CN110323153A - 显示装置的制造装置及显示装置的制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种显示装置的制造装置及显示装置的制造方法，根据本发明的一实施例的显示装置的制造装置包括：腔室；机械手，出入于所述腔室内；标记组件，附着于所述机械手，且形成有对齐标记；摄像头，定义有视野中心，并获取所述对齐标记的位置信息；控制部，调整所述机械手的位置而使所述视野中心与所述对齐标记一致；存储部，在所述视野中心与所述对齐标记一致的状态下存储所述机械手的位置信息。

Description

显示装置的制造装置及显示装置的制造方法
技术领域
本发明涉及一种显示装置的制造装置及显示装置的制造方法。
背景技术
显示装置的重要性随着多媒体的发展而增加。顺应于此，使用着液晶显示装置(Liquid Crystal Display，LCD)、有机发光显示装置(Organic Light Emitting Display，OLED)等多种显示装置。
显示装置中的液晶显示装置是目前使用最广泛的平板显示装置之一，由形成有像素电极和共同电极等电场生成电极的两张基板以及插入于两张基板之间的液晶层形成，通过向电场生成电极施加电压而在液晶层生成电场，并据此决定液晶层的液晶分子的取向，并控制入射光的偏光，从而显示图像。
另外，显示装置中的有机发光显示装置利用通过电子与空穴的再结合而产生光的有机发光元件(Organic Light Emitting Diode；OLED)而显示图像。这种有机发光显示装置具有快的响应速度，并且具有亮度高、视角宽、以低功耗被驱动的优点。
多种显示装置随着被大型化且画质变好，需要更为精巧的工序。尤其，作为工艺的各个步骤的基本的对齐过程在实现精密的显示装置时是必需的。
发明内容
本发明所述解决的课题是提供一种能够准确地执行对齐(alignment)的显示装置的制造装置。
本发明所述解决的课题是提供一种能够自动学习对齐位置的显示装置的制造装置。
本发明的课题不限于上文中提到的技术课题，并且未提及的其他技术课题能够从以下的记载被本领域的人员明确地理解。
用于解决上述课题的根据本发明的一实施例的显示装置的制造装置包括：腔室；机械手，出入于所述腔室内；标记组件，附着于所述机械手，且形成有对齐标记；摄像头，定义有视野中心，并获取所述对齐标记的位置信息；控制部，调整所述机械手的位置而使所述视野中心与所述对齐标记一致；存储部，在所述视野中心与所述对齐标记一致的状态下存储所述机械手的位置信息。
并且，所述腔室为多个，并且在各个所述腔室内可以布置有沉积源。
并且，所述机械手可以包括：柄部，沿着第一方向延伸；多个分支部，沿着与所述第一方向不同的第二方向延伸。
并且，所述标记组件可以与所述柄部结合。
并且，所述标记组件可以与所述柄部一体地形成。
并且，还可以包括：机械臂，与所述机械手结合而使所述机械手移动。
并且，所述标记组件可以包括第一标记组件及第二标记组件，与此对应地，所述摄像头包括第一摄像头及第二摄像头。
并且，还可以包括：直线移动驱动部，使所述标记组件沿着选自xyz方向中的一个以上的方向移动。
并且，还可以包括：旋转驱动部，使所述标记组件沿着顺时针或逆时针方向旋转。
用于解决上述课题的根据本发明的一实施例的显示装置的制造装置可以包括：腔室；机械手，出入于所述腔室内；白玻璃，放置于所述机械手；引导部，形成于所述腔室内部；摄像头，获取所述白玻璃与所述引导部的位置信息；控制部，调整所述机械手的位置而使所述白玻璃的边缘与所述引导部对齐；存储部，在所述白玻璃与所述引导部对齐的状态下，存储所述机械手的位置信息。
并且，所述机械手可以包括：柄部，沿着第一方向延伸；多个分支部，沿着与所述第一方向不同的第二方向延伸。
并且，所述白玻璃可以与所述柄部结合，且被置于所述分支部上。
用于解决上述课题的根据本发明的一实施例的显示装置的制造装置可以包括：腔室；机械手，出入于所述腔室内；白玻璃，放置于所述机械手；感测部，附着于所述白玻璃，并在所述腔室内获取间距信息；控制部，基于所述间距信息调整所述机械手的位置；存储部，存储调整后的所述机械手的位置信息。
并且，所述感测部可以包括多个间距传感器，所述间距传感器沿着所述白玻璃的边缘而布置。
并且，各个所述间距传感器可以包括：上部传感器，布置在所述白玻璃的上部；下部传感器，布置在所述白玻璃的下部。
用于解决上述课题的根据本发明的一实施例的显示装置的制造方法可以包括：在腔室内学习机械手的对齐位置；以及将布置有基板的所述机械手移动至学习的所述对齐位置而加工所述基板，在所述腔室内学习机械手的对齐位置的步骤包括如下步骤：利用第一摄像头获取所述机械手的位置信息；基于获取的所述位置信息调整所述机械手的位置；以及存储调整后的所述机械手的位置。
并且，可以定义所述第一摄像头的视野中心，在所述机械手结合有形成有第一对齐标记的第一标记组件，利用所述第一摄像头获取机械手的位置信息的步骤包括如下步骤：获取所述第一摄像头的视野中心与所述第一对齐标记的位置信息，基于获取的所述位置信息调整机械手的位置的步骤包括如下步骤：调整所述机械手的位置而使所述第一摄像头的所述视野中心与所述第一对齐标记一致。
并且，在所述机械手上可以布置有具有与所述基板相同的大小的白玻璃，利用所述第一摄像头获取机械手的位置信息的步骤包括如下步骤：获取布置于所述腔室内的引导部和所述白玻璃的位置信息，基于获取的所述位置信息调整机械手的位置的步骤包括如下步骤：以使所述引导部与所述白玻璃的边缘对齐的方式调整所述机械手的位置。
用于解决上述课题的根据本发明的一实施例的显示装置的制造方法可以包括如下步骤：在腔室内学习机械手的对齐位置；以及将放置有基板的所述机械手移动至学习的所述对齐位置而加工所述基板，在所述腔室内学习机械手的对齐位置的步骤包括如下步骤：将附着有多个传感器的白玻璃搬入腔室内部；获取所述白玻璃与布置在所述腔室内部的物体之间的间距信息；基于所述间距信息调整所述机械手的位置；以及存储调整后的所述机械手的位置。
并且，所述间距信息可以包括所述物体与所述白玻璃之间的距离信息，在基于所述间距信息调整所述机械手的位置的步骤中，以使所述白玻璃与所述物体之间的距离不为0的方式调整所述机械手的位置。
其他实施例的具体事项被包含于具体说明及附图中。
根据本发明的实施例，能够准确地执行对齐。
并且，在进行工序之前、进行工序的过程中或者进行工序之后可以自动地学习对齐位置。
根据本发明的效果并不局限于以上所例示的内容，更加多样的效果包含在本说明书内。
附图说明
图1是用于说明根据本发明的一实施例的显示装置的制造装置的示意图。
图2是图1的部分构成的平面图。
图3是用于说明根据图1的实施例的显示装置的制造装置的框图。
图4是根据本发明的一实施例的显示装置的制造装置的部分平面图。
图5是用于说明本发明中的部分概念的示意图。
图6是根据本发明的另一实施例的显示装置的制造装置的平面图。
图7是将图6的“A”部分放大的局部放大图。
图8是根据本发明的另一实施例的显示装置的制造装置的框图。
图9是根据本发明的一实施例的显示装置的制造装置的部分平面图。
图10是沿着图9的I-I’线剖切的剖面图。
符号说明
CH1：第一腔室 CH2：第二腔室
CH3：第三腔室 RH：机械手
310：第一掩膜组件 320：第二掩膜组件
410：第一摄像头 420：第二摄像头
具体实施方式
若参照附图以及详细地描述的实施例，则本发明的优点、特征以及实现此的方法将会变得明确。然而本发明并不局限于以下公开的实施例，其可以体现为彼此不同的多样的形态，只不过本实施例是为了使本发明的公开变得完整，并对在本发明所属的技术领域中具有通常的知识的人员完整地告知本发明的范围而提供的，本发明仅仅由权利要求记载的范围来得到定义。
当描述为元件(elements)或层位于另一元件或层的“上面(on)”或“上方(on)”时，其不仅包括位于另一元件或层的紧邻上面的情形，还包括中间夹设有其他层或其他元件的情形。相反，当描述为元件位于另一部分的“直接上面(directly on)”或“紧邻上面”时表示中间没有夹设其他元件或层。
“下面(below)”、“在……之下(beneath)”、“下部(lower)”、“在……之上(above)”、“上(on)”、“上部(upper)”等空间上的相对术语如图所示地可以为了方便地描述一个元件或构成要素与另一元件或构成要素之间的相关关系而使用。空间上的相对的术语除了图中所示的方向之外，在使用或操作时还应当被理解为包括元件的彼此不同的方向的术语。例如，在将图示于附图的元件翻转的情况下，记载为位于其他元件“下方”的元件可以位于其他元件的“上方”。并且，记载为以附图为基准而位于其他元件的“左侧”的元件根据视角可以位于其他元件的“右侧”。因此，作为示意性的术语的“下方”可以包括下方和上方。元件可以沿着其他方向取向，在这种情况下，在空间上相对的术语可以根据取向而被解释。
虽然第一、第二等术语为了说明多样的构成要素而使用，但是这些构成要素显然并不局限于上述的术语。上述的术语只是为了将一个构成要素区别于另一构成要素而使用。因此，在本发明的技术思想范围内，以下提及的第一构成要素显然也可以为第二构成要素。单数的表述在文章中没有明确相反的含义的情况下包括复数的表述。并且，“包括”或者“具有”等术语用于指定说明书上记载的特征、数字、步骤、操作、构成要素、部件或它们的组合的存在，并不排除一个或以上的其他特征、数字、步骤、操作、构成要素、部件或它们的组合的存在或附加可能性。
通过整个说明书，对于相同或类似的部分使用相同的附图符号。
以下，参照附图对本发明的实施例进行说明。
图1是用于说明根据本发明的一实施例的显示装置的制造装置的示意图。图2是图1的部分构成的平面图。图3是用于说明根据图1的实施例的显示装置的制造装置的框图。
参照图1至图3，根据本发明的一实施例的显示装置的制造装置包括：至少一个腔室CH1、CH2、CH3、TC1、TC2；机械手RH；摄像头410、420；标记组件310、320；控制部910及存储部930。
一实施例中，腔室可以包括选自第一腔室CH1、第二腔室CH2、第三腔室CH3、第一移送腔室TC1及第二移送腔室TC2中的一个以上。
在此，罗列的多个腔室为示例性的，显示装置的制造装置的范围显然不限于腔室的数量及种类。
一实施例中，第一腔室CH1、第二腔室CH2及第三腔室CH3可以是加工对象物(例如，基板)的加工腔室。
一实施例中，第一腔室CH1、第二腔室CH2及第三腔室CH3可以是用于沉积有机发光显示装置的有机层的沉积腔室。即，第一腔室CH1、第二腔室CH2及第三腔室CH3可以是用于沉积发出彼此不同的颜色的有机层的沉积腔室。具体地，可以在第一腔室CH1形成第一有机层，在第二腔室CH2形成第二有机层，在第三腔室CH3形成第三有机层。一实施例中，第一有机层、第二有机层及第三有机层可分别是发出彼此不同的颜色的有机层。在第一腔室CH1、第二腔室CH2及第三腔室CH3为用于沉积有机发光显示装置的有机层的沉积腔室的情况下，为了沉积，各个腔室可以包括沉积源(未示出)及掩膜(未示出)。
即，根据本发明的一实施例的显示装置的制造装置可以是用于制造有机发光显示装置的制造装置。
一实施例中，第一腔室CH1、第二腔室CH2及第三腔室CH3被密封，并且各个腔室的内部空间可以物理上分离。
第一腔室CH1、第二腔室CH2及第三腔室CH3可以开闭。即，在第一腔室CH1、第二腔室CH2及第三腔室CH3开口的状态下，后述的机械手RH可以进入腔室内部。为此，虽然未图示，但是第一腔室CH1、第二腔室CH2及第三腔室CH3可以包括使机械手RH出入的入口。
图1示出第一腔室CH1、第二腔室CH2及第三腔室CH3连续布置的情形，但是不限于此，第一腔室CH1、第二腔室CH2及第三腔室CH3可以彼此相隔布置。
一实施例中，显示装置的制造装置可以包括第一移送腔室TC1及第二移送腔室TC2。第一移送腔室TC1和第二移送腔室TC2可以起到使对象物进入系统内部的入口和/或出口功能。例如，对象物可以被搬入第一移送腔室TC1，并经过在第一腔室CH1、第二腔室CH2及第三腔室CH3中执行的加工步骤而向第二移送腔室TC2搬出。
机械手RH可以以与各个腔室相邻的方式布置。一实施例中，机械手RH支撑对象物，并且可以将对象物搬入各个腔室或将完成加工的对象物从腔室搬出。
参照图2，一实施例中，机械手RH可以包括沿着长度方向延伸的柄部100以及以与柄部100交叉的方式延伸的分支部210、220、230、240。
一实施例中，柄部100可以具有沿着图2的x轴方向延伸的杆(bar)形状。分支部210、220、230、240可以具有沿着y轴方向延伸的杆(bar)形状。即，一实施例中，柄部100和分支部210、220、230、240可以以彼此垂直的方式交叉。但是，不限于此，在另一实施例中，柄部100和分支部210、220、230、240可以以倾斜地交错的方式交叉。
一实施例中，分支部210、220、230、240可以是多个。为了说明的便利，以分支部具有第一分支部210、第二分支部220、第三分支部230及第四分支部240的情形为例而进行说明，但是分支部的数量不限于此。
即，另一实施例中，分支部可以不到4个或者为5个以上。
第一分支部210、第二分支部220、第三分支部230及第四分支部240彼此相隔，并且可以并排布置。第一分支部210、第二分支部220、第三分支部230及第四分支部240可以支撑对象物。即，基板等可以被第一分支部210、第二分支部220、第三分支部230及第四分支部240支撑，进而进出各个腔室。
机械手RH可以与机械臂RA一起构成移送机器人TR。
一实施例中，机械手RH可以被机械臂RA驱动。即，具有至少一个关节的机械臂RA可以使机械手RH进行前进/后退、上升/下降及旋转运动。旋转运动可以包括在从xy平面、yz平面及xz平面中选择的任意一个平面上执行的顺时针或逆时针方向的旋转运动。为此，机械臂RA的一端可以与机械手RH结合。如果机械臂RA和机械手RH被固定，则机械臂RA可以将机械手RH搬入第一腔室CH1、第二腔室CH2及第三腔室CH3，或者从第一腔室CH1、第二腔室CH2及第三腔室CH3搬出。
参照图2，标记组件310、320可以与第一分支部210、第二分支部220、第三分支部230及第四分支部240相邻地布置。
一实施例中，显示装置的制造装置可以包括至少两个标记组件310、320。为了说明的便利，将其称为第一标记组件310及第二标记组件320。
一实施例中，第一标记组件310及第二标记组件320可以布置在第一分支部210、第二分支部220、第三分支部230及第四分支部240的外侧。
具体地，第一标记组件310可以布置在第一分支部210的外侧，第二标记组件320可以布置在第四分支部240的外侧。
另一实施例中，第一标记组件310和/或第二标记组件320可以布置在一个分支部与相邻的分支部之间。
第一标记组件310与第二标记组件320可以实质上相同。因此，对于下面的第一标记组件310的说明也可以直接适用于第二标记组件320。
为了针对第一标记组件310进行具体说明，可以参照图4。图4是根据本发明的一实施例的显示装置的制造装置的部分平面图。
参照图4，第一标记组件310可以与机械式RH结合。一实施例中，第一标记组件310可以与机械手RH的柄部100结合。
一实施例中，第一标记组件310和机械手RH可以以能够装卸的方式结合。
另一实施例中，第一标记组件310和机械手RH可以一体地形成而不能被装卸。
一实施例中，第一标记组件310可以以在机械手RH上能够移动的方式结合。
一实施例中，第一标记组件310可以沿选自x轴、y轴及z轴方向的任意一个以上的方向进行直线移动。
为此，第一标记组件310可以包括直线移动驱动部。直线移动驱动部可以包括选自x轴驱动部DX、y轴驱动部DY及z轴驱动部(未示出)中的任意一个以上。
X轴驱动部DX可以使第一标记组件310沿着x轴方向直线移动，y轴驱动部DY可以使第一标记组件310沿着y轴方向直线移动。
为了轻微的移动，选自x轴驱动部DX、y轴驱动部DY及z轴驱动部(未示出)中的任意一个以上可以与螺钉结合。
例如，对于x轴驱动部DX而言，即，如果将螺钉沿着一个方向旋转，则朝向x轴的正向移动，如果将螺钉沿着相反方向旋转，则可以向x轴的负向移动。
但是，这仅仅是示例，x轴驱动部DX、y轴驱动部DY及z轴驱动部(未示出)的结构不限于此。
一实施例中，第一标记组件310还可以包括旋转驱动部RO。旋转驱动部RO可以在xy平面上使第一标记组件310向顺时针或逆时针方向旋转。
第一标记组件310的驱动可以自动进行或手动进行。
第一对齐标记M1可以对机械手RH提供基准位置。为此，第一对齐标记M1需要预先与基板的特定位置对应。即，上述的直线移动驱动部和旋转驱动部可以在预先将基板和第一对齐标记M1对应的过程(经过该过程才能够在没有基板的情况下习得对齐位置)中起到调整第一对齐标记M1的位置的作用。
第一标记组件310可以包括形成于上表面的第一对齐标记M1。形成于第一标记组件310上的第一对齐标记M1可以形成在从上向下观察时＝能够识别的位置。即，可以形成于俯视图上的上表面。
第一对齐标记M1可以具有多边形或圆形，其形状不受特殊限制。图5等例示出第一对齐标记M1为了使第一对齐标记M1和第一视野中心VC1一致而具有环(Ring)形状的情形。本说明书中表述为“第一对齐标记M1与第一视野中心VC1一致”时可以定义为第一视野中心VC1布置在第一对齐标记M1的中空部的情形。但是，不限于此，在第一对齐标记M1具有其他形状的情况下，也可以表示第一对齐标记M1和视野中心至少部分重叠的情形。
一实施例中，第一对齐标记M1可以是利用金属或非金属物质形成的阳刻的图案，或者至少一部分凹陷的阴刻的图案。
根据本发明的一实施例的显示装置的制造装置可以包括布置在各个腔室内部的摄像头410、420。即，各个腔室可以包括一个以上的摄像头。
为了说明的便利，举例说明布置于第一腔室CH1的第一摄像头410及第二摄像头420。
提前说明的是，对于与摄像头相关的第一腔室CH1的说明可以同样适用于第二腔室CH2、第三腔室CH3、第一移送腔室TC1及第二移送腔室TC2。
参照图3，在与第一标记组件310对应的位置布置有第一摄像头410，在与第二标记组件320对应的位置可以布置有第二摄像头420。
一实施例中，在第一标记组件310的上部布置有第一摄像头410，在第二标记组件320的上部可以布置有第二摄像头420。
第一摄像头410可以收集形成于第一标记组件310上的第一对齐标记M1的位置信息。相同地，第二摄像头420可以收集形成于第二标记组件320上的第二对齐标记M2的位置信息。
将参照图5对由第一摄像头410及第二摄像头420收集的位置信息进行详细说明。图5是用于说明本发明中的部分概念的示意图。
图5示出由第一摄像头410拍摄的第一数据d1及由第二摄像头420拍摄的第二数据d2。
一实施例中，第一数据d1可以包括第一摄像头410的第一视野中心VC1以及第一对齐标记M1的位置信息。
参照图5，第一数据d1可以包括校正前的第一对齐标记MP1的位置信息。
为了说明的便利而定义术语。本说明书中，视野中心可以表示摄像头所拍摄的图像或者影像的几何中心。
第一视野中心VC1可以表示第一摄像头410所拍摄的第一数据d1(在此，第一数据可以具有图像或视频形式)的画面中心，即第一摄像头410所拍摄的画面的几何中心。
第一数据d1可以包括校正前的第一对齐标记MP1的位置信息。
因此，第一数据d1可以包括校正前的第一对齐标记MP1与第一视野中心VC1之间的位置关系。虽然会在下文中进行详细说明，但是控制部910可以以该位置关系为基础而控制机械手RH使第一对齐标记M1与第一视野中心VC1一致。
第二摄像头410所拍摄的第二数据d2也可以与第一数据d1实质上相同。具体地，第二数据d2可以包括第二视野中心VC2及校正前的第二对齐标记MP2的位置信息。
如上所述，在根据本发明的若干实施例的显示装置的制造装置利用至少两个摄像头进行对齐作业的情况下，可以提高对齐作业的准确性。
再次参照图3，根据本发明的一实施例的显示装置的制造装置可以包括数据处理部800、控制部910、存储部930及驱动部920。
数据处理部800可以处理由第一摄像头410和/或第二摄像头420获取的信息。即，数据处理部800可以将由第一摄像头410和/或第二摄像头420获取的信息转换成适合传输的形式而将其提供给控制部910。
数据处理部800可以以有线或无线通信方式向控制部910提供所需的信息。
有线通信方式例如可以是利用通用串行总线(Universal serial bus；USB)、高清晰度多媒体接口(High definition multimedia interface；HDMI)、RS-232(recommendedstandard 232)或普通老式电话业务(plain old telephone service：POTS)的方式。
无线通信方式例如可以是wi-fi、蓝牙(bluetooth)、zigbee、GPS、蜂窝通信(LTE、LTE-A、CDMA、WCDMA、UMTS、Wibro、GsSM)及NFC通信。
但是，这只是示例，有线/无线通信方式不限于此。
控制部910可以以从数据处理部800提供的信息为基础而调整机械手RH的位置。为了处理提供的信息并以此为基础控制后述的驱动部920，控制部910可以包括中央处理装置(CPU)而构成。
具体地，如图5所示，控制部910可以校正机械手RH的位置以使第一对齐标记M1及第二对齐标记M2与第一视野中心VC1及第二视野中心VC2一致。
一实施例中，机械手RH的位置校正可以如上所述地依赖于机械臂RA。控制部910向驱动部920发送控制命令，据此驱动部920可以以如上所说明的方式驱动机械臂RA。为了驱动机械臂RA，驱动部920可以包括至少一个马达或致动器。
如果调整机械手RH的位置而使第一对齐标记M1及第二对齐标记M2与第一视野中心VC1及第二视野中心VC2一致，则控制部910可以将机械手RH的位置信息存储于存储部930。
为此，存储部930可以包括内置和/或外置存储器。
内置存储器例如可以包括易失性存储器(例如，动态随机存取存储器(dynamicRAM；DRAM)、静态随机存储器(static RAM；SRAM)、同步动态随机存储器(synchronousdynamic RAM；SDRAM)等)或非易失性存储器(non-volatile Memory，例如一次编程只读存储器(one time programmable ROM；OTPROM)、可编程只读存储器(programmable ROM；PROM)、可擦可编程只读存储器(erasable and programmable ROM；EPROM)、电可檫可编程存储器(electrically erasable and programmable ROM；EEPROM)、掩模型只读存储器(mask ROM)、闪速存储器(flash ROM)、NAND闪存(NAND flash memory)、NOR闪存(NORflashmemory)等)中的至少一个。
外置存储器例如可以包括闪存驱动器(flash drive)，例如，小型快速闪存卡(compact flash；CF)、SD(secure digital)、Micro-SD(micro secure digital)、Mini-SD(minisecure digital)、xD(extreme digital)或者记忆棒(Memory Stick)等。
如果机械手RH的位置信息被存储，则在后续工序中，机械手RH可以以在其上部安装对象物(例如，基板)的状态下移动至存储的位置。
即，根据本发明的一实施例的显示装置的制造装置可以在开始真正的制造工序之前学习机械手RH的对齐位置。并且，如果开始制造工序，则机械手RH可以向学习的对齐位置移动。因此，提高工序的准确性，并且可以节省为专门的对齐而所花费的时间，从而可以提高工序效率性。
接着，对根据本发明的另一实施例的显示装置的制造装置进行说明。
图6是根据本发明的另一实施例的显示装置的制造装置的平面图。
图7是将图6的“A”部分放大的局部放大图。
参照图6及图7，与图1的实施例的不同之处在于，根据一实施例的显示装置的制造装置包括布置在机械手RH上的白玻璃(Dummy Glass)DG。
一实施例中，显示装置的制造装置可以包括白玻璃DG。白玻璃DG可以具有与作为后述的显示装置的制造方法的对象物的基板实质相同的大小。在白玻璃DG具有与基板相同大小的情况下，可以在投入基板而开始工序之前学习准确的位置信息而提高工序的准确性。
一实施例中，白玻璃DG可以与机械手RH结合而得到固定。具体地，白玻璃可以与机械手RH的柄部100结合。
白玻璃DG在后述的工序中被基板代替，因此可以以能够装卸的方式与柄部100结合。并且，白玻璃DG在后述的工序中被基板代替，因此可以如基板地置于分支部210、220、230、240上。即，可以被分支部210、220、230、240支撑。换言之，基板具有与白玻璃DG相同的大小，并且可以布置在与白玻璃DG相同的位置。
但是，白玻璃DG在学习对齐位置信息的步骤之前需要牢固地固定于机械手RH，因此至少两个固定部件(图6的第一固定部件610及第二固定部件620)可以在结合柄部ST和白玻璃DG时使用到。
一实施例中，第一腔室CH1可以包括引导白玻璃DG的引导部510。
引导部510可以引导白玻璃DG的位置。为此，引导部510可以在腔室内部形成为线形状，或者形成为阴刻或阳刻的图案。一实施例中，引导部510可以布置在与白玻璃DG的边角部对应的位置。
图6示出4个引导部510布置于白玻璃DG的四个边角的情形。
参照图7，第一摄像头410可以拍摄白玻璃DG的边角部和引导部510。
即，第一摄像头410的第一数据d1可以包括白玻璃DG的边角部和引导部510的位置信息。具体地，第一数据d1可以包括白玻璃DG与引导部510之间的x轴间距x及y轴间距y。
控制部910可以基于白玻璃DG与引导部510之间的x轴间距x及y轴间距y而调整机械手RH的位置以使白玻璃DG与引导部510对齐。
图7中示出第一摄像头410拍摄白玻璃DG与引导部510之间的位置关系的情形，但是摄像头的数量不限于此。
一实施例中，第二摄像头420可以起到与第一摄像头410实质相同的作用。具体地，第二摄像头420可以在白玻璃DG的除了第一摄像头410拍摄的边角以外的其他边角拍摄引导部510和白玻璃DG。
并且，控制部910可以基于由第二摄像头420拍摄的第二数据d2而调整机械手RH的位置信息。
如上所述，在追加使用第二摄像头520的情况下，相比于仅使用第一摄像头410的情形，可在对齐准确性方面较有利。
参照图8，根据本发明的一实施例的显示装置的制造装置可以包括感测部700。感测部700可以包括多个传感器。
一实施例中，感测部700可以包括多个传感器。
多个传感器可以沿着白玻璃DG的边缘而布置。图8示出第一传感器SE1、第二传感器SE2、第三传感器SE3、第四传感器SE4、第五传感器SE5及第六传感器SE6沿着白玻璃DG的边缘而布置的情形。
但是，这仅仅是示例，传感器的位置或数量不限于此。
一实施例中，第一传感器SE1、第二传感器SE2、第三传感器SE3、第四传感器SE4、第五传感器SE5及第六传感器SE6可以是间距传感器。间距传感器是包括位移传感器的概念，并且可以表示能够感测与特定对象物之间的间距的传感器。
一实施例中，间距传感器可以包括激光传感器。在此情况下，间距传感器可以包括发光部(未示出)及收光部(未示出)。
在白玻璃DG的边缘布置有多个间距传感器的情况下，可以获得白玻璃DG与腔室或布置在腔室内部空间的物体之间的间距信息。
一实施例中，腔室或者布置于腔室内部空间的物体可以包括腔室的内壁、腔室的入口、在腔室为沉积腔室的情况下布置的沉积源或者平台等。但是，这仅仅是示例，腔室或布置于腔室内部的物体的种类不限于此。
一实施例中，白玻璃DG与布置在腔室内部空间的物体之间的间距信息可以包括白玻璃DG与布置在腔室内部空间的物体之间的距离信息。
数据处理部800可以将感测部700所收集的信息向控制部910提供。向控制部910提供信息的方式可以与上文中的根据本发明的一实施例的显示装置的制造装置中说明的内容实质上相同。即，可以使用有线和/或无线通信方式。控制部910可以基于传递的间距信息而调整机械手RH的位置。具体地，可以将位置控制为使白玻璃DG在腔室内不与其他构成接触。
一实施例中，控制部910可以以使白玻璃DG与物体间的距离不为“0”的方式控制机械手RH。白玻璃DG与物体间的距离为“0”表示物体与白玻璃DG接触。在白玻璃DG与物体间的距离为“0”的情况下，后述的基板可能在腔室内部与物体碰撞，这可能引发基板的破损。因此，控制部可以将机械手RH的位置控制为使白玻璃DG与物体间距离不为“0”。
并且，在白玻璃DG上布置多个传感器的情况下，控制部910可以控制机械手RH的位置以使由各个传感器获取的间距信息都不为0(这样才能防止所有方向上的碰撞)。
如果不与其他物质接触的位置被确定，则控制部910可以将该位置存储于存储部930。
通过控制控制部910与驱动部920而控制机械手RH的方式及存储部930与上文中的根据本发明的一实施例的显示装置的制造装置中说明的内容可以实质上相同。因此，省略对此的详细说明。
如果对齐在工艺过程中偏离，则基板与其他构成接触，并且这可能导致基板破损。如上所述。如果利用多个传感器提取各个构成之间的间距信息，并利用此而学习并记忆机械手RH的位置，则可以防止布置在机械手RH上的基板在搬入或搬出过程中破损。
图9是根据本发明的另一实施例的显示装置的制造装置的平面图。图10是沿着图9的I-I’线剖切的剖面图。
参照图9及图10，第一传感器SE1、第二传感器SE2、第三传感器SE3及第四传感器SE4中的某一个包括布置在白玻璃DG上表面上的上部传感器以及布置在白玻璃DG下表面上的下部传感器。
一实施例中，选自第一传感器SE1、第二传感器SE2、第三传感器SE3及第四传感器SE4中的任意一个以上可以包括上部传感器与下部传感器。
图10示出第一传感器SE1包括第一上部传感器SE1_1及第一下部传感器SE1_2，并且第二传感器SE2包括第二上部传感器SE2_1及第二下部传感器SE2_2的情形。
一实施例中，第一传感器SE1与第二传感器SE2、第三传感器SE3及第四传感器SE4可以实质上相同。因此，以下的对于第一传感器SE1的说明可以同样适用于第二传感器SE2、第三传感器SE3及第四传感器SE4。
第一上部传感器SE1_1与第一下部传感器SE1_2可以隔着白玻璃DG而布置。因此，第一上部传感器SE1_1与第一下部传感器SE1_2可以彼此重叠。第一上部传感器SE1_1与第一下部传感器SE1_2都是间距传感器，并且可以感测第一上部传感器SE1_1及第一下部部传感器SE1_2与周围物体间的间距信息。
如上所述，在白玻璃DG的上下表面布置传感器的情况下，可以更具体地获取白玻璃DG与布置于腔室内的多个物体间的间距信息。因此，可以防止后述的基板在腔室内与其他物体碰撞而破损。
以下，对根据本发明的若干实施例的显示装置的制造方法进行说明。接着，对根据本发明的一实施例的显示装置的制造方法进行说明。在以下的实施例中，对于与已说明的构成相同的构成，用相同的附图符号表示，并省略或简化重复的说明。
根据本发明的若干实施例的显示装置的制造方法可以由根据上文中说明的若干实施例的显示装置的制造装置执行。但是，这只是若干实施例中的一个，制造方法不限于装置的种类。
根据一实施例的显示装置的制造方法可以包括在腔室内学习机械手RH的对齐位置的步骤以及使放置有基板的机械手RH向对齐位置移动而加工基板的步骤。
具体地，学习机械手RH的对齐位置的步骤可以包括如下步骤：利用摄像头获取机械手RH的位置信息；基于获取的位置信息调整机械手RH的位置；以及存储调整后的机械手RH的位置的步骤。
一实施例中，利用摄像头学习机械手RH的对齐步骤的步骤可以通过如图3及图5中说明的方式进行。在此，摄像头可以是第一摄像头410和/或第二摄像头420。
具体地，定义有第一视野中心VC1的第一摄像头410可以获取形成于第一标记组件310的第一对齐标记M1的位置信息。获取的位置信息可以经过数据处理部800向控制部910提供。
控制部910可以控制机械手RH而调整其位置。具体地，控制部910可以调整机械手RH的位置而使第一对齐标记M1与第一视野中心VC1一致。
如果第一对齐标记M1与第一视野中心VC1一致，则控制部910可以将机械手RH的位置信息存储于存储部930。
上述的过程可以在第一腔室CH1、第二腔室CH2及第三腔室CH3分别执行。即，第一腔室CH1、第二腔室CH2及第三腔室CH3分别具有对齐位置，并且机械手RH可以移动至各个对齐位置。
接着，可以执行使放置有基板的所述机械手RH移动至所述对齐位置而加工基板的步骤。
如上所述，在机械手RH上可以放置有作为对象物的基板。在放置基板的状态下，机械手RH可以移动至选自第一腔室CH1、第二腔室CH2及第三腔室CH3中的任意一个的腔室。并且，在各个腔室内，基板可以以预定的方式被加工。如上所述，在第一腔室CH1、第二腔室CH2及第三腔室CH3为沉积工序用腔室的情况下，在第一腔室CH1、第二腔室CH2及第三腔室CH3内可以在基板上沉积有机层。
在另一实施例中，学习机械手RH的对齐位置的步骤可以以图6中说明的方式进行。
具体地，利用摄像头获取机械手RH的位置信息的步骤可以包括获取在腔室内划分的引导部510与白玻璃DG的位置信息的步骤。具体地，摄像头可以获取引导部510与白玻璃DG的边缘的间距信息。
接着，可以进行以获取的位置信息为基础而调整机械手RH的位置的步骤。控制部910可以调整机械手RH的位置以使引导部510与白玻璃DG的边缘对齐。
如果白玻璃DG与引导部510的边缘被对齐，则控制部910可以将调整后的机械手RH的位置存储于存储部930。使放置有基板的机械手移动至对齐位置而加工基板的步骤与上文中的实施例相同，因此省略对此的说明。
根据本发明的一实施例的显示装置的制造方法包括学习腔室内的机械手RH的对齐位置的步骤以及将放置有基板的机械手RH移动至对齐位置而加工基板的步骤。
具体地，学习机械手RH的对齐位置的步骤可以包括如下步骤：将附着有多个传感器的白玻璃DG搬入腔室内部；获取白玻璃DG与布置在腔室内部的物体之间的间距信息；基于间距信息调整所述机械手RH的位置。
附着有多个传感器的白玻璃DG可以与上文中的图8中说明的内容实质上相同。可以在将附着有多个传感器的白玻璃DG搬入腔室内部的同时获取白玻璃DG与腔室及布置于所述腔室内部的物体之间的间距信息。腔室或布置于所述腔室内部的物体可以包括腔室的内壁、腔室的入口、在腔室为沉积腔室的情况下布置的沉积源或者平台等。但是，这只是示例，腔室或布置于腔室内部的物体的种类不限于此。
多个传感器可以在各个位置感测腔室或布置于腔室内部的物体之间的间距信息。感测的间距信息可以提供给数据处理部800。数据处理部800可以将该间距信息传送给控制部910。
控制部910可以基于传递的间距信息驱动机械手RH。具体地，控制部910可以以间距信息为基础而控制机械手RH的位置或移动以使白玻璃DG不与腔室或腔室内部的物体碰撞。
具体地，可以寻找多个传感器与腔室或腔室内部的物体之间的距离不为0(在距离为0的情况下，传感器或白玻璃可能与物体接触)的对齐位置。如果控制部910找到对齐位置，则控制部可以将其存储于存储部930。
接着，可以进行去除白玻璃DG的步骤。白玻璃DG是用于学习对齐位置的构成，因此可以在开始工序之前被去除。接着，可以执行在机械手RH上放置基板的步骤。如上所述，基板可以是显示装置用基板，尤其是有机发光显示装置用基板。
然后，包括将放置有基板的机械手RH移动至对齐位置而加工基板的步骤。将放置有基板的机械手RH移动至对齐位置而加工基板的步骤可以在选自第一腔室CH1、第二腔室CH2及第三腔室CH3中的任意一个以上的腔室进行。在一实施例中，加工基板的步骤可以依次经过第一腔室CH1、第二腔室CH2及第三腔室CH3而进行。具体地，可以在第一腔室CH1中在基板上形成第一有机层，并在第二腔室CH2中在基板上形成第二有机层，并在第三腔室CH3中在基板上形成第三有机层。第一有机层、第二有机层及第三有机层可以分别包括发出彼此不同的颜色的有机发光层。
以上，以本发明的实施例为中心进行了说明，但这只是示例，并不限制本发明，如果是在本发明所属领域中具有通常的知识的人员，则可以在不脱离本发明的实施例的本质特性的范围内，实现在上文中没有例示出的多种变形和应用。例如，在本发明的实施例中具体示出的各个构成要素可以被变形而实施。并且，关于这种变形和应用的差异应被解释为被包含于权利要求书中规定的本发明的范围内。

Claims (20)

1.一种显示装置的制造装置，包括：
腔室；
机械手，出入于所述腔室内；
标记组件，附着于所述机械手，且形成有对齐标记；
摄像头，定义有视野中心，并获取所述对齐标记的位置信息；
控制部，调整所述机械手的位置而使所述视野中心与所述对齐标记一致；
存储部，在所述视野中心与所述对齐标记一致的状态下存储所述机械手的位置信息。
2.如权利要求1所述的显示装置的制造装置，其中，
所述腔室为多个，并且在各个所述腔室内布置有沉积源。
3.如权利要求1所述的显示装置的制造装置，其中，
所述机械手包括：柄部，沿着第一方向延伸；多个分支部，沿着与所述第一方向不同的第二方向延伸。
4.如权利要求3所述的显示装置的制造装置，其中，
所述标记组件与所述柄部结合。
5.如权利要求3所述的显示装置的制造装置，其中，
所述标记组件与所述柄部一体地形成。
6.如权利要求1所述的显示装置的制造装置，其中，还包括：
机械臂，与所述机械手结合而使所述机械手移动。
7.如权利要求1所述的显示装置的制造装置，其中，
所述标记组件包括第一标记组件及第二标记组件，与此对应地，所述摄像头包括第一摄像头及第二摄像头。
8.如权利要求1所述的显示装置的制造装置，其中，还包括：
直线移动驱动部，使所述标记组件沿着选自xyz方向中的一个以上的方向移动。
9.如权利要求1所述的显示装置的制造装置，其中，还包括：
旋转驱动部，使所述标记组件沿着顺时针或逆时针方向旋转。
10.一种显示装置的制造装置，包括：
腔室；
机械手，出入于所述腔室内；
白玻璃，放置于所述机械手；
引导部，形成于所述腔室内部；
摄像头，获取所述白玻璃与所述引导部的位置信息；
控制部，调整所述机械手的位置而使所述白玻璃的边缘与所述引导部对齐；
存储部，在所述白玻璃与所述引导部对齐的状态下，存储所述机械手的位置信息。
11.如权利要求10所述的显示装置的制造装置，其中，
所述机械手包括：柄部，沿着第一方向延伸；多个分支部，沿着与所述第一方向不同的第二方向延伸。
12.如权利要求11所述的显示装置的制造装置，其中，
所述白玻璃与所述柄部结合，且放置于所述分支部上。
13.一种显示装置的制造装置，包括：
腔室；
机械手，出入于所述腔室内；
白玻璃，放置于所述机械手；
感测部，附着于所述白玻璃，并在所述腔室内获取间距信息；
控制部，基于所述间距信息调整所述机械手的位置；
存储部，存储调整后的所述机械手的位置信息。
14.如权利要求13所述的显示装置的制造装置，其中，
所述感测部包括多个间距传感器，所述间距传感器沿着所述白玻璃的边缘而布置。
15.如权利要求14所述的显示装置的制造装置，其中，
各个所述间距传感器包括：上部传感器，布置在所述白玻璃的上部；下部传感器，布置在所述白玻璃的下部。
16.一种显示装置的制造方法，包括如下步骤：
在腔室内学习机械手的对齐位置；以及
将布置有基板的所述机械手移动至学习的所述对齐位置而加工所述基板，
在所述腔室内学习机械手的对齐位置的步骤包括如下步骤：
利用第一摄像头获取所述机械手的位置信息；
基于获取的所述位置信息调整所述机械手的位置；以及
存储调整后的所述机械手的位置。
17.如权利要求16所述的显示装置的制造方法，其中，
定义所述第一摄像头的视野中心，在所述机械手结合有形成有第一对齐标记的第一标记组件，
利用所述第一摄像头获取机械手的位置信息的步骤包括如下步骤：获取所述第一摄像头的视野中心与所述第一对齐标记的位置信息，
基于获取的所述位置信息调整机械手的位置的步骤包括如下步骤：调整所述机械手的位置而使所述第一摄像头的所述视野中心与所述第一对齐标记一致。
18.如权利要求16所述的显示装置的制造方法，其中，
在所述机械手上布置有具有与所述基板相同的大小的白玻璃，
利用所述第一摄像头获取机械手的位置信息的步骤包括如下步骤：获取布置于所述腔室内的引导部和所述白玻璃的位置信息，
基于获取的所述位置信息调整机械手的位置的步骤包括如下步骤：以使所述引导部与所述白玻璃的边缘对齐的方式调整所述机械手的位置。
19.一种显示装置的制造方法，包括如下步骤：
在腔室内学习机械手的对齐位置；以及将放置有基板的所述机械手移动至学习的所述对齐位置而加工所述基板，
在所述腔室内学习机械手的对齐位置的步骤包括如下步骤：
将附着有多个传感器的白玻璃搬入腔室内部；
获取所述白玻璃与布置在所述腔室内部的物体之间的间距信息；
基于所述间距信息调整所述机械手的位置；以及
存储调整后的所述机械手的位置。
20.如权利要求19所述的显示装置的制造方法，其中，
所述间距信息包括所述物体与所述白玻璃之间的距离信息，在基于所述间距信息调整所述机械手的位置的步骤中，以使所述白玻璃与所述物体之间的距离不为0的方式调整所述机械手的位置。
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