CN110373639B - 切削工具复合涂层及其制备方法 - Google Patents
切削工具复合涂层及其制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110373639B CN110373639B CN201910674007.4A CN201910674007A CN110373639B CN 110373639 B CN110373639 B CN 110373639B CN 201910674007 A CN201910674007 A CN 201910674007A CN 110373639 B CN110373639 B CN 110373639B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- layer
- tialn
- tisin
- thickness
- cutting tool
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0641—Nitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
- C23C14/325—Electric arc evaporation
Abstract
本发明公开了一种切削工具复合涂层，其功能层包括：TiAlN单层，TiAlN/TiSiN纳米复合层，TiSiN单层和TiAlN/TiSiN纳米复合层，所述TiAlN单层表面上依次沉积有TiAlN/TiSiN纳米复合层，TiSiN单层和TiAlN/TiSiN纳米复合层，所述功能层为含有多个循环周期的复合涂层；本发明提供的一种切削工具复合涂层及其制备方法，切削工具复合涂层具有周期性复合结构，使其在具有较高硬度前提下，又具有良好的膜基附着效果，可以用来加工模具钢、高速钢、高温合金钢甚至淬硬钢。
Description
技术领域
本发明涉及切削刀具涂层技术领域，具体涉及一种切削工具复合涂层及其制备方法。
背景技术
近几十年来，涂层技术已经被广泛应用在切削工具的防护领域，极大的改善了刀具使用寿命、加工精度和效率。在高合金钢切削领域，如模具钢、高速钢、高温合金钢材料切削加工中，常用的TiAlN、AlCrN涂层已经不能满足加工场合的需求，越来越多的工具厂商选择用TiSiN系列的涂层。掺杂有非晶态Si3N4的TiSiN涂层被证明具有优良的抗氧化性和红硬性，尤其是TiSiN涂层的硬度可达到4000HV以上，甚至可以用来加工淬硬钢。
TiSiN涂层的性能和Si的含量有直接关系：Si含量太低时，涂层硬度偏低无法发挥效果，Si含量较高时涂层硬度高耐磨性好，但同时应力也大，会导致涂层的结合力变差。理想条件下期望涂层得到越高的硬度和越高的结合力，而实际情况则是两种性能之间成反比。所以多数情况下会采用多层复合结构或纳米周期结构进行TiSiN的沉积。例如公布号CN105112858A的专利提供了一种依次沉积CrN结合层、AlTiN过渡层、AlTiN/TiSiN支撑层和TiSiN功能层的方法。公布号CN102242338A的专利介绍了一种“TiSiN层-TiAlSiN层-TiSiN层-TiAlN层”为一个循环周期多靶交替沉积的涂层方法。公布号CN106756841A的专利提供了一种利用高功率脉冲磁控溅射技术沉积TiN-TiSiN复合涂层的工艺。
虽然以上方法均可以使涂层得到较好的附着力，但只针对于Si原子比含量≤15％的情况下，且最终沉积的涂层硬度较低(3500HV以内)。对于具有更高硬度的高Si(原子比＞15％)TiSiN涂层，采用以上方法并不能使涂层具有优良的附着效果。
现阶段国内涂层企业和刀具企业采用的TiSiN涂层中Si原子含量普遍在15％或以下，主要是因为Si含量进一步提升后，涂层与刀具基材或者涂层层间会因过高的应力导致崩膜，尤其是涂层厚度大于2μm的情况下，直接的结果就是涂层后刀具良率太低或者使用过程中涂层脱落。
为了克服高Si含量TiSiN涂层性能的不足，并且使其能满足模具钢、高速钢、高温合金钢等高合金钢材料切削加工的需要，针对Si含量在15-30％高硅TiSiN涂层，本发明提供了一种具有周期性复合结构的切削工具复合涂层及其制备方法，使其在具有较高硬度前提下，又具有良好的膜基附着效果，可以用来加工模具钢、高速钢、高温合金钢甚至淬硬钢。
发明内容
为了解决上述技术问题，本发明提出了一种切削工具复合涂层及其制备方法，切削工具复合涂层具有周期性复合结构，使其在具有较高硬度前提下，又具有良好的膜基附着效果，可以用来加工模具钢、高速钢、高温合金钢甚至淬硬钢。
为了达到上述目的，本发明的技术方案如下：
切削工具复合涂层，其功能层包括：TiAlN单层，TiAlN/TiSiN纳米复合层，TiSiN单层和TiAlN/TiSiN纳米复合层，所述TiAlN单层表面上依次沉积有TiAlN/TiSiN纳米复合层，TiSiN单层和TiAlN/TiSiN纳米复合层，所述功能层为含有多个循环周期的复合涂层。
本发明提供的一种切削工具复合涂层及其制备方法，通过分层的方式将高应力的TiSiN分散到涂层中，破坏了单层TiSiN涂层的一致性，利用低应力低硬度的TiAlN涂层作为每个单层之间的分隔介质，对于缓解涂层层间应力和阻止高应力TiSiN涂层裂纹的扩展具有极大的帮助。每一个TiSiN的纳米单层内都具有丰富的Si含量，使涂层仍然具有非常高的硬度，可以达到3800HV以上，划痕法附着力达到100N以上。
在上述技术方案的基础上，还可做如下改进：
作为优选的方案，所述功能层包括：5-20组TiAlN单层表面依次沉积有TiAlN/TiSiN纳米复合层，TiSiN单层和TiAlN/TiSiN纳米复合层结构的循环周期的复合涂层。
作为优选的方案，所述功能层的总厚度为1000-5000nm，每一个循环周期的复合涂层的厚度为100-500nm。
作为优选的方案，所述TiAlN单层厚度为30-100nm，所述TiSiN单层厚度为30-100nm，所述TiAlN/TiSiN纳米复合层中每一个TiAlN或TiSiN纳米层厚度为2-10nm，所述TiAlN单层厚度相对于所述TiSiN单层厚度的2/1-1/3，所述TiAlN单层厚度或所述TiSiN单层厚度相对于所述TiAlN/TiSiN纳米复合层厚度的5/1-1/1。
作为优选的方案，所述TiSiN单层是以不连续的多层结构或纳米层结构存在于复合涂层中。
作为优选的方案，切削工具复合涂层制备方法，包括以下步骤：
1)通过多弧离子镀的工艺依次在切削工具基层表面上沉积打底层和TiAlN过渡层；
2)TiAlN过渡层表面上沉积功能层，具体为在TiAlN过渡层表面上依次沉积有TiAlN单层，TiAlN/TiSiN纳米复合层，TiSiN单层和TiAlN/TiSiN纳米复合层为一个循环周期的功能层，包含5-20个循环周期。
作为优选的方案，所述打底层为TiN、CrN或ZrN，所述打底层厚度为50-300nm，所述TiAlN过渡层通过TiAl靶沉积于打底层表面，TiAl靶中Ti原子含量为30-60％，所述TiAlN过渡层厚度为200-2000nm。
作为优选的方案，所述TiAlN单层通过TiAl靶单独沉积，TiAl靶中Ti原子含量为30-60％。
作为优选的方案，所述TiSiN单层通过TiSi靶单独沉积，TiSi靶中Si原子含量为15-30％。
作为优选的方案，所述TiAlN/TiSiN纳米复合层通过TiAl靶和TiSi靶同时沉积。
附图说明
图1为本发明实施例提供的一种切削工具复合涂层的结构图；
其中：1.切削工具基层，2.打底层，3.TiAlN过渡层，4.TiAlN单层，5.TiAlN/TiSiN纳米复合层，6.TiSiN单层，7.TiAlN/TiSiN纳米复合层中的TiSiN纳米层，8.TiAlN/TiSiN纳米复合层中的TiAlN纳米层，9.表层，10.TiAlN/TiSiN纳米复合层。
具体实施方式
下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
下面结合附图详细说明本发明的优选实施方式。
为了达到本发明的目的，如图1所示，本实施例中的一种切削工具复合涂层，其功能层包括：TiAlN单层4，TiAlN/TiSiN纳米复合层5，TiSiN单层6和TiAlN/TiSiN纳米复合层10，所述TiAlN单层4表面上依次沉积有TiAlN/TiSiN纳米复合层5，TiSiN单层6和TiAlN/TiSiN纳米复合层10，所述功能层为含有多个循环周期的复合涂层。
本发明提供的一种切削工具复合涂层及其制备方法，通过分层的方式将高应力的TiSiN分散到涂层中，破坏了单层TiSiN涂层的一致性，利用低应力低硬度的TiAlN涂层作为每个单层之间的分隔介质，对于缓解涂层层间应力和阻止高应力TiSiN涂层裂纹的扩展具有极大的帮助。每一个TiSiN的纳米单层内都具有丰富的Si含量，使涂层仍然具有非常高的硬度，可以达到3800HV以上，划痕法附着力达到100N以上。
功能层中TiAlN单层4和TiSiN单层6之间采用TiAlN/TiSiN纳米复合层5作为过渡层，可以有效改善层间结合力。
在一些实施例中，所述功能层包含5-20组TiAlN单层4表面依次沉积有TiAlN/TiSiN纳米复合层5，TiSiN单层6和TiAlN/TiSiN纳米复合层10结构的循环周期的复合涂层。
在一些实施例中，所述功能层的总厚度为1000-5000nm，每一个循环周期的复合涂层的厚度为100-500nm。
在一些实施例中，所述TiAlN单层4厚度为30-100nm，所述TiSiN单层6厚度为30-100nm，所述TiAlN/TiSiN纳米复合层6或10中每一个TiAlN或TiSiN纳米层厚度为2-10nm，所述TiAlN单层4厚度相对于所述TiSiN单层6厚度的2/1-1/3，所述TiAlN单层4厚度或所述TiSiN单层6厚度相对于所述TiAlN/TiSiN纳米复合层6或10厚度的5/1-1/1。
在一些实施例中，所述TiSiN单层6是以不连续的多层结构或纳米层结构存在于复合涂层中。
在一些实施例中，切削工具复合涂层制备方法，包括以下步骤：
1)通过多弧离子镀的工艺依次在切削工具基层表面上沉积打底层2和TiAlN过渡层3；
2)TiAlN过渡层3表面上沉积功能层，具体为在TiAlN过渡层3表面上依次沉积有TiAlN单层4，TiAlN/TiSiN纳米复合层5，TiSiN单层6和TiAlN/TiSiN纳米复合层10为一个循环周期的功能层，包含5-20个循环周期；(TiAlN单层4、TiAlN/TiSiN纳米复合层5、TiSiN单层6、TiAlN/TiSiN纳米复合层10为一个循环周期，共循环5-20次)。
在一些实施例中，所述打底层2为TiN、CrN或ZrN，所述打底层2厚度为50-300nm，所述TiAlN过渡层3通过TiAl靶沉积于打底层表面，TiAl靶中Ti原子含量为30-60％，所述TiAlN过渡层3厚度为200-2000nm。
在一些实施例中，所述TiAlN单层4通过TiAl靶单独沉积，TiAl靶中Ti原子含量为30-60％。
在一些实施例中，所述TiSiN单层6通过TiSi靶单独沉积，TiSi靶中Si原子含量为15-30％。
在一些实施例中，所述TiAlN/TiSiN纳米复合层5或10通过TiAl靶和TiSi靶同时沉积。
实施例1
选用YG8材质的硬质合金刀片作为基体，先用工业清洗线对刀片进行清洗，然后装入涂层机内将真空抽至5e-4mBar以下，加热至400℃并用Ar离子对刀片表面蚀刻。采用多弧离子镀的工艺依次在刀片上沉积200nm厚的TiN层和500nm厚的Ti0.6Al0.4N过渡层，然后按照“TiAlN单层-TiAlN/TiSiN纳米复合层-TiSiN单层-TiAlN/TiSiN纳米复合层”的方式沉积功能层，功能层沉积过程中先打开TiAl靶沉积50nm的Ti0.6Al0.4N层，再同时开启TiAl靶材和TiSi靶材，沉积50nm的Ti0.6Al0.4N和Ti0.7Si0.3N的复合层，然后关闭TiAl靶材沉积厚度为60nm的Ti0.7Si0.3N层，然后再同时开启TiAl靶材和TiSi靶材，沉积Ti0.6Al0.4N和Ti0.7Si0.3N的复合层，依次循环15次得到厚度为3.1μm的功能层，涂层总厚度约3.8μm。按此方法得到的涂层硬度为4100-4300HV，划痕附着力在100-110N之间。
对比案例1
选用YG8材质的硬质合金刀片作为基体，先用工业清洗线对刀片进行清洗，然后装入涂层机内将真空抽至5e-4mBar以下，加热至400℃并用Ar离子对刀片表面蚀刻。采用多弧离子镀的工艺依次在刀片上沉积200nm厚的TiN层和500nm厚的Ti0.6Al0.4N过渡层，功能层采用TiSi靶沉积厚度为3.0um的Ti0.7Si0.3N单层涂层，涂层总厚度约3.7μm。按照此方法得到的涂层硬度为4300-4500HV，划痕附着力＜60N，极易剥落。
实施例2
选用YG8材质的硬质合金刀片作为基体，先用工业清洗线对刀片进行清洗，然后装入涂层机内将真空抽至5e-4mBar以下，加热至450℃并用Ar离子对刀片表面蚀刻。采用多弧离子镀的工艺依次在刀片上沉积200nm厚的TiN层和1000nm厚的Ti0.5Al0.5N过渡层，然后按照“TiAlN单层-TiAlN/TiSiN纳米复合层-TiSiN单层-TiAlN/TiSiN纳米复合层”的方式沉积功能层，功能层沉积过程中先打开TiAl靶沉积40nm的Ti0.5Al0.5N层，再同时开启TiAl靶材和TiSi靶材，沉积30nm的Ti0.5Al0.5N和Ti0.75Si0.25N的复合层，再关闭TiAl靶材沉积厚度为100nm的Ti0.75Si0.25N层，然后再同时开启TiAl靶材和TiSi靶材，沉积Ti0.5Al0.5N和Ti0.75Si0.25N的复合层，按此方法依次循环10次得到厚度为2.0μm的功能层，涂层总厚度约3.2μm。按此方法得到的涂层硬度为4000-4200HV，划痕附着力在110-120N之间。
对比案例2
选用YG8材质的硬质合金刀片作为基体，先用工业清洗线对刀片进行清洗，然后装入涂层机内将真空抽至5e-4mBar以下，加热至450℃并用Ar离子对刀片表面蚀刻。采用多弧离子镀的工艺依次在刀片上沉积200nm厚的TiN层和1000nm厚的Ti0.5Al0.5N过渡层，然后同时开启TiAl靶和TiSi靶，沉积Ti0.5Al0.5N和Ti0.75Si0.25N的纳米复合层，每个纳米周期层间厚度为3-3.5nm，纳米复合层厚度为2.2μm，涂层总厚度约为3.4μm。按照此方法得到的涂层硬度为4000-4200HV，划痕附着力在80-90N之间。
本发明通过分层的方式将高应力的TiSiN分散到涂层中，破坏了单层TiSiN涂层的一致性，利用低应力低硬度的TiAlN涂层作为每个单层之间的分隔介质，对于缓解涂层层间应力和阻止高应力TiSiN涂层裂纹的扩展具有极大的帮助，每一个TiSiN的纳米单层内都具有丰富的Si含量，使涂层仍然具有非常高的硬度，可以达到3800HV以上，划痕法附着力达到100N以上。
本发明提供的一种切削工具复合涂层可应用于各种类型的硬质合金刀具或高速钢刀具领域。
以上的仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。
Claims (9)
1.切削工具复合涂层，其特征在于，其功能层包括：TiAlN单层，TiAlN/TiSiN纳米复合层，TiSiN单层和TiAlN/TiSiN纳米复合层，所述TiAlN单层表面上依次沉积有TiAlN/TiSiN纳米复合层，TiSiN单层和TiAlN/TiSiN纳米复合层，所述功能层为含有多个循环周期的复合涂层；所述TiAlN单层厚度为30-100nm，所述TiSiN单层厚度为30-100nm，所述TiAlN/TiSiN纳米复合层中每一个TiAlN或TiSiN纳米层厚度为2-10nm，所述TiAlN单层厚度相对于所述TiSiN单层厚度的2/1-1/3，所述TiAlN单层厚度或所述TiSiN单层厚度相对于所述TiAlN/TiSiN纳米复合层厚度的5/1-1/1。
2.根据权利要求1切削工具复合涂层，其特征在于，所述功能层包括：5-20组TiAlN单层表面依次沉积有TiAlN/TiSiN纳米复合层，TiSiN单层和TiAlN/TiSiN纳米复合层结构的循环周期的复合涂层。
3.根据权利要求2切削工具复合涂层，其特征在于，所述功能层的总厚度为1000-5000nm，每一个循环周期的复合涂层的厚度为100-500nm。
4.根据权利要求1切削工具复合涂层，其特征在于，所述TiSiN单层是以不连续的多层结构或纳米层结构存在于复合涂层中。
5.根据权利要求1所述的切削工具复合涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)通过多弧离子镀的工艺依次在切削工具基层表面上沉积打底层和TiAlN过渡层；
2)TiAlN过渡层表面上沉积功能层，具体为在TiAlN过渡层表面上依次沉积有TiAlN单层，TiAlN/TiSiN纳米复合层，TiSiN单层和TiAlN/TiSiN纳米复合层为一个循环周期的功能层，包含5-20个循环周期。
6.据权利要求5切削工具复合涂层制备方法，其特征在于，所述打底层为TiN、CrN或ZrN，所述打底层厚度为50-300nm，所述TiAlN过渡层通过TiAl靶沉积于打底层表面，TiAl靶中Ti原子含量为30-60％，所述TiAlN过渡层厚度为200-2000nm。
7.据权利要求5切削工具复合涂层制备方法，其特征在于，所述TiAlN单层通过TiAl靶单独沉积，TiAl靶中Ti原子含量为30-60％。
8.据权利要求5切削工具复合涂层制备方法，其特征在于，所述TiSiN单层通过TiSi靶单独沉积，TiSi靶中Si原子含量为15-30％。
9.据权利要求5切削工具复合涂层制备方法，其特征在于，所述TiAlN/TiSiN纳米复合层通过TiAl靶和TiSi靶同时沉积。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910674007.4A CN110373639B (zh) | 2019-07-24 | 2019-07-24 | 切削工具复合涂层及其制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910674007.4A CN110373639B (zh) | 2019-07-24 | 2019-07-24 | 切削工具复合涂层及其制备方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110373639A CN110373639A (zh) | 2019-10-25 |
| CN110373639B true CN110373639B (zh) | 2021-04-20 |
Family
ID=68255696
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910674007.4A Active CN110373639B (zh) | 2019-07-24 | 2019-07-24 | 切削工具复合涂层及其制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN110373639B (zh) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112593188B (zh) * | 2021-03-04 | 2021-05-14 | 中南大学湘雅医院 | 一种复合纳米多层薄膜及其制备方法以及医用手术刀具 |
| CN113652651B (zh) * | 2021-08-05 | 2022-04-26 | 东莞市华升真空镀膜科技有限公司 | TiAlN/TiSiNiN复合涂层、硬质涂层及其制备方法与应用 |
| CN114196919A (zh) * | 2021-12-14 | 2022-03-18 | 昆山汇创杰纳米科技有限公司 | 一种模具用高结合力硬质涂层及其制备工艺 |
| CN114622161B (zh) * | 2022-03-21 | 2024-03-22 | 厦门鸿鹭联创工具有限公司 | 一种含有周期性涂层的刀具及其制备方法 |
| CN115121872B (zh) * | 2022-05-24 | 2023-09-08 | 广东华升纳米科技股份有限公司 | 涂层切削刀具及其制备方法 |
| CN115125486B (zh) * | 2022-07-27 | 2024-01-02 | 安徽工业大学 | 一种含有多层结构的高强韧纳米复合涂层及其制备方法 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008093760A (ja) * | 2006-10-10 | 2008-04-24 | Nachi Fujikoshi Corp | ドライ加工で優れた性能を発揮する硬質被膜 |
| CN103764873B (zh) * | 2011-06-30 | 2016-01-13 | 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫) | 用于高性能工具的纳米层涂层及其制备方法 |
| US9617654B2 (en) * | 2012-12-21 | 2017-04-11 | Exxonmobil Research And Engineering Company | Low friction coatings with improved abrasion and wear properties and methods of making |
| CN104846332B (zh) * | 2015-04-17 | 2017-10-03 | 岭南师范学院 | 一种超润滑多层纳米复合涂层及其制备方法 |
| CN104862652B (zh) * | 2015-05-11 | 2017-01-18 | 上海应用技术学院 | 一种TiAlSiN超硬梯度涂层的制备方法 |
| CN105112858B (zh) * | 2015-08-31 | 2018-01-12 | 科汇纳米技术（深圳）有限公司 | 一种多层结构的纳米复合刀具涂层 |
| CN105779948A (zh) * | 2016-03-08 | 2016-07-20 | 武汉大学苏州研究院 | 一种TiAlN/MoN多层膜复合涂层及其制备方法 |
| CN107675133A (zh) * | 2017-09-18 | 2018-02-09 | 北京理工大学 | 一种刀具表面多维梯度涂层的制备方法 |
| CN108642449B (zh) * | 2018-05-29 | 2020-01-14 | 武汉大学 | 超硬强韧高熵合金氮化物纳米复合涂层硬质合金刀片及其制备方法 |
| CN108715992B (zh) * | 2018-06-05 | 2019-12-24 | 武汉大学 | 一种集成电路陶瓷电路板表面铜-石墨烯复合涂层及其制备方法 |
| CN109735803B (zh) * | 2018-12-27 | 2021-10-15 | 广东工业大学 | 一种TiSiYN多组元复合梯度刀具涂层及其制备方法 |
-
2019
- 2019-07-24 CN CN201910674007.4A patent/CN110373639B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN110373639A (zh) | 2019-10-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN110373639B (zh) | 切削工具复合涂层及其制备方法 | |
| CN103273687B (zh) | TiSiN+ZrSiN复合纳米涂层刀具及其制备方法 | |
| CN102277554B (zh) | 梯度叠层涂层刀具及其制备方法 | |
| CN107287555B (zh) | 一种自组装纳米氧氮化物涂层及其制备方法和应用 | |
| CN104131256A (zh) | 一种多层纳米复合刀具涂层及其制备方法 | |
| CN102268637A (zh) | 含TiAlN层和CrAlN层的复合涂层刀具及其制备方法 | |
| CN107523790A (zh) | 一种AlCrSiCuN纳米多层涂层及其制备方法 | |
| CN105316629A (zh) | 一种超硬纳微米多层复合涂层及其制备方法 | |
| CN103737092A (zh) | 一种pcb用pvd涂层微型铣刀及其制备方法 | |
| CN109735803A (zh) | 一种TiSiYN多组元复合梯度刀具涂层及其制备方法 | |
| JPH1161380A (ja) | 耐磨耗性多層型硬質皮膜 | |
| CN104325738A (zh) | 一种冷轧圆盘飞剪的硬质涂层及其制备方法 | |
| CN109763093A (zh) | 具有复合涂层的机械部件及其制备方法 | |
| CN103009697B (zh) | 一种自润滑梯度复合超硬膜及其制备方法 | |
| CN101200797B (zh) | 一种切削不锈钢用的物理气相沉积纳米多层涂层及其制备方法 | |
| CN102181835B (zh) | Ti-Zr/ZrN纳米多层涂层刀具及其制备工艺 | |
| CN109576643A (zh) | 一种TiSiVN多组元复合梯度刀具涂层及其制备方法 | |
| CN107190229B (zh) | 一种自组装纳米氧氮化物耐高温涂层及其制备方法 | |
| CN201971890U (zh) | 一种提高金属合金基体硬度和抗腐蚀性能的涂层结构 | |
| CN102586734B (zh) | TiAlN/Ta多层膜刀具涂层及其制备方法 | |
| CN105568215B (zh) | 一种固体润滑多层复合膜及其制备方法 | |
| CN209636303U (zh) | 具有复合涂层的机械部件 | |
| CN209636304U (zh) | 具有复合涂层的机械部件 | |
| CN107177826B (zh) | MoNbC/MoNbCN叠层复合涂层刀具及其制备工艺 | |
| CN106756821A (zh) | 一种Ti‑Ag‑N纳米复合涂层及其制备方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |