能够抑制或避免该杂质转移到玻璃板上。因此，本发明的玻璃板用衬垫纸可以优选用于特别要求表面的清洁性的平板面板/显示器用玻璃板。
实施例
以下，使用实施例及比较例具体地对本发明进行说明，但本发明的范围并不限定于实施例。
[滑石粉的检测]
将玻璃板用薄衬垫纸剪切成1m2，用脱金属离子水对纸的一个面充分洗涤。洗涤后回收水溶液，使用聚碳酸酯制成的薄膜滤器(MILLIPORE，孔径大小0.8μm)进行过滤，得到残渣。用电子显微镜观察该残渣，通过对粒子径为1μm以上的杂质进行EDS分析，可测得玻璃板用衬垫纸表面的滑石粉的个数。
[转印到玻璃板上的试验方法(运输测试)]
在用铝制的75度角的L字支架上的玻璃载置面上铺设发泡聚氨酯，在垂直方向上载置玻璃板的载置面和从载置面的后端部面向垂直方向延伸的靠背板上，在120块尺寸为680mm×880mm×0.7mm的玻璃板与各玻璃板之间插入玻璃板用衬垫纸，与背靠面平行倚靠，从而将固定在支架上的呈带状皮带从后端部绕靠背板一周设置以固定玻璃板。为了防止从外部混入尘埃和微细垃圾等，用包装资财对像上述方式设置的台架的整个面包覆。然后，用卡车进行运输测试。在输送距离1000km(输送过程中在40℃×95％RH的环境下保管5天)的输送试验条件下进行试验。
[实施例1]
在由蒸煮工序、洗涤工序、氧脱木质素反应工序、二氧化氯和过氧化氢的多段漂白工序构成的针叶树漂白牛皮纸浆的制备装置中，在洗涤工序中，使用了作为树脂控制剂的非滑石粉类界面活性剂“奇迹树脂控制剂500”(KATAYAMA NALCO公司制备)。如上所述，得到在制备工序中使用的非滑石粉类界面活性剂的针叶树漂白牛皮纸浆。准备100质量份，在将其进行浸软并将打浆度调制为550 0mlc.s.f.的浆料中添加作为纸力增强剂的聚丙烯酰胺(商品名：聚丙烯酰胺1、荒川化学工业公司制造)，相对于总纸浆质量，添加0.2质量份的浓度为按质量计0.4％的纸浆。将这个在线材工序中使用具有顶部成形机的长网造纸机进行造纸，通过顶部成形机从湿纸的两面进行脱水，获得基本重量为55g/m2的玻璃板用衬垫纸。
[比较例1]
除了不使用顶部成型设备以外，以与实例1相同的方式获得单位面积质量为55g/m2的玻璃板用衬垫纸。
[比较例2]
除了使用作为界面活性剂的滑石粉类树脂控制剂“MISTRON VAPOR”(NihonMistron Co.,Ltd.制备)以外，以与实例1相同的方式获得基本重量为55g/m2的玻璃板用衬垫纸。
在决定实施例和比较例的玻璃板用衬垫纸的表面上的滑石粉的存在比率时，实施例1的一个表面上为7个/100m2，另一表面上为11个/100m2。比较例1的一个表面为7个/100m2，另一表面为17个/100m2。比较例2的一个表面为87个/100m2，另一表面为153个/100m2。另外，利用运输测试确认实施例及比较例中获得的玻璃板用衬垫纸转印到玻璃板上，结果在利用使用实施例的衬垫纸的玻璃板形成液晶面板的阵列时，未观察到彩色膜断线。另一方面，在利用使用比较例1及比较例2的玻璃板用衬垫纸的玻璃板形成液晶面板的阵列时，认定彩色膜断路。

Claims (15)

1.一种玻璃板用衬垫纸，以木材纸浆为原料的玻璃板用衬垫纸，一个表面上的滑石粉的存在比率为10个/100m2以下，玻璃板用衬垫纸的一个表面上的滑石粉的存在比例与另一表面上的滑石粉的存在比率之差为5个/100m2以内。
2.根据权利要求1所述的玻璃板用衬垫纸，所述滑石粉的平均粒径为1～10μm。
3.根据权利要求1或2所述的玻璃板用衬垫纸，所述滑石粉与疏水性物质复合。
4.根据权利要求3所述的玻璃板用衬垫纸，所述滑石粉与所述疏水性物质复合后的形态的平均粒径为30μm以上。
5.根据权利要求4所述的玻璃板用衬垫纸，所述疏水性物质包括有机硅。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的玻璃板用衬垫纸，厚度为20～200μm。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的玻璃板用衬垫纸，通过KES法得到的表面的摩擦系数的平均偏差(MMD)为0.022以下。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的玻璃板用衬垫纸，所述玻璃板用于显示器。
9.根据权利要求8所述的玻璃板用衬垫纸，所述显示器为TFT液晶显示器或有机EL显示器。
10.一种层叠体，由根据权利要求1～9中任一项所述的玻璃板用衬垫纸及玻璃板组成。
11.一种玻璃板的保护方法，包含将根据权利要求1～9中任一项所述的玻璃板用衬垫纸配置于玻璃板之间的工序。
12.根据权利要求1至9中任一项所述的玻璃板用衬垫纸的制造方法，至少包括以下步骤：
浆料调制工序，调制木材纸浆的浆料；
片材形成工序，将所述浆料制成片材状；
湿纸调制工序，对所述片材进行脱水形成湿纸；
干燥所述湿纸以得到所述衬垫纸的干燥工序，
其中在所述湿纸调制工序中从所述片材的两面进行脱水。
13.根据权利要求12所述的制造方法，通过抽吸进行所述脱水。
14.根据权利要求13所述的制造方法，所述片材的一个表面的所述抽吸的脱水比例与另一表面的所述抽吸的脱水比例的差是该另一表面的所述抽吸的脱水比例的10％以下。
15.根据权利要求13或14所述的制造方法，还包括追加抽吸工序，进一步对所述干燥工序后的衬垫纸的两面进行抽吸。
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