CN110337613A - 具有输送锁定件的光学配置，尤其是光刻系统 - Google Patents

Abstract

本发明关于光学配置，例如光刻系统，其包含：第一部件(19)，特别是承载框；第二部件(13)，其可相对第一部件(19)移动，特别是反射镜；以及至少一个止挡件(20)，其具有至少一个止挡面(20a、20b)用于限制第二部件(13)相对第一部件(19)的移动。在本发明一个方面中，光学配置(较佳为止挡件(20))具有用于固定第二部件(13)的固定装置(23)，其至少包含可相对止挡件(20)的止挡面(21a、21b)移动的固定元件(24)。本发明的其他方面同样关于具有固定装置或具有输送锁定件的光学配置。

Description

具有输送锁定件的光学配置，尤其是光刻系统

相关申请的交叉引用

本申请主张2017年1月17日申请的德国专利申请10 2017 200 636.6的优先权，其全部公开内容视为本申请公开内容的一部分并以引用的方式并入本文。

技术领域

本发明的一方面关于一装置，例如光刻系统，特别是EUV光刻系统，其包含：第一部件(特别是承载框)、相对于第一部件可移动的第二部件(特别是反射镜)、以及具有用以限制第二部件相对第一部件的移动的至少一个止挡面的至少一个止挡件。

背景技术

针对本申请案的目的，将光刻系统理解为可用于光刻领域的光学系统或光学配置。除了用于生产半导体部件的光刻装置外，光学系统也可例如为用以检查在光刻装置中所使用的光掩模(以下也称为掩模母版)、用以检查待结构化的半导体基板(在下文中也称为晶片)的检查系统，或为用以测量光刻装置或其部分(例如用以测量投射系统)的度量系统。光学配置或光刻系统可特别为EUV光刻系统，其设计用于波长在约5nm与约30nm之间的EUV波长范围中的使用辐射。

在下文中经常提到可移动(第二)部件或形式为反射镜的移动/可移动物体(特别是EUV反射镜)。然而，原则上，可移动部件也可为任何其他物体或任何其他部件或子部件，例如光学部件，如透镜或棱镜、晶片台、机床的零件、用于光学或非光学部件的其他承载框架或承载结构等。

第一部件可例如为光学配置的承载框(称作“力框”)，其实质地吸收作用在光学配置上的所有力。可移动部件通常相对承载框弹簧式安装、或与其机械地解耦，使得理想上没有力或振动从承载框传输到可移动部件。然而，第一部件也可为某些其他部件，例如载体部件，其相对光学配置的承载框弹簧式安装或与其机械地解耦。

在EUV光刻装置的情况下，特别是在用以将掩模的像投射到光敏感基板上的EUV镜头的情况下，成像质量相对于EUV反射镜的光学表面的变形的敏感度将特别大。假设这种镜头的光学设计被校正到约10mλ，其中λ表示工作波长，则在约13.5nm的工作波长λ处存在约135pm的最大允许波前误差。这表示约50pm的EUV反射镜的表面变形已经导致显著的波前像差。因此，在EUV光刻装置或EUV镜头的操作期间，EUV反射镜被设定为暂停状态，使得作用于EUV反射镜的力和力矩尽可能小。这种暂停状态或与周围环境机械地解耦的状态所具有的结果为，EUV反射镜实际上可在其端部位置之间自由地移动，这些端部位置通常由端部止挡件所限定，且可能与端部止挡件碰撞。特别是在输送EUV光刻装置时，还有在发生地震时，这可能导致对EUV反射镜或其他部件的损坏。

在传统EUV镜头的情况下，这个问题通过在输送期间将其反转来解决。在此情况下，造成重量补偿及导致EUV反射镜在EUV镜头或EUV光刻装置的操作位置处的暂停状态的力、以及反射镜重量的力，相加在一起而形成总体力或总体加速度，其大致对应于由重力引起的加速度的两倍(2g)。以此方式，反射镜通常保持固定在其垂直端部位置，直到2g数量级的加速度。在更大加速度的情况下，EUV反射镜可能离开端部位置并再次自由地位于端部位置之间，即EUV反射镜的固定在可承受的冲击负载方面受到限制。在未来的EUV镜头情况下，EUV反射镜有可能变得太大太重，而使得EUV镜头的反转不再是适当的或可能的。

DE 10 2012 212 503 A1揭露了一种光刻装置，其具有第一部件及第二部件以及用以将第一部件与第二部件彼此联接的联接装置。光刻装置具有用以感测光刻装置所站立的基座的移动的感测装置以及设计以根据所感测的基座移动来启动联接装置以限制第二部件相对第一部件的移动的控制装置。为此目的，联接装置可具有至少一个可调式端部止挡件。可调式端部止挡件可与形式为反射镜的第二部件紧靠，以实现反射镜相对形式为承载框的第一部件的形状配合固定。这是为了通过固定来避免在发生冲击的情况下或因地震而发生摇晃的情况下对反射镜造成损坏。

DE 10 2014 215 159 A1描述了具有至少一个光学元件及具有载体的光学配置，其中光学元件在载体上配置为可相对于载体移动。可将光学元件相对于载体固定在适当位置的固定装置具有形状记忆合金的至少一个致动器。固定装置设计为输送锁定件，其在光学元件未被使用时将光学元件相对于载体固定在适当位置。

DE 10 2011 087 389 A1描述了一种定位系统，其具有用于部件(例如用于光学元件)的止挡件，该止挡件限制部件的移动路径并且被可调整地设计。止挡件可被调整使得部件与止挡件的止挡面之间的距离保持在预定范围内。

发明内容

本发明的目的

本发明的目的为提供一光学配置，特别是光刻系统，其设计为尽可能地最小化在光学配置的输送期间对可移动部件的损害。

本发明的主题

此目的根据第一方面由开头所述类型的装置来实现，其中光学配置(较佳为止挡件(stop))具有用以固定第二部件的固定装置，其至少包含可相对止挡件的止挡面(stopface)移动的固定元件。

在固定装置的协助下进行第二部件(其可相对于第一部件移动)的固定，使得第二部件实际上无法(再)相对于第一部件移动。止挡面或止挡件可牢固地连接到第一部件；然而，止挡件或止挡面也可能安装在第二部件上或与其牢固地连接。为了第二部件相对第一部件的移动(在下文中假设为适当地固定)，光学配置可具有一个或多个致动器，其作用在第二部件上以使其移动，例如为了使其位移或转动或倾斜。

一般来说，在下文中将假设第二部件可例如在致动器的协助下相对(固定的)第一部件移动，使得第二部件也被称作可移动部件。然而，不必然是这种情况，即有可能是第一部件在致动器的协助下可移动，而不是第二部件可移动。也有可能两个部件安装为可相对于固定的坐标系统移动，例如假设两个部件为两个承载结构，例如光学配置的两个承载框。

固定装置或固定元件较佳为止挡件的零件，即固定元件及止挡件通常实质地在相同的位置处或在(实质上)连续的表面区域中作用在可移动第二部件上。(端部)止挡件与固定装置或固定元件(其固定可移动部件用以输送光学配置)的组合提供了许多优点：一方面，与固定装置与止挡件在空间上分开配置的解决方案的情况相比，在少得多的位置处需要光学配置的可达性；另一方面，结果为在可移动部件上的界面或表面区域的数量也可被最小化、限制或用于两种功能。

在光学配置的正常操作期间，可移动部件通常不与止挡件接触，即不与止挡面接触或不与止挡件的固定元件接触。在输送期间，输送安全功能可通过合并在(端部)止挡件中的固定装置(更精确地说为通过固定元件)来确保，其在输送的情况下将可移动部件(其例如为反射镜的形式)固定。这可能包含将可移动部件夹靠在固定的部件上，例如抵靠在承载框上，或可能抵靠其他(端部)止挡件上，或可能以形状配合(form-fitting)的方式固定。

作为固定元件或固定装置与止挡件的组合的替代方案，也有可能在空间上分离止挡件与固定元件或固定装置。在此情况下，固定装置可例如具有用以将固定元件移动到固定位置的致动器，其中固定元件在第一表面区域中压靠可移动部件，其中第一表面区域与第二表面区域在空间上分离，止挡件的止挡面在第二表面区域处压靠可移动部件，例如在发生冲击的情况下。在此情况下，可移动部件的固定可例如通过固定装置在固定位置中将可移动部件压靠在(固定的)止挡件上或压靠在其止挡面上并牢固地夹紧它们来实现。通过适当地选择固定元件施加在可移动部件上的力的方向，单一固定元件有可能足以在整体上固定或牢固地夹持可移动部件。

压力缸(pressure cylinder)可通过改变到压力缸的供给管线中的压力而移动，其可例如作为用以移动固定元件的致动器。可移动压力缸可例如以固定螺栓的方式作用在固定元件上，以固定可移动部件。可移动部件可通过相同的机构(即通过压力缸)被再次释放。代替气动致动器，机电致动器(例如电动机或继电器(电磁体))也可以作用在固定元件上，以将固定元件从固定位置移动到操作位置，反之亦然。形状记忆合金也可用以形成简单且低成本的“电动机”，其可作为用于机械固定元件的致动器或可能其本身作为固定元件。举例来说，为此目的，电流可经由形状记忆合金的导线传导，其效果为导线试图恢复其原来的形状。

固定元件可以直接或间接的力效应作用在可移动的第二部件上。在直接力效应的情况下，馈送或固定方向与待吸收的冲击力的方向在用于固定的机构中平行延伸。另一方面，在间接力吸收的情况下，待吸收的冲击力垂直于馈送或固定方向。

作为输送锁定(transport lock)的上述构造的替代方案，以其将部件压入或夹持在预定位置且永久地施加一定的压力在(固定)部件上，也有可能使用只有严格限制可移动部件的移动范围的输送锁定件或固定件，以最小化可移动部件的移动，然而在“静止”时(即在固定位置)没有力施加到可移动部件上。在此情况下，固定元件在固定位置中可能不完全以固定面抵靠可移动部件，而是在固定位置处与可移动部件保持一小距离，例如小于约10μm。以此方式，通过在固定位置的固定元件将可移动部件的移动可能性限制到最小，这可能足以防止在输送期间损坏第二部件。在操作位置中，固定元件通常比在固定位置中与可移动部件保持更远的距离，以不要不必要地限制第二部件的移动可能性。

在一发展中，固定元件可在固定位置与操作位置之间移动，特别是手动地移动，其中固定元件在固定位置处(以一固定面)紧靠(abut against)第二部件，且固定元件在操作位置处与第二部件隔开(进一步的)距离。就本申请的目的而言，固定元件紧靠第二部件被理解为表示固定元件和第二部件之间的接触(即通常为表面面积上的接触)、或固定元件或其固定面在可移动部件前小于约10μm的小距离的配置(见上文)。在这两种情况下，固定元件移动到固定位置使得止挡件能够被使用作为输送锁定件。为此目的，固定元件从操作位置移动到固定位置。固定元件从操作位置(其中部件可相对承载框移动)进入固定位置(反之亦然)的移动可例如手动地发生，例如可能通过使用固定螺钉或借助于工具(例如借助于杆或类似物)使固定元件移动或位移。

在一发展中，光学配置或止挡件具有至少一个致动器，用以在固定位置与操作位置之间移动固定元件。用以移动固定元件的致动器可例如为压电致动器，但其他的驱动概念(例如使用电动驱动器等)也是可能的。

在一实施例中，止挡件具有含头部区域的杆状部分，其中至少一个止挡面形成于头部区域中，且固定元件在杆状部分的纵向方向上被可移动地引导。止挡件的止挡面可例如安装在头部区域的端面上或围绕头部区域。头部区域可具有阻尼装置，例如形式为一个或多个弹性体元件，其形成在通常为金属杆状部分上的头部区域中。止挡面在此情况下形成在阻尼弹性体元件上，以在发生突然震动的情况下(例如在发生地震的情况下)，减缓可移动部件对止挡面的撞击。

在一发展中，固定元件(特别是至少其固定面)以环状方式(特别是圆形环的形式)环绕止挡件的杆状部分。以此方式，可实现具有整合输送安全功能的特别紧凑的止挡件。

在另一实施例中，可移动部件具有凹部，止挡件在凹部中与头部区域接合，凹部的周围较佳具有用以在固定元件的固定位置处邻接接触固定元件(更准确地说为固定元件的固定面)的斜面。凹部可例如形成为圆柱形孔，其中止挡件的头部区域接合到圆柱形孔中。头部区域的止挡面(例如以(圆形)环的形式环绕)在此情况下可例如在XY方向上限制部件的移动，而当部件在凹部或孔底部撞击止挡面时，形成在止挡件或头部区域的端面上的另一止挡面限制其例如在Z方向上移动。固定面(其一般以环的形式环绕)可例如形成为渐细的锥形并接合于形成在凹部周围上的斜面。以此方式，固定装置可限制可移动部件在所有三个空间方向上的移动，并在固定位置处将其固定在所有三个空间方向上。

在一发展中，固定元件设计为将止挡件的头部区域展开抵靠凹部或孔的侧表面。在这种情况下，头部区域或可能是整个止挡件可由在固定元件的协助下展开的一个或多个部件所构成，使得其紧靠凹部的侧表面或压靠在凹部的侧表面上。头部区域的展开也可用于设定止挡件与凹部的侧表面之间的间隙宽度，且以此方式可适用于限制部件的移动范围。

在一发展中，止挡件的头部区域具有可相对彼此移动的至少两个头部部分，固定元件在至少两个头部部分之间接合于固定位置。在此发展中，止挡件通常形成为两个或更多部分。在操作期间，止挡件的形式基本上对应于传统端部止挡件的形式。在输送的情况下(其中固定元件处于固定位置)，可相对彼此移动的头部部分由固定元件压靠在凹部的侧表面上并夹持可移动部件。若头部部分与可移动部件的侧表面之间的摩擦足够大，则止挡件在XY方向及Z方向上都作用为输送锁定件。在此处，两个头部部分可分别安装在止挡件的自身杆状部分上，其远离头部部分的端部可通过接合件而安装在承载框上，以能够通过固定元件来展开。

同样可能的是，两个或更多个止挡件具有至少一个致动器，以相对于可移动部件或承载框移动或移位止挡面，使得其在固定位置处压靠可移动部件，以由此方式将可移动部件夹持在止挡件的止挡面之间，如在例如开头所引用的DE 10 2012 212 503 A1中所述。在两个或更多端部止挡件的端面彼此不直接相对的情况下(如在DE 10 2012 212 503 A1中)，可能有利的是，不仅能够由致动器实现在杆状部分的纵向方向上的位移，且能够实现横向于其纵向方向的位移，以由此方式在止挡件之间或在止挡件的止挡面之间牢固地夹持可移动部件。

在另一实施例中，固定元件在固定位置将第二部件压靠在止挡件的至少一个止挡面上。在此实施例中，固定元件不形成止挡件的一部分，即其不在表面区域处作用在可移动部件上或不作用在表面区域附近，其中止挡件(更准确地说为止挡面)在表面区域处也作用在可移动部件上。通过适当地选择固定元件作用在可移动部件上的方向，单一固定元件可能足以固定整个部件。

本发明的另一方面关于在开头所提及类型的光学配置，特别是如前文所述，还包含：致动器，具有驱动器以在固定位置与操作位置之间移动止挡件，其中止挡面在固定位置处紧靠第二部件，且止挡面在操作位置处与第二部件隔开一距离，致动器设计为在(即使)驱动器关闭(即，去能)时保持止挡件于固定位置。驱动器可例如为主轴驱动器、直接线性驱动器、电动驱动器等，或可能为非电性操作的驱动器或马达。

作用在止挡件上的电动或驱动操作的致动器可解决光学配置中的止挡件对于手动致动通常是难以接近的问题。止挡件的电动致动的可能性允许其也安装在难以达到但有利于作为端部止挡件功能的位置处，并特别地相对接触力以及相对部件在发生碰撞时所覆盖的距离而优化。为此目的仅需要将用于连接致动器的调整电子件的电缆或类似物设置在易于接近的位置。来自致动器的电缆连接可路由至这个易于接近的位置，即在致动器与其余的光学配置之间不是绝对必要存在一电连接，即使这样的连接也是可能的。在控制信号的协助下适当的启动将能够驱动致动器，并因此驱动止挡件移动到期望的位置，例如移动到固定位置。通过致动器或驱动器的自锁动作，处于固定位置的止挡件可以保持在固定位置，并且可能在去能状态下保持在其它位置(参考下文)。

致动器较佳也设计为在去能状态下(即驱动器关闭时)将止挡件保持在操作位置处，即，在操作位置处，驱动器或马达也有可能与电源断开而不会让止挡件离开操作位置。在操作位置中，止挡件的止挡面理想上与可移动部件相距一预定距离。在致动器的协助下，若需要的话，可移动部件与止挡面之间的距离在操作期间可在一定的范围内被校正或改变。

在传统止挡件的情况下，目的为在传输期间使用止挡件来固定形式为承载结构(例如承载框(“力框架”)和传感器框(“传感器框”))的两个部件，为此目的，在传输之前，将接触部分旋入处于操作位置的止挡件与可移动部件之间，直到其与止挡面接触。在传输后，再次旋开接触部分。在端部止挡件无法接近的情况下，必须希望在此情况下，间隙的宽度或可移动部件与止挡面之间的距离在传输后将被恢复。检查距离(例如在测径规(caliperguage)的协助下)只能在可到达止挡件的情况下进行。若止挡件与可移动部件之间的间隙太小，则可能发生机械短路，从而干扰可移动部件或光学配置的动态行为，最差的情况下将导致可移动部件(例如以反射镜的形式)不再能够被移动或致动。

在一发展中，止挡件具有接触面，其在操作位置紧靠第一部件，接触面较佳形成于与止挡面相对的止挡件的一侧。在止挡件处于操作位置的情况下，可移动的第二部件碰到止挡面，作用在止挡面上的力在接触面的协助下将直接地传递到第一部件上，使得驱动器不需要吸收作用在止挡件上的力。接触面可以例如形成于止挡件的周边凸缘或轴环(collar)上，在其相对侧上形成止挡面。

在另一实施例中，致动器具有齿轮机构，较佳为杠杆机构(lever mechanism)，用于驱动器到止挡件的力传输。齿轮机构或杠杆机构允许传输到止挡件的力增加。通过杠杆机构的适当设计，也有可能通过在固定位置的杠杆机构来产生致动器的自锁作用，如下文所作的更详细解释。其他的齿轮机构(例如平行四边形齿轮机构)也可具有自锁作用。

在一发展中，杠杆机构形成肘节杠杆(toggle lever)，其具有由共同接合件所连接的两个支脚，止挡件较佳通过另一接合件连接至两个支脚中的一个。肘节杠杆可例如通过以主轴驱动器或类似物的方式的驱动器来驱动。

在止挡件的固定位置中，肘节杠杆较佳处于伸展位置、相合位置(congruentposition)或过度伸展位置。若肘节杠杆超出死点或达到死点(如在伸展位置(两支脚或杠杆臂之间的角度为180°)、相合位置(两支脚或杠杆臂之间的角度为0°)、或在肘节杠杆的过度伸展位置的情况)，当肘节杠杆将止挡件压靠在可移动的第二部件上时，可实现自动锁定效果。即使驱动器的致动力在固定位置下降，肘节杠杆的夹持力也会保持不变，且无法自行松动。因此，一旦达到固定位置，驱动器通常可与电源断开连接。此外，在肘节杠杆伸展或过度伸展的位置，即使在传输期间发生冲击的情况下，作用在驱动器上的力也非常小。代替此处所述的肘节杠杆，也可以使用实现自锁或自动锁定的其他电动机构，例如由于适当选择主轴节距而自锁的主轴驱动器。

在另一发展中，止挡件在固定位置与操作位置之间移动的过程中被引导而无扭转。止挡件在此情况下被运动地引导，使得其在固定位置与操作位置之间的移动期间不会绕其纵轴转动，其通常为线性移动。这是有利的，因为在止挡件的转动运动期间可能形成会污染止挡件周围的粒子，特别是当将止挡面压靠在可移动部件上时。当将止挡件放置在可移动部件上时，旋转运动也可能导致部件损坏。当使用肘节杠杆时，可例如通过被设计为铰链接合件的另一接合件来实现不扭转的引导，在另一接合件处，止挡件安装在肘节杠杆的两支脚中的一个上。一般而言，连接肘节杠杆的两支脚的接合件也设计为铰链接合件，使得止挡件仅能在一个平面中运动地位移，或者在使用线性引导件(例如以轴承套筒的形式)的情况下仅在一个预定方向上运动地位移。

在另一实施例中，光学配置另外包含屏蔽件或封装件，其至少将致动器的驱动器或马达相对周围环境封装(encapsulate)。屏蔽件可将致动器的驱动器(特别是肘节杠杆)以真空密封的方式与环境隔开，但若屏蔽件或封装件防止或抑制粒子逸出至周围环境且并非完全真空密封，也可能就足够了。为此目的，可在用以引导止挡件的线性引导件(例如轴承套筒)与止挡件本身之间设置用以避免粒子逸出至屏蔽件的周围环境的密封件。密封件可例如设计为摩擦密封件或迷宫式密封件。

本发明的另一方面关于光学配置，特别是光刻系统，其包含：第一部件，特别是承载框；以及第二部件，其可相对第一部件移动，特别是反射镜；流体，特别是磁流变流体(magnetorheological fluid)、电流变流体(electrorheological fluid)或触变流体(thixotropic fluid)，其被引入至第一部件与第二部件之间的中间空间。

在本发明的此方面中，将可造成第二部件的运动的减弱且其黏度可较佳地改变的流体引入至第一部件与第二部件之间的中间空间中。若其为电流变流体或磁流变流体，则可在可移动的第二部件与第一部件之间产生可调整的移动阻尼(参考下文)。

若流体为触变流体，则其黏度根据负载情况而变化，即，当第二部件具有很大的加速度时，触变流体的黏度将大幅增加，且当第二部件的加速度为小的时，触变流体表现为低黏度流体。适当触变流体(例如形式为硅基建模材料)的选择取决于第二部件的预期激发光谱(振动光谱)，例如在传输期间、在发生地震冲击时及在操作期间。此处应可预期到，在两个第一应用情况中的加速度比光学配置的操作期间大了约10倍。触变流体应选择为使得在传输期间及在地震冲击的情况下，触变材料在两部件之间产生最佳可能的力配合，使所产生的可移动的第二部件的加速力可由第一部件吸收。另一方面，在光学配置的操作期间，触变流体不应抑制、或仅稍微抑制可移动部件的移动。

在另一实施例中，光学配置具有用以保持流体的容器以及用以将流体从容器供给到间隙中(且可能反之亦然，即从间隙到容器中)的供给装置。流体(例如形式为触变流体)在此情况下仅在要传输光学配置时或如果检测到即将发生的地震时才被引入到间隙中。在操作之前不久，从中间空间或从用于接收流体的腔室容积中再次移除流体，例如其被泵回至容器中或可能以其他方式从光学配置中移除。以此方式，一方面流体可吸收在传输期间或在地震冲击的情况下所发生的加速度，另一方面确保在光学配置的操作期间在两个部件之间没有不想要的力或振动的传递。

为了避免(真空)环境的污染，触变材料应具有非常低的挥发性和/或位于与周围真空隔绝的体积中，例如通过隔膜(membrane)。有可能在可移动部件中形成用以接收流体的一个或多个凹部，凹部可能由一隔膜密封。

在一发展中，第一部件具有至少一个杆状部件，特别是止挡件，其具有浸入流体中的头部区域。通过杆状部件，力可从流体传输到第一部件并由第一部件吸收。杆状部件可为(端部)止挡件，其上形成用于可移动部件的止挡面，但并不一定是这种情况，即浸入流体中的部件不一定必须作为用以限制第二部件的移动范围或预定调整范围的止挡件。在此情况下，(触变)流体作为(冲击)阻尼元件，而不是作为用于可移动部件的锁定装置。若第一部件与第二部件之间的中间空间完全被流体填满，则有可能省去此杆状部件。

在另一实施例中，光学配置具有至少一个场产生装置，用以产生电场或磁场，以改变磁流变流体或电流变流体的黏度(viscosity)。在此情况下，流体一般也被引入到中间空间中且可用于在光学配置的操作期间减缓可移动部件的移动。流体的黏度可特别地通过装置或通过场强度及也可能是相应电场或磁场排列的选择来改变。在场产生装置的协助下，流体的黏度可变得很大而使其作为输送锁定件或作为用以吸收力的阻尼器，例如在冲击负载的情况下。场产生装置可例如设计为产生用于运输的电场，其不需要任何能量来维持。为此目的，例如电荷可被传输到导电体(例如电容器板)，在导电体之间引入电流变流体，使得其以电容器的方式作用。

本发明的另一方面关于光学配置，特别是光刻系统，其包含：第一部件，特别是承载框；第二部件，其可相对第一部件移动，特别是反射镜；壳体，特别是真空壳体，其具有内部空间，至少一个可移动第二部件配置于其中；以及固定装置，用以相对第一部件固定可移动的第二部件，固定装置具有至少一个固定元件，固定元件在操作位置处与可移动部件隔开一距离且在固定位置处紧靠可移动部件，通过改变在壳体中的内部压力，固定元件可从操作位置移动至固定位置且可从固定位置移动至操作位置。

在本发明的此方面中，使用这样的事实：在光学配置的操作期间，壳体的内部空间中的压力一般不同于在光学配置的传输期间的内部空间中的压力，特别是如果配置在壳体中的部件在真空条件下操作，如一般在EUV光刻系统(特别是EUV光刻装置)中的EUV反射镜的情况。在此情况下，在操作期间于真空壳体中存在例如不超过约10^-3 mbar的小压力，而在传输期间于壳体(例如投射系统的壳体)中通常存在约为1bar(即大气压力)的总压力。使用此处所述的固定装置，固定元件从操作位置到固定位置的移动可通过改变壳体中的压力或第二部件周围的压力而完全自动地发生。因此，对于固定元件的移动来说，不需要任何类型的馈送线(其需要复杂管道、引入线(leadthroughs)、铺设和/或启动措施)。

在一发展中，当在壳体的内部空间中的压力增加时，固定装置设计为将固定元件从操作位置移动至固定位置。相应地，当壳体的内部空间中的压力降低时，固定元件从固定位置移动到操作位置。如上所述，在形式为EUV光刻装置的光学配置中的反射镜在真空条件下操作，而EUV光刻装置的传输发生在环境压力下，使得当压力增加时固定元件从操作位置移动到固定位置且当压力降低时在相反的方向上移动(即从固定位置移动到操作位置)是合理的。

在一发展中，固定装置具有与壳体的内部空间密封隔绝且可例如形成于另一壳体中的气体体积，并具有可根据在壳体中的内部压力与在气体体积中的压力之间的差异而移动的部件，该部件在移动方面耦接至固定元件或形成固定元件。在密封隔绝的气体体积中的压力可例如为约500mbar，但也可更大或更小。气体体积的大小决定了弹簧常数或固定装置相对于压差变化的敏感度。一般来说，较大的弹簧常数是有利的，这可以通过与周围环境密封隔绝的尽可能小的气体体积来实现。密封隔绝的气体体积可例如在气动活塞中形成腔室，其活塞杆形成可移动部件且其具有与壳体的内部空间(其中配置有第二部件)连接的另一腔室。固定元件在移动方面与可移动部件的耦接也理解为表示固定元件与可移动部件的刚性耦接。

为估计可用于固定元件的移动而实现的气动力，假设传输期间在壳体的内部空间中的压力与在气体体积中的压力之间的压力差为约0.5bar，则对于直径约4em的部件(例如反射镜)将获得约6kg的质量。尽管此力通常不足以整体地保持可移动部件，但此力绝对足以移动用于固定可移动部件的相对轻的固定元件(例如固定螺栓)，且以此方式用以在空间上固定可移动部件的位置，例如通过间接力吸收。

在一发展中，可移动部件设计为柔性膜(flexible membrane)，其形成气体体积位于其中的另一壳体的壁区域。固定元件可固定在柔性膜上，其根据作用在彼此相对的膜的两侧上的压力差而相应地弯曲，从而将固定元件从固定位置移动到操作位置，且反之亦然。固定元件在固定位置及操作位置之间所覆盖的距离通常相对较小，使得其可通过改变膜的曲率来实现。膜可以例如由金属材料形成，因为这适用于真空，且因此通常不会将任何粒子散发到壳体的内部空间中的周围真空中。另一壳体通常牢固地连接到固定的第一部件。

本发明的另一方面关于光学配置，特别是光刻系统，其包含：第一部件，特别是承载框；第二部件，其可相对第一部件移动，特别是反射镜；至少一个致动器，用以相对第一部件移动可移动的第二部件；以及固定装置，用以相对第一部件固定可移动的第二部件，固定装置具有安装在第一部件上的第一固定元件以及安装在第二部件上的第二固定元件，致动器设计为将可移动的第二部件移动至固定位置，其中第一固定元件及第二固定元件以形状配合和/或力配合(force-fitting)的方式相互作用以将第二部件保持在固定位置，通常因为它们形成机械锁定(锁钥原理)。

在此方面中，提出了用于在操作期间所使用的移动空间(“操作范围”)内移动可移动的第二部件(例如反射镜)的至少一个致动器也用于将可移动部件移动到固定位置，该固定位置一般位于在操作期间所使用的移动空间的外部，但在可移动部件的机械可能的移动空间(“机械范围”)内。可移动的第二部件的机械可能移动空间通常受到前文所进一步描述的端部止挡件的限制。

固定位置在光学配置的正常操作期间是没有达到的，且在发展的情况下只能沿可移动的第二部件的预定路径曲线移动，且只能由预定(不一定相同)路径曲线再次离开。所需的路径曲线通常可由一个或多个致动器直接产生，其中致动器也用于第二部件在操作期间所使用的移动空间内的移动，即通常不需要额外的致动器来用于此目的。此处有利的是，致动器一般设计为在三个平移及三个旋转自由度中移动可移动部件，使得实际上在致动器的协助下可产生任何期望的移动路径。

洛伦兹致动器可用于例如产生移动路径，其中通过通过其线圈的短暂较高电流而在可移动部件上产生如此大的力，使得在操作期间使用的移动空间被留下，并到达固定位置。在固定位置中，两个固定元件可例如以机械锁定(锁钥原理)的方式彼此接合。

在一发展中，第一固定元件及第二固定元件以钩具的形式设计且两个钩形固定元件在固定位置彼此接合。钩形固定元件表示以锁钥原理的方式实现机械锁定的一种可能方式。当然，还有许多其他可能的方式来使两个固定元件通过形状配合而形成机械锁定，使得其不会在没有重新移动第二部件的情况下从固定位置释放。

在一发展中，至少一个致动器设计为在至少两个不同方向上移动第二固定元件以离开固定位置(且通常也用于将固定元件移动到固定位置)。以此方式，通常可避免所不希望发生的可移动第二部件在例如冲击的情况下从固定位置释放，因为作用在第二部件上的力仅在一个方向上施加。

在替代实施例中，第一固定元件设计为通过沿固定方向施加一力而将第二固定元件固定在固定位置，以及通过沿固定方向重新施加一力而将第二固定元件从固定位置释放。在此情况下，以类似于圆珠笔的机构或用于SD卡槽的锁定的方式，第一固定元件具有含双稳态的锁定机构。第二固定元件(其可例如以适当构造的销的形式来设计)以一定的力沿固定方向以直线运动移动并被压入机构中，使得第二固定元件(例如形式为销)被扣在固定位置处，且无法相反于固定方向被释放。在沿固定方向(即沿相同方向)向第二固定元件重新施加力之后，扣紧再次释放。相应的机构可例如通过凸轮盘或凸轮齿轮机构结合锯齿形状而形成，以固定第二固定元件。用于第二部件或第二固定元件的移动的力可通过致动器(例如形式为洛伦兹致动器)如前文所进一步描述的那样施加。

光学配置的另一构造具有固定装置，其具有用于相对第一部件固定可移动的第二部件的至少一个接触面，第二部件的表面区域在固定位置紧靠接触面并通过黏着将第二部件固定在接触面上。

第二部件的表面区域及接触面通常是非常光滑的表面，在此情况下，通过黏着或通过所谓的绞合或光学接触结合进行固定。若第二部件为用于EUV光刻的反射镜，则与接触面进行接触的表面区域一般形成在基板材料上，基板材料可例如为或其若适当地抛光将具有非常低的表面粗糙度。接触面可例如由聚合物材料或弹性体材料形成，例如由乙烯-丙烯-二烯橡胶(EPDM)形成，其同样具有非常光滑的表面。接触面可例如形成限制第二部件移动的端部止挡件的止挡面。特别地，若光学配置(例如形式为EUV光刻装置)倒置以用于输送，则重力补偿的效应为两倍重量(2g)作用在端部止挡件上或在形成接触面的止挡面上。因此，可移动部件以约2g压靠在接触面上，由于黏着力，在具有适当尺寸的接触面的情况下，这足以固定或保持整个部件。接触面不一定必须形成在止挡件上，而是也可以形成在为此目的而特别在光学配置中设置的部件上。

下文中基于显示本发明重要细节的附图中的图而对本发明示例性实施例的描述以及由权利要求将显示本发明的其他特征及优点。个别特征可在各个情况下分别由自身实现或在本发明的变型中以任何组合一同实现。

附图说明

在示意图中将表示示例性实施例，且将于下面的描述中解释该示例性实施例。在图中：

图1a显示具有形式为反射镜的多个可移动部件的EUV光刻装置的示意图；

图1b显示具有图1a的EUV反射镜中的一个以及具有用于限制其移动路径的两个(端部)止挡件的反射镜模块的示意图；

图2a、2b显示具有用于固定EUV反射镜的固定装置的止挡件的示意图，该反射镜具有可相对止挡件的止挡面移动的固定元件；

图3a-3c显示具有用于移动固定元件的致动器的三种不同构造的图2a、2b的止挡件的示意图；

图4a、4b显示固定元件的示意图，其在固定位置处将多部分止挡件的头部区域展开并将其压靠在形成于EUV反射镜中的凹部的侧表面；

图5a、5b显示固定元件的示意图，其在固定位置处将EUV反射镜压靠在止挡件的止挡面或多个止挡件以进行固定；

图6a、6b显示具有可致动端部止挡件的EUV反射镜的示意图，以将EUV反射镜夹持在端部止挡件的止挡面之间；

图7a、7b分别显示在通过固定元件导致的直接及间接吸收力的情况下的EUV反射镜的示意图；

图8a、8b显示止挡件在操作位置及在用于固定传感器框的固定位置的示意图，止挡件通过肘节杠杆而保持在固定位置；

图9显示EUV反射镜的示意图，其中电流变流体被引入到承载框与EUV反射镜之间的中间空间中；

图10显示EUV反射镜的示意图，其中触变流体已被引入到承载框与EUV反射镜之间的中间空间中；

图11a、11b显示EUV反射镜的示意图，其中根据EUV反射镜的环境压力，固定元件可从操作位置移动到固定位置，且反之亦然；

图12a、12b显示EUV反射镜的示意图，其可通过致动器沿弯曲的移动路径移动，以将EUV反射镜的钩形固定元件移动至固定位置，其在固定位置处接合另一钩形固定元件；

图13a、13b显示具有固定元件的EUV反射镜的示意图，其可通过致动器通过沿固定方向施加一力而以线性移动的方式移动至固定位置，并可通过沿固定方向重新施加一力而从固定位置释放；以及

图14a、14b显示具有抛光表面区域的EUV反射镜的示意图，其在固定位置紧靠固定装置的接触面并通过黏着力而保持在接触面上。

在以下的图式描述中，相同或功能上相同的部件使用相同的部件符号。

具体实施方式

在图1a中示意地显示形式为EUV光刻装置1的EUV光刻系统。EUV光刻装置1具有光束产生系统2、照明系统3及投射系统4，其容纳于独立的真空壳体中并在从光束成形系统2的EUV光源5所射出的EUV辐射6的射线路径中一个接一个地配置。为简化起见，光束产生系统2、照明系统3及投射系统4在下文中也理解为表示相应的真空壳体2、3及4。等离子体源或同步加速器可例如作为EUV光源5。从EUV光源5所射出的波长范围在约5nm至约20nm之间的辐射首先聚焦于准直器7中。在下游单色仪8的协助下，过滤出想要的操作波长λ_B，其在本示例中为约13.5nm。准直器7及单色仪8形成为反射光学元件。

在光束产生系统2中关于波长及空间分布进行处理的EUV辐射被引入至照明系统3中，其具有第一和第二反射光学元件9、10。两个反射光学元件9、10将EUV辐射6引导至作为另一反射光学元件的光掩模11上，其具有通过投射系统4以缩小比例成像至形式为晶片12的光敏感基板上的结构。为此目的，在投射系统4中设置第三和第四反射光学元件13、14。

反射光学元件9、10、11、13、14分别具有光学表面，其暴露在光源5的EUV辐射6下。光学元件9、10、11、13、14在真空条件下于EUV光刻装置1中操作。在投射系统4中，更精确地说为在相应真空壳体4的内部空间4a中，存在例如小于约10^-1mbar的压力p₁，即远低于大气压力的压力。

图1b以示例的方式显示反射镜模块15，其具有形式为图1a的投射系统4的第一EUV反射镜13的可移动部件。反射镜模块15具有多个反射镜致动器16，其用于使EUV反射镜13移动且分别在EUV反射镜13上施加力F₁，…，F_n，以在三维空间中的全部六个自由度(即在全部三个平移自由度(T_X，T_Y，T_Z)及在全部三个旋转自由度(R_X，R_Y，R_Z))上定位或对齐及操纵EUV反射镜13。此外，传感器17被提供用于检测有关EUV反射镜13在空间中的位置及取向的信息Z₁，…，Z_n。致动器16及传感器17两者(更确切地说是其传感器框18(“传感器框”)以机械解耦(弹簧式安装)的方式安装在承载结构或承载框19(“力框”)上。承载框19实质上吸收所有作用在反射镜模块15上的力。承载框19可在安装有反射镜模块15的整个EUV光刻装置1上延伸，但承载框19本身也有可能被固定或弹簧式安装在另一承载结构上。在图1b所示的示例中，两个端部止挡件安装在承载框19上，其在下文中也称作止挡件或端部止挡件20。

致动器及传感器轴的数量取决于所要操纵的自由度的数量。若所有六个自由度都将被操纵，则至少需要六个致动器及传感器轴，并具有相应的配置。致动器16的实际配置或EUV反射镜13的安装设置在此情况下基本上对应于六足体(hexapod)。

如前文所述，EUV反射镜13以机械解耦或弹簧方式(“浮动”)安装于承载框19上。基于永久磁体的所谓的重量补偿器可用于例如EUV反射镜13在承载框19上的“浮动”安装，如在US2013/0314681A1中所描述，其以引用的方式并入本申请的内容中。举例来说，可针对反射镜13使用洛伦兹致动器作为致动器16，其一般具有可通电线圈及与后者保持一距离的永久磁体，如在DE 10 2011 004 607 A1中所述，其以引用的方式并入本申请的内容中。

在EUV反射镜13的操作期间所使用的行进距离或移动空间通常在平移上仅为数个至数百微米(μm)或在旋转上仅为几个毫弧度(mrad)。端部止挡件20用于避免EUV反射镜13的不希望的及关键的碰撞以及限制或限定EUV反射镜13的最大可能机械移动空间。在EUV反射镜13撞上EUV光刻装置1中的任何物体之前，将借助端部止挡件20来吸收EUV反射镜13的移动。特别是当EUV光刻装置1被输送时，EUV反射镜13或EUV反射镜9、10、13、14相对于端部止挡件20的重复、不受控的撞击可能导致损坏，特别是在加速度很大的情况下(>2g)。

因此有利的是，在输送EUV光刻装置1之前，固定EUV反射镜或反射镜9、10、13、14以及在EUV光刻装置1中可能存在的其他可移动部件(例如传感器框等)，使得它们不再能够在端部止挡件20之间自由移动。有许多可能的方式来提供这种输送锁定件，下文将对其中的一些进行描述。

图2a、2b显示端部止挡件20，其具有杆状部分20a，其通过一个端部牢固地固定在承载框19上。在止挡件20的杆状部分20a的自由端(头部端20b)形成有第一、略微弯曲的止挡面21a，其用于在当EUV反射镜在(负)Z方向上相对图2a的止挡件加速时吸收在重力方向(Z方向)上的冲击力。在止挡件20或杆状部分20a的头部端20b处还形成了第二止挡面21b，其以环状的形式环绕外围且EUV反射镜13在垂直于Z方向上(在X方向或Y方向)加速时将对其撞击。为了避免EUV反射镜13在撞击到止挡面21a、21b时受到损坏，后者分别形成在适用于真空的弹性体元件上，其环绕止挡件20的典型金属杆状部分20a的自由端。

在图2a、2b所示的示例中，端部止挡件20的自由端或头部端突出至EUV反射镜13的凹部22中。在EUV光刻装置1的操作期间，在第一止挡面21a与凹部22底部之间以及在外围第二止挡面21b与环形凹部22的侧表面之间形成间隙，使得EUV反射镜13可相对承载结构19移动。

在所示的示例中，端部止挡件20具有包含固定元件24的固定装置23作为输送锁定件，其在图2a中显示为在操作位置B，其中固定元件24与EUV反射镜13保持一定距离。固定元件24可移动离开操作位置B而进入固定位置F(其显示于图2b中)且固定元件24(更精确地说为固定元件的实质圆锥形的外围固定面25)在固定位置F处紧靠EUV反射镜13(更精确地说为紧靠凹部22的外围的实质圆锥形斜面26)。外围斜面26在配置于固定位置F中的固定元件24的外围圆锥形固定面25上的紧靠接触将允许形状配合，其在所有三个空间方向(即在Z方向以及在X及Y方向)上固定EUV反射镜13，用于输送。

在图2a、2b所示的示例中，固定元件24在杆状部分20a的纵向方向上被可位移地引导且具有在止挡件20的纵向方向上延伸的多个杆状元件，其牢固地固定在固定面25也形成于其上的固定元件24的环形头部区域上。在所示的示例中，杆状元件穿过承载框19中的孔，其类似于止挡件20在Z方向上延伸且其以相对于止挡件20的杆状部分20a的中心轴在圆周方向上径向偏移的规则安排来配置。

存在有多种可能方法来以自动的方式(即借助致动器27)进行固定元件24从图2a所示的操作位置B到图2b所示的固定位置F的移动，其中三个方法以示例的方式表示于图3a-c中。在图3a-3c所示的所有三个止挡件20的情况下，固定元件24在其与具有固定面25的头部部分相对的端部处具有环形板28，其中致动器27作用在环形板28上。在图3a所示的示例中，压电致动器27的端面紧靠环形板，该压电致动器同样设计成环形形式且其在止挡件的纵向方向上(即在Z方向上)的长度可通过施加电压而改变(在所示示例中为缩短)，以使固定元件24离开图3a所示的固定位置F而进入操作位置B中。

在图3b所示的示例中，在环形板28与承载框19之间插入弹簧29，其将固定元件23压靠在圆柱形部件的径向向内延伸的凸缘部分30，其中圆柱形部件安装在承载框19远离止挡件20的头部区域20b的端部上。为了将固定元件24移动离开如图3b所示的操作位置B，在面向凸缘部分30的一侧上的致动器27(图3b中未示出)可压靠在环形板28上，以克服弹簧力的作用将其(并因此将固定元件24)位移到固定位置F。

在图3c所示的示例中，环形板28在多个压电致动器27的协助下固定在承载框19远离止挡件20的头部区域20b的一侧上。压电致动器27分别具有头部区域，其在远离止挡件20的头部部分20b的一侧上紧靠环形板28。如在图3a所示示例的情况下，通过施加电压，压电致动器27可在Z方向上(即在止挡件20的杆状部分20a的纵向方向上)改变其长度，以将固定元件24从图3c所示的操作位置B移出到固定位置F。作为图3a-3c所示示例的替代方案，可使用压电步进驱动方式或所谓“蠕动(inchworm)”压电驱动方式(其基于爬行器式前进原理)的压电致动器。固定元件24从操作位置B到固定位置F的移动(反之亦然)也可手动地进行，即不使用致动器，例如通过收紧或松开为此目的而设置的固定螺丝。

图4a、4b显示双部件止挡件20的示例，其头部区域20b具有两个头部部分31a、31b，且其杆状部分20a由两个杆32a、32b所形成，其通过相应的接合件33a、33b固定至承载框19。止挡件20具有含固定元件24的固定装置23，其可在操作位置B(显示于图4a中)与固定位置F(显示于图4b中)之间移动，以更精确地在Z方向(重力方向)上位移。在所示的示例中，固定元件24设计为固定销且在固定位置F处接合于头部区域20b的两个头部部分31a、31b之间，由此展开头部部分31a、31b，使得它们或头部区域20b在径向方向上压靠在凹部22的侧表面22a，由此将EUV反射镜13牢固地夹紧。只要两个头部部分31a、31b的止挡面21a、21b与凹部22的侧表面22a之间的摩擦够大，展开的止挡件20不仅可在X方向及Y方向上、也可在Z方向上将EUV反射镜13固定，即EUV反射镜13可在所有三个空间方向上固定。作为图4a、4b所示的止挡件20的替代方案，随着两个头部部分31a、31b展开的发生，可使用形成为一个部件的止挡件20，在此情况下以例如环形形式设计且至少部分地由弹性材料所形成的头部区域20b为张开的，其中如图4a、4b所示示例的情况，固定元件24被插入环形头部区域20b。在这种情况下，杆状部分20a可例如具有中心孔，固定元件24在其位移期间在中心孔中被引导。

结合图2a、2b、图3a-3c及图4a、4b所示的(端部)止挡件20的示例(其具有带有可相对止挡面21a、21b移动(更精确地说为位移)的固定元件24的固定装置23)是有利的，因为相比于固定装置23与(端部)止挡件20在空间上分开配置的解决方案的情况，在更少的位置需要EUV光刻装置1的可及性。然而，将固定装置23与止挡件20在空间上分开是适当的，如下文基于图5a、5b更详细描述的。

图5a显示在固定位置F处的固定元件24，其可在固定装置23的Z方向上位移，其中固定元件24紧靠EUV反射镜13并施力于其上，使得EUV反射镜13被压靠在端部止挡件20的圆柱形外围止挡面21b上，即进入其端部止挡位置。图5b相应地显示EUV反射镜13在XY平面中(即垂直于Z方向)的固定，其中固定元件24在其固定位置F处侧向地压靠EUV反射镜13，使得后者被固定在固定元件24和三个端部止挡件20之间。如图4a、4b所示示例的情况，可使用致动器(其在图5a、5b中未作详细描述)用于固定元件24的位移。

图6a显示用于输送目的而固定EUV反射镜13的另一可能的方法，其中所有三个端部止挡件20在由箭头所指示的致动器34的协助下沿其纵向方向从操作位置B移动到固定位置F，如图6a所示，其中它们紧靠EUV反射镜13，以将其夹持在端部止挡件20之间。在图6b所示的示例中，三个端部止挡件20中只有一个可在致动器34的协助下位移，以将EUV反射镜13压靠两个固定的端部止挡件20并以此方式将其固定以供输送。

图7a、7b显示两种基本的可能性，其中在EUV反射镜13上的冲击效应或力F可被固定元件24吸收，固定元件24借助于致动器而沿馈送或固定方向R移动到固定位置：在图7a所示的直接力吸收的情况下，固定方向R和力F的方向平行，而在图7b所示的间接力吸收的情况下，力F的方向和固定方向R彼此垂直。当然，直接力吸收及间接力吸收的混合形式也是可能的，如例如在图6a、6b所示示例中的情况。

图8a、8b显示止挡件20，其可在致动器34的协助下在图8a所示的操作位置B与图8b所示的固定位置F之间移动，其中止挡件20(更准确地说是其弯曲的止挡面21)在操作位置B处与形式为承载框35的可移动部件保持一距离，且其中止挡件20(更精确地说是其止挡面21)在固定位置F处紧靠承载框35，以相对传感器框19固定承载框35，以例如用于输送。同样可在图8a、8b中看到，承载框35用于EUV反射镜13的机械解耦或弹簧安装。在EUV光刻装置1的操作期间，承载框35与传感器框19保持一预定距离s(间隙宽度)。

如图8a、8b所示的用于止挡件20的移动的致动器34具有形式为主轴驱动器的驱动器36，其作用在形式为肘节杠杆37的杠杆机构上，其中杠杆机构用于将力从主轴驱动器36传输到止挡件20。肘节杠杆37具有第一和第二支脚38a、38b，其通过共同接合件39分别在第一端彼此连接并绕接合件39可旋转地安装。第一支脚38a的第二端通过另一接合件40连接到屏蔽件41(壳体)，其将致动器34(更精确地说是具有驱动器36的肘节杠杆37)与配置有EUV反射镜13于其中的周围真空密封隔绝，以避免在致动器34的致动期间所产生的粒子(例如由于摩擦力)所引起的污染。

肘节杠杆37的第一支脚38a的第二端通过另一接合件42连接至止挡件20，其中止挡面21形成在止挡件20上。止挡件20在轴承套筒43中被可移动地引导。接合件39和另外的接合件40、42在各个情况下为铰链接合件，使得止挡件20在固定位置F与操作位置B之间的移动期间不会扭转，即止挡件20相对其中心轴45不被扭转地引导。密封元件46插入轴承套筒43和止挡件20之间，其用以避免粒子经由轴承套筒43与止挡件20之间的中间空间逸出。密封元件46也用于安装止挡件20于轴承套筒43中，且可例如设计成摩擦密封件。

在图8b所示的固定位置F的情况下，致动器34的肘节杠杆37被完全拉直，因此即使当驱动器36关闭，也能够将止挡件20保持在固定位置F。当然，为此目的，肘节杠杆37也可移动至过度伸展的位置，在该位置同样已经克服了死点。图8b所示的肘节杠杆37的完全伸直位置(伸展位置)有可能使在冲击负载的情况下作用在止挡件20上的力通过肘节杠杆37而传输到牢固地连接至承载框19的屏蔽件41并由承载框19所吸收，而没有很大的力在此处作用在驱动器36的主轴上。在图8a中，以夸大的方式显示两支脚38a、38b在操作位置B处所形成的彼此之间的角度。一般而言，接合件39在固定位置F与操作位置B之间所涵盖的距离在微米范围内，使得两支脚38a、38b之间的角度即使在操作位置B处也仅略小于180°。作为图8b所示的固定位置F(其中肘杆杠杆37处于伸展位置(两支脚38a、38b之间的180°角度或略微过度伸展))的替代方案，肘节杠杠37的固定位置F也可被假设为处于相合位置(未显示)(两支脚38a、38b之间的0°角度或略微过度伸展)。

为了在输送前将止挡件20移动到图8b中所示的固定位置F，驱动器36仅需短暂地连接到电源，且由于止挡件20的自锁特性而可在到达固定位置F后直接与电源断开。同样，在沿相反方向的移动期间，即当止挡件20移动到操作位置B时，驱动器36可在到达操作位置B之后直接关闭。除了通过肘节杠杆37的(过度)伸展的固定作用外，也可通过适当选择驱动器36的主轴的螺纹节距来实现自锁，即当力作用在止挡面21上时主轴无法转动，使得肘节杠杆37保持在操作位置B。驱动器36只需启动以将止挡件20在两个位置(B、F)之间移动，但不将其保持在相应的位置B、F。控制电缆(未示出)可用于驱动器36的启动。

同样在图8a所示的操作位置B的情况下，可能发生作用在止挡件20上的冲击力，例如在地震的情况下。为了将这些力引入至承载框19，止挡件20具有形成于止挡件20的头部端处的轴环或凸缘47，其包含在远离止挡面21的一侧上的接触面48。在图8a所示的止挡件20的操作位置B的情况下，接触面48紧靠轴承套筒43的端面，其中轴承套筒43吸收冲击力并将力传输到与其牢固地连接的承载框19。

图9显示EUV反射镜13及承载框19的细节，其中止挡件20安装于承载框19上。在所示的示例中，止挡件20以杆状部分20a的头部区域20b突出至EUV反射镜13上的凹部22中。EUV反射镜13与承载框19之间形成一中间空间50，流体51被引入其中，中间空间50也延伸到凹部22中。引入至中间空间50中的流体51允许在EUV光刻装置1的操作期间减缓EUV反射镜13的移动。

在图9所示的示例中，流体51为电流变流体，例如分散在硅油中的聚氨酯粒子，其黏弹性或黏度η在施加电场E(其在所示示例中由场产生装置52所产生)时改变。场产生装置52为此目的具有两个电容器板53a、53b以及用以在电容器板53a、53b之间产生电压的可控电压源54。场产生装置52允许在电流变流体51中产生实质均匀的电场E，其电场强度可通过电容器板53a、53b间电压的可调整值来改变，由此也改变电流变流体51的黏度η。改变黏度η允许以针对性的方式改变EUV反射镜13的移动的阻尼，举例来说，为了使EUV反射镜13快速地减速而增加黏度η、或若需要EUV反射镜13的快速移动来校正像差则减少黏度η。为此目的，场产生装置52可例如由EUV光刻装置1的控制装置(未图标)来启动，其也允许在图1b中所示的致动器16的协助下移动EUV反射镜9、10、13、14。

当然，也可以将磁流变流体引入至中间空间50，而不是电流变流体51，以产生EUV反射镜13的移动的可调节阻尼。在此情况下，场产生装置(例如使用可通电线圈)可用于产生具有可调场强度的磁场，以改变磁流变流体的黏度η。磁流变流体可例如为具有羰基铁粉末的悬浮液。

电流变流体51(及相应地磁流变流体)的黏度η的调整也可特别用于将黏度η选择为相当大，以至于EUV反射镜13实际上不再能够移动，即流体51可用于EUV反射镜13的固定。这尤其有利于实现输送锁定件，使得EUV反射镜13的位置相对于承载框19保持恒定，以避免EUV反射镜13对止挡件20的止挡面21a、21b的可能的多次撞击。以此方式，电流变流体可与场产生装置52一起使用作为固定装置，用以相对承载结构19固定EUV反射镜13。与图9所示的情况不同，并非一定要将电流变流体51引入至有止挡件20的区域中的中间空间50中。

图10显示EUV反射镜13的一示例，其中流体(在所示示例中为触变流体55)同样被引入到承载框19与EUV反射镜13之间的中间空间50中。触变流体55具有黏度η，其根据负载情况而变化，即取决于作用在触变流体55上的剪切力。当EUV反射镜13有很大的加速度时，触变流体55的黏度将大幅增加，而当加速度小时，其表现为低黏度流体。触变流体55可由许多不同的流体成分所构成，例如基于硼和硅氧烷的建模材料。触变流体55或其阻尼光谱在此可特别适配于在传输期间、在地震冲击的情况下或在EUV光刻装置1的操作期间的EUV反射镜13的预期激发或振动光谱。

在前两种应用情况(传输及地震冲击)的情况下，预期的加速度通常比EUV光刻装置1的操作期间大十倍。在前两种应用情况下，触变流体55因此应在EUV反射镜13和承载框19之间实现最佳可能的力配合，以使所产生的加速力可由承载框19所吸收。在操作期间，触变流体55应尽可能少地抑制EUV反射镜13的移动。作为触变流体55的补充或替代，也可能使用抗流变流体，在此情况下黏度η随着剪切力的增加而减小，这在EUV光刻装置1的操作期间可能是有利的。

为了避免在EUV光刻装置1的操作期间经由触变流体55将振动从承载框19传送到EUV反射镜13，触变流体55可仅在EUV光刻装置1的传输前不久被引入至中间空间50中，准确地说为经由一进出料装置56，其具有进出料线路57以及泵58，泵58将触变流体55泵出储存容器59进而入中间空间50(更精确地说为进入凹部22)。在传输后，触变流体55可在泵58的协助下从中间空间50或凹部移除，但也有可能以某种其他方式将触变流体55从中间空间50移除，例如将一外壳(其以实质气密的方式将中间空间50与周围真空封闭隔绝)(其例如以隔膜的方式)开启。若触变流体55仅具有非常低的挥发性，且(如在图10中所示示例的情况)中间空间50具有在EUV反射镜13中的凹部22(其仅在向上的方向上开启且触变流体55被引入其中)，则有可能省略此气密外壳或屏蔽件。

在图10所示示例的情况下，凹部22(触变流体55被引入其中)可能由一隔膜(未示出)封闭，使得触变流体55在任何情况下都无法从相应的凹部22逸出。为了将EUV反射镜1 3的快速移动传输到承载框19，在图10所示示例的情况中提供了两个杆状部件60(撞击器)，这些部件以其各自的头部区域61浸入相应凹部22内的触变流体55中，以将力从浸入到触变流体55中的撞击器60传输到承载框19。

图10所示的杆状部件60并不作为端部止挡件，即其远离EUV反射镜13，使得EUV反射镜13在其移动期间不会到达杆状部件60。如前文所进一步描述的示例的情况中，多个端部止挡件用于限制EUV反射镜13的移动，但是为了简化起见并未在图10中示出。

图11a、11b显示用于固定EUV反射镜13的固定装置70，其具有可在图11b所示的操作位置B与固定位置F(图11a、11b中未示出)之间移动的固定元件62，其中固定元件62紧靠EUV反射镜13并将其压靠图11a、11b中未示出的端部止挡件上、或可能压靠其他部件，并由此将其固定。在所示的示例中，通过改变配置有EUV反射镜13的投射系统的真空壳体4的内部空间4a中的内部压力p1(参考图1a)，固定元件62可从操作位置B移动到固定位置F，反之亦然。为此目的，固定装置70具有与(真空)壳体4的内部空间4a密封隔绝的气体体积63，并形成在另一个壳体65中，该壳体65具有包括(金属)隔膜64的壁区域。隔膜64可根据壳体4中的内部压力p₁与另一壳体65中的气体体积63中的压力p₂之间的差p₁-p₂而弹性地变形，并弯曲以将固定元件62(其在所示示例中牢固地连接到隔膜64)从图11b所示的操作位置B向左移动到固定位置F(未示出)。另外的壳体65通过图11a中所示的三个固定螺丝而牢固地连接到承载框19，且EUV反射镜13可移动地安装在另一壳体65上。如上所述，压力的变化造成固定元件62相对另一壳体65的相对移动，其向左移动到固定位置F，其中固定元件62在固定位置F处紧靠EUV反射镜13的后侧，以将其固定用于传输。

当壳体4中的内部压力p₁施加在隔膜64外侧上的力F₁大于气体体积63中的压力p₂施加在隔膜64的内侧上的力F₂时，图11a、11b中所示的固定元件62将移动到固定位置F。在所示示例中，在另一壳体65中的气体体积63中存在约500mbar的永久静态压力p2。在所示示例中，在EUV光刻装置1的操作期间的壳体4的内部空间4a中的内部压力p₁约为10^-1mbar，因此远小于气体体积63中的压力p₂，使得固定元件62在EUV光刻装置1的操作期间处于操作位置B。若EUV光刻装置1正在被传输，则通常在其中存在内部压力p₁(其基本上与环境压力(约1 bar)一致)，也因此存在于壳体4中。图11a、11b中所示的固定装置70因此有可能提供一输送锁定件，其完全自动地在固定位置F和操作位置B之间来回移动，即仅基于EUV光刻装置1的变化环境压力，并因此基于EUV反射镜13配置于其中的壳体4中的变化内部压p₁。

图12a、12b显示EUV反射镜13，其具有用于将其固定在承载框19上的固定装置70。固定装置70具有牢固地固定在承载框19上的第一钩形固定元件71。固定装置70的第二钩形固定元件72牢固地固定在EUV反射镜13上。致动器16设置为用于在EUV光刻装置1的操作期间移动EUV反射镜13。致动器16用于在预定的移动范围内移动EUV反射镜13以校正像差。EUV反射镜13在致动器16的协助下移动到图11b所示的固定位置F，其中两个钩形固定元件71、72彼此接合，即两个固定元件71、72形成机械锁定(锁钥原理)。

在图12a、12b所示的示例中，只有当EUV反射镜13沿图12a所示的预定路径曲线K移动时才能达到固定位置F。为此目的，通过致动器16(其在所示示例中设计为洛伦兹致动器)，有可能通过短暂地施加较高的电流或电流脉冲来对EUV反射镜13短暂地施加如此大的力，其中EUV反射镜会离开实际的移动范围并在负Z方向上(即向上)加速。在合适的时间点，EUV反射镜1 3由在Y方向上(即向右)的另一电流脉冲加速，直到第二钩形固定元件72部分地配置在第一钩形固定元件71上方并由于重力作用而与其接合。

如果EUV反射镜13在相反的方向上通过路径曲线K，则EUV反射镜13只能从图12b所示的固定位置F释放，其首先通过致动器16上的电流脉冲来克服重力而向上(即沿负Z方向)加速一小段距离，然后其被加速至左侧(即在负Y方向)，并且随后通过重力作用而降低到图12a所示的操作位置B。

图13a、1 3b显示固定装置70，其与图12a、12b所示示例的情况一样具有安装在承载框19上的第一固定元件71以及以销的方式安装在EUV反射镜13上的第二固定元件72。销形第二固定元件72在致动器16的协助下沿固定方向(这里：负Z方向)移动至图13b所示的固定位置F，其在该处通过施加力F而被压入至第一固定元件71。在固定位置F，第二固定元件72由第一固定元件71紧扣。在相同方向(负Z方向)上向第二固定元件72重新施加力F后，第二固定元件72将从固定位置F释放并移动到图13a所示的操作位置B。对第二固定元件72重新施加力同样是借助于洛伦兹致动器16来实现。为此，以类似于圆珠笔的机构或用于SD卡槽的锁定的方式，第一固定元件71具有含双稳态的锁定机构。相应的机构可例如通过凸轮盘或凸轮齿轮机构来形成，用于产生与用于固定的锯齿形状相结合的非均匀移动。

图14a、14b显示用于固定EUV反射镜13的固定装置80的另一示例，其具有用于将EUV反射镜13固定在承载框19上的接触面81。在所示示例中，接触面81形成在杆状部件60上，其具有弹性体材料的头部区域61，例如具有非常低的表面粗糙度的乙烯-丙烯-二烯橡胶(EPDM)。光学部件13在其后侧上(更精确地说为在其反射镜基板(其可例如为掺杂钛的石英玻璃(例如)或玻璃陶瓷(例如))的后侧上)具有抛光表面区域82，其同样具有低粗糙度。

在图14a所示的操作位置B中，接触面81与EUV反射镜13保持一定距离，而在图14b所示的示例中，EUV反射镜13(更准确地说是抛光表面区域82)紧靠接触面81。若EUV反射镜13以足够的力压靠在接触面81上，即使不再施加按压力后，接触面81和EUV反射镜13之间的黏着仍会维持，即EUV反射镜13通过黏着而固定在接触面81上。EUV反射镜13对接触面81的压靠可在致动器16的协助下实现，致动器16使EUV反射镜13在负Z方向上移动并将其压靠接触面81。加压也可能发生在当EUV光刻装置1被反转以用于输送时，在这种情况下，重力补偿具有的效果为EUV反射镜13以约两倍的重力加速度2g压靠接触面81。

具有头部区域61的杆状部件60可为前文所进一步描述的端部止挡件20中的一个，在该情况下适当地选择止挡面21a、21b形成于其上的弹性体材料。然而，杆状部件60并不一定必须是限制EUV反射镜13的移动范围的端部止挡件；而是，具有接触面81的杆状部件60可为空间上与端部止挡件20分开的输送锁定件。

前文所进一步描述的大多数示例已基于形式为EUV反射镜13的可移动部件进行描述，但不言而喻，可移动部件也可能是任何其他想要的部件，例如传感器框、用于光学或非光学元件的安装件等。再者，在上述示例中假设为固定的部件并不一定必须是承载框19；而是，它可能是可相对基座或相对固定参考系统移动的另一部件。同样不言而喻的是，前文所进一步描述的示例仅以示例的方式结合EUV光刻装置1来进行描述，且也可用于其他光学配置的情况。

Claims (29)

1.一种光学配置，特别是光刻系统(1)，包含：

第一部件(19)，特别是承载框；

第二部件(13)，该第二部件相对于该第一部件(19)是可移动的，特别是反射镜；以及

至少一个止挡件(20)，具有至少一个止挡面(21a，b)，用以限制该第二部件(13)相对于该第一部件(19)的移动，

其特征在于，

该光学配置、较佳为该止挡件(20)，具有用以固定该第二部件(13)的固定装置(23)，该固定装置至少包含相对于该止挡件(20)的止挡面(21a，b)可移动的固定元件(24)。

2.如权利要求1所述的光学配置，其中该固定元件(24)在固定位置(F)与操作位置(B)之间是可移动的，特别是手动地移动，其中该固定元件(24)在该固定位置处紧靠该第二部件(13)，且该固定元件(24)在该操作位置处与该第二部件(13)隔开。

3.如权利要求2所述的光学配置，还包含至少一个致动器(27)，用以在该固定位置(F)与该操作位置(B)之间移动该固定元件(24)。

4.如前述权利要求中任一项所述的光学配置，其中该止挡件(20)包括具有头部区域(20b)的杆状部分(20a)，至少一个止挡面(21a，b)形成于该头部区域上，以及其中该固定元件(24)在该杆状部分(20a)的纵向方向(Z)上被可位移地引导。

5.如权利要求4所述的光学配置，其中该固定元件(24)以环状方式环绕该止挡件(20)的杆状部分(20a)。

6.如权利要求4或5所述的光学配置，其中该第二部件(13)具有凹部(22)，该止挡件(20)在该凹部中与该头部区域(20b)接合。

7.如权利要求6所述的光学配置，其中该固定元件(24)被设计为将该止挡件(20)的头部区域(20b)展开抵靠该凹部(22)的侧表面(22a)。

8.如权利要求7所述的光学配置，其中该止挡件(20)的头部区域(20b)具有相对彼此可移动的至少两个头部部分(31a，b)，该固定元件(24)在该至少两个头部部分之间接合于该固定位置(F)。

9.如前述权利要求中任一项所述的光学配置，其中该固定元件(24)在该固定位置(F)将该第二部件(13)压靠在止挡件(20)的至少一个止挡面(21a，b)上。

10.如权利要求1的前言所述的光学配置，特别是如前述权利要求中任一项所述的光学配置，还包含：致动器(34)，该致动器具有驱动器(36)，以在固定位置(F)与操作位置(B)之间移动该止挡件(20)，其中该止挡面(21a)在该固定位置处紧靠该第二部件(35)，且该止挡面(21a)在该操作位置处与该第二部件(35)隔开，该致动器(34)被设计为在该驱动器(36)关闭时保持该止挡件(20)于该固定位置(F)。

11.如权利要求10所述的光学配置，其中该止挡件(20)具有接触面(48)，该接触面在该操作位置(B)紧靠该第一部件(19)，该接触面(48)较佳形成于该止挡件(20)与该止挡面(21)相对的一侧。

12.如权利要求9至11中任一项所述的光学配置，其中该致动器(34)具有齿轮机构，较佳为杠杆机构(37)，用于该驱动器(36)到该止挡件(20)的力传输。

13.如权利要求12所述的光学配置，其中该杠杆机构形成肘节杠杆(37)，该肘节杠杆具有由共同接合件(39)所连接的两个支脚(38a，b)，该止挡件(20)较佳通过另一接合件(42)连接至该两个支脚(38a，38b)中的一个。

14.如权利要求12或13所述的光学配置，其中在该止挡件(20)的固定位置(F)中，该肘节杠杆(37)处于伸展位置、相合位置或过度伸展位置。

15.如权利要求10至14中任一项所述的光学配置，其中该止挡件(20)在在该固定位置(F)与该操作位置(B)之间移动的过程中被引导而无扭转。

16.如权利要求9至14中任一项所述的光学配置，还包含：

屏蔽件(41)，其相对周围环境至少包封该致动器(34)的驱动器(36)。

17.一种光学配置(1)，特别是光刻系统(1)，包含：

第一部件(19)，特别是承载框；以及

第二部件(13)，该第二部件相对于该第一部件是可移动的，该第二部件特别是反射镜；

流体，特别是磁流变流体、电流变流体(51)或触变流体(55)，其被引入至该第一部件(19)与该第二部件(13)之间的中间空间(50)。

18.如权利要求17所述的光学配置，还包含：用于保持该流体(55)的容器(59)以及用于将该流体(55)从该容器(59)供给到该中间空间(50)中的供给装置(56)。

19.如权利要求17或18所述的光学配置，其中该第一部件(19)具有至少一个杆状部件(60)，特别是止挡件(20)，其具有浸入该流体(51，55)中的头部区域(20b，61)。

20.如权利要求17至19中任一项所述的光学配置，还包含：

至少一个场产生装置(52)，用以产生电场或磁场(E)，以改变该磁流变流体或该电流变流体(51)的黏度(η)。

21.一种光学配置，特别是光刻系统，包含：

第一部件(19)，特别是承载框；

第二部件(13)，该第二部件相对于该第一部件(19)是可移动的，该第二部件特别是反射镜；

壳体，特别是真空壳体(4)，其具有内部空间(4a)，该至少一个可移动的第二部件(13)配置于该内部空间中；以及

固定装置(70)，用以相对该第一部件(19)固定该可移动的第二部件(13)，该固定装置(70)具有至少一个固定元件(62)，该固定元件在操作位置(B)处与该可移动部件(13)隔开且在固定位置(F)处紧靠该可移动部件(13)，通过改变在该壳体(4)中的内部压力(p₁)，该固定元件(62)能够从该操作位置(B)移动至该固定位置(F)且能够从该固定位置(F)移动至该操作位置(B)。

22.如权利要求21所述的光学配置，其中当在该壳体(4)的内部空间(4a)中的压力(p₁)增加时，该固定装置(70)设计为将该固定元件(62)从该操作位置(B)移动至该固定位置(F)。

23.如权利要求21或22所述的光学配置，其中该固定装置(70)具有与该壳体(4)的内部空间(4a)密封隔绝的气体体积(63)，并具有根据在该壳体(4)中的内部压力(p₁)与在该气体体积(63)中的压力(p₂)之间的差异(p₁-p₂)而可移动的部件(64)，该部件在移动方面耦接至该固定元件(62)或形成该固定元件(62)。

24.如权利要求23所述的光学配置，其中该可移动部件设计为柔性膜(64)，其形成该密封隔绝气体体积(63)位于其中的另一壳体(65)的壁区域。

25.一种光学配置，特别是光刻系统，包含：

第一部件(19)，特别是承载框；

第二部件(13)，该第二部件相对于该第一部件(19)是可移动的，该第二部件特别是反射镜；

至少一个致动器(16)，用以相对于该第一部件(19)移动该可移动的第二部件(13)，

其特征在于，

固定装置(70)，用以相对该第一部件(19)固定该可移动的第二部件(13)，该固定装置具有安装在该第一部件(19)上的第一固定元件(71)以及安装在该可移动的第二部件(13)上的第二固定元件(72)，该致动器(16)设计为将该可移动的第二部件(13)移动至固定位置(F)，其中该第一固定元件(71)和该第二固定元件(72)以形状配合和/或力配合的方式相互作用以将该第二部件(13)保持在该固定位置(F)。

26.如权利要求25所述的光学配置，其中该第一固定元件(71)和该第二固定元件(72)以钩具的形式设计且在该固定位置(F)彼此接合。

27.如权利要求25或26所述的光学配置，其中该至少一个致动器(16)设计为在至少两个不同方向(Z，Y)上移动该第二部件(13)以移动至该固定位置(F)。

28.如权利要求25所述的光学配置，其中该第一固定元件(71)设计为通过沿固定方向(Z)施加一力(F)来将该第二固定元件(72)固定在该固定位置(F)，以及通过沿该固定方向(Z)重新施加一力(F)来将该第二固定元件(72)从该固定位置(F)释放。

29.如权利要求25的前言所述的光学配置，其特征在于固定装置(80)，其具有用以相对该第一部件(19)固定该可移动的第二部件(13)的至少一个接触面(81)，该第二部件(13)的至少一个表面区域(82)在固定位置(F)紧靠该接触面(81)并通过黏着将该第二部件(13)固定在该接触面(81)上。