CN110300817A - 涂布的切削工具 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种涂布的切削工具,所述切削工具包含硬质合金基材和涂层,所述硬质合金包含WC和包含Co、Fe和Ni中的一种或多种的粘结相,所述硬质合金中的碳含量是亚化学计量碳含量SCC,其中‑0.13重量%≤SCC<0重量%或‑0.30重量%≤SCC≤‑0.16重量%,并且其中所述涂层包含:一个或多个层(A),所述一个或多个层(A)是金属碳化物、金属氮化物或金属碳氮化物,所述金属是Zr和Hf中的至少一种,任选的Ti以金属量的至多10原子%的量存在;和氧化铝层,所述一个或多个层(A)位于所述基材与所述氧化铝层之间。
Description
本发明涉及一种涂布的切削工具。
背景技术
用于金属加工的切削工具通常是以硬质合金为基础的,所述硬质合金通常具有为了总体上改善切削工具的耐磨性而沉积的比较薄的涂层并由此增加工具寿命。本领域已知许多涂层,并且涂层能够由不同组成和厚度的层的组合构成。
在间歇加工期间,特别是在铣削加工中,通常在切削刃处的基材中形成称为“梳状裂纹”的热机械诱发的裂纹。这些裂纹最终导致工具因碎裂而失效,这是工具寿命的速率限制因素。
在CVD涂层中,在沉积之后的冷却过程中形成冷却裂纹,因为涂层不能自由收缩,这是因为它附着在硬质合金体上。冷却裂纹可以充当用于在基材中形成梳状裂纹的成核位点。在形成冷却裂纹的同时,在涂层中引起拉伸应力。因此,本领域已知的增加对梳状裂纹形成的抵抗性的一种方法是,通过喷射在涂层中引入压缩应力来延迟涂层中的裂纹形成和裂纹扩展。
定义
η相在本文中是指选自Me12C和Me6C的亚碳化物,其中Me选自:W,Mo,以及粘结相金属Co、Fe和Ni中的一种或多种。常见亚碳化物是W6Co6C、W3Co3C、W6Ni6C、W3Ni3C、W6Fe6C、W3Fe3C。
发明内容
现在令人惊讶地发现,能够提供一种涂布的切削工具,其特别是在铣削操作中对梳状裂纹的形成具有优异抵抗性。
本发明涉及一种涂布的切削工具,所述切削工具包含硬质合金基材和涂层,所述硬质合金包含WC和包含Co、Fe和Ni中的一种或多种的粘结相,所述硬质合金中的碳含量是亚化学计量碳含量,在本文中表示为SCC,其中-0.13重量%≤SCC<0重量%或-0.30重量%≤SCC≤-0.16重量%,并且其中所述涂层包含:一个或多个层(A),所述一个或多个层(A)是金属碳化物、金属氮化物或金属碳氮化物,所述金属是Zr和Hf中的至少一种,任选的Ti以金属量的至多10原子%的量存在;和氧化铝层,所述一个或多个层(A)位于基材与氧化铝层之间。
在涂层的金属碳化物、金属氮化物或金属碳氮化物中任选存在Ti意味着Ti的量也能够以金属量的0~10原子%的量存在。
本发明中的硬质合金具有一定范围内的亚化学计量碳含量SCC。亚化学计量碳含量是碳含量相对于碳的化学计量值的度量。亚化学计量碳含量值使用起来是一个很好的度量,因为它不依赖于其他参数如粘结相含量、其他碳化物等。
另一方面,化学计量碳含量取决于其他参数如粘结相含量等。对于粉末,在烧结之前,通过假设WC是完全化学计量的,即原子比W:C是1:1来计算化学计量值。如果存在其他碳化物,那么也假设它们是化学计量的。
当对于例如由Co和WC构成的烧结的硬质合金估算化学计量碳含量时,它能够在假设原子比W:C是1:1的条件下基于添加的WC原料的量来完成,或者根据烧结材料的测量,然后从测量的钨含量在假设原子比W:C为1:1的条件下计算化学计量碳含量。
这意味着本文中所使用的术语亚化学计量碳含量SCC是由化学分析确定的总碳含量(单位为重量%)减去基于WC和可能另外存在于硬质合金中的碳化物的计算的化学计量碳含量(单位为重量%)。
作为一个实例,如果特定硬质合金的化学计量碳含量为5.60重量%,并且将制造相同的硬质合金,但其碳含量为5.30重量%,亚化学计量的碳将为-0.30重量%。
粘结相选自Fe、Co和Ni中的一种或多种,优选Co,其量为硬质合金的2~20重量%,或者硬质合金的5~12重量%。
在一个实施方案中,当Cr存在于硬质合金中时,一部分Cr溶解在粘结相中。
硬质合金中WC的量合适地为80~98重量%。烧结前的原料粉末中WC的晶粒尺寸(FSSS)合适地为0.1~12μm或0.4~9μm。
在本发明的一个实施方案中,硬质合金还以0.5~20重量%或0.8~5重量%的量包含Mo。
硬质合金还能够包含硬质合金领域中常见的其他成分,例如Ti、Ta、Nb、Cr、Mo、Zr或V中的一种或多种的碳化物、碳氮化物或氮化物。
本发明的硬质合金能够按照如下步骤制造:
-提供形成硬成分的粉末
-提供形成粘结相的选自Co、Fe和Ni中的粉末,
-提供研磨液,
-将粉末研磨、干燥、压制并烧结成硬质合金,
其中以使得烧结的硬质合金中存在亚化学计量碳含量SCC并且-0.13重量%≤SCC<0重量%或-0.30重量%≤SCC≤-0.16重量%的量添加W、W2C、Mo或Mo2C中的一种或多种。
为了在最终的烧结的硬质合金制造中得到正确的碳含量,添加W、W2C、Mo或Mo2C中的一种或多种。
在一个实施方案中,添加W和W2C中的一种或多种。
在一个实施方案中,在添加到其他原料之前,对W、W2C、Mo或Mo2C粉末中的一种或多种进行预研磨。
W、W2C、Mo或Mo2C的确切量取决于其他原料的组成。
通常,由于氧气的存在,在烧结过程中会损失一部分碳。氧气将与碳反应并在烧结过程中作为CO或CO2离开,从而改变碳平衡,使得必须调节W、W2C、Mo或MO2C中的一种或多种的添加量。在烧结过程中损失的确切碳量取决于所使用的原料和制造技术,并且本领域技术人员可以调节W、W2C、Mo或Mo2C的添加以使得在烧结的材料中实现目标亚化学计量碳含量。
例如通过使用LECO WC-6500仪器,通过首先测量样品中的总碳含量,能够确定硬质合金中的化学计量碳含量。还例如通过X射线荧光分析来测量钴含量。通过从样品的总重量中减去钴和碳的量,来给出钨含量,然后在假设WC具有1:1的比例的条件下将其用于计算化学计量碳含量。
形成硬质成分的粉末选自WC和硬质合金领域中常见的其它成分,例如Ti、Ta、Nb、Cr、Mo、Zr或V中的一种或多种的碳化物、碳氮化物或氮化物。
在一个实施方案中,基于干粉重量,添加的WC的量为80~98重量%。WC粉末的晶粒尺寸(FSSS)合适地为0.1~12μm或者0.4~9μm。
在一个实施方案中,形成硬质成分的粉末是WC。
在一个实施方案中,形成硬质成分的粉末的至少一部分作为由再循环硬质合金废料制成的粉末部分加入,所述再循环硬质合金废料主要包含元素W、C和Co。
形成粘结相的粉末是Co、Ni或Fe中的一种或多种或其合金。形成粘结相的粉末以基于干粉重量为2~20重量%或5~12重量%的量添加。
包含形成硬质成分的粉末和形成粘结相的粉末的浆料适当地通过研磨操作在球磨机或磨碎机中混合。能够使用在常规硬质合金制造中通常用作研磨液的任何液体。然后将含有粉末化材料的浆料进行干燥,适当地形成团聚的颗粒。
随后通过诸如单轴压制、多轴压制等的压制操作由干燥的粉末/颗粒形成生坯。
随后根据任意常规烧结方法如真空烧结、烧结HIP、放电等离子烧结、气压烧结(GPS)等对由所制备的粉末/颗粒形成的生坯进行烧结。
烧结温度通常为1300~1580℃或者1360~1450℃。
在一个实施方案中,硬质合金具有亚化学计量碳含量-0.13重量%≤SCC<0重量%、或-0.13重量%≤SCC≤-0.05重量%或-0.12重量%≤SCC≤-0.10重量%。在该实施方案中,硬质合金至少不含η相团聚物,或者不含任意形式的η相。
在一个实施方案中,硬质合金具有亚化学计量碳含量-0.30重量%≤SCC<-0.16重量%或-0.28重量%≤SCC≤-0.17重量%。在该实施方案中,硬质合金包括包含M12C和/或Me6C碳化物的η相,其中Me是选自如下中的一种或多种金属:W、Mo和粘结相金属。根据该实施方案的硬质合金具有如此低的碳含量,从而形成η相。这将导致硬质合金既在粘合剂中具有高W含量,又具有η相。然而,形成的η相不作为团聚物存在。
通常,认为η相是硬质合金中不期望的,因为它传统上以η相晶粒的大团聚物的形式存在,这些团聚物是脆性的并且对硬质合金的性质是有害的。然而,通过如在本实施方案的硬质合金中选择一定范围的亚化学计量碳含量来提供非团聚的η相,硬质合金显示出良好的性能。η相作为微细分散相存在于微观结构中。
η相的常见碳化物是W6Co6C、W3Co3C、W6Ni6C、W3Ni3C、W6Fe6C、W3Fe3C。
在一个实施方案中,η相包含Me12C和Me6C两者。
在一个实施方案中,根据XRD测量所估计的,η相包含>90体积%的Me12C。
在一个实施方案中,η相不含Mo。
在又一个实施方案中,η相含有Mo。如果在硬质合金中存在Mo,则Mo将取代η相中的一部分钨。
η相的平均晶粒尺寸合适地为0.1~10μm或0.5~3μm。
η相的分布应尽可能均匀。
在一个实施方案中,硬质合金中η相的体积分数合适地为2~10体积%、或4~8体积%、或4~6体积%。
在一个实施方案中,η相的分布在整个硬质合金基材中是相同的。在本文中这意味着硬质合金不包含任何没有η相的梯度或区域,如同例如在US 4,843,039中。
为了能够得到良好分布的η相,这对于得到改善的抗梳状裂纹性能是必要的,实现正确的碳含量是必要的。η相需要以适当的量良好分布。这通过在制造过程中小心地控制碳平衡来实现。
如果烧结硬质合金中的碳含量太低,即低于-0.30重量%亚化学计量碳含量,则η相的量变得太大并且粒度显著增加,因此硬质合金将变脆。另一方面,如果碳含量高于-0.16重量%的亚化学计量碳含量但仍处于η相形成区域,则形成的η相将如以大的团聚物的形式不均匀地分布,导致硬质合金的韧性降低。
实现不期望的η相的大团聚物和实现作为其目标的精细分布的η相之间的亚化学计量碳含量的差异会是非常小的。接近该极限需要监测微观结构以确保避免不期望的大团聚物。小心地调节碳含量、然后在得到的微观结构方面监测其结果是本领域技术人员已知的工作程序。
该实施方案的硬质合金应具有均匀分布的η相,这意味着硬质合金不含大的团聚物。
在涂层的金属碳化物、金属氮化物或金属碳氮化物中,Ti任选地以金属量的至多7原子%、或者金属量的至多5原子%或者金属量的至多1原子%的合适量存在。
换言之,在涂层的金属碳化物、金属氮化物或金属碳氮化物中,Ti的量合适地以金属量的0~7原子%、或金属量的0~5原子%或金属量的0~1原子%的量存在。
所述一个或多个层(A)合适地为(Zr,Hf,Ti)(C,N)、(Zr,Hf,Ti)C和(Zr,Hf,Ti)N中的至少一种,其中存在Zr和Hf中的一种或两种并且Ti是任选的,Ti的含量为金属量的0~10原子%、或0~7原子%、或0~5原子%或0~1原子%。
所述一个或多个层(A)能够通过任意合适的CVD工艺如MT-CVD、HT-CVD和等离子体CVD来制造。优选使用MT-CVD工艺或等离子体CVD工艺,因为它们在比HT-CVD更低的温度下运行,这使得碳从基材扩散到涂层中的量最小化。对于(Zr,Hf,Ti)(C,N),优选使用MT-CVD工艺或等离子体CVD工艺。
在一个实施方案中,所述一个或多个层(A)是(Zr,Ti)C、(Zr,Ti)N、(Zr,Ti)(C,N)、(Hf,Ti)C、(Hf,Ti)N和(Hf,Ti)(C,N)中的至少一种,Ti的含量为金属量的0~10原子%、或0~7原子%、或0~5原子%或0~1原子%。
在一个实施方案中,所述一个或多个层(A)是ZrC、ZrN、Zr(C,N)、HfC、HfN和Hf(C,N)中的至少一种。
在一个实施方案中,所述一个或多个层(A)是一个ZrC、ZrN、Zr(C,N)、HfC、HfN或Hf(C,N)层。
在一个实施方案中,所述一个或多个层(A)是一个ZrC、Zr(C,N)、HfC或Hf(C,N)层。
在一个实施方案中,所述一个或多个层(A)是一个Zr(C,N)或Hf(C,N)层,优选一个Zr(C,N)层。
所述一个或多个层(A)适当地具有6~8[10-6/K]或6.5~7.5[10-6/K]的热膨胀系数CTE。
热膨胀系数CTE是材料特有的性质,并且不同材料的值能够在文献例如Friedrichet al.,"Datensammlung zu Hartstoffeigenschaften",Materialwissenschaft undWerkstofftechnik,28(1997),p.59-76中找到。
所述一个或多个层(A)的总厚度合适地为2~15μm、或2~12μm、或2.5~8μm或2.5~5μm。
氧化铝层的总厚度合适地为1~5μm或2~4μm。
整个涂层的总厚度合适地为3~20μm、或4~15μm或5~12μm。
所述一个或多个层(A)的厚度与氧化铝层的厚度之比合适地为大于或等于1。
在一个实施方案中,涂布的切削工具包含与基材表面相邻的Ti(CxNyOz)或Zr(CxNyOz)或Hf(CxNyOz)层,x+y+z=1,0≤x≤1,0≤y≤1,0≤z<1,所述层的厚度为0.05~1.5μm或0.05~1μm。
在一个实施方案中,涂布的切削工具包含与基材表面相邻的TiC、TiN、HfC、HfN、ZrC或ZrN层,所述层的厚度为0.05~1.5μm或0.05~1μm。
在一个实施方案中,涂布的切削工具包含与基材表面相邻的TiN、HfN或ZrN层,所述层的厚度为0.05~1.5μm或0.05~1μm。
在一个实施方案中,在所述一个或多个层(A)之后,涂布的切削工具还包含与基材表面相邻的TiC、TiN、HfC、HfN、ZrC或ZrN层,所述层的厚度为0.05~1.5μm或0.05~1μm。
在一个实施方案中,在一个ZrC、Zr(C,N)、HfC或Hf(C,N)层之后,涂布的切削工具还包含与基材表面相邻的TiC、TiN、HfC、HfN、ZrC或ZrN层,所述层的厚度为0.05~1.5μm或0.05~1μm。
Zr(C,N)和Hf(C,N)层能够通过任意类型的CVD工艺如MT-CVD、HT-CVD和等离子体CVD来制造。优选使用MT-CVD工艺或等离子体CVD工艺,因为它们在比HT-CVD更低的温度下运行,这使得碳从基材扩散到涂层中的量最小化。
厚度为0.05~2μm的粘结层(B)适合存在于所述一个或多个层(A)的最上层与氧化铝层之间,粘结层(B)为Ti(CxNyOz)或Zr(CxNyOz)或Hf(CxNyOz),x+y+z=1,0<x<1,0≤y<1,0<z<1。当所述一个或多个层(A)是MT-CVD Zr(C,N)或MT-CVD Hf(C,N)层时,即使用诸如CH3CN的腈作为一种反应气体时,则任选地,粘结层(B)在MT-CVD Zr(C,N)或MT-CVD Hf(C,N)层之上还包括HT-Ti(C,N)、HT-Zr(C,N)或HT-Hf(C,N)层,其合适的厚度为0.05~1μm。
在一个实施方案中,氧化铝层是α氧化铝层。
在一个实施方案中,氧化铝层是κ氧化铝层。
涂布的切削工具优选是铣削刀片。
实施例
实施例1:
根据表1,由原料粉末制备提供了三种不同的几何形状R365-1505ZNE-KM的硬质合金体。
表1
通过将粉末以及研磨液(水/乙醇,比例为9/91)和2重量%的作为有机粘合剂的PEG(PEG的量不包括在干粉重量中)在球磨机中一起研磨8小时,制备了1号、2号和3号样品。然后对浆料进行盘式干燥。然后将团聚物压成生坯,然后将其在1410℃下烧结。
发现1号和2号样品的烧结件不含任意η相。发现3号样品含有η相,但随后处于良好分散的形式而没有形成簇。使用软件Image J利用设置“Automatic”通过图像分析确定了η相的量。用于分析的图像是放大倍率为1000X和2000X的LOM图像。在每个放大倍率下进行两次测量,并且对于3号样品的在表2中的值是所有这些的平均值。
通过使用LECO WC-600仪器首先测量总碳含量来进一步计算烧结材料中的化学计量碳含量,对于该分析,在分析之前将样品压碎。值的精确度为±0.01重量%。使用Panalytical Axios Max Advanced仪器用XRF(X射线荧光)测量Co的含量。通过从样品的总重量中减去钴和碳的量,得到W的含量,在假设WC具有1:1的比例的条件下,将其用于计算化学计量碳含量。
通过从LECO WC-600仪器测量的总碳含量中减去化学计量碳含量,得到亚化学计量碳含量。从表2中能够看出,烧结材料中的亚化学计量碳含量不同于相应粉末中的亚化学计量碳含量。这是由于一部分碳与氧反应,所述氧是原料中的杂质,其在烧结过程中作为CO或CO2排出,并降低合金的总的最终C含量。
表2
硬质合金 | 烧结体中的亚化学计量碳含量(重量%) | η相的体积% |
1号 | -0.09 | 0 |
2号 | -0.13 | 0 |
3号 | -0.20 | 4.8 |
实施例2:
然后对实施例1中制备的具有几何形状R365-1505ZNE-KM的1号硬质合金刀片涂布3μm的Ti(C,N)层,接着涂布3μm的α-Al2O3层。
首先在基材与Ti(C,N)层之间提供薄的(0.5μm)TiN粘结层。通过使用包含N2、TiCl4和H2的反应气体混合物沉积TiN粘结层。
在885℃的沉积温度下并在55mbar的压力下,使用包含H2、N2、HCl、TiCl4和CH3CN的反应气体混合物,根据本领域内熟知的普通程序在CVD反应器中进行了Ti(C,N)层的沉积。
此外,在Ti(C,N)层与α-Al2O3层之间提供薄的(0.5μm)Ti(C,O)粘结层。通过使用包含H2、TiCl4和CO的反应气体混合物沉积TiCO粘结层。在沉积之后,在沉积α-Al2O3层之前,在包含CO和CO2的气体混合物中将Ti(C,O)层轻微氧化。
此外,对实施例1中制备的具有几何形状R365-1505ZNE-KM的1号、2号和3号硬质合金刀片涂布3μm的Zr(C,N)层,接着涂布3μm的α-Al2O3层。
在930℃的沉积温度和55mbar的压力下,在BernexTM325反应器中使用包含64.9体积%的H2、33.2体积%的N2、1.3体积%的ZrCl4和0.6体积%的CH3CN的反应气体混合物,根据普通程序(MT-CVD)进行了Zr(C,N)层的沉积。总气体流量为2880l/h。
在沉积Zr(C,N)层之前,在基材与Zr(C,N)层之间沉积薄的(0.5μm)TiN粘结层。
在沉积α-Al2O3层之前,在Zr(C,N)层与α-Al2O3层之间提供包含一系列HT-CVD Ti(C,N)和Ti(C,N,O)的薄的(1μm)粘结层。在1000℃的沉积温度下使用包含H2、N2、HCl、TiCl4和CH4的反应气体混合物,根据本领域熟知的普通程序进行了HT-CVD Ti(C,N)层的沉积。另外在1000℃的沉积温度下使用包含H2、N2、HCl、TiCl4、CH3CN和CO的反应气体混合物,根据已知的程序进行了Ti(C,N,O)层的沉积。在沉积之后,在沉积α-Al2O3层之前,在包含CO和CO2的气体混合物中将Ti(C,N,O)层轻微氧化。
然后,在约1000℃的沉积温度和55mbar的压力下,使用在成核步骤中包含H2、HCl、CO2和AlCl3的反应气体混合物并另外使用在生长步骤中包含H2、HCl、CO2、AlCl3和H2S的反应气体混合物,根据本领域熟知的普通程序完成了α-Al2O3层的沉积。
将涂布的硬质合金的样品总结在表3中。
表3
样品编号 | 硬质合金 | 涂层 |
1 | 1号 | Ti(C,N)/α-Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> |
2 | 1号 | Zr(C,N)/α-Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> |
3 | 2号 | Zr(C,N)/α-Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> |
4 | 3号 | Zr(C,N)/α-Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> |
实施例3:
利用如下切削参数,在干燥条件下在灰铸铁SS0125的马达块的面铣削操作(粗加工操作)中对根据实施例2的涂布的硬质合金的1~4号样品进行了测试:
Vc:362m/分钟
Fz:0.29mm/转
ap:5mm
ae:20mm
刀具:R365-100Q32W15H
齿数:14(13个铣削刀片+1个刮擦刀片)
机器:水平多次操作的(GROB)
锥度:HSK100
在工具主体中测试的各个样品的刀片数量为6、7或13。在测试不同的刀片时使用相同的铣削刀具,并且另外当安装6或7个样品刀片时,刀具始终安装总共14个刀片。由此1~4号样品的每个刀片在测试中经受相同的条件。
对于每个测试,制备100个组件(对应于约70分钟的铣削时间)。然后对每个刀片大于0.2mm的梳状裂纹的数量进行计数,并计算在同一铣削刀具中使用的所有样品刀片的平均值。
表4
Claims (15)
1.一种涂布的切削工具,所述切削工具包含硬质合金基材和涂层,所述硬质合金包含WC和包含Co、Fe和Ni中的一种或多种的粘结相,所述硬质合金中的碳含量是亚化学计量碳含量SCC,其中-0.13重量%≤SCC<0重量%或-0.30重量%≤SCC≤-0.16重量%,并且其中所述涂层包含:一个或多个层(A),所述一个或多个层(A)是金属碳化物、金属氮化物或金属碳氮化物,所述金属是Zr和Hf中的至少一种,任选的Ti以金属量的至多10原子%的量存在;和氧化铝层,所述一个或多个层(A)位于所述基材与所述氧化铝层之间。
2.根据权利要求1所述的涂布的切削工具,其中所述一个或多个层(A)是ZrC、ZrN、Zr(C,N)、HfC、HfN和Hf(C,N)中的至少一种。
3.根据权利要求1~2中的任一项所述的涂布的切削工具,其中所述一个或多个层(A)是一个Zr(C,N)或Hf(C,N)层。
4.根据权利要求1~3中的任一项所述的涂布的切削工具,其中所述一个或多个层(A)具有6~8[10-6/K]的热膨胀系数CTE。
5.根据权利要求1~4中的任一项所述的涂布的切削工具,其中所述一个或多个层(A)的总厚度为2~15μm。
6.根据权利要求1~5中的任一项所述的涂布的切削工具,其中所述氧化铝层的总厚度为1~5μm。
7.根据权利要求1~6中的任一项所述的涂布的切削工具,其中所述一个或多个层(A)的厚度与所述氧化铝层的厚度之比大于或等于1。
8.根据权利要求1~7中的任一项所述的涂布的切削工具,所述切削工具包含与所述基材的表面相邻的Ti(CxNyOz)或Zr(CxNyOz)或Hf(CxNyOz)层,x+y+z=1,0≤x≤1,0≤y≤1,0≤z<1,所述Ti(CxNyOz)或Zr(CxNyOz)或Hf(CxNyOz)层的厚度为0.05~1.5μm。
9.根据权利要求1~8中的任一项所述的涂布的切削工具,其中在所述一个或多个层(A)的最上层与所述氧化铝层之间存在具有0.05~2μm厚度的粘结层(B),所述粘结层(B)为Ti(CxNyOz)或Zr(CxNyOz)或Hf(CxNyOz),x+y+z=1,0<x<1,0≤y<1,0<z<1。
10.根据权利要求9所述的涂布的切削工具,其中所述粘结层(B)是Ti(CxNyOz),x+y+z=1,0<x<1,0≤y<1,0<z<1。
11.根据权利要求1~10中的任一项所述的涂布的切削工具,其中在所述硬质合金中所述亚化学计量碳含量SCC为-0.13重量%≤SCC≤-0.05重量%或-0.28重量%≤SCC≤-0.17重量%。
12.根据权利要求1~11中的任一项所述的涂布的切削工具,其中在所述硬质合金中所述亚化学计量碳含量SCC为-0.13重量%≤SCC≤-0.10重量%或-0.28重量%≤SCC≤-0.17重量%。
13.根据权利要求1~12中的任一项所述的涂布的切削工具,其中在所述硬质合金中所述亚化学计量碳含量SCC为-0.28重量%≤SCC≤-0.17重量%,并且所述硬质合金以2体积%~10体积%的体积分数包含η相。
14.根据权利要求13所述的涂布的切削工具,其中所述η相的平均晶粒尺寸为0.1~10μm。
15.根据权利要求1~14中的任一项所述的涂布的切削工具,其中所述切削工具是铣削刀片。
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