JP2003266258A - 保持装置および保持方法 - Google Patents
保持装置および保持方法Info
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Abstract
可能であり、また、外乱、特に振動の減衰が可能なこ
と。 【解決手段】 基部101に対し可動部102が相対的
に移動可能であり、これらの間の流路106には、磁性
体からなる流体105を介在させる。流体105は、磁
界の強さに反応し凝集する特性を有する。磁石103,
104を電磁石で構成する。基部101に対して可動部
102を位置決めした後、磁石103,104により流
路106に磁界を発生させると、流体105に凝集部1
05aが生じて、可動部102の位置決め状態を固定保
持する。流体105としては、磁性液体、MR流体、磁
性粉体を用いることができる。電磁石で発生させる磁界
の強さを変更させれば保持力や減衰力を任意に変化させ
ることも可能となる。
Description
体などの精密な部品を製造、測定、検査する装置で部品
を保持する保持装置に係り、特に、部品を高精度に保持
できる保持装置および保持方法に関する。
技術を要する部品の需要が高まっている。従来の光学素
子は、例えば凸レンズ、凹レンズ、ミラー、プリズムと
いった比較的単純な形状をしたものが多かった。しかし
ながら、現在は光学素子の形状も複雑な形状をしたもの
があり、また小さな形状の物もある。
る光学素子を示す図である。例えば、図13に示す光学
素子1340は、レンズ面1341とプリズム面134
2を有する。また、図14に示す光学素子1450は、
図13の光学素子1340をアレイ状に配列して構成し
たものである。この光学素子1450は、より小型化さ
れたものもある。
な加工、成型、検査、測定などの生産技術が必要にな
り、なかでも特に精密な位置決め技術が要求される。こ
の位置決め技術は、素早く正確に任意の位置に移動させ
停止する技術と、任意の位置で一旦停止した後その位置
を任意の時間まで高精度に保持し続けるという2つの技
術を有している。
置や、半導体露光装置、精密測定機などでは、ナノある
いはサブナノオーダの高精度な位置決め精度が要求され
る装置もある。
れたステージ装置は、半導体露光装置のステージであ
り、ステージ位置決め後の振動などでステージが微小変
位することを防止しステージを所定位置に保持するため
に、板バネを真空吸着することによってステージを保持
し位置決めの精度を確保するものである。
が提供されている。流体、特にエアを用いた保持装置
は、ステージに外力が加わった場合に、ステージの静止
保持力を補助する。このほか、サーボモータを使用した
回転ステージがある。
保持装置は、実際には振動などの外乱による位置ずれに
よって、精密な位置保持は困難であるため、位置決め後
に長時間その位置関係を保ち続けることが課題となって
いる。
は、真空吸着はON−OFF制御方法であり、板バネの
吸着時に停止位置がずれる可能性があるので、求められ
る静止精度によってはこの機構では不充分な場合があっ
た。また、保持装置がモータとステージ間ではなく、ス
テージそのものに取り付けられているために、モータ起
因の振動はステージ伝達後に減衰させるので減衰力が弱
いものであった。さらに、基本的には板バネの弾性力の
影響もあり、経年変化によって板バネの特性が変化した
場合には、系の特性自体が変化する問題を有している。
ランスが変化する際の、いわば補償用に取りつけられる
ものであり、停電時の安全性、例えば重力方向に荷重が
ある場合など、特殊な用途に限定して用いられるもので
あった。
ージでは、エンコーダカウントに起因する、いわゆるサ
ーボ振動が発生しやすい。これをメカ的・電気的な方法
で減少させる試みが、長年にわたって続けられており、
制御方法やフィルタリング手法の発展により低振動のス
テージが開発されてきているが、不規則的な微小振動を
完全に除去することは困難であった。
テージを光学測定機に用いた場合、特にレーザ干渉計を
用いた装置などに用いた場合では、測定精度と相関関係
が深い干渉縞が不規則に動くなど、干渉縞解析に影響を
与えるので測定精度の確保が困難となる。この回転ステ
ージは保持装置の接触圧が完全に制御できず、位置ずれ
が発生しやすい、床からの振動や、同じテーブル上の他
のアクチエータおよび構造体、制御系から発生する不規
則的な微小振動を減衰しきれない、等の問題が多かっ
た。
点を解消するため、位置決め後の状態を高精度に保持す
ることが可能であり、また、外乱、特に振動の減衰が可
能な保持装置および保持方法を提供することを目的とす
る。
目的を達成するため、請求項1の発明に係る保持装置
は、固定側の部材と可動側の部材の相対的な運動を規
制、保持する保持装置において、固定側の基部と、該基
部に対し相対的な運動が可能な1つあるいは複数の可動
部と、前記基部と可動部の間である流路に介在され、磁
界の強さに反応し凝集する特性を有する磁性体からなる
流体と、前記流体に対し磁界を発生させて前記基部に対
する可動部の相対位置を固定保持させるための磁界発生
手段とを有することを特徴とする。
磁界を発生させることで、基部に対する可動部の相対的
な位置関係の変化を防止できるようになり、簡単な構成
で高精度な位置決めがおこなえるようになる。
請求項1に記載の発明において、前記流体として、磁性
液体、あるいはMR流体を用いたことを特徴とする。
体を用いることで、可動部の移動時の保持力は小さく、
可動部の停止後の保持力は大きくすることができる。ま
た、保持開始時の衝撃がほとんど発生しないので、保持
開始時の位置ずれを防止でき位置決め状態を高精度に保
持できるようになる。
請求項1に記載の発明において、前記流体として、磁性
粉体を用いたことを特徴とする。
液体の磁性体よりも安価に保持および減衰特性を持つ装
置を構成できる。
請求項1〜3のいずれか一つに記載の発明において、前
記磁界発生手段として、電磁石を用いたことを特徴とす
る。
する電流の供給制御で、流体を凝集させ、可動部の保持
がおこなえるようになり、保持動作のON−OFF制御
を簡単におこなえるようになる。
請求項1〜3のいずれか一つに記載の発明において、前
記磁界発生手段として、永久磁石を用いたことを特徴と
する。
なく流体の凝集をおこなえるようになり、保持装置を安
価に構成できるようになる。
請求項1〜5のいずれか一つに記載の発明において、前
記磁界発生手段は、発生させる磁界の強さを変更可能な
ことを特徴とする。
を変化させることにより、流体の種類によってはこの磁
界の強さで流体の保持力を変更させることが可能とな
る。この特性を有する流体を用いた際には、磁界が小さ
なときには非凝集で、磁界を大きくして凝集させること
ができるようになり、可動部の保持力や減衰力を任意に
変化させることができるようになる。
請求項1〜6のいずれか一つに記載の発明において、前
記基部および可動部がいずれも磁性体からなることを特
徴とする。
可動部を含む磁気回路を構成できるようになり、流体に
対し効率良く磁界をかけることができ、大きな保持力を
発生させることができる。
請求項1〜6のいずれか一つに記載の発明において、前
記基部あるいは可動部のいずれか一方が磁性体からな
り、他方が非磁性体からなることを特徴とする。
性体の基部に対する非磁性の可動部の位置決め時に、表
面のうねりなどによる2面のギャップ距離の大小の影響
が少なく、より高精度に位置決めが可能となる。また、
保持力も両面が磁性体の場合に比べて、ギャップが変動
してもほぼ一定に保つことが可能となる。
請求項1〜8のいずれか一つに記載の発明において、前
記基部あるいは可動部には、前記流路内に介在された流
体を攪拌するための突起あるいは溝が形成されたことを
特徴とする。
る可動部の移動で突起あるいは溝が流路内の流体を攪拌
させることができ、流体の沈降による特性変化を防止で
きるようになる。この攪拌は、原点復帰などの試運転時
に可動部を移動させるだけで簡単におこなえる。
は、固定側の部材と可動側の部材の相対的な運動を規
制、保持する保持方法であって、相対的な運動をするこ
とが可能な基部と可動部の間の流路に、磁界の強さに反
応し凝集する特性を有する磁性体からなる流体を介在さ
せ、前記基部に対する前記可動部の相対位置を位置決め
した後、前記流体に対し磁界を発生させて前記基部に対
する可動部の相対位置を固定保持させることを特徴とす
る。
流体に磁界を発生させるだけで、基部に対する可動部の
相対的な位置関係の変化を防止できるようになり、簡単
な工程で高精度な位置決めがおこなえるようになる。
発明に係る保持装置および保持方法の好適な実施の形態
を詳細に説明する。
装置における保持の基本構成を示す図である。固定の基
部101と可動する可動部102を有し、これら基部1
01と可動部102の間には流路106が設けられる。
基部101,可動部102にはそれぞれ対向配置され磁
界を発生させる磁石103,104が設けられる。
からなる。磁石103,104は対向する面が互いに異
なる磁極を有するよう配置される。これにより、基部1
01,可動部102は磁石103,104による磁気回
路を構成している。
体などの流体105が封入される。この流体105は、
磁界107に反応する物質であり、いわゆる磁性体とし
ての性質を持つものである。この流体105が粉体であ
れば、砂鉄、磁性粉などの磁性粉体が用いられる。液体
であれば、磁性流体、MR流体などが用いられる。
すが、磁界の強さに比例して粘性が変化し、強磁界下で
は固体のような挙動を示す物質である。同様の特性を持
つものとして電界に反応して粘性が変化する電気粘性流
体と呼ばれるものも存在するが、MR流体は電気粘性流
体に比べて、粘性の変化量が20〜50倍程度大きいと
いう特徴を持つ。
磁性流体,MR流体)105は、磁石103,104の
近傍では磁界が強くなる為に、磁性粉体は凝集し、磁性
流体とMR流体は粘性が増加して固体状になる。そのた
め、流体105は、磁界の強い部分は凝集部105aが
形成され、磁界の弱い部分は非凝集部105bが形成さ
れる。このように、磁界の強い部分は凝集部105aと
なり、流体の場合は粘性が増加し、可動部102の不必
要な移動を規制することができる。
02の相対運動を規制するものであるため、基部101
と可動部102の位置関係を逆の構成とすることもで
き、また、基部101と可動部102の双方ともに可動
部として構成することもできる。
場合は固体であるが、磁性流体やMR流体の場合は粘性
が増加した固体状になっているので、弾性があり振動に
対して減衰効果のあるダンパとしての働きも併せ持つこ
とができる。
とで、可動部102の移動時の保持力は小さく、機構の
停止時の保持力は大きくすることができる。また、可動
部102に対して保持開始時の衝撃がほとんど発生しな
いので、保持による位置ずれを防止できる。一方、流体
105に粉体の磁性体を用いると、液体の磁性体よりも
安価に、保持および減衰特性を持つことができる。
R流体を用いた構成を、例えば部品保持用のステージに
取り付けることにより、位置決め後その位置を保持およ
び固定でき、この後は振動も減衰させることができるよ
うになる。
らの振動は大きく減衰されるが、それでも伝達される振
動がある。また、クリーンルーム内では、エアの噴き出
しや、騒音の為に微小な振動が装置に伝わる。また高性
能な除振台を用いても、除振台上のアクチエータなどか
ら発生する振動は避けられず、不規則的で微小な振動は
除去することが非常に困難である。半導体の露光装置、
光ディスクの露光装置、光素子の測定装置など、ナノ、
サブナノオーダの精度での位置決め、測定精度が要求さ
れ、微少な振動を抑制したい装置に対し、上記構成を適
用して(特に流体105として磁性流体やMR流体を用
いた構成)振動抑制の効果が得られるようになる。
せる磁石103,104は、一般的には電磁石が用いら
れる。電磁石は、電気を流したときに磁界が発生する
(ON)ので、位置決め前には磁界を発生させない(O
FF)ようにしておく。この場合、流体105として、
対応して流路106の中は全て非凝集部105bとなっ
ている。この際、基部101と可動部102の間の保持
力が小さくなるので、可動部102は滑らかに移動する
ことが可能になる。
置決めした後は、磁石103,104に電気を流し磁界
を発生させる(ON)ことによって、流路106の中に
凝集部105aを生成して保持力を発生させればよい。
さらに磁界の強さを変化させて凝集部105aの保持力
を可変させることもできる。磁石103,104とし
て、永久磁石を使用してもよく、この場合、機械的に磁
力をスイッチング(ON−OFF)させる構成とすれば
よい。
ずしもスイッチングが必要というわけでは無い。流体1
05として磁性流体やMR流体を用いた場合は、せん断
速度によって粘性が変わる傾向がある。そこで、可動部
102を位置決めする際には、ある程度の速度で動かす
ことで、粘性抵抗を減らし、任意の位置決め位置では速
度を低下させることによって粘性抵抗を大きくし、位置
決め位置では速度が0なので粘性抵抗は最大になる。
チング(ON−OFF)させずとも保持力を得ることが
できる。この場合は、磁石103,104に電磁石を用
いる必要は無い。そして、永久磁石を用い、かつ機械的
なスイッチング機構も不要な保持装置を構成できるよう
になる。
作手順を示すフローチャートである。部品の保持動作を
手順に沿って説明する。 基部101に対して可動部102をアクチエータなど
(図示せず)で移動させ任意の位置で位置決めする(ス
テップS201)。 磁石103,104からの磁界を流路106にかける
(ステップS202)。 流路106に封入した流体105に磁界がかかる(ス
テップS203)。 流体105が凝集する。磁性流体やMR流体は粘性増
加により、凝集部105aと非凝集部105bを形成す
る(ステップS204)。 流体105の凝集によって基部101と可動部102
が保持され、位置関係が固定される(ステップS20
5)。 磁性流体やMR流体の凝集部105aは振動を減衰さ
せるダンパ効果があり、微小な振動を減衰させる(ステ
ップS206)。 磁石103,104からの磁界を無くせば、流体10
5の凝集を解ける。磁性流体やMR流体は粘性が低下し
て保持力を解く(ステップS207)。
図である。図示のように、基部101と可動部102の
長さ方向に磁石103,104を複数個並べて配置させ
たものである。このように磁石103,104を複数個
並べる構成とすることにより、直動ステージを構成する
ことができる。
図である。図示のように、基部101の中央部に円形状
の溝を形成し、内部に小径な円形状の可動部102を配
置することにより円環状の流路106を形成させてい
る。磁石103,104は円環状の流路106に沿っ
て、例えば、図示のように等角度間隔で配置する。この
構成によれば、可動部102を回転させることができ、
回転ステージを構成することができる。
ステージの全体構成を示す図である。図5(a)は平面
図、図5(b)は側面図である。テーブル564は、リ
ニアガイド566に軸支され、ボールネジ565に連結
されている。ボールネジ565は、カップリング562
を介してモータ561に連結されている。モータ561
の回転力は、カップリング562を介してボールネジ5
65を回転させ、テーブル564をリニアガイド566
に沿った方向に移動させる。モータ561の駆動によ
り、テーブル564を任意の位置に移動、停止させるこ
とができる。
は、回転型の保持装置563の可動部102(図4参
照)を接続させている。基部101は、直動ステージ側
に固定されている。この構成によれば、ピン打ちやゴム
ブレーキの接触による固定方法に比べて停止時のブレー
キをかけた瞬間での位置ずれはほとんど発生しない。ま
た、流体105として磁性流体やMR流体を用いた場合
には、凝集部105a(図4参照)がダンパとして作用
するため、モータ561などに起因する微小な回転振動
を吸収し、振動がテーブル564に伝達することを防ぐ
ことができるようになる。
動ステージの全体構成を示す図である。テーブル564
を移動させるための直動機構(モータ561,カップリ
ング562,ボールネジ565,リニアガイド566)
の構成は図5と同一であり、モータ561の駆動によ
り、テーブル564を任意の位置に移動、停止させるこ
とができる。
て直動型の保持装置663を配置させ、テーブル564
に可動部102(図4参照)を連結させている。基部1
01は直動ステージ側に固定されている。
型、あるいは直動型の保持装置を用いて位置決め後の保
持位置を正確に保持させることができるようになる。直
動ステージに限らず、インデックステーブルなどの回転
ステージについても同様に上記構成の保持装置を適用で
き、位置決め時に回転を停止させた際にモータに起因す
る振動を減衰させることが可能である。
したような一般的なステージへの適用に限らず、基部1
01に対し可動部102が相対運動をする構成に適用し
て保持が可能である。したがって、サーフェースモータ
(2次元モータ)や、ロボットのチャック、回転ローラ
の保持などの装置の機構部に適用することにより、上記
同様の作用効果を得ることができる。
置の実施の形態2の構成について説明する。図7は、こ
の発明の保持装置の実施の形態2による構成を示す図で
ある。この実施の形態2において、前述した実施の形態
1と同一の構成要素には同一の符号を附している。
は、基部101と可動部102がともに磁性体であり磁
気回路が構成されているので、効率良く磁力を利用でき
る。図7に示す実施の形態2では、基部701にのみ磁
石103を設けて、可動部702側には磁石を設けない
構成となっている。但し、可動部702に磁性体を用い
ることにより、図示のように磁気回路を形成させて効率
良く磁界707を形成することができる。
形例を示す図である。図示の構成は、基部701にのみ
磁石103を設け、可動部802側には磁石を設けてい
ない。加えてこの可動部802は非磁性体であり磁力線
がとおりにくく、可動部802には磁気回路が形成され
ない。
非磁性の可動部802が磁力によって力を受けることが
ないので、基部701に対する非磁性の可動部802の
位置決め状態、例えば表面のうねりなどによる2面(流
路106)のギャップ距離の大小の影響が少なく、より
高精度に位置決め可能である。また、保持力も両面が磁
性体の場合に比べて、ギャップが変動してもほぼ一定に
保つことが可能である。このように可動部802が磁性
体である必要は無い。磁性体は片面だけの構成でも良
く、例えば、磁性体の可動部802に磁石104(図1
参照)を設け、基部701側には磁石103を設けない
構成としてもよい。
の変形例を示す図である。図示のように、磁性体の基部
701と、非磁性体の可動部902を所定長さで設け、
基部701の長さ方向に複数個の磁石103を設けた構
成としてもよい。また、図示のように、磁石103の
N,S極を基部701の長さ方向に向けて配置してもよ
い。
置の実施の形態3の構成について説明する。図10は、
この発明の保持装置の実施の形態3による構成を示す図
である。図10は、実施の形態1で説明した図1の拡大
図である。
うち、磁性粉体は、時間の経過と共に凝集し、MR流体
も長期的には粒子の沈殿を生じる。このため、ある時間
の間隔で攪拌させる必要性がある。なお、磁性流体を用
いる場合には沈殿は生じないので攪拌は必要無い。
は、それぞれ流路106側に突出する突起1001,1
002を設ける。これにより、可動部102の移動によ
って流路106に封入された流体105を攪拌させる。
この突起1001,1002は必ずしも基部101と可
動部102の両方から突出形成する必要はなく、攪拌さ
えできれば良いので、突起1001,1002のいずれ
か一方のみ突出形成してもよい。
示す図である。図示の構成では、基部101,102上
で流路106に磁石103,104が突出するよう設け
たものである。このように、基部101,102に突起
を形成するに限らず、磁石103,104を突出配置さ
せても同様に攪拌可能である。
示す図である。図示の構成では、攪拌のために、基部1
01と可動部102にそれぞれ溝1201,1202を
形成したものである。このように、突起に限らず溝12
01,1202を形成しても同様に可動部102の移動
によって流体105を攪拌させることができる。
動作は、例えば、この発明の保持装置をステージに適用
した場合には、電源投入後の初期動作(原点復帰や試運
転)をおこなう際に可動部102を移動させる制御で攪
拌させることが可能である。
子、例えば、コピー機やプリンタ内部で使用される書込
み光学系、読み取り光学系に適用し位置決め状態を精密
に保持できるようになる。具体的には、等倍結像素子、
光学プリズム、fθレンズ、fθミラー、プロジェクタ
ーに用いるマイクロレンズアレイなどがある。また、光
通信機器などに用いられる微小光学素子や、精密位置決
めが必要な半導体などの部品の位置検出、検査、測定な
どをおこなう各装置に適用して位置決め状態を精密に保
持できるものである。
発明によれば、固定側の部材と可動側の部材の相対的な
運動を規制、保持する保持装置において、固定側の基部
と、該基部に対し相対的な運動が可能な1つあるいは複
数の可動部と、前記基部と可動部の間である流路に介在
され、磁界の強さに反応し凝集する特性を有する磁性体
からなる流体と、前記流体に対し磁界を発生させて前記
基部に対する可動部の相対位置を固定保持させるための
磁界発生手段とを有するため、流体に対し磁界を発生さ
せることで、基部に対する可動部の相対的な位置関係の
変化を防止できるようになり、簡単な構成で高精度な位
置決めがおこなえるようになるという効果を奏する。
求項1に記載の発明において、前記流体として、磁性液
体、あるいはMR流体を用いたため、液体の磁性体を用
いることで、可動部の移動時の保持力は小さく、可動部
の停止後の保持力は大きくすることができる。また、保
持開始時の衝撃がほとんど発生しないので、保持開始時
の位置ずれを防止でき位置決め状態を高精度に保持でき
るという効果を奏する。
求項1に記載の発明において、前記流体として、磁性粉
体を用いたため、保持装置を液体の磁性体よりも安価に
保持および減衰特性を持つ装置を構成できるという効果
を奏する。
求項1〜3のいずれか一つに記載の発明において、前記
磁界発生手段として、電磁石を用いたため、電磁石に対
する電流の供給制御で、流体を凝集させ、可動部の保持
がおこなえるようになり、保持動作のON−OFF制御
を簡単におこなえるという効果を奏する。
求項1〜3のいずれか一つに記載の発明において、前記
磁界発生手段として、永久磁石を用いたため、特別な構
成なく流体の凝集をおこなえるようになり、保持装置を
安価に構成できるという効果を奏する。
求項1〜5のいずれか一つに記載の発明において、前記
磁界発生手段は、発生させる磁界の強さを変更可能なた
め、磁界の強さを変化させることにより、流体の種類に
よってはこの磁界の強さで流体の保持力を変更させるこ
とが可能となる。この特性を有する流体を用いた際に
は、磁界が小さなときには非凝集で、磁界を大きくして
凝集させることができるようになり、可動部の保持力や
減衰力を任意に変化させることができるという効果を奏
する。
求項1〜6のいずれか一つに記載の発明において、前記
基部および可動部がいずれも磁性体からなるため、基部
および可動部を含む磁気回路を構成できるようになり、
流体に対し効率良く磁界をかけることができ、大きな保
持力を発生させることができるという効果を奏する。
求項1〜6のいずれか一つに記載の発明において、前記
基部あるいは可動部のいずれか一方が磁性体からなり、
他方が非磁性体からなるため、例えば、磁性体の基部に
対する非磁性の可動部の位置決め時に、表面のうねりな
どによる2面のギャップ距離の大小の影響が少なく、よ
り高精度に位置決めが可能となる。また、保持力も両面
が磁性体の場合に比べて、ギャップが変動してもほぼ一
定に保つことが可能という効果を奏する。
求項1〜8のいずれか一つに記載の発明において、前記
基部あるいは可動部には、前記流路内に介在された流体
を攪拌するための突起あるいは溝が形成されたため、基
部に対する可動部の移動で突起あるいは溝が流路内の流
体を攪拌させることができ、流体の沈降による特性変化
を防止できるようになる。この攪拌は、原点復帰などの
試運転時に可動部を移動させるだけで簡単におこなえる
という効果を奏する。
固定側の部材と可動側の部材の相対的な運動を規制、保
持する保持方法であって、相対的な運動をすることが可
能な基部と可動部の間の流路に、磁界の強さに反応し凝
集する特性を有する磁性体からなる流体を介在させ、前
記基部に対する前記可動部の相対位置を位置決めした
後、前記流体に対し磁界を発生させて前記基部に対する
可動部の相対位置を固定保持させるため、流路内の流体
に磁界を発生させるだけで、基部に対する可動部の相対
的な位置関係の変化を防止できるようになり、簡単な工
程で高精度な位置決めがおこなえるという効果を奏す
る。
構成を示す図である。
フローチャートである。
全体構成を示す図である。
全体構成を示す図である。
を示す図である。
である。
す図である。
成を示す図である。
る。
る。
る。
る。
Claims (10)
- 【請求項1】 固定側の部材と可動側の部材の相対的な
運動を規制、保持する保持装置において、 固定側の基部と、該基部に対し相対的な運動が可能な1
つあるいは複数の可動部と、 前記基部と可動部の間である流路に介在され、磁界の強
さに反応し凝集する特性を有する磁性体からなる流体
と、 前記流体に対し磁界を発生させて前記基部に対する可動
部の相対位置を固定保持させるための磁界発生手段と、
を有することを特徴とする保持装置。 - 【請求項2】 前記流体として、磁性液体、あるいはM
R流体を用いたことを特徴とする請求項1に記載の保持
装置。 - 【請求項3】 前記流体として、磁性粉体を用いたこと
を特徴とする請求項1に記載の保持装置。 - 【請求項4】 前記磁界発生手段として、電磁石を用い
たことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載
の保持装置。 - 【請求項5】 前記磁界発生手段として、永久磁石を用
いたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記
載の保持装置。 - 【請求項6】 前記磁界発生手段は、 発生させる磁界の強さを変更可能なことを特徴とする請
求項1〜5のいずれか一つに記載の保持装置。 - 【請求項7】 前記基部および可動部がいずれも磁性体
からなることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一つ
に記載の保持装置。 - 【請求項8】 前記基部あるいは可動部のいずれか一方
が磁性体からなり、他方が非磁性体からなることを特徴
とする請求項1〜6のいずれか一つに記載の保持装置。 - 【請求項9】 前記基部あるいは可動部には、前記流路
内に介在された流体を攪拌するための突起あるいは溝が
形成されたことを特徴とする請求項1〜8のいずれか一
つに記載の保持装置。 - 【請求項10】 固定側の部材と可動側の部材の相対的
な運動を規制、保持する保持方法であって、 相対的な運動をすることが可能な基部と可動部の間の流
路に、磁界の強さに反応し凝集する特性を有する磁性体
からなる流体を介在させ、 前記基部に対する前記可動部の相対位置を位置決めした
後、 前記流体に対し磁界を発生させて前記基部に対する可動
部の相対位置を固定保持させることを特徴とする保持方
法。
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- 2002-03-14 JP JP2002070896A patent/JP4078099B2/ja not_active Expired - Fee Related
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