CN110434886A - 真空处理设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于真空处理设备的操作方法，特别是用于人机协作系统，其包括可连接到主真空系统以产生真空的真空夹持器，其中所述方法包括以下步骤：a)将所述真空夹持器应用于工件，并通过所述主真空系统在所述真空夹持器中建立真空；b)通过存在于所述真空夹持器中的所述真空而在其处理期间对所述工件进行保持，并在所述处理期间对至少一个状态变量进行监测；和c)如果被监测的状态变量偏离于目标状态，则通过自给自足的次级辅助真空系统在所述真空夹持器中产生辅助真空。

Description

真空处理设备

技术领域

本发明涉及一种用于操作真空处理设备的方法，特别是一种用于人机协作系统的真空处理设备。本发明还涉及一种真空处理设备和一种人机协作系统。

背景技术

在现有技术中存在许多已知的真空处理设备的设计和配置。它们可以设置在处理装置例如机器人上以对工件进行处理。

为了能够在人员所在的工作区域中使用这种真空处理设备，必须遵守安全规定。例如，规定DIN EN ISO 10218和/或ISO/TS 15066适用于这种情况。严格的安全规定特别有效-如人机协作(human-machine collaboration，HMC)概念中所规定的那样，特别是人-机器人协作(human-robot collaboration，HRC)-人和机器，和/或人和机器人，在没有安全装置的工作区域中一起工作-安全装置例如，用于分离机器的操作员和/或机器人的安全围栏。

在HMC和/或HRC的情况下，由于没有安全装置，下落的工件可能会直接撞击操作员并因此对其造成伤害。

已知的做法是提供夹持装置作为在用于在真空处理设备的真空夹持器中产生抽吸的主能量源发生故障的情况下坠落的工件的防护。其在运行期间通过压缩空气来加压。因此，弹簧被偏置，并且弹簧在主能量源失效的情况下复位。通过这种方式，夹持装置以这样的方式闭合，即，该方式使得被夹住的工件通过有效连接被安全保障。提供以这种方式设计的夹持装置昂贵、复杂，且易于出错。

发明内容

本发明的目的是提供一种可靠操作的真空处理设备，特别是用于人机协作，更具体地说，用于人-机器人协作，其相对便宜，可以容易地和/或紧凑地生产，并且可以灵活适应。

该目的通过具有权利要求1的特征的方法来实现。因此，提供了一种真空处理设备，其包括由主真空系统供给的真空夹持器，以产生用于操作的真空。

特别地，该方法用于在人机协作系统中，更具体地在人-机器人协作系统中，来操作真空处理设备。然而，还可以想到，用于操作真空处理设备的方法用于全自动操作。

该方法包括以下步骤：

a)将真空夹持器施加到工件上，并通过主真空系统在真空夹持器中建立真空；

b)通过真空夹持器中的真空(特别是通过主真空系统提供的真空)，在处理过程中将工件进行保持；在处理过程中对至少一个状态变量进行监测；和

c)如果监测的状态变量偏离于目标状态，则通过特别自给自足的次级辅助真空系统在真空夹持器中产生辅助真空，可以独立于主真空系统操作和/或独立于主真空系统起作用。

根据本发明，如果状态变量偏离于目标状态，则可以在一段时间内提供安全真空以维持用于进行处理而所需要的真空。这样尤其使得能够继续处理直到达到安全和/或确定的最终状态。

原则上，受到真空处理设备的运行状态的影响的和/或被改变以影响运行状态(例如，真空夹持器中的真空，加压流体的体积流量等)的各种可测量的变量，可以考虑作为状态变量，如下面将进一步进行解释的。特别地，对状态变量进行连续检测且没有中断。然而，还可以想到，以间歇或定时的方式来对状态变量进行检测。

提供次级辅助真空系统用来为真空产生和/或真空系统产生冗余。这样，真空处理设备可以在HMC和/或HRC系统中以特别有利的方式使用。在这种情况下，真空处理设备可以直接与没有通过保护装置(例如安全围栏)而与真空处理设备分离开的操作员交互。

因为辅助真空系统可以独立地提供辅助真空，所以辅助真空系统可以完全独立于外部能源而被操作。这样，如果设备附近的所有电力系统都发生故障，真空处理设备还是可以安全地被操作和/或转换到安全状态。这样尤其可以防止在外部能源发生故障的情况下操作员被下落的工件伤害的情况。

真空处理设备可以包括主真空系统。然而，尤其可以想到的是，主真空系统不是真空处理设备的一部分，而是用来建立真空并向真空处理设备提供真空。

当然，还可以想到包括几个真空夹持器。这些真空夹持器中的每一个都可以被分配其自身的主真空系统，或者可以存在用于所有真空夹持器的中央主真空系统。如果存在多个真空夹持器，那么每个真空夹持器可以分配有自身的次级辅助真空系统，或者可以为所有真空夹持器提供中央次级辅助真空系统。

在本发明的有利改进中，在步骤b)中，用于操作主真空系统的主操作动力作为状态变量而被监测，并且在检测到主操作动力失效的情况下特别地执行步骤c)。

在这种情况下，可以对电操作电流和/或电操作电压进行监测。如果主操作动力失效，真空夹持器中的真空可由次级辅助真空系统在每次事件中维持一段时间-并且工件因此不会掉下来，或者至少不会在主操作动力失效后立即掉下来。这样可以防止或者至少降低与真空处理设备交互的操作员受到伤害的风险。

在本发明的另一有利实施例中，在步骤c)中，另外触发一动作。该动作可以包括例如向操作员发出警告信号。该信号可以在声学上、视觉上和/或触觉上而被感知。该信号可以向操作员指示她应该离开真空处理设备。另一方面，信号可以指示操作员应该通过干预来手动地控制真空处理设备，从而安全地放置工件。

另外地或替代地，动作可以包括中断真空处理设备的移动或者将真空处理设备移动到安全的最终状态。该措施可以特别有利地防止对操作员的伤害。特别地，最终状态可以是操作员无法达到的位置。

还可以想到，在步骤b)中，真空夹持器中存在的压力作为状态变量而被检测，并且如果真空夹持器中的压力超过阈值，则执行步骤c)。另外地或替代地，可以在步骤b)中检测压力变化，使得如果真空夹持器中的压力变化超过阈值，则执行步骤c)。因此，该方法也可以以特别有利的方式被使用，例如，当真空夹持器的缺陷出现时-例如损坏或磨损-并且因此由主真空系统提供的真空不足以用于安全处理。

有利地，在步骤a)之前执行诊断循环，其中诊断循环包括以下步骤：

ad)将真空夹持器应用于工件，并通过主真空系统在真空夹持器中建立真空；

bd)检测真空夹持器中的压力随时间的变化；和

cd)通过真空处理设备验证所计划的处理是否安全。

诊断循环为真空处理设备提供了额外的保护。这使得可以在所计划的工件处理之前能够验证是否符合安全标准。特别地，验证可以确定在由主真空系统正常操作中是否能够确保待处理工件的安全保持。另外地或替代地，验证可以确定由次级辅助真空系统提供的辅助真空是否足以用于所计划的处理，以便在发生故障的情况下能够安全地保持工件足够长的时间，从而排除或至少最小化合作者受伤的风险。

在这种情况下，可以想到在执行诊断循环之前捕获所计划的处理的参数，例如行程距离和持续时间，以便在此基础上验证是否可以进行安全处理。例如，这使得即使处理设备未配置为用于处理特定工件仍然可以防止处理过程的开始。例如，验证可以确定是否已经出现处理设备的缺陷-特别是由于磨损而造成的缺陷。

代替在步骤ad)中施加真空，也可以考虑在真空夹持器中施加过压并检测所产生的压力变化。此外，还可以想到检测真空夹持器中的体积流量和/或质量流量，并且基于此来验证是否可以进行安全处理。

还可以想到，步骤bd)仅在步骤ad)中施加所期望的真空时才进行-而不是步骤bd)在步骤ad)中形成真空期间便已经进行。

最后，还可以想到，在步骤cd)中，结果意味着即使没有次级辅助真空系统也可以进行安全处理，使得它可以被无效-特别是为了节省能量。

另外地或替代地，可以在步骤a)之前执行诊断循环，包括以下步骤：

-检测待处理的所述工件；

-从数据库确定存储的目标压力随时间的变化，用于执行上述方法中的步骤ad)和bd)；和

-验证是否可以通过所述真空处理设备安全地执行所计划的处理。

可以通过操作员的手动输入来确定待处理的工件。特别地，可以输入材料参数，例如材料的类型和/或其粗糙度和/或透气性。另外地或替代地，还可以想到的是，对于待处理的工件的感测检测-例如，表面粗糙度的感测确定。当然，另外地或替代地，可以想到的是，检测系统参数，例如主真空系统和/或次级辅助真空系统的参数；和/或工艺参数，例如在所计划的处理期间的所计划的加速度和/或速度，和/或施加到工件上用于处理的所计划的真空。

基于此，可以从数据库确定目标压力变化。因此，当真空处理设备的真空夹持器应用于工件并在真空夹持器(参见上述方法的步骤ad)和bd))中建立真空时，数据库可以存储对于真空处理设备制造的系统以及被吸入同一处的工件的随时间推移的压力变化。基于此，该验证可以确定是否可以安全地执行所计划的处理过程。例如，该验证可以确定真空处理设备是否可以在处理过程中牢固地保持工件，并且可以确定在主真空系统失效的情况下辅助真空系统是否可以提供足够的辅助真空。

可以想到，在从数据库确定目标压力变化之后，另外地执行根据步骤ab)至dd)的诊断方法。在这种情况下，将目标压力随时间的变化与实际测量的压力变化进行比较。基于此，该验证确定是否可以通过真空处理设备安全地执行所计划的处理。这样，可以有利地进行验证以确定所预期的目标压力变化是否实际发生在系统中。从而，可以进一步增加真空处理设备的安全性，以用于HMC和/或HRC环境。

可以在每个单独的处理过程之前执行上述两个诊断循环之一或两个诊断循环。然而，可以特别想到的是，单个诊断循环或多个诊断循环在一系列类似的处理操作之前仅执行一次。

还可以想到，在诊断循环之前执行测试循环，其中，根据步骤ad)至cd)的诊断循环被执行，以检测和存储至少一个工件的目标压力变化和/或真空处理设备的状态。

该测试循环能够检测具有不同材料特性-例如不同的表面粗糙度-的不同工件的目标压力变化。另外，可以在处理工件期间确定真空处理设备的不同状态，并将其存储在数据库中-其中，特别地，可以检测不同的使用寿命条件。

可以想到，在处理工件期间另外地或替代地执行诊断循环。从而可以想到，在处理过程期间，验证可以间歇地确定真空处理设备是否能够安全地运输工件。

在引言中所述的目的可以通过真空处理设备来实现，其中该真空处理设备被配置为执行根据本发明的方法，具有真空夹持器并且具有用于产生用于操作真空夹持器的真空的主真空系统，其中，为真空夹持器提供了次级辅助真空系统，其中，辅助真空系统设计为独立于外部能源而用于在真空夹持器中自给自足地产生和/或提供辅助真空。这样，即使真空处理设备的环境中的整个电源失效，也可以确保工件的安全处理，因为可以在真空夹持器中施加自给自足的辅助真空以确保工件在一段时间内的可靠保持。主真空系统可以是真空处理设备的一部分。然而，可以特别想到的是，主真空系统不是其一部分，而是可连接到真空处理设备以产生和提供工作真空。当然，真空处理设备也可以具有多个真空夹持器。这些都可以具有自己的主真空系统和/或次级辅助真空系统。然而，特别地，可以想到仅提供一个中央、主真空系统和/或一个次级辅助真空系统。

在本发明的特别优选的实施例中，提供了一种控制装置，该控制装置被设计和构造成用于执行根据前述权利要求之一的方法。在这种情况下，控制装置可以包括用于监测状态变量的传感器装置。因此，控制装置尤其可以包括用于检测真空夹持器中的真空的压力传感器。另外地或替代地，可以存在电流/电压传感器以确定是否确保了到主真空发生器的主电源。在产生气动真空的情况下，还可以想到提供压力传感器和/或体积流量传感器作为电流/电压传感器的补充或替代。

特别优选地，真空处理设备包括辅助动力装置，用于辅助真空系统的自给自足操作。作为示例，这种独立提供的次级能量可以是压缩空气的形式，或者特别是电能的形式。电能可以在蓄电池、电池、电容器或不间断电源(UPS)中提供。还可以考虑弹簧预载荷。

辅助真空系统尤其还可以包括辅助真空发生器。这例如可以是气动喷射器、电泵、真空蓄电器、具有泵的真空蓄能器、或具有活塞和气缸的预载弹簧。

有利地，真空夹持器包括警告装置。警告装置可以特别设计为：如果次级辅助真空系统被激活，并且因此如果发生了偏离于真空系统设备的正常操作的话，则对操作员进行警告。如果有多个真空夹持器，可以为每个真空夹持器提供一个警告装置。然而，特别地，可以提供中央警告装置。

优选地，真空夹持器包括抽吸体，其中，用于保护抽吸体免受损坏的保护元件设置在真空夹持器上。抽吸体特别地包括用于与工件接触的抽吸点。抽吸体可以包括例如用于与工件接触的抽吸室。可替代地，还可以想到，抽吸体包括具有抽吸壁的抽吸室，其中抽吸壁包括一个或特别是多个开口，用于向工件施加真空。保护元件可以设计为例如钟形罩，并且为抽吸体提供机械保护，防止损坏和/或磨损。特别地，保护元件可以由固体材料构成，例如作为转动部件或模制的金属板部件。此外，还可以想到，保护元件由穿孔金属板制成的保护盖或具有孔的另一种材料构成，以保持抽吸体的视野。

在这种情况下，保护元件必须以这样的方式布置，即，使得仍然可以将吸力可靠地施加到工件上。在这种情况下，当保护元件处于吸入状态时，保护元件与工件之间存在距离。另一方面，还可以想到，保护元件是弹性可复原的或者设置成可沿着真空夹持器移动，以便为设置工件而提供灵活性。特别地，在诊断循环中，为了确定是否可以安全地执行处理过程，假设不发生对真空处理设备的改变-例如，由于随着时间的损坏。特别地，如果诊断循环仅在一系列处理操作之前执行一次，则可以例如进行趋势推断，以验证辅助真空系统可以提供的辅助真空是否足够确保在整个所计划的处理周期内的安全处理。在这种情况下，假设机械边界条件保持不变，这尤其可以通过在真空夹持器上设置保护元件来得以确保。

最后，开头所述的目的还通过人机协作系统，尤其是人-机器人协作系统来实现，其包括根据本发明的真空处理设备，以及与真空处理设备一起工作的操作员。特别地，这种HMC和/或HRC系统可以设计成没有保护装置，特别是没有分隔壁、使得操作员可以直接与真空处理设备交互。真空处理设备尤其可以设置为机器人上的端部执行器。此外，该系统可以特别设计成符合相关标准，例如DIN EN ISO 10218和/或ISO/TS 15066。

附图说明

从以下描述中，本发明的进一步细节和有利实施例将变得显而易见，在此基础上，更详细地描述和解释了附图中所示的本发明的实施例，其中：

图1示出了根据第一实施例的真空处理设备的示意图；

图2示出了根据第二实施例的真空处理设备的示意图；

图3示出了在通过根据图1或2的真空处理设备处理工件之前的诊断循环方法的流程图；

图4示出了通过执行根据图3的方法而获得的压力-时间图的示例性表示；和

图5示出了根据第一实施例在第一位置(a)和第二位置(b)，以及根据第二实施例(c)的根据图1或图2的真空处理系统的真空夹持器的示意图。

具体实施方式

图1示出了整体由附图标记10表示的真空处理设备10，其具有多个真空夹持器12。真空夹持器12通过共用流体线14以及止回阀16而连接到主真空系统18。特别地，主真空系统18不是真空处理设备10的一部分。特别地，主真空系统18由外部电源驱动。真空系统18可以例如根据文丘里(Venturi)原理来操作。真空泵形式的次级辅助真空系统20通过止回阀21而连接到共用流体线14。另外，真空处理设备10包括控制装置24和辅助动力装置23-特别是电压源-例如以蓄电池的形式存储电能。总的来说，辅助真空系统20设计成与辅助动力装置23一起完全地自给自足，并且可以独立于外部能源而操作。特别地，在主真空系统18的外部操作能源发生故障的情况下，辅助真空系统20可以被激活。

真空系统设备10特别设计用于人机协作。特别地，真空处理设备10可以形成在机器人上，从而形成人-机器人协作系统。在这种情况下，操作员可以直接与真空处理设备10交互-特别是，不需要分离保护装置，例如分区。

真空处理设备10的操作如下：

为了对未示出的工件进行处理，将真空夹持器12放置在工件上。然后，通过主真空系统18，在真空夹持器12中建立真空，使得工件通过抽吸而被保持。随后，工件可以被处理，特别是被运输，工件由真空夹持器12牢固地保持。

在处理过程中，控制装置24监测主真空系统18是否在主操作动力下进行操作，从而确保真空夹持器12中的真空。如果主操作动力失效，并且因此存在真空夹持器12中的真空将下降从而存在工件将落在操作员身上并伤害他的危险，则控制装置24激活辅助能量装置23，这样，真空泵20投入运行，从而通过次级辅助真空系统20在真空夹持器12中建立辅助真空。这样，可以在一段时间内保证有足够的真空将工件保持在真空夹持器12中。如果控制装置24检测到主真空系统18失效，则控制装置24还可以致动警告装置(未示出)，以便例如通过光学和/或声学信号警告操作员。另外地或替代地，控制装置24还可以包括至少一个压力传感器22。压力传感器22可以另外地或替代地设置在止回阀21下方所示的装置处，在一个或所有真空夹持器12中。然后，如果一个或所有真空夹持器12中的压力和/或压力变化率突然升高并且压力和/或压力变化率超过阈值，则可以将辅助真空系统20激活。

此外，控制装置24可以以这样的方式配置，即，使得在辅助真空系统20被激活时，还可以将真空处理设备10移动到固定的终端位置-例如远离于操作员可能处于的位置。这样，如果产生的辅助真空不再足够，那么工件便会在不伤害操作员的前提下从真空夹持器12上脱落。

与图1相比，图2不包括可电操作的泵20，而是包括真空蓄能器26，其通过控制阀28而连接到共用流体线14。在这种情况下，如果需要，则可以通过控制装置24使用辅助动力装置23致动控制阀28，使得控制阀28打开，并且相应地建立共用流体线14和真空容器26之间的流体连接。这样，可以将辅助真空引入真空夹持器12中，以在一段时间内保持足够的真空。

在开始处理过程之前，控制装置24可以执行诊断循环，下面参考图3和4更详细地描述：

操作员可以在步骤30中开始诊断循环。该开始在执行所计划的工件处理过程之前进行。或者，诊断循环也可以由控制装置24自动启动。

然后，在步骤32中，对待处理的工件进行检测。这可以通过操作员的手动输入来完成，或者可以通过传感器来对工件进行检测。为此，真空处理设备可以具有未示出的传感器装置。在这种情况下，可以检测工件的各种参数-例如其表面粗糙度和/或其透气性和/或其重量。

基于此，可以在步骤34中从数据库中调用理论上和/或实验上确定的目标压力随时间的变化，其可以由控制装置24激活。目标压力变化表示：当在真空夹持器12中对工件施加真空以及然后对泄漏进行评估时真空的曲线(profile)。该压力曲线例如可以如图4所示。因此，数据库存储理论上计算的和/或实验确定的用于与使用的真空处理设备10相互作用的工件的一个或多个参数的目标压力变化曲线，例如，其透气性和/或表面粗糙度。

然后，可以在步骤36中验证该目标压力变化曲线。为此，将真空夹持器12应用于工件，并通过真空夹持器12中的主真空系统18建立真空，并将工件吸到该真空夹持器12。随后，真空夹持器12中的压力曲线通过传感器装置而被确定，并传送到控制装置24。如果压力随时间下降超出图4所示的临界区域38，则在图3的步骤42中准许处理过程。这样，可以在步骤44中对工件进行处理。

然而，如果在步骤40中确定压力变化在临界区域38内，则执行步骤46，并且不准许处理过程。从而，在步骤48中中止处理过程。在这种情况下，如果达到临界区域38，这意味着使用主真空系统的所计划的处理不能安全地进行-也就是说，不可能建立足够的真空以安全处理工件。此外，这也意味着，尽管所产生的主真空足以用于安全处理，但是在主真空系统18失效的情况下，次级真空系统20不能提供足够的真空以确保在主能量失效时工件的安全处理。

根据图3和4的诊断循环可以执行用于工件的每次单独处理。然而，可以特别想到的是，通过类似的工件执行一系列类似的处理过程，并且诊断循环仅在处理过程的连续序列之前执行一次。

图5示出了真空夹持器12的两个可能的实施例。根据图5a至5c的真空夹持器12包括抽吸体50，抽吸体50限定抽吸室52，抽吸室52可以通过圆柱形延伸部54而设置于真空。此外，抽吸体50包括具有孔的抽吸壁56(未示出)，其中工件可以与抽吸壁56接触以进行处理操作。

在根据图5a和5b的实施例中，能够在延伸部54的纵向方向58上进行移动的保护元件60被设置在延伸部54上。该保护元件60设计为钟形罩。保护罩60可以设计成可复原的弹性的，特别是形成柔软的接触表面。

在根据图5c的实施例中，保护元件60固定到延伸部54并且与抽吸体50的抽吸壁56相距一定的距离d，使得工件不会被保护元件60损坏，并且仍然可以保护抽吸体50免受损坏。在这种情况下，保护罩可以由转动部件或成形的金属板部件制成，其特别地可以具有用于目视检查的孔。总的来说，保护元件60用于降低损坏的风险，特别是降低真空夹持器12的抽吸体50的损坏风险，从而可以减少真空处理设备10在处理过程的持续时间内其性质的潜在变化。

对于图3和4中所示的诊断循环，其可能是特别重要的。即，如果步骤40至46中的验证可以确定是否能够安全地执行所计划的一系列处理过程，则可以对真空处理设备10在过程持续时间内的预期的机械变化进行推断。特别地，在这种情况下假设机械边界条件在整个过程的持续时间内不会改变和/或不会以限定的方式改变-也就是说，在线、软管(hoses)或真空夹持器12中没有例如通过撕开软管或者通过由锋利的工件(如毛刺金属板)切开真空夹持器12而形成孔。此外，由于锋利的工具造成的故意损坏无法推断。因此，保护元件60尤其用于防止机械边界条件随时间变化。

Claims (15)

1.一种真空处理设备(10)的操作方法，特别是用于人机协作系统，所述系统包括能够连接到主真空系统(18)以产生真空的真空夹持器(12)，所述方法包括以下步骤：

a)将所述真空夹持器(12)应用于工件，并通过所述主真空系统(18)在所述真空夹持器(12)中建立真空；

b)通过所述真空夹持器(12)中的所述真空而在所述工件的处理期间对所述工件进行保持，并在所述处理期间对至少一个状态变量进行监测；和

c)如果所监测的状态变量偏离于目标状态，则通过自给自足的次级辅助真空系统(20,26)在所述真空夹持器(12)中产生辅助真空。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述步骤b)中，用于操作所述主真空系统(18)的主操作动力作为状态变量而被监测，并且，所述步骤c)特别地在检测到所述主操作动力失效的情况下执行。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，在所述步骤c)中，另外触发一动作。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，所述动作包括发出警告信号，和/或其中，所述动作包括中断所述真空处理设备(10)的移动或将所述真空处理设备(10)移动到安全的最终状态。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，在所述步骤b)中，将所述真空夹持器(12)中的压力和/或压力变化作为状态变量而检测，并且其中，如果所述真空夹持器(12)中的压力和/或压力变化超过阈值，则执行所述步骤c)。

6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，在所述步骤a)之前执行诊断循环，并且所述诊断循环包括以下步骤：

ad)将所述真空夹持器(12)应用于工件，并通过所述主真空系统(18)在所述真空夹持器(12)中建立真空；

bd)检测所述真空夹持器(12)中的压力随时间的变化；和

cd)验证是否能够通过所述真空处理设备安全地执行所计划的处理。

7.根据前述权利要求1至5中任一项所述的方法，其中，在所述步骤a)之前执行诊断循环，并且所述诊断循环包括以下步骤：

-检测待处理的所述工件；

-从数据库确定存储的随时间的目标压力变化，用于执行根据权利要求6中所述的方法中的所述步骤ad)和bd)；和

-验证是否能够通过所述真空处理设备(10)安全地执行所计划的处理。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，在从所述数据库确定所述目标压力变化之后，执行根据权利要求6所述的方法，其中，将所述随时间的目标压力变化与实际的、测量的压力变化进行比较，并且在此基础上，验证是否能够通过所述真空处理设备(10)安全地执行所计划的处理。

9.根据权利要求7或8所述的方法，其中，在所述诊断循环之前执行测试循环，并且其中，执行根据权利要求6所述的方法，以检测和存储用于至少一个工件的目标压力变化和/或所述真空处理设备(10)的状态。

10.根据前述权利要求6至9中任一项所述的方法，其中，所述诊断循环另外地或可替代地在所述工件的处理期间执行。

11.一种真空处理设备(10)，适于实施根据前述权利要求中任一项所述的方法，所述真空处理设备(10)具有：真空夹持器(12)以及用于产生用于操作所述真空夹持器(12)的真空的主真空系统(18)，其中，所述真空夹持器(12)包括次级辅助真空系统(20,26)，并且其中，所述辅助真空系统(20,26)被设计为独立于外部动力供给而实现自给自足地产生和/或提供所述真空夹持器(12)中的辅助真空。

12.根据权利要求11所述的真空处理设备(10)，其中，提供控制装置(24)，其被设计并适于执行根据前述权利要求中任一项所述的方法，并且其中，所述控制装置(24)特别地包括：用于监测状态变量的传感器装置，和/或其中，提供辅助动力装置(23)以用于所述辅助真空系统(20)的自给自足操作。

13.根据权利要求11或12所述的真空处理设备(10)，其中，所述真空夹持器(12)包括警告装置。

14.根据前述权利要求中任一项所述的真空处理设备(10)，其中，所述真空夹持器(12)包括抽吸体(50)，并且其中，用于保护所述抽吸体(50)不受损坏的保护元件(60)设置于所述真空夹持器(12)上。

15.一种人机协作系统，特别是人-机器人协作系统，包括根据前述权利要求中任一项所述的真空处理设备(10)和与所述真空处理设备(10)一起工作的操作员。