CN110307731B - 一种用于高温设备的旋转料台 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种用于高温设备的旋转料台，包括设置于炉体下方的料台，所述料台通过第一动密封圈与所述炉体转动连接，所述料台的底端固设有一与所述料台同轴的传动轴，所述传动轴上设置有从动链轮，驱动电机的输出轴上设置有主动链轮，所述主动链轮和所述从动链轮分别与传动链条啮合。本发明用于高温设备的旋转料台在不增加原有工艺气体进入点的数量的基础上，使工艺气体的流动方位可控，提高了产品品质的均匀性。

Description

一种用于高温设备的旋转料台

技术领域

本发明涉及高温生产设备技术领域，特别是涉及一种用于高温设备的旋转料台。

背景技术

在现有技术中，圆形高温设备生产时需要将产品放置于炉底中心位置处的圆柱形料墩上，当炉内温度、压力上升到一定条件下后将工艺气体通入炉内进行反应或者沉积。在整个圆形高温设备的生产过程中，由于产品的形状、摆放位置及工艺气体进入点等因素的影响会导致炉内工艺气体的流动方位无法控制，使得最终的产品品质不一致且无法进行有效控制。

现有的圆形高温设备在生产过程中，通过以下方式来解决工艺气体流动不均匀的问题：1、在圆柱形料墩上增加多个工艺气体进入点；2、在圆形高温设备工作区内沿母线方向增加多层、多个气体进入点的方式。随着圆形高温设备的工作区尺寸的增加，采用上述两种方式将大大增加设备的复杂程度，提高了设备的制作成本、维护成本。同时，随着设备的工作区尺寸的进一步增加，工艺气体的流动方位会更难以控制。

发明内容

本发明的目的是提供一种用于高温设备的旋转料台，以解决上述现有技术存在的问题，在不增加原有工艺气体进入点的数量的基础上，使工艺气体的流动方位可控，提高产品品质的均匀性。

为实现上述目的，本发明提供了如下方案：本发明提供一种用于高温设备的旋转料台，包括设置于炉体下方的料台，所述料台通过第一动密封圈与所述炉体转动连接，所述料台的底端固设有一与所述料台同轴的传动轴，所述传动轴上设置有从动链轮，驱动电机的输出轴上设置有主动链轮，所述主动链轮和所述从动链轮分别与传动链条啮合。

优选地，所述炉体的侧壁上设置有若干个炉侧进气口。

优选地，所述料台上设置有气腔和若干个料台布气管，所述料台布气管的顶端通入所述炉体内部，所述料台布气管的底端与所述气腔相通；所述传动轴中空，且所述传动轴中设置有炉底进气管，所述炉底进气管的顶端通入所述气腔中。

优选地，所述料台布气管和所述炉底进气管均竖直。

优选地，所述炉底进气管通过第二动密封圈与所述传动轴连接。

优选地，所述炉底进气管与所述传动轴同轴。

优选地，所述传动轴通过轴承与地面转动配合。

优选地，所述料台的中部具有伸进所述炉体的凸台，所述凸台用于放置产品。

本发明用于高温设备的旋转料台相对于现有技术取得了以下技术效果：

本发明用于高温设备的旋转料台在不增加原有工艺气体进入点的数量的基础上，使工艺气体的流动方位可控，提高了产品品质的均匀性。本发明通过设置能够相对炉体转动的料台，并将待加工的产品放置于料台上，在加工过程中产品能够随料台的转动而转动，从而消除了产品形状、摆放位置或工艺气体进入点等因素导致工艺气体在产品上的反应或沉积不均匀的现象，实现了对产品品质的有效控制。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明用于高温设备的旋转料台的结构示意图；

图2为图1中A处的局部放大图；

其中，1-炉体，2-产品，3-炉侧进气口，4-炉底进气管，5-料台布气管，6-第一动密封圈，7-料台，8-传动轴，9-传动链条，10-驱动电机，11-第二动密封圈。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明的目的是提供一种用于高温设备的旋转料台，以解决现有技术存在的问题，在不增加原有工艺气体进入点的数量的基础上，使工艺气体的流动方位可控，提高产品品质的均匀性。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

请参考图1-2，其中，图1为本发明用于高温设备的旋转料台的结构示意图；图2为图1中A处的局部放大图。

如图1所示，本实施例用于高温设备的旋转料台7包括设置于炉体1下方的料台7，料台7的竖截面呈“凸”字形，其中料台7的中部设置有伸进炉体1的凸台，凸台用于放置产品2，凸台的外围则为圆环状的连接部，连接部通过第一动密封圈6与炉体1转动连接；料台7的底端固设有一与料台7同轴的传动轴8，在本实施例中料台7与传动轴8一体成型，传动轴8上设置有从动链轮，驱动电机10的输出轴上设置有主动链轮，主动链轮和从动链轮分别与传动链条9啮合，传动轴8通过轴承与地面转动配合。驱动电机10能够通过链条传动机构驱动料台7相对炉体1转动，而地面则为传动轴8和料台7提供了必要的支撑。

炉体1和料台7上均设置有工艺气体进气口，具体地：在炉体1的侧壁上设置有若干个炉侧进气口3；而在料台7的内部设置有气腔和若干个竖直的料台布气管5，其中料台布气管5的顶端通入炉体1内部，在本实施例中料台布气管5的顶端与凸台的顶面平齐，而料台布气管5的底端则与气腔相通，在本实施例中传动轴8中空，且中空的传动轴8中设置有竖直的且与传动轴8同轴的炉底进气管4，炉底进气管4的顶端通入气腔中，炉底进气管4通过第二动密封圈11与传动轴8转动连接。

在使用本实施例用于高温设备的旋转料台7加工产品2时，首先开启炉体1上的炉门，将待加工的产品2叠放于料台7的凸台上并固定好后，关闭炉体1的炉门，然后开启驱动电机10，驱动电机10通过链条传动机构驱动传动轴8及料台7进行转动，待加工的产品2也随料台7一起转动，同时通过炉侧进气口3和炉底进气管4通入工艺气体，由于待加工的高温设备产品2一直随料台7转动，故其能够与炉体1内的工艺气体均匀接触，再通过设置不同的气体流量以及不同的转速，进一步使产品2与工艺气体的接触更加充分，而料台7中的料台布气管5跟随料台7一起旋转，能够使通过料台布气管5进入炉体1的工艺气体更均匀的分布于炉体1内，从而也使得产品2与工艺气体的接触更充分。而第一动密封圈6和第二动密封圈11的设计则充分保障了该装置整体的气密性，且第一动密封圈6和第二动密封圈11均耐高温，更加保障了装置整体的可靠性。

值得注意的是，本发明中的料台7与炉体1的相对转动的方式不局限于本实施例，例如将产品2设置于炉体1的内壁上，而使驱动装置驱动炉体1相对料台7转动也是可以的，在本发明的保护范围之内。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“顶”、“底”、“竖直”、“内”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“笫二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

本发明中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (5)

1.一种用于高温设备的旋转料台，其特征在于：包括设置于炉体下方的料台，所述料台通过第一动密封圈与所述炉体转动连接，所述料台的底端固设有一与所述料台同轴的传动轴，所述传动轴上设置有从动链轮，驱动电机的输出轴上设置有主动链轮，所述主动链轮和所述从动链轮分别与传动链条啮合；所述炉体的侧壁上设置有若干个炉侧进气口；所述料台上设置有气腔和若干个料台布气管，所述料台布气管的顶端通入所述炉体内部，所述料台布气管的底端与所述气腔相通；所述传动轴中空，且所述传动轴中设置有炉底进气管，所述炉底进气管的顶端通入所述气腔中；所述炉底进气管通过第二动密封圈与所述传动轴转动连接；通过设置不同的气体流量以及不同的转速，使产品与工艺气体的接触更加充分。

2.根据权利要求1所述的用于高温设备的旋转料台，其特征在于：所述料台布气管和所述炉底进气管均竖直。

3.根据权利要求1所述的用于高温设备的旋转料台，其特征在于：所述炉底进气管与所述传动轴同轴。

4.根据权利要求1所述的用于高温设备的旋转料台，其特征在于：所述传动轴通过轴承与地面转动配合。

5.根据权利要求1所述的用于高温设备的旋转料台，其特征在于：所述料台的中部具有伸进所述炉体的凸台，所述凸台用于放置产品。

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